技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明揭示一種用于電路的檢查/維修/再檢查系統(tǒng)的透鏡組合件,所述透鏡組合件包含:掃描透鏡,其操作以在用于維修的激光束的特定波長下校正所述激光束的偏差;及相機透鏡,其操作以通過所述掃描透鏡接收來自工件的光并在由相機感測的至少一個特定波長下校正偏差,所述波長不是用于維修的所述激光束的所述特定波長。
技術(shù)研發(fā)人員:維克多·萊巴爾金;伊利亞·拉茨科
受保護的技術(shù)使用者:奧寶科技有限公司
文檔號碼:201610821310
技術(shù)研發(fā)日:2012.08.08
技術(shù)公布日:2017.06.20