本發(fā)明涉及化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

金屬有機化學(xué)氣相沉積(MOCVD)是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)是利用金屬有機化合物作為源物質(zhì)的一種化學(xué)氣相淀積(CVD)工藝，其原理為利用有機金屬化學(xué)氣相沉積法metal-organic chemical vapor deposition.MOCVD是一利用氣相反應(yīng)物，或是前驅(qū)物precurso和Ⅲ族的有機金屬和V族的NH3，在基材substrate表面進行反應(yīng)，傳到基材襯底表面固態(tài)沉積物的工藝，現(xiàn)有的反應(yīng)系統(tǒng)加熱不夠均勻，為此，我們提出了一種金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有的反應(yīng)系統(tǒng)加熱不夠均勻的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，包括反應(yīng)室，所述反應(yīng)室的頂部安裝有頂蓋，所述反應(yīng)室與頂蓋的連接處設(shè)置有密封墊圈，所述頂蓋的底部均勻安裝有金屬反應(yīng)源出口，所述頂蓋的頂部連接有分氣頭，所述分氣頭的頂部連接有金屬反應(yīng)源進氣管，所述金屬反應(yīng)源進氣管的右端連接有金屬反應(yīng)源鼓泡箱，所述金屬反應(yīng)源鼓泡箱的右端通過管道連接有鼓風(fēng)機，所述鼓風(fēng)機的右端通過管道連接有蒸汽存儲室，所述反應(yīng)室的左側(cè)壁安裝有氫化物進氣管，且氫化物進氣管貫穿反應(yīng)室的左側(cè)壁，所述反應(yīng)室的右側(cè)壁安裝有廢氣排氣管，所述廢氣排氣管的右端連接有導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管的底部連接有廢氣消毒瓶，且導(dǎo)氣管的底部位于廢氣消毒瓶內(nèi)腔液面以下，所述廢氣消毒瓶的頂部設(shè)置有出氣管，且出氣管的底部位于廢氣消毒瓶內(nèi)腔的液面的上方，所述反應(yīng)室的內(nèi)腔設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的頂部安裝有承載盤，所述承載盤的頂部安裝有基板，所述轉(zhuǎn)軸的外壁套接有支撐架，所述支撐架的底部與反應(yīng)室內(nèi)腔的底部連接，所述轉(zhuǎn)軸貫穿反應(yīng)室的底部，所述轉(zhuǎn)軸外壁的底部套接有從動帶輪，所述反應(yīng)室的底部安裝有電機，所述電機位于轉(zhuǎn)軸的右側(cè)，所述電機輸出端的外壁套接有主動帶輪，且主動帶輪通過皮帶與從動帶輪連接，所述反應(yīng)室的底部和頂蓋的底部均設(shè)置有加熱裝置。

優(yōu)選的，所述加熱裝置為紫外線加熱燈，所述加熱裝置的外壁設(shè)置有光反射板，且光反射板的外壁均勻涂有耐熱涂層。

優(yōu)選的，所述承載盤包括盤體，所述盤體的底部中心處設(shè)置有軸套，且軸套與轉(zhuǎn)軸適配連接，所述軸套的內(nèi)壁開有限位槽，所述轉(zhuǎn)軸外壁的頂部設(shè)置有與限位槽適配連接的限位嵌塊，所述盤體的頂部均勻安裝有支撐彈簧，且支撐彈簧的頂部與基板的底部連接。

優(yōu)選的，所述支撐架包括支撐板，所述支撐板的左右兩側(cè)均設(shè)置有支腿，所述支撐板的中心位置開有連接孔，且連接孔套接在轉(zhuǎn)軸的外壁，所述支撐板頂部的左右兩端均安裝有滾珠。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：該金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，通過三組加熱裝置的組合加熱，使得反應(yīng)室內(nèi)的熱空氣形成對流，從而加熱更加均勻，通過電機等一系列的傳動使得承載盤和基板轉(zhuǎn)動，使得反應(yīng)后的薄膜均勻的覆蓋在基板的表面。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明承載盤結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明支撐架結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1反應(yīng)室、2頂蓋、3密封墊圈、4金屬反應(yīng)源出口、5分氣頭、6金屬反應(yīng)源進氣管、7金屬反應(yīng)源鼓泡箱、8鼓風(fēng)機、9蒸汽存儲室、10氫化物進氣管、11廢氣排氣管、12導(dǎo)氣管、13廢氣消毒瓶、14出氣管、15轉(zhuǎn)軸、16承載盤、161盤體、162軸套、163支撐彈簧、17基板、18支撐架、181支撐板、182支腿、183連接孔、184滾珠、19從動帶輪、20電機、21主動帶輪、22加熱裝置。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

請參閱圖1-3，本發(fā)明提供一種技術(shù)方案：一種金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，包括反應(yīng)室1，反應(yīng)室1的頂部安裝有頂蓋2，反應(yīng)室1與頂蓋2的連接處設(shè)置有密封墊圈3，頂蓋2的底部均勻安裝有金屬反應(yīng)源出口4，頂蓋2的頂部連接有分氣頭5，分氣頭5的頂部連接有金屬反應(yīng)源進氣管6，金屬反應(yīng)源進氣管6的右端連接有金屬反應(yīng)源鼓泡箱7，金屬反應(yīng)源鼓泡箱7的右端通過管道連接有鼓風(fēng)機8，鼓風(fēng)機8的右端通過管道連接有蒸汽存儲室9，反應(yīng)室1的左側(cè)壁安裝有氫化物進氣管10，且氫化物進氣管10貫穿反應(yīng)室1的左側(cè)壁，反應(yīng)室1的右側(cè)壁安裝有廢氣排氣管11，廢氣排氣管11的右端連接有導(dǎo)氣管12，導(dǎo)氣管12的底部連接有廢氣消毒瓶13，且導(dǎo)氣管12的底部位于廢氣消毒瓶13內(nèi)腔液面以下，廢氣消毒瓶13的頂部設(shè)置有出氣管14，且出氣管14的底部位于廢氣消毒瓶13內(nèi)腔的液面的上方，反應(yīng)室1的內(nèi)腔設(shè)置有轉(zhuǎn)軸15，轉(zhuǎn)軸15的頂部安裝有承載盤16，承載盤16的頂部安裝有基板17，轉(zhuǎn)軸15的外壁套接有支撐架18，支撐架18的底部與反應(yīng)室1內(nèi)腔的底部連接，轉(zhuǎn)軸15貫穿反應(yīng)室1的底部，轉(zhuǎn)軸15外壁的底部套接有從動帶輪19，反應(yīng)室1的底部安裝有電機20，電機20位于轉(zhuǎn)軸15的右側(cè)，電機20輸出端的外壁套接有主動帶輪21，且主動帶輪21通過皮帶與從動帶輪19連接，反應(yīng)室1的底部和頂蓋2的底部均設(shè)置有加熱裝置22。

其中，加熱裝置22為紫外線加熱燈，加熱裝置22的外壁設(shè)置有光反射板，使得熱量均勻分散，且光反射板的外壁均勻涂有耐熱涂層，避免加熱裝置22受熱損壞，承載盤16包括盤體161，盤體161的底部中心處設(shè)置有軸套162，且軸套162與轉(zhuǎn)軸15適配連接，軸套162的內(nèi)壁開有限