專利名稱：高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空鍍膜機(jī)，特別是公開一種高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)，應(yīng)用于電子元器件、包裝材料的鍍膜。
背景技術(shù)：
目前，國內(nèi)市場的真空鍍膜機(jī)，基本上采用真空蒸發(fā)、濺射、離子等方式進(jìn)行真空鍍膜，一般只能在塑料薄膜上鍍鋁，幾乎沒有真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行鋅、鋁鍍膜，鋅鋁真空鍍膜國產(chǎn)設(shè)備很少，國外進(jìn)口的鋅鋁真空鍍膜機(jī)價(jià)格昂貴，采用冷凝捕集泵俗稱冷阱式作為第二套抽真空系統(tǒng)，由于該結(jié)構(gòu)工藝復(fù)雜、制造成本高，使用效果差，形成系統(tǒng)的運(yùn)行成本過高。專利號；03116389.0，名稱為一種鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，雖然能在非導(dǎo)電介質(zhì)薄膜上進(jìn)行真空鋅鋁蒸發(fā)鍍膜，但無法在非導(dǎo)電介質(zhì)薄膜上實(shí)現(xiàn)高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜，難以適應(yīng)現(xiàn)代化建設(shè)中的高科技項(xiàng)目或現(xiàn)有產(chǎn)品的升級換代。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開一種高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)，目的在于對現(xiàn)有技術(shù)的鋅鋁真空鍍膜機(jī)加以改造。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的一種鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括由卷繞室16、鍍膜室19和網(wǎng)絡(luò)板20組成的真空室6，由擴(kuò)散泵7、羅茨泵11、9、滑閥泵8及閥門10組成第一抽真空系統(tǒng)和冷阱式的第二抽真空系統(tǒng)以及以及傳膜機(jī)構(gòu)(5)和蒸發(fā)源(17)，所述的第二抽真空系統(tǒng)采用非冷凝捕集泵，是由滑閥泵15、羅茨泵14、二個增壓泵12和13、閥門10-1依次串聯(lián)連接，二個增壓泵相互并聯(lián)，然后與上述其他元件串聯(lián)連接，組成第二抽真空系統(tǒng)，第二抽真空系統(tǒng)接通真空室。其特征在于所述的傳膜機(jī)構(gòu)由二并列的主軸5-1和導(dǎo)向軸5-5、展平軸5-2、放卷軸5-3和收卷軸5-4組成，都安裝在傳膜架機(jī)箱4上，主軸中下方放置蒸發(fā)源17，膜從放卷軸到收卷軸的傳動，能使膜的雙面鍍上金屬膜。
本發(fā)明的有益效果是不僅組成的真空室中的第二抽真空系統(tǒng)取代了冷凝捕集泵，克服了現(xiàn)有技術(shù)中制造成本和運(yùn)行成本過高的缺陷，而且保持了專利號為03116389.0，名稱為一種鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的設(shè)備的特性，又克服了只能在非導(dǎo)電介質(zhì)薄膜上進(jìn)行單面真空鋅鋁蒸發(fā)鍍膜的缺陷，實(shí)現(xiàn)在非導(dǎo)電介質(zhì)薄膜上進(jìn)行高真空狀態(tài)下蒸發(fā)的雙面金屬化鍍膜，實(shí)現(xiàn)鍍膜機(jī)的更新?lián)Q代，極大地提高了國內(nèi)電子元器件、包裝材料的質(zhì)量品位，特別是提升了國內(nèi)電子元器件制造與國際先進(jìn)水平接軌，社會效益和經(jīng)濟(jì)效益明顯。
四

附圖1為本發(fā)明高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2為附圖1的局部A-A剖面?zhèn)髂C(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
