專利名稱：具有偵測窗口的研磨墊的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種研磨墊(Polishing Pad)的制造方法，且特別是有關(guān)于一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法。
背景技術(shù)：
對于集成電路的半導(dǎo)體晶圓制造而言，為了提高電子元件密度與降低生產(chǎn)成本，促使在元件的制作工藝上有提升深寬比(Aspect ratio)及增加導(dǎo)線層數(shù)的趨勢。但在形成這樣多層導(dǎo)線結(jié)構(gòu)時，同時晶圓的凹凸及扭曲程度也會變大。為了降低晶圓的凹凸及扭曲程度通常使用化學(xué)機械研磨(Chemical Mechanical Polishing，CMP)的方法來操作，而化學(xué)機械研磨的方法在目前唯一能提供大規(guī)模集成電路(Very Large SemiconductorIntegration，VLSI)，甚至超大規(guī)模集成電路(Ultra Large SemiconductorIntegration，ULSI)制作工藝全面性平坦化(Global Planarization)的一種新技術(shù)。最早提出這個技術(shù)的是美國的IBM公司。IBM公司不但開發(fā)出化學(xué)機械研磨法，并提出應(yīng)用化學(xué)機械研磨法來制作埋入導(dǎo)線的金屬鑲嵌法(Damascene)。
一般而言，化學(xué)機械研磨是通過懸濁細小粒子的研磨液與具有彈性、硬度適當(dāng)?shù)难心|的相對運動、作用在芯片表面來進行平坦化(Planarization)。研磨墊在晶圓表面移動時，接觸的粒子被壓在晶圓的表面上，通過晶圓表面與粒子之間的摩擦滑動而有磨耗的作用，來研磨晶圓表面凹凸不平的地方，進而使晶圓表面平坦、光滑。
承上所述，研磨墊上某部分區(qū)域通常會設(shè)置有一透明窗口，其功能是當(dāng)研磨墊進行研磨時，使用者可通過機臺設(shè)定而透過透明窗口來控制并偵測研磨墊的研磨情況與磨耗情形，因此可將此透明窗口作為研磨墊研磨的終點偵測(End-Point Detection)。
公知于研磨墊上制作偵測窗口的方法如美國專利5,605,760號所揭示，在其中一實施例描述研磨墊為一種以固態(tài)均勻聚合物制出透明片的方法。而于另一實施例中描述研磨墊于另外不透明墊中包括有一透明窗口，其中透明窗口是由模制研磨墊中的透明聚合物材料的棒或塞所形成的。而棒或塞可模制插入研磨墊內(nèi)，或是在模制操作之后才裝入研磨墊的缺口內(nèi)。
承上所述，將棒或塞的透明窗口于模制時插入研磨墊內(nèi)，可能因透明窗口與研磨墊材質(zhì)的差異或其它因素而造成研磨墊與透明窗口間的收縮不一致，進而導(dǎo)致透明窗口產(chǎn)生彎曲或變形。此外，倘若是于模制操作之后才將透明窗口裝入研磨墊的缺口內(nèi)，研磨墊和透明窗口之間可能因為接觸性不佳而造成研磨液滲漏，進而影響到晶圓的研磨品質(zhì)。
另外，美國專利5,893,796號揭示一種已知的研磨墊，其具有一透明窗口架設(shè)于研磨墊內(nèi)。透明窗口可作為模制于研磨墊中的固體插入物預(yù)備一體成型，在此透明窗口使用對磨耗具有特有耐磨耗性的材料所制成。而研磨墊其余部分材料則具有較低抗磨耗性。
如上所述，研磨墊其余部分會在半導(dǎo)體晶圓研磨時緩慢研磨去除，而透明窗口會以較低的研磨速度被研磨去除。最后，造成透明窗口與研磨墊之間產(chǎn)生高度差，結(jié)果晶圓在不均勻的研磨情況下，造成晶圓的表面產(chǎn)生缺陷，因而影響到后續(xù)的制作工藝的精確度。而研磨墊的磨耗速率不同于透明窗口的磨耗速率，這將導(dǎo)致研磨時透明窗口周圍的研磨墊裂開。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一就是在提供一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，以改善公知方法會有透明窗口產(chǎn)生彎曲或變形的問題。
