一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置，屬于真空鍍膜和表面加工領(lǐng)域，可應(yīng)用于各種真空蒸鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)。所述自動(dòng)送料裝置包括真空腔室，還包括固定在真空腔室外部的動(dòng)力單元及固定在真空腔室內(nèi)部的自動(dòng)送絲組件，所述動(dòng)力單元與自動(dòng)送絲組件通過(guò)磁流體密封軸連接；其中自動(dòng)送絲組件包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、絲錕、送絲導(dǎo)向器及蒸鍍單元。本發(fā)明的有益效果：通過(guò)調(diào)速電機(jī)提供動(dòng)力，可持續(xù)進(jìn)行送絲，實(shí)現(xiàn)連續(xù)鍍膜。節(jié)省了很多時(shí)間、人力和物力。并通過(guò)感控裝置，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制連續(xù)鍍膜的穩(wěn)定性及連續(xù)性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置，屬于真空鍍膜和表面加工領(lǐng)域，可應(yīng)用于各種真空蒸鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)。

【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜是現(xiàn)代制造業(yè)和表面處理工業(yè)中一項(xiàng)十分重要的技術(shù)，尤其是近年來(lái)隨著信息技術(shù)和電子產(chǎn)品的迅猛發(fā)展，真空鍍膜在制備和加工光學(xué)與電子器件等領(lǐng)域的應(yīng)用也得到進(jìn)一步的促進(jìn)。其中，真空熱蒸發(fā)鍍膜即蒸鍍?cè)O(shè)備因其能快速、方便地沉積各種材質(zhì)的薄膜和相對(duì)低廉的成本而得到廣泛應(yīng)用。真空蒸鍍技術(shù)是通過(guò)電阻加熱、感應(yīng)加熱、激光加熱、等離子體加熱或者電子束轟擊等多種方式使原材料升華或者蒸發(fā)成為高溫蒸汽，再冷卻沉積到塑料、金屬、陶瓷和玻璃等各種材質(zhì)的基體上形成具有一定功能的薄膜。
[0003]在真空蒸鍍時(shí)，基底狀態(tài)和腔室環(huán)境相對(duì)容易保持穩(wěn)定，但蒸發(fā)原料的持續(xù)消耗會(huì)對(duì)鍍膜過(guò)程和質(zhì)量造成一些負(fù)面影響。對(duì)于短期的薄膜沉積，由于蒸發(fā)原料不會(huì)大幅度地消耗，所以不需要補(bǔ)充原料，蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率即氣體分子的輸出量也很穩(wěn)定，因此沉積過(guò)程和薄膜的性狀都能保持穩(wěn)定、均勻。但是，當(dāng)需要長(zhǎng)期連續(xù)鍍膜時(shí)，比如大面積沉積、厚膜沉積或者多工件連續(xù)沉積等情形下，蒸發(fā)原料往往需要一次甚至多次補(bǔ)充。如果原料補(bǔ)充需要反復(fù)進(jìn)行打開(kāi)腔室、增補(bǔ)原料和重新抽真空的過(guò)程，會(huì)給真空蒸鍍帶來(lái)巨大的額外成本，并在很大程度上影響鍍膜的質(zhì)量。連續(xù)、高效率地制備大量高質(zhì)量薄膜是現(xiàn)代制造業(yè)對(duì)真空蒸鍍提出的重要客觀要求，因此怎樣提高補(bǔ)充蒸發(fā)原料的效率并降低原料補(bǔ)充過(guò)程對(duì)連續(xù)真空蒸鍍膜質(zhì)量的影響是真空蒸鍍行業(yè)亟待解決的問(wèn)題。
[0004]針對(duì)這一焦點(diǎn)問(wèn)題，從上世紀(jì)后半葉開(kāi)始不少業(yè)內(nèi)人士和研究人員就開(kāi)始給出許多不同的解決方案，但也不斷涌現(xiàn)新的問(wèn)題。來(lái)自美國(guó)德拉維爾大學(xué)的研究小組曾在美國(guó)專(zhuān)利US4401052A和US4325986A中分別提出過(guò)兩腔室和多腔室的設(shè)計(jì)方案，通過(guò)閥門(mén)的開(kāi)閉使設(shè)備始終保持有一個(gè)腔室處在真空工作環(huán)境，而其他腔室可以在常壓下進(jìn)行填料工作。這種設(shè)計(jì)可以節(jié)約抽真空的成本，同時(shí)也可以提供多蒸發(fā)源以滿(mǎn)足復(fù)雜組分薄膜的制備。