其中1、底架；2、主機(jī)架；2-1、副機(jī)架；3、冷凍柜；4、傳膜架機(jī)箱；5、傳膜機(jī)構(gòu)；5-1、主軸；5-2、展平軸；5-3、放卷軸；5-4、收卷軸；5-5、導(dǎo)向軸；5-6、起重架；6、真空室；7、擴(kuò)散泵；8、滑閥泵；9、羅茨泵；10、閥門；10-1、閥門；11、羅茨泵；12、增壓泵；13、增壓泵；14、羅茨泵；15、滑閥泵；16、卷繞室；17、蒸發(fā)源；17-1、鋅坩鍋；17-2、鋁坩鍋；18、加熱控制箱；19、鍍膜室；20、網(wǎng)格板；21、屏蔽支架。
五具體實(shí)施例方式以下用不同的連接方式對本發(fā)明高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)作進(jìn)一步描述實(shí)施例1見附圖1，實(shí)行電腦控制的整機(jī)座落在底架1上，底架1上設(shè)有軌道，通過主機(jī)架2的滾輪可以將座落在主機(jī)架2上的冷凍柜3、與冷凍柜3并接的傳膜架機(jī)箱4和傳膜架機(jī)箱4上設(shè)有主軸5-1、展平軸5-2、放卷軸5-3、收卷軸5-4、導(dǎo)向軸5-5、屏蔽支架21沿軌道運(yùn)動，真空室6包括網(wǎng)格板20相隔并相通的卷繞室16、鍍膜室19兩部份，固定于底架1上，真空室6的卷繞室16的開口朝向主軸4和傳膜機(jī)構(gòu)5，鍍膜室19的開口朝向蒸發(fā)源17，蒸發(fā)源17上按先后分別置有鋅坩堝17-1、鋁坩鍋17-2，蒸發(fā)源17固定在加熱控制箱18側(cè)壁，加熱控制箱18和蒸發(fā)源17可以通過副機(jī)架2-1的滾輪經(jīng)軌道在底架1上移動，真空室6外接第一真空系統(tǒng)，通過管道擴(kuò)散泵7接通鍍膜室19，然后加入閥門接通羅茨泵11，閥門10和羅茨泵11間并接管道連通真空室內(nèi)，閥門10與真空室的卷繞室16相通，羅茨泵11接通羅茨泵9，羅茨泵9外再接入滑閥泵8，滑閥泵8另一端與大氣相通；同時，第二真空系統(tǒng)由二臺增壓泵12、13并聯(lián)，由管道、閥門10-1連通真空室6的卷繞室16，另一端通過管道連接羅茨泵14和滑閥泵15，滑閥泵15的另一端與大氣相通，起重架5-6裝置在傳膜架機(jī)箱4上端，用于起吊鍍膜所需的物件。
根據(jù)附圖1，整機(jī)實(shí)行電腦控制，起重架5-6吊起整卷塑料薄膜，裝入傳膜機(jī)構(gòu)5的儲膜架上，經(jīng)二主軸將塑料薄膜移至傳膜架機(jī)箱4的收卷軸上；冷凍柜3起動，通過管件進(jìn)入二主軸作循環(huán)運(yùn)動，使主軸冷卻至-10℃；設(shè)在主機(jī)架右側(cè)的機(jī)件，包括二主軸、冷凍柜3、屏蔽支架21在內(nèi)，參照附圖2，通過滾輪在底架1的軌道上向前行進(jìn)，膜經(jīng)過二主軸及導(dǎo)向軸、展平軸的傳動，主軸底下的蒸發(fā)源將膜正、反兩面都鍍上金屬膜。使傳膜機(jī)構(gòu)5、屏蔽支架21和傳膜機(jī)構(gòu)5上的塑料薄膜分別進(jìn)入真空室6的卷繞室16和鍍膜室19，推緊密封后停止工作；同時，設(shè)在副機(jī)架2-1上的加熱控制箱18和與其固定的蒸發(fā)源17帶著鋅坩鍋17-1、鋁坩鍋17-2通過滾輪沿軌道進(jìn)入鍍膜室19，此時的鋅坩鍋17-1溫度恒定在515℃±10，350mm±10/s速度送絲；鋁坩鍋17-2溫度恒定在1500℃±10，推進(jìn)至密封位置后停止推進(jìn)，使鋅、鋁蒸發(fā)成氣體；打開閥門10、10-1，第一真空系統(tǒng)啟動，第二真空系統(tǒng)啟動，抽取真空室6的空氣成真空，鍍膜室19達(dá)-4×10-4，卷繞室16達(dá)-6×10-2，關(guān)閉閥門10、10-1保壓，主軸5-1轉(zhuǎn)動，以8m/s速度轉(zhuǎn)動，收卷軸5-4開始收卷，先在塑料薄膜上鍍鋁后，再在鋁膜上鍍鋅，中間根據(jù)尺寸要求，按產(chǎn)品要求設(shè)定的時間，起動屏蔽支架21，遮住塑料薄膜，鋁、鋅無法著床，鋅鋁膜被切斷，得到塑料薄膜上被間隔切斷的整卷鋅鋁薄膜；打開閥門10、10-1真空室6進(jìn)入空氣，恢復(fù)大氣壓力，主機(jī)架右側(cè)的機(jī)件，包括二主軸5-1、冷凍柜3、屏蔽支架21在內(nèi)通過滾輪在底架1的軌道上向后行進(jìn)，使傳膜機(jī)構(gòu)5、屏蔽支架21和傳膜機(jī)構(gòu)5上的塑料薄膜退出真空室6的卷繞室16和鍍膜室19，同時冷凍柜3冷凍機(jī)停止工作，起動冷凍柜3的加熱裝置，加熱二主軸至常溫，由打開的真空室6的右邊，根據(jù)需要加入鋁后，進(jìn)入下一個工作循環(huán)。