本發(fā)明的目的之二就是在提供一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，以解決公知方法因研磨墊和透明窗口之間接觸性不佳而造成研磨液滲漏的問題。
本發(fā)明的目的之三就是在提供一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，以使具有偵測窗口的研磨墊的研磨均勻度提高。
因此，本發(fā)明提出一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，此方法首先提供一模具及一透明熱固性塑料，其中模具具有一模腔，且透明熱固性塑料未完全硬化，而透明熱固性塑料的材質(zhì)例如是一全透明高分子材質(zhì)或一半透明高分子材質(zhì)，且透明熱固性塑料的形狀例如是橢圓形、方形或圓形等任何適用的形狀，并且其側(cè)緣為一凹凸面。接著，于模具內(nèi)預(yù)埋入透明熱固性塑料。然后，于模具的模腔中注入一高分子發(fā)泡體，并且使高分子發(fā)泡體與透明熱固性塑料同時完全硬化，其中所注入的高分子發(fā)泡體的材質(zhì)例如是聚脲酯(PU)發(fā)泡體，關(guān)于聚脲酯發(fā)泡體的制作方法及其相關(guān)參數(shù)，本申請人已公開在臺灣專利申請?zhí)柕?1117406號中。之后，于模具脫模之后即形成具有一偵測窗口的一研磨墊。其中，研磨墊的研磨速度是等于偵測窗口的研磨速度。
本發(fā)明再提出一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，此方法首先提供一模具及一透明熱固性塑料，其中模具具有一模腔，且透明熱固性塑料未完全硬化，其中透明熱固性塑料的材質(zhì)例如是一全透明高分子材質(zhì)或一半透明高分子材質(zhì)，而透明熱固性塑料的形狀例如是橢圓形、方形或圓形等任何適用的形狀，且其側(cè)緣為一凹凸面。接著，于模具內(nèi)預(yù)埋入此透明熱固性塑料。然后，于模具的模腔中注入一高分子發(fā)泡體，并待高分子發(fā)泡體稍微硬化。其中，高分子發(fā)泡體的材質(zhì)例如是聚脲酯(PU)發(fā)泡體，關(guān)于聚脲酯發(fā)泡體的制作方法及其相關(guān)參數(shù)，本申請人已公開在臺灣專利申請?zhí)柕?1117406號中。之后，于模腔內(nèi)的高分子發(fā)泡體上注入另一高分子材質(zhì)層，其中高分子發(fā)泡體、高分子材質(zhì)層及透明熱固性塑料同時完全硬化，而高分子材質(zhì)層的材質(zhì)例如是聚脲酯(PU)、硅橡膠(Silicone rubber)、聚丁基橡膠(PBR)、聚氯乙烯乳膠(PVC latex)或聚丙烯酸系膠乳(PMMAlatex)。在此，高分子發(fā)泡體的硬度大于高分子材質(zhì)層的硬度，高分子材質(zhì)層用來作為緩沖層之用。之后，于模具脫模之后即形成具有一偵測窗口的一研磨墊，且此研磨墊為一具有兩層結(jié)構(gòu)的研磨墊。其中，研磨墊的研磨速度等于偵測窗口的研磨速度。
本發(fā)明另提出一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，此方法首先提供一模具及一透明熱固性塑料，其中模具具有一模腔，且透明熱固性塑料未完全硬化，而透明熱固性塑料的材質(zhì)例如是一全透明高分子材質(zhì)或一半透明高分子材質(zhì)，且透明熱固性塑料的形狀例如是橢圓形、方形或圓形等任何適用的形狀，并且其側(cè)緣為一凹凸面。接著，于模具內(nèi)預(yù)埋入此透明熱固性塑料，且于透明熱固性塑料的側(cè)緣涂布一未完全反應(yīng)材料，而未完全反應(yīng)材料例如是一熱感式黏膠。然后，于模具的模腔中注入一高分子發(fā)泡體，并使未完全反應(yīng)材料與高分子發(fā)泡體化學(xué)連結(jié)，其中未完全反應(yīng)材料、透明熱固性塑料與高分子發(fā)泡體同時完全硬化，在此，高分子發(fā)泡體的材質(zhì)例如是聚脲酯發(fā)泡體，關(guān)于發(fā)泡體的制作方法及其相關(guān)參數(shù)，本申請人已揭露在臺灣專利申請?zhí)柕?1117406號中。之后，于模具脫膜后即形成具有一偵測窗口的一研磨墊。其中，研磨墊的研磨速度等于偵測窗口的研磨速度。