無(wú)獨(dú)有偶，中國(guó)專(zhuān)利CN201020188782和CN201310092816也分別提出了主副腔和多腔室的設(shè)計(jì)，主腔蒸鍍，副腔送料。而中國(guó)專(zhuān)利CN201320858786更簡(jiǎn)潔地將多個(gè)坩堝放在腔室內(nèi)，通過(guò)調(diào)整熱源位置實(shí)現(xiàn)了原料補(bǔ)充。還有一些設(shè)備直接使用了超大坩堝和過(guò)量的原料來(lái)保證原料的供應(yīng)。綜合上述這些結(jié)果不難看出，多腔室、多坩堝和超大坩堝都能降低換料成本并提高蒸鍍效率。但是，這些方案的共同缺點(diǎn)是在換料的時(shí)候，蒸發(fā)速率會(huì)發(fā)生改變，影響薄膜的連續(xù)、均勻生長(zhǎng)。比如多坩堝或者多腔室在更換原料時(shí)，新料會(huì)比即將耗盡的舊料產(chǎn)生更大的蒸發(fā)速率；而一次放入過(guò)量原料時(shí)，由于原料在一段較長(zhǎng)時(shí)間不斷消耗并縮小體積，其蒸發(fā)速率會(huì)隨時(shí)間線性下降。
[0005]還有一些巧妙的設(shè)計(jì)能在特定的領(lǐng)域和范圍內(nèi)既解決換料效率問(wèn)題又保證薄膜的連續(xù)、均勻沉積。例如中國(guó)專(zhuān)利CN201320689762通過(guò)儲(chǔ)存蒸汽來(lái)保持蒸發(fā)源的連續(xù)供給，而CN200810123705的循環(huán)液體蒸發(fā)源也能提供連續(xù)的蒸發(fā)源，但是顯然這兩者只適用于沸點(diǎn)相對(duì)較低的液態(tài)有機(jī)物的蒸鍍。類(lèi)似的，中國(guó)專(zhuān)利CN201310045492提出了用管道運(yùn)送顆粒狀物料的方式，既不影響腔室的真空環(huán)境，小顆粒的物料形狀也能提供穩(wěn)定的蒸發(fā)速率，但其只適用于容易得到大量顆粒的原料，一些硬質(zhì)的原料要加工成大量顆粒本身就需要高額成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是提高真空蒸鍍?cè)O(shè)備的蒸發(fā)原料的供應(yīng)效率，在降低成本的同時(shí)提高其連續(xù)、均勻鍍膜的能力，是一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置。
[0007]—種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置，所述自動(dòng)送料裝置包括真空腔室，還包括固定在真空腔室外部的動(dòng)力單元及固定在真空腔室內(nèi)部的自動(dòng)送絲組件，所述動(dòng)力單元與自動(dòng)送絲組件通過(guò)磁流體密封軸連接；
其中自動(dòng)送絲組件包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、絲錕、送絲導(dǎo)向器及蒸鍍單元。
[0008]進(jìn)一步地，所述磁流體密封軸的一端置于真空腔室內(nèi)，并連接自動(dòng)送絲組件，所述磁流體密封軸另一端置于真空腔室外部，并連接動(dòng)力單元。
[0009]進(jìn)一步地，所述主動(dòng)輪固定連接在磁流體密封軸的一端上，所述從動(dòng)輪固定在真空腔室內(nèi)壁上，并與主動(dòng)輪相互嚙合，嚙合處中心設(shè)有一卡槽，所述絲錕處于主動(dòng)輪上方，所述送絲導(dǎo)向器固定在真空腔室內(nèi)壁上，并所述送絲導(dǎo)向器一端位置對(duì)應(yīng)卡槽，另一端位置對(duì)應(yīng)蒸鍍單元。
[0010]進(jìn)一步地，所述自動(dòng)送料裝置還包括一中控裝置、調(diào)溫裝置及感控裝置，所述感控裝置包括發(fā)光源與光電傳感器，所述發(fā)光源與光電傳感器分置于被鍍膜設(shè)備兩側(cè)，所述被鍍膜設(shè)備置于蒸鍍單元上方，所述調(diào)溫裝置、光電傳感器及動(dòng)力單元均連接在中裝置上。
[0011]進(jìn)一步地，所述鍍膜厚度為a時(shí)候，對(duì)應(yīng)光電傳感器的電流大小為X，厚度在a+b時(shí)候，光電傳感器接收的光照變少，電流大小為x-y，厚度超過(guò)a+b后，中控裝置接收到光電傳感器的電流大小低于x-y，中控裝置調(diào)控調(diào)速電機(jī)轉(zhuǎn)速降低，并調(diào)控調(diào)溫裝置降低溫度；
