一種掩模板罩及掩模板的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本發(fā)明涉及顯示制造領域，特別涉及一種掩模板罩及掩模板。
【背景技術】
[0002]在顯示面板的制備過程中常采用光刻技術或蒸鍍技術，在光刻工藝和蒸鍍工藝中均需采用掩摸板。掩模板上形成有用于透光或透過蒸鍍氣體的圖形區(qū)域，以在基板上形成所需的光刻圖形或蒸鍍圖形。
[0003]在顯示面板的生產(chǎn)過程中，如需在同一基板上的不同區(qū)域內(nèi)形成厚度不同的光刻圖形或蒸鍍圖形，需使用多張具有不同大小的圖形區(qū)域的掩膜板，增加了顯示面板的生產(chǎn)工序。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供了一種掩模板罩及掩模板，該掩模板罩可在同一掩模板上形成多種大小不同的圖形區(qū)域，減少了測試過程中的掩模板使用數(shù)量，簡化了顯示面板的生產(chǎn)工序。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下的技術方案:
[0006]—種掩模板罩，包括支架和至少一個調(diào)節(jié)單元，每個所述調(diào)節(jié)單元包括遮擋板和驅(qū)動組件，所述支架具有開口部，所述開口部的至少一部分與所述調(diào)節(jié)單元對應設置，其中，每一對相互對應的開口部和調(diào)節(jié)單元中:
[0007]沿第一方向，所述遮擋板處于初始狀態(tài)時收納于所述開口部的一側(cè);所述第一方向與所述開口部的延展平面平行；
[0008]所述驅(qū)動組件安裝于所述支架、且與所述遮擋板的第一端連接，所述驅(qū)動組件可帶動所述遮擋板的第一端沿第一方向運動以使所述遮擋板的至少一部分從所述開口部的一側(cè)釋放，以沿所述第一方向調(diào)節(jié)所述遮擋板覆蓋所述開口部的大小。
[0009]該掩模板罩中包括支架和調(diào)節(jié)單元，通過驅(qū)動組件可調(diào)節(jié)遮擋板覆蓋所述開口部面積的大小，在顯示面板的生產(chǎn)過程中，可通過調(diào)整遮擋板覆蓋開口部的區(qū)域的面積大小，使掩模板罩上形成大小不同的開口部，從而改變與該掩模板罩配合的掩模板上的圖形區(qū)域的開口大小，以使一張掩模板可提供多個大小不同的圖形區(qū)域，進而實現(xiàn)在基板上的不同區(qū)域內(nèi)形成厚度不同的材料。綜上可知，該掩模板罩可減少顯示面板的生產(chǎn)過程中使用的掩模板的數(shù)量，簡化了顯示面板的生產(chǎn)工序。
[0010]優(yōu)選地，所述支架上設有當所述遮擋板處于初始狀態(tài)時用于收納所述遮擋板的收納組件。
[0011]優(yōu)選地，所述收納組件包括遮擋板轉(zhuǎn)軸，所述遮擋板轉(zhuǎn)軸的軸心線與所述第一方向垂直、且與所述開口部的延展平面平行，所述遮擋板的第二端與所述遮擋板轉(zhuǎn)軸連接、且所述遮擋板處于初始狀態(tài)時纏繞于所述遮擋板轉(zhuǎn)軸。
[0012]優(yōu)選地，所述收納還包括與所述遮擋板轉(zhuǎn)軸連接的復位機構(gòu)，所述復位機構(gòu)用于驅(qū)動所述遮擋板轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，以使所述遮擋板纏繞于所述遮擋板轉(zhuǎn)軸。
[0013]優(yōu)選地，所述復位機構(gòu)為與所述遮擋板轉(zhuǎn)軸連接的發(fā)條彈簧或電機。
[0014]優(yōu)選地，所述收納組件包括設置于所述開口部一側(cè)的容納腔，所述遮擋板處于初始狀態(tài)時收納于所述容納腔內(nèi)。
[0015]優(yōu)選地，所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動轉(zhuǎn)軸、電機和至少一條連接線，其中，
[0016]沿所述第一方向，所述驅(qū)動轉(zhuǎn)軸位于所述開口部背離所述遮擋板轉(zhuǎn)軸的一側(cè)、且與所述遮擋板轉(zhuǎn)軸平行；
[0017]所述電機安裝于所述支架且與所述驅(qū)動轉(zhuǎn)軸連接以驅(qū)動所述驅(qū)動轉(zhuǎn)軸繞其軸心線轉(zhuǎn)動；
[0018]所述連接線的第一端固定于所述驅(qū)動轉(zhuǎn)軸，所述連接線的第二端與所述遮擋板的第一端連接，所述連接線可在所述驅(qū)動轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動下纏繞于所述驅(qū)動轉(zhuǎn)軸，以使所述遮擋板的第一端沿所述第一方向動作。
[0019]優(yōu)選地，所述連接線為兩條，且沿第二方向，兩條所述連接線分別位于所述開口部的延伸方向上的兩側(cè)，所述第二方向與所述第一方向垂直、且與所述開口部的延展平面平行。
[0020]優(yōu)選地，每個所述調(diào)節(jié)單元中，所述支架的開口部為長方形開口，且所述開口部沿所述第一方向延伸，其中，所述開口部中沿垂直于所述第一方向排列的兩個側(cè)壁上分別設有一個滑槽，且所述開口部兩個側(cè)壁上設置的滑槽開口相對、且沿所述第一方向延伸;所述遮擋板沿垂直于所述第一方向排列的兩個側(cè)邊的至少一部分位于所述滑槽內(nèi)、且可相對于所述支架沿所述滑槽延伸方向滑動。