除此之外，上述所形成的透明偵測窗口亦可設(shè)計成透明偵測窗口的底部為曲面，換言之，透明偵測窗口的中心位置的厚度較厚而其邊緣位置的厚度較薄，此種設(shè)計可以抵抗研磨墊的偵測窗口與其它部分因材質(zhì)相異可能在一體成型后會造成形變的情形。
由于本發(fā)明通過透明熱固性塑料可以與高分子發(fā)泡體同時硬化的因素，降低透明熱固性塑料與高分子發(fā)泡體產(chǎn)生不同時間硬化所產(chǎn)生形變的問題，以減少研磨墊與透明窗口產(chǎn)生形變或翹曲的現(xiàn)象，進而可以增加研磨墊的平坦度。
另外，由于本發(fā)明在透明熱固性塑料上可涂布一未完全反應(yīng)材料，進而增加透明熱固性塑料與高分子發(fā)泡體的黏著性，同時可以降低研磨液從透明熱固性塑料與高分子發(fā)泡體之間的縫細滲漏。而研磨墊的研磨速率等于透明窗口的研磨速率，可以增加研磨時晶圓的平坦度。
再者，由于本發(fā)明于透明熱固性塑料的側(cè)緣做成凹凸不平的形狀以增加其與高分子發(fā)泡體的接觸面積，因此可以使透明熱固性塑料與高分子發(fā)泡體的接觸性更好、黏著性更佳。此外，設(shè)計者還可以依設(shè)計來改變透明熱固性塑料的形狀。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，并配合附圖，作詳細說明。


圖1至圖4是依照本發(fā)明第一實施例具有偵測窗口的研磨墊的制造方法的流程示意圖；圖5繪示透明熱固性塑料的側(cè)緣形狀示意圖；圖6繪示透明熱固性塑料的側(cè)緣涂布未完全反應(yīng)材料示意圖；圖7至圖11是依照本發(fā)明第二實施例具有偵測窗口的研磨墊的制造方法的流程示意圖；圖12繪示透明熱固性塑料的側(cè)緣涂布未完全反應(yīng)材料示意圖；圖13繪示透明熱固性塑料的中心位置的厚度較后，而邊緣位置的厚度較薄的設(shè)計示意圖。
標示說明100、200模具102、202模腔110、210透明熱固性塑料 120、220高分子發(fā)泡體140、240研磨墊 131、231螺旋面133、233波紋面 135、235顆粒面150、250熱感式黏膠 222高分子材質(zhì)層具體實施方式
第一實施例圖1至圖4是依照本發(fā)明第一實施例具有偵測窗口的研磨墊的制造方法的流程示意圖。
首先，請參照圖1，提供一模具100及一透明熱固性塑料110，其中此模具100具有一模腔102，且模腔102可以容納物體放置其內(nèi)，而此時透明熱固性塑料110未完全硬化。如上所述的透明熱固性塑料110的材質(zhì)例如是一全透明高分子材質(zhì)或一半透明高分子材質(zhì)，而透明熱固性塑料110的材質(zhì)例如是壓克力樹脂(PMMA)、聚脲酯(PU)、聚氯乙烯(PVC)、環(huán)氧樹脂(Epoxy)或不飽和聚酯(UP)，且透明熱固性塑料110的硬度例如是70 Shore A至75 Shore D。
之后，請參照圖2，將透明熱固性塑料110預(yù)先放置于模具100內(nèi)，且使透明熱固性塑料110可以貼平模具100的底壁，并且使透明熱固性塑料110固定以增加后續(xù)制作工藝的穩(wěn)定性及準確性。
然后，請參照圖3，設(shè)計者可通過模制方法注入一高分子發(fā)泡體120于模具100的模腔102中，并使高分子發(fā)泡體120可以包覆透明熱固性塑料110，高分子發(fā)泡體120及透明熱固性塑料110同時完全硬化。在本實施例中，高分子發(fā)泡體120的材質(zhì)例如聚脲酯發(fā)泡體。此外，上述的模制方法包括熱塑性注模、熱固性注模(通常為反應(yīng)注模)、熱塑或熱固注入吹模、熱模壓制(壓模)或其它類似方法。
特別是，為了使透明熱固性塑料110與高分子發(fā)泡體120的接觸性更好，本發(fā)明將透明熱固性塑料110的側(cè)緣設(shè)計為凹凸面，而此凹凸面例如是一螺旋面131、一波紋面133或一顆粒面135(如圖5所示)。這是因為，若是將透明熱固性塑料110的側(cè)緣作成凹凸面的話，可以增加透明熱固性塑料110與高分子發(fā)泡體120的接觸面積，進而增加兩者的緊密度。