另外，在蒸發(fā)過程中，現(xiàn)有技術(shù)對于產(chǎn)品留邊加厚發(fā)現(xiàn)有偏差，必須停車調(diào)整，而本發(fā)明在鋅坩鍋上增設(shè)一套位置自動調(diào)整裝置。
實(shí)施例2見附圖1，第二真空系統(tǒng)為一臺增壓泵12，由管道、閥門10-1連通真空室6的卷繞室16，另一端通過管道連接羅茨泵14、滑閥泵15，滑閥泵15的另一端與大氣相通，其余與實(shí)施例1相同，不再作重復(fù)敘述；本發(fā)明的特點(diǎn)是由于采用二主軸5-1，鍍膜過程中傳膜機(jī)構(gòu)使膜走向的改變，從現(xiàn)有技術(shù)的只能單面鍍膜變?yōu)殡p面鍍膜，實(shí)現(xiàn)了鍍膜機(jī)的更新?lián)Q代，極大地提高了國內(nèi)電子器材、包裝材料的等級和水平。
權(quán)利要求
1.一種高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)，包括卷繞室(16)、鍍膜室(19)和網(wǎng)絡(luò)板(20)組成的真空室(6)，擴(kuò)散泵(7)、閥門(10)、羅茨泵(11)、(9)、滑閥泵(8)組成第一抽真空系統(tǒng)和冷阱式的第二抽真空系統(tǒng)以及傳膜機(jī)構(gòu)(5)和蒸發(fā)源(17)，所述的第二抽真空系統(tǒng)采用非冷凝捕集泵，是由滑閥泵(15)、羅茨泵(14)、二個增壓泵(12)和(13)、閥門(10-1)依次串聯(lián)連接，二個增壓泵相互并聯(lián)，然后與上述其他元件串聯(lián)連接，組成第二抽真空系統(tǒng)，第二抽真空系統(tǒng)接通真空室，其特征在于所述的傳膜機(jī)構(gòu)由二并列的主軸(5-1)和導(dǎo)向軸(5-5)、展平軸(5-2)、放卷軸(5-3)和收卷軸(5-4)組成，都安裝在傳膜架機(jī)箱(4)上，主軸中下方放置蒸發(fā)源(17)，膜從放卷軸到收卷軸的傳動，能使膜的雙面鍍上金屬膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)，其特征在于膜的雙面金屬鍍膜可為一種或二種或二種以上。
全文摘要
本發(fā)明為一種高真空蒸發(fā)雙面金屬化鍍膜機(jī)，包括由卷繞室、鍍膜室和網(wǎng)絡(luò)板組成的真空室，由擴(kuò)散泵、羅茨泵、滑閥泵及閥門組成第一抽真空系統(tǒng)和冷阱式的第二抽真空系統(tǒng)以及蒸發(fā)源，所述的第二抽真空系統(tǒng)采用非冷凝捕集泵，是由滑閥泵、羅茨泵、二個增壓泵和閥門依次串聯(lián)連接，二個增壓泵相互并聯(lián)，然后與上述其他元件串聯(lián)連接，組成第二抽真空系統(tǒng)。其特征在于所述的傳膜機(jī)構(gòu)由二并列的主軸和導(dǎo)向軸、展平軸、放卷軸和收卷軸組成，都安裝在傳膜架機(jī)箱上，主軸中下方放置蒸發(fā)源，膜從放卷軸到收卷軸的傳動，能使膜的雙面鍍上金屬膜。本發(fā)明的有益效果是克服了現(xiàn)有技術(shù)只能單面鍍膜的不足，實(shí)現(xiàn)了雙面鍍膜，極大地提高了國內(nèi)電子器材、包裝材料的等級和水平，同時提高了工作效果，本發(fā)明的應(yīng)用具有明顯的社會效益和經(jīng)濟(jì)效益。
文檔編號C23C14/24GK1712554SQ20051002576
公開日2005年12月28日 申請日期2005年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月11日
發(fā)明者唐玉宇 申請人:上海奧移電器有限公司