當(dāng)厚度在a-b時(shí)候，光電傳感器接收的光照變多，電流大小增減為χ+y，一旦厚度低于a-b后，中控裝置接收到光電傳感器的電流大小高于x+y，中控裝置調(diào)控調(diào)速電機(jī)提升轉(zhuǎn)速，提高送絲速度，并調(diào)控調(diào)溫裝置提升溫度。
[0012]進(jìn)一步地，所述主動(dòng)輪、從動(dòng)輪與絲錕處在同一條直線上。
[0013]進(jìn)一步地，自動(dòng)送絲組件還包括從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)，所述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)固定在真空腔室內(nèi)壁底部，所述從動(dòng)輪固定在從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)上。
[0014]進(jìn)一步地，所述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)包括壓緊板與調(diào)節(jié)螺釘，所述壓緊板通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘固定在真空腔室內(nèi)部底部。
[0015]進(jìn)一步地,所述卡槽內(nèi)徑調(diào)節(jié)范圍在0.5mnT5mm。
[0016]進(jìn)一步地，所述蒸鍍單元為蒸鍍坩堝；所述動(dòng)力單元包括調(diào)速電機(jī)。
[0017]本發(fā)明的有益效果:通過(guò)調(diào)速電機(jī)提供動(dòng)力，可持續(xù)進(jìn)行送絲，實(shí)現(xiàn)連續(xù)鍍膜。節(jié)省了很多時(shí)間、人力和物力。并通過(guò)感控裝置，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制連續(xù)鍍膜的穩(wěn)定性及連續(xù)性。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是本發(fā)明涉及一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置的主視圖；
圖2是本發(fā)明涉及一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置的左視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0019]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)描述。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0020]相反，本發(fā)明涵蓋任何由權(quán)利要求定義的在本發(fā)明的精髓和范圍上做的替代、修改、等效方法以及方案。進(jìn)一步，為了使公眾對(duì)本發(fā)明有更好的了解，在下文對(duì)本發(fā)明的細(xì)節(jié)描述中，詳盡描述了一些特定的細(xì)節(jié)部分。對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)沒(méi)有這些細(xì)節(jié)部分的描述也可以完全理解本發(fā)明。
[0021]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方法對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)地描述。
[0022]如圖1、圖2所示，本發(fā)明是一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置，所述自動(dòng)送料裝置包括真空腔室、自動(dòng)送絲組件、動(dòng)力單元及磁流體密封軸7。自動(dòng)送絲組件包括主動(dòng)輪2、從動(dòng)輪3、從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)4、絲錕5、絲錕固定軸6、送絲導(dǎo)向器8及蒸鍍單元蒸發(fā)坩堝9 ;動(dòng)力單元包括調(diào)速電機(jī)I。
[0023]上述磁流體密封軸7作為真空腔室的密封裝置，保證真空腔室內(nèi)部在工作時(shí)處于真空狀態(tài)，同時(shí)作為連接自動(dòng)送絲組件與動(dòng)力單元的設(shè)備，磁流體密封軸7 —端置于真空腔室內(nèi)，與自動(dòng)送絲組件中的主動(dòng)輪2相連，另一端置于真空腔室外，與動(dòng)力單元調(diào)速單元I相連，上述磁流體密封軸7、主動(dòng)輪2與調(diào)速單元I的中心軸在一條直線上，貫穿真空腔室內(nèi)部與外部，上述調(diào)速電機(jī)I位于真空腔室外部作為自動(dòng)送料裝置的動(dòng)力源，上述調(diào)速電機(jī)I提供的電動(dòng)驅(qū)動(dòng)力由上述磁流體密封軸7傳遞給位于真空腔室內(nèi)部的主動(dòng)輪2。