此外，本發(fā)明的透明熱固性塑料110的形狀還可以依照實際所需而設(shè)計成橢圓形、圓形、方形或是任何適用的形狀。在本實施例中，透明熱固性塑料110較佳的是橢圓形狀。
再來，請參照圖4，待高分子發(fā)泡體120及透明熱固性塑料110同時完全硬化后，進行模具100脫模的動作。在將完成后的一研磨墊140取出后即形成具有一偵測窗口的研磨墊140，其中透明熱固性塑料110處即作為偵測窗口之用，而且整個研磨墊140的研磨速率都是一致的，也就是研磨墊140中高分子發(fā)泡體120的研磨速率等于偵測窗口的研磨速率。
為了使透明熱固性塑料110與高分子發(fā)泡體120的黏著性更好，因此本發(fā)明還包括在透明熱固性塑料110的側(cè)緣涂布上一未完全反應(yīng)材料，此未完全反應(yīng)材料例如一熱感式黏膠150，如圖6所示。其中，熱感式黏膠150的功能可以使透明熱固性塑料110與高分子發(fā)泡體120的化學(xué)連結(jié)，進而增加透明熱固性塑料110及高分子發(fā)泡體120的黏著性。
第二實施例圖7至圖12是依照本發(fā)明第二實施例具有偵測窗口的研磨墊的制造方法的流程示意圖。首先，請參照圖7，提供一模具200及一透明熱固性塑料210，其中此模具200具有一模腔202，且模腔202可以容納物體放置其內(nèi)，而透明熱固性塑料210未完全硬化。如上所述的透明熱固性塑料210的材質(zhì)例如是一全透明高分子材質(zhì)或一半透明高分子材質(zhì)，而透明熱固性塑料210的材質(zhì)例如壓克力樹脂(PMMA)、聚脲酯(PU)、聚氯乙烯(PVC)、環(huán)氧樹脂(EPOXY)或不飽和聚酯(UP)，且透明熱固性塑料210的硬度例如是70 ShoreA至75 Shore D。
之后，請參照圖8，將透明熱固性塑料210預(yù)先放置于模具200內(nèi)，且使透明熱固性塑料210可以貼平模具200的底壁，并且使透明熱固性塑料210固定以增加后續(xù)制作工藝的穩(wěn)定性及準確性。
然后，請參照圖9，設(shè)計者可通過模制方法注入一高分子發(fā)泡體220于模具200的模腔202中，并使高分子發(fā)泡體220的側(cè)緣可以與透明熱固性塑料210的側(cè)緣接觸，并且使高分子發(fā)泡體220硬化約3分鐘到5分鐘。其中，高分子發(fā)泡體220的材質(zhì)例如是聚脲酯發(fā)泡體。此外，上述的模制方法包括熱塑性注模、熱固性注模(通常為反應(yīng)注模)、熱塑或熱固注入吹模、熱模壓制(壓模)或其它類似方法。
再來，請參照圖10，通過模制方法注入另一高分子材質(zhì)層222于模具200中的高分子發(fā)泡體220上，并使高分子材質(zhì)層222的側(cè)緣可以與透明熱固性塑料210的側(cè)緣接觸，并且覆蓋高分子發(fā)泡體220。接著再使高分子發(fā)泡體220、透明熱固性塑料210及高分子材質(zhì)層222同時完全硬化。在本實施例中，高分子發(fā)泡體220的硬度大于高分子材質(zhì)層222的硬度，因此高分子材質(zhì)層222用來作為一緩沖層之用，其材質(zhì)例如是聚脲酯(PU)、硅橡膠(Silicone rubber)、聚丁基橡膠(PBR)、聚氯乙烯乳膠(PVC latex)或聚丙烯酸系乳膠(PMMA latex)。其中，高分子發(fā)泡體220的硬度介于30 Shore D至80 Shore D之間，而高分子材質(zhì)層的硬度介于5 Shore A至60 Shore A之間。此外，上述之模制方法例如是熱塑性注模、熱固性注模(通常為反應(yīng)注模)、熱塑或熱固注入吹模、熱模壓制(壓模)或其它類似方法。
特別是，為了使透明熱固性塑料210與高分子發(fā)泡體220及高分子材質(zhì)層222的接觸性更好，本發(fā)明可將透明熱固性塑料210的側(cè)緣設(shè)計為凹凸面，而此凹凸面例如是一螺旋面131、一波紋面133或一顆粒面135(如圖5所示)。這是因為，若是將透明熱固性塑料210的側(cè)緣作成凹凸面的話，可以增加透明熱固性塑料210、高分子發(fā)泡體220及高分子材質(zhì)層222的接觸面積，進而增加三者黏著的緊密度。
此外，本發(fā)明的透明熱固性塑料210的形狀還可以依照實際所需而設(shè)計成橢圓形、圓形、方形或是任何適用的形狀。在本實施例中，透明熱固性塑料210較佳的是橢圓形狀。