[0021]優(yōu)選地，所述掩模板罩包括多個并排設置的調(diào)節(jié)單元，且多個所述調(diào)節(jié)單元的排列方向與所述第一方向垂直、且與所述開口部的延展平面平行。
[0022]本發(fā)明還提供了一種掩模板，包括如上所述的掩模板罩，每個所述掩模板罩上的開口部與所述掩模板上的圖形區(qū)域的至少一部分對應設置。
[0023]該掩模板中的掩模板罩包括支架和調(diào)節(jié)單元，通過驅(qū)動組件可調(diào)節(jié)遮擋板覆蓋所述開口部面積的大小，在顯示面板的生產(chǎn)過程中，可通過調(diào)整遮擋板覆蓋開口部的區(qū)域的面積大小，使掩模板罩上形成大小不同的開口部，從而改變與該掩模板罩配合的掩模板上的圖形區(qū)域的開口大小，以使一張掩模板可提供多個大小不同的圖形區(qū)域，進而實現(xiàn)在基板上的不同區(qū)域內(nèi)形成厚度不同的材料。綜上可知，該掩模板罩可減少顯示面板的生產(chǎn)過程中使用的掩模板的數(shù)量，簡化了顯示面板的生產(chǎn)工序。
【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明【具體實施方式】提供的一種掩模板罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2是本發(fā)明【具體實施方式】提供的一種掩模板罩在遮擋板處于初始狀態(tài)時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3是圖1所示的掩模板罩在C方向上的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖4是本發(fā)明【具體實施方式】提供的另一種掩模板罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖5是本發(fā)明【具體實施方式】提供的另一種掩模板罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖6是本發(fā)明【具體實施方式】提供的一種掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖7是本發(fā)明【具體實施方式】提供的一種掩模板的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0031]附圖標記:
[0032]10，掩模板罩;11，支架;111，開口部;12，調(diào)節(jié)單元;
[0033]121，遮擋板;122，驅(qū)動組件;1221，驅(qū)動轉(zhuǎn)軸；1222，連接線；
[0034]1223，電機;131，遮擋板轉(zhuǎn)軸;20，掩模板本體;21，圖形區(qū)域。
【具體實施方式】
[0035]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0036]如圖1-圖3所示，本發(fā)明【具體實施方式】提供了一種掩模板罩10，包括支架11和一個調(diào)節(jié)單元12，其中:
[0037]調(diào)節(jié)單元12包括遮擋板121和驅(qū)動組件122，遮擋板121為可折疊或卷曲的柔性結(jié)構(gòu)；
[0038]支架11具有與調(diào)節(jié)單元12對應設置的開口部111，在應用于光刻工藝時，開口部111為形成于支架11上的可透光區(qū)域，在應用于蒸鍍工藝時，開口部111為形成于支架11上的鏤空區(qū)域。優(yōu)選地，本實施例中的開口部111為形成于支架11上的鏤空區(qū)域，以便于透光或通過蒸鍍氣體。
[0039]在對應設置的開口部111和調(diào)節(jié)單元12中:
[0040]如圖2所示，沿第一方向A，遮擋板121處于初始狀態(tài)時收納于開口部111的一側(cè)，第一方向A與開口部111的延展平面平行；
[0041]如圖1所示，驅(qū)動組件122安裝于支架11、且與遮擋板121的第一端連接，驅(qū)動組件122可帶動遮擋板121的第一端沿第一方向A運動以使遮擋板121的至少一部分從開口部111的一側(cè)釋放，以沿第一方向A調(diào)節(jié)遮擋板121覆蓋開口部111的大小。
[0042]該掩模板罩10中包括支架11和調(diào)節(jié)單元12，通過驅(qū)動組件122可調(diào)節(jié)遮擋板121覆蓋開口部111面積的大小，在顯示面板的生產(chǎn)過程中，可通過調(diào)整遮擋板121覆蓋開口部111的區(qū)域的面積大小，使掩模板罩1上形成大小不同的開口部111，從而改變與該掩模板罩1配合的掩模板上的圖形區(qū)域的開口大小，以使一張掩模板可提供多個大小不同的圖形區(qū)域，進而實現(xiàn)在基板上的不同區(qū)域內(nèi)形成厚度不同的材料。因此，該掩模板罩10可減少顯示面板的生產(chǎn)過程中使用的掩模板的數(shù)量，簡化了顯示面板的生產(chǎn)工序。
[0043]上述實施方式中，每個開口部111對應設置有一個調(diào)節(jié)單元12，且遮擋板121可完全覆蓋于開口部111，此外，開口部111和調(diào)節(jié)單元12還可如下方法對應設置:
[0044]如圖4所示，開口部111的面積大于遮擋板121的面積，遮擋板121可覆蓋于開口部111的一部分；
[0045]如圖5所示，每個支架