[0024]獲得電動(dòng)驅(qū)動(dòng)力的上述主動(dòng)輪2旋轉(zhuǎn)工作，位于真空腔室內(nèi)部的從動(dòng)輪3固定在上述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)4上，上述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)4由調(diào)節(jié)螺釘、壓緊板組成，壓緊板設(shè)有調(diào)節(jié)螺釘卡槽，通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘將壓緊板固定在真空腔室內(nèi)部的底部，通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)螺釘可以升降壓緊板，從動(dòng)輪3固定在壓緊板上部，從動(dòng)輪3將隨著壓緊板的升降而升降，上述從動(dòng)輪3與上述主動(dòng)輪2嚙合，主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3嚙合位置中心處有卡槽，通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)螺釘升降壓緊板從而調(diào)節(jié)從動(dòng)輪3與主動(dòng)輪2的嚙合，可以改變卡槽的內(nèi)徑大小，卡槽內(nèi)徑大小調(diào)節(jié)的范圍在0.5mm與5mm之間,卡槽作為蒸發(fā)絲材的出絲口，通過(guò)調(diào)節(jié)卡槽的內(nèi)徑獲得需要的蒸發(fā)絲材的直徑。
[0025]蒸鍍過(guò)程成需要的蒸發(fā)絲材纏繞在上述絲錕5上，蒸發(fā)絲材纏繞量根據(jù)實(shí)際蒸鍍需要而定，由于蒸發(fā)絲材纏繞在上述絲錕5上，所占體積少，可以通過(guò)上述絲錕5存儲(chǔ)大量的蒸發(fā)絲材，將纏好的絲錕5固定在上述絲錕固定軸6上，絲錕固定軸6安裝在真空腔室內(nèi)部的一側(cè)，與上述送絲導(dǎo)向器8固定面是相互垂直的，但不限于上述位置，上述主動(dòng)輪2、從動(dòng)輪3與絲錕5的中心軸在一條直線上。
[0026]上述從動(dòng)輪3與上絲錕5沒(méi)有動(dòng)力源，獲得動(dòng)力源的主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3嚙合，主動(dòng)輪2將帶動(dòng)從動(dòng)輪3旋轉(zhuǎn)，蒸發(fā)絲材位于主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3嚙合位置中心的卡槽內(nèi)，通過(guò)摩擦力，蒸發(fā)絲材將一定的速度從卡槽出絲，蒸發(fā)絲材出絲將帶動(dòng)上述絲錕5的旋轉(zhuǎn)，使得絲錕5源源不斷傳輸蒸發(fā)絲材，從卡槽出來(lái)的蒸發(fā)絲材通過(guò)上述送絲導(dǎo)向器8傳輸?shù)缴鲜稣舭l(fā)坩堝9進(jìn)行蒸鍍。上述蒸發(fā)坩堝9安裝在真空腔室內(nèi)部底側(cè)，與上述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)4在一側(cè)。蒸發(fā)絲材的送絲速率由主動(dòng)輪2的旋轉(zhuǎn)速度確定，上述主動(dòng)輪2的旋轉(zhuǎn)速度由上述調(diào)速電機(jī)I的功率確定，通過(guò)設(shè)置調(diào)速電機(jī)I的功率確定主動(dòng)輪2的旋轉(zhuǎn)速度，從而確定蒸發(fā)絲材的送絲速率，送絲速率的范圍在lmm/min與200mm/min之間。
[0027]上述調(diào)速電機(jī)I開(kāi)啟工作狀態(tài)之前，首先確定需要蒸鍍的蒸發(fā)絲材量，并將蒸發(fā)絲材纏繞在上述絲錕5上，纏好的絲錕5固定在上述絲錕固定軸6上。閉合真空腔室，根據(jù)要求的真空腔室的真空度，對(duì)真空腔室抽空，保證真空腔室的真空度為規(guī)定的數(shù)值。根據(jù)蒸發(fā)絲材的蒸發(fā)溫度，對(duì)真空腔室進(jìn)行加熱。上述磁流體密封軸7是真空腔室的密封裝置，同時(shí)作為連接自動(dòng)送絲組件與動(dòng)力單元的設(shè)備。磁流體密封軸7 —端置于真空腔室內(nèi)，與自動(dòng)送絲組件中的主動(dòng)輪2相連，另一端置于真空腔室外，與動(dòng)力單元調(diào)速單元I相連。