再來，請參照圖11，待高分子發(fā)泡體220、透明熱固性塑料210及高分子材質(zhì)層222同時完全硬化后，進行模具200脫模的動作。在將完成后的一研磨墊240取出后即形成具有一偵測窗口的研磨墊240，其中透明熱固性塑料210處即作為偵測窗口之用，而且整個研磨墊240的研磨速率都是一致的，也就是研磨墊240中高分子發(fā)泡體220的研磨速率等于偵測窗口的研磨速率。
為了使透明熱固性塑料210、高分子發(fā)泡體220及高分子材質(zhì)層222的黏著性更佳，因此本發(fā)明還包括在透明熱固性塑料210的側(cè)緣涂布上一未完全反應(yīng)材料，而此未完全反應(yīng)材料例如是一熱感式黏膠250，如圖12所示。其中，熱感式黏膠250的功能可以使透明熱固性塑料210、高分子發(fā)泡體220及高分子材質(zhì)層222的化學(xué)連結(jié)，進而增加透明熱固性塑料210、高分子發(fā)泡體220及高分子材質(zhì)層222的黏著性。
特別值得一提的是，在第一實施例與第二實施例中的透明偵測窗口110、210，亦可以將成其底部設(shè)計成曲面的底部(如圖13所示)。換言之，透明偵測窗口110、210中心位置的厚度較厚而其邊緣位置的厚度較薄，此種設(shè)計可以抵抗因研磨墊140、240上偵測窗口110、210與其它部分因材質(zhì)相異而可能在一體成型后會造成形變的情形。
綜上所述，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點1、本發(fā)明的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法可通過透明熱固性塑料與高分子發(fā)泡體同時硬化的因素，以減少透明熱固性塑料與高分子發(fā)泡體間產(chǎn)生形變或翹曲的現(xiàn)象，進而可以增加研磨墊的平坦度。
2、本發(fā)明的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法可以在透明熱固性塑料上涂布一未完成反應(yīng)材料，進而增加透明熱固性塑料與研磨墊的黏著性，因此可以降低研磨液從透明熱固性塑料及高分子發(fā)泡體之間的縫細滲漏。而研磨墊的研磨速率等于于透明窗口的研磨速率，可以降低研磨墊研磨時晶圓表面產(chǎn)生缺陷的機會，進而使晶圓表面更平坦、更光滑。
3、本發(fā)明的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法可將透明熱固性塑料的側(cè)緣做成凹凸面的形狀，增加其與高分子發(fā)泡體的接觸面積，使兩者之間的接觸性更好。
雖然本發(fā)明已以一較佳實施例公開如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此技術(shù)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準。
權(quán)利要求
1.一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該方法包括提供一模具及一透明熱固性塑料，其中該模具具有一模腔，且該透明熱固性塑料未完全硬化；于該模具內(nèi)預(yù)埋入該透明熱固性塑料；于該模具的該模腔中注入一高分子發(fā)泡體，其中該高分子發(fā)泡體及該透明熱固性塑料同時完全硬化；于該模具脫模后即形成具有一偵測窗口的一研磨墊。
2.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的材質(zhì)選自一全透明高分子材質(zhì)及一半透明高分子材質(zhì)其中之一。
3.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的材質(zhì)選自壓克力樹脂(PMMA)、聚脲酯(PU)、聚氯乙烯(PVC)、環(huán)氧樹脂(EPOXY)以及不飽和聚酯(UP)其中之一。
4.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的硬度為70 ShoreA至75 Shore D。