[0028]當(dāng)真空腔室的條件滿(mǎn)足蒸鍍要求，將開(kāi)啟上述調(diào)速電機(jī)I的工作模式，根據(jù)已知的朗廖爾蒸發(fā)公式計(jì)算出蒸發(fā)絲材的蒸發(fā)速率，本發(fā)明還具有中控裝置及調(diào)溫裝置，所述中控裝置連接調(diào)速電機(jī)及調(diào)溫裝置，中控裝置將調(diào)節(jié)調(diào)速電機(jī)I的功率，從而確定蒸發(fā)絲材的送絲速率，在蒸鍍過(guò)程中，對(duì)蒸鍍層的厚度、蒸鍍面積有要求，在上述蒸發(fā)坩堝9還裝有一感控裝置，所述感控裝置具體為一光電傳感器及發(fā)光源，所述發(fā)光源與光電傳感器分置于被鍍膜設(shè)備的兩側(cè)，發(fā)光源發(fā)出光，光電傳感器接收光，其中發(fā)光源發(fā)出的光部分被鍍膜設(shè)備上已經(jīng)鍍好的膜所遮擋，所述在連續(xù)鍍膜時(shí)，當(dāng)膜厚度不均勻時(shí)候，光電傳感器接收的光照會(huì)發(fā)生變化，導(dǎo)致光電傳感器由光信號(hào)轉(zhuǎn)換得到的電流信號(hào)亦發(fā)生變化，光電傳感器連接中空裝置，當(dāng)蒸鍍層的厚度超過(guò)一定的閾值，光電傳感器將把相關(guān)數(shù)值反饋給中控裝置，中控裝置根據(jù)反饋的數(shù)值調(diào)節(jié)調(diào)速電機(jī)I的功率，從而調(diào)節(jié)送絲速率。
[0029]具體為所需鍍膜厚度為a，當(dāng)厚度在a±b之間，屬于允許變化范圍內(nèi)，是使用者感觸不到厚度變化的情況，及對(duì)應(yīng)鍍膜厚度為a時(shí)候，對(duì)應(yīng)的電流大小為X，厚度在a+b時(shí)候，光電傳感器接收的光照變少，電流大小為x_y，一旦厚度超過(guò)a+b后，中控裝置接收到光電傳感器的電流大小低于x-y，中控裝置立馬調(diào)控調(diào)速電機(jī)轉(zhuǎn)速降低，并降低溫度，降低送絲速度，減少蒸鍍量，實(shí)現(xiàn)降低鍍膜厚度。
[0030]當(dāng)厚度在a-b時(shí)候，光電傳感器接收的光照變多，電流大小增減為x+y。一旦厚度低于a-b后，中控裝置接收到光電傳感器的電流大小高于x+y，中控裝置立馬調(diào)控調(diào)速電機(jī)提升轉(zhuǎn)速，提高送絲速度，并提升溫度，增加蒸鍍量，實(shí)現(xiàn)增加鍍膜厚度。
[0031 ] 調(diào)速電機(jī)I的動(dòng)力源通過(guò)上述磁流體密封軸7傳遞給真空腔室內(nèi)的主動(dòng)輪2，上述主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3相互嚙合，嚙合位置的中心有卡槽，卡槽為蒸發(fā)絲材的出絲口，通過(guò)調(diào)節(jié)上述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)4調(diào)節(jié)卡槽的大小，根據(jù)蒸發(fā)絲材要求的直徑調(diào)節(jié)卡槽。獲得動(dòng)力源的主動(dòng)輪2帶動(dòng)從動(dòng)輪3旋轉(zhuǎn)，由上述絲錕5引出的蒸發(fā)絲材通過(guò)主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3相互嚙合的中心位置的卡槽出出絲，蒸發(fā)絲材由于摩擦力的驅(qū)動(dòng)力下，將帶動(dòng)絲錕旋轉(zhuǎn)，將源源不斷的送絲。從卡槽出出來(lái)的蒸發(fā)絲材通過(guò)上述送絲導(dǎo)向器8傳輸?shù)缴鲜稣舭l(fā)坩堝9進(jìn)行蒸鍍。蒸鍍結(jié)束后調(diào)速電機(jī)I停止工作。
[0032]下面結(jié)合附圖和上述對(duì)本發(fā)明進(jìn)行的連接關(guān)系的描述對(duì)本發(fā)明涉及的一種自動(dòng)送料裝置的工作流程圖作進(jìn)一步詳細(xì)地描述。
[0033]首先確定相關(guān)參數(shù)(坩堝蒸發(fā)面積、蒸發(fā)絲材的直徑、鍍膜真空度、蒸發(fā)溫度及蒸發(fā)速度)。將需要的蒸鍍的蒸發(fā)絲材纏繞在絲錕上，并固定絲錕固定軸上。
[0034]調(diào)節(jié)主動(dòng)輪與從動(dòng)輪相互嚙合中心是出的卡槽，通過(guò)從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)卡槽的大小。
[0035]封閉真空腔室，根據(jù)鍍膜真空度抽空真空腔室。
[0036]根據(jù)蒸發(fā)溫度，加熱真空腔室。
[0037]開(kāi)啟調(diào)速電機(jī)的工作模式，根據(jù)蒸發(fā)速率，調(diào)節(jié)調(diào)速電機(jī)的功率。
[0038]主動(dòng)輪旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)從動(dòng)輪工作，將從卡槽出來(lái)的蒸發(fā)絲材通過(guò)送絲導(dǎo)向器傳輸?shù)秸舭l(fā)坩堝去進(jìn)行蒸發(fā)蒸鍍。
[0039]蒸鍍結(jié)束，調(diào)速電機(jī)結(jié)束工作。
[0040]下面根據(jù)具體的實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置。
[0041]實(shí)施例1
使用本發(fā)明一種連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置為一批鋼板加鍍鋅鋁防護(hù)膜，分別使用兩組自動(dòng)送料裝置輸送鋅絲和鋁絲至兩個(gè)坩堝，鋅絲的直徑為2mm，送絲速率設(shè)置為5mm/min ;鋁絲的直徑為1mm，送絲速率為2mm/min，鍍膜真空度5.0X 10_3Pa，鋅絲蒸發(fā)溫度為500°C，鋁蒸發(fā)溫度為700°C。通過(guò)朗廖爾蒸發(fā)公式算出鋁鋅蒸發(fā)速率分別為0.23g/cm2.S、0.124g/cm2.s，然后計(jì)算計(jì)算鋁、鋅蒸發(fā)體積速率-M:6.47 X lO-W/s，招:9.18X10_2cm3/S。蒸發(fā)面積控制在12.68cm2 ;最后根據(jù)鋅、鋁絲截面積計(jì)算送絲速率:鋅為123.8cm/min,鋁為456cm/min。根據(jù)以上參數(shù)，首先將需要鋅絲與鋁絲分別纏繞在上述兩組自動(dòng)送料裝置的絲錕上；分別調(diào)節(jié)兩個(gè)真空腔室內(nèi)的真空度與真空腔室內(nèi)的溫度；分別調(diào)節(jié)兩組自動(dòng)送料裝置的從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)8，從而設(shè)置上述兩組自動(dòng)送料裝置中主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3之間的嚙合程度，使得經(jīng)過(guò)主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3嚙合形成的卡槽出來(lái)的鋅絲和鋁絲的直徑分別為2mm和1mm。為了保證上述兩組自動(dòng)送料裝置規(guī)定的送絲速率，分別調(diào)節(jié)上述兩組自動(dòng)送料裝置的調(diào)控電機(jī)1，上述調(diào)控電機(jī)I作為自動(dòng)送料裝備的動(dòng)力源，通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)控電機(jī)I的功率提供不同的動(dòng)力，通過(guò)磁流體密封軸7帶動(dòng)上述主從輪2工作，根據(jù)上述兩組自動(dòng)送料裝置需要的送絲速率，調(diào)節(jié)上述兩組自動(dòng)送料裝置里的調(diào)速電機(jī)I的工作功率。通過(guò)上述兩組自動(dòng)送料裝置的主動(dòng)輪2與從動(dòng)輪3嚙合形成的出絲口出來(lái)的蒸發(fā)絲材是符合蒸鍍要求的直徑的和送絲速率，將處理過(guò)的蒸發(fā)絲材通過(guò)上述送絲導(dǎo)向器8分別傳輸?shù)秸舭l(fā)坩堝9進(jìn)行蒸鍍，時(shí)兩種原料的蒸發(fā)速率和送絲速率剛好匹配，設(shè)備能夠在鋼板表面連續(xù)、均勻地沉積Al體積分?jǐn)?shù)約為10%的鋅鋁合金薄膜。
[0042]實(shí)施例2
使用連續(xù)真空蒸鍍?cè)O(shè)備為塑料布表面鍍制金屬化電極銅。與實(shí)施例1不同的是，本實(shí)施例只需要一個(gè)自動(dòng)送料裝置，蒸發(fā)絲材為銅，蒸發(fā)面積為5cm2，選擇銅絲直徑2mm，鍍膜真空度8.0 X 1-4Pa,設(shè)定銅蒸發(fā)溫度1200°C，結(jié)合坩堝蒸發(fā)面積可計(jì)算坩堝蒸發(fā)處的質(zhì)量速率:3.04X 10_2g/s。具體操作過(guò)程與實(shí)施例1相同。
【權(quán)利要求】