5.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的中心位置的厚度較其邊緣位置的厚度厚。
6.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該高分子發(fā)泡體的材質(zhì)包括聚脲酯(PU)發(fā)泡體。
7.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的形狀選自橢圓形、方形及圓形其中之一。
8.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于透明熱固性塑料的側(cè)緣為一凹凸面。
9.如權(quán)利要求8所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該凹凸面選自螺旋面、波紋面及顆粒面其中之一。
10.如權(quán)利要求1所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其中該研磨墊的研磨速度等于該偵測窗口的研磨速度。
11.一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該方法包括提供一模具及一透明熱固性塑料，其中該模具具有一模腔，且該透明熱固性塑料未完全硬化；于該模具內(nèi)預(yù)埋入該透明熱固性塑料；于該模具的該模腔中注入一高分子發(fā)泡體；于該模腔內(nèi)的該高分子發(fā)泡體上注入另一高分子材質(zhì)層，其中該高分子發(fā)泡體、該高分子材質(zhì)層以及該透明熱固性塑料同時完全硬化；于該模具脫模后即形成具有一偵測窗口的一研磨墊。
12.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的材質(zhì)選自一全透明高分子材質(zhì)及一半透明高分子材質(zhì)其中之一。
13.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的材質(zhì)選自壓克力樹脂(PMMA)、聚脲酯(PU)、聚氯乙烯(PVC)、環(huán)氧樹脂(EPOXY)以及不飽和聚酯(UP)其中之一。
14.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的硬度為70 Shore A至75 Shore D。
15.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的中心位置的厚度較其邊緣位置的厚度厚。
16.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該高分子發(fā)泡體的材質(zhì)包括聚脲酯發(fā)泡體。
17.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該高分子材質(zhì)層的材質(zhì)選自聚脲酯(PU)、硅橡膠(Silicone rubber)、聚丁基橡膠(PBR)、聚氯乙烯乳膠(PVC latex)以及聚丙烯酸系乳膠(PMMAlatex)其中之一。
18.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的形狀選自橢圓形、方形及圓形其中之一。
19.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的側(cè)緣為一凹凸面。
20.如權(quán)利要求19所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該凹凸面選自螺旋面、波紋面及顆粒面其中之一。
21.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該高分子發(fā)泡體的硬度大于該高分子材質(zhì)層的硬度。
22.如權(quán)利要求21所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該高分子發(fā)泡體的硬度介于30 Shore D至80 Shore D之間。