1.一種用于連續(xù)真空蒸鍍的自動(dòng)送料裝置，所述自動(dòng)送料裝置包括真空腔室，其特征在于:還包括固定在真空腔室外部的動(dòng)力單元及固定在真空腔室內(nèi)部的自動(dòng)送絲組件，所述動(dòng)力單元與自動(dòng)送絲組件通過(guò)磁流體密封軸連接； 其中自動(dòng)送絲組件包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、絲錕、送絲導(dǎo)向器及蒸鍍單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述磁流體密封軸的一端置于真空腔室內(nèi)，并連接自動(dòng)送絲組件，所述磁流體密封軸另一端置于真空腔室外部，并連接動(dòng)力單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述主動(dòng)輪固定連接在磁流體密封軸的一端上，所述從動(dòng)輪固定在真空腔室內(nèi)壁上，并與主動(dòng)輪相互嚙合，嚙合處中心設(shè)有一卡槽，所述絲錕處于主動(dòng)輪上方，所述送絲導(dǎo)向器固定在真空腔室內(nèi)壁上，并所述送絲導(dǎo)向器一端位置對(duì)應(yīng)卡槽，另一端位置對(duì)應(yīng)蒸鍍單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述自動(dòng)送料裝置還包括一中控裝置、調(diào)溫裝置及感控裝置，所述感控裝置包括發(fā)光源與光電傳感器，所述發(fā)光源與光電傳感器分置于被鍍膜設(shè)備兩側(cè)，所述被鍍膜設(shè)備置于蒸鍍單元上方，所述調(diào)溫裝置、光電傳感器及動(dòng)力單元均連接在中裝置上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述鍍膜厚度為a時(shí)候，對(duì)應(yīng)光電傳感器的電流大小為X，厚度在a+b時(shí)候，光電傳感器接收的光照變少，電流大小為x_y，厚度超過(guò)a+b后，中控裝置接收到光電傳感器的電流大小低于χ-y，中控裝置調(diào)控調(diào)速電機(jī)轉(zhuǎn)速降低，并調(diào)控調(diào)溫裝置降低溫度； 當(dāng)厚度在a-b時(shí)候，光電傳感器接收的光照變多，電流大小增減為x+y，一旦厚度低于a-b后，中控裝置接收到光電傳感器的電流大小高于x+y，中控裝置調(diào)控調(diào)速電機(jī)提升轉(zhuǎn)速，提高送絲速度，并調(diào)控調(diào)溫裝置提升溫度。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述主動(dòng)輪、從動(dòng)輪與絲錕處在同一條直線上。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述自動(dòng)送料裝置，其特征在于，自動(dòng)送絲組件還包括從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)，所述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)固定在真空腔室內(nèi)壁底部，所述從動(dòng)輪固定在從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述從動(dòng)輪壓緊機(jī)構(gòu)包括壓緊板與調(diào)節(jié)螺釘，所述壓緊板通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘固定在真空腔室內(nèi)部底部。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述卡槽內(nèi)徑調(diào)節(jié)范圍在0.5mm?5mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述蒸鍍單元為蒸鍍坩堝；所述動(dòng)力單元包括調(diào)速電機(jī)。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK104388909SQ201410768343
【公開(kāi)日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2014年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月11日
【發(fā)明者】施戈, 彭建, 陳良賢 申請(qǐng)人:北京泰科諾科技有限公司