23.如權(quán)利要求21所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該高分子材質(zhì)層的硬度介于5 Shore A至60 Shore A之間。
24.如權(quán)利要求11所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該研磨墊的研磨速度等于該偵測窗口的研磨速度。
25.一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該方法包括提供一模具及一透明熱固性塑料，其中該模具具有一模腔，且該透明熱固性塑料未完全硬化；于該模具內(nèi)預(yù)埋入該透明熱固性塑料，且于該透明熱固性塑料的側(cè)緣涂布一未完全反應(yīng)材料；于該模具的該模腔中注入一高分子發(fā)泡體，并使該未完全反應(yīng)材料與該高分子發(fā)泡體化學(xué)連結(jié)，其中該未完全反應(yīng)材料、該透明熱固性塑料與該高分子發(fā)泡體同時完全硬化；于該模具脫模后即形成具有一偵測窗口的一研磨墊。
26.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的材質(zhì)選自一全透明高分子材質(zhì)及一半透明高分子材質(zhì)其中之一。
27.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料材質(zhì)選自壓克力樹脂(PMMA)、聚脲酯(PU)、聚氯乙烯(PVC)、環(huán)氧樹脂(EPOXY)以及不飽和聚酯(UP)其中之一。
28.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其中該透明熱固性塑料的硬度為70 Shore A至75 Shore D。
29.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的中心位置的厚度較其邊緣位置的厚度厚。
30.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該高分子發(fā)泡體材質(zhì)包括聚脲酯發(fā)泡體。
31.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該未完全反應(yīng)材料包括一熱感式黏膠。
32.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的形狀選自橢圓形、方形及圓形其中之一。
33.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該透明熱固性塑料的側(cè)緣為一凹凸面。
34.如權(quán)利要求33所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該凹凸面選自螺旋面、波紋面及顆粒面其中之一。
35.如權(quán)利要求25所述的具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，其特征在于該研磨墊的研磨速度等于該偵測窗口的研磨速度。
全文摘要
一種具有偵測窗口的研磨墊的制造方法，此方法首先提供一模具及一透明熱固性塑料，其中模具具有一模腔，且透明熱固性塑料未完全硬化。接著，于模具內(nèi)預(yù)埋入透明熱固性塑料，然后于模具的模腔中注入一高分子發(fā)泡體，其中高分子發(fā)泡體及透明熱固性塑料同時完全硬化。之后，于模具脫膜后即形成具有一偵測窗口的一研磨墊。此外，透明偵測窗口也可以設(shè)計成其中心位置較厚而邊緣位置較薄，以抵抗研磨墊上因偵測窗口與其它區(qū)域不同材質(zhì)在一體成型后可能會造成的形變的情形。
文檔編號B24B37/20GK1506211SQ0215540
公開日2004年6月23日 申請日期2002年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月6日
發(fā)明者施文昌, 張永忠, 朱明癸, 魏隆誠 申請人:智勝科技股份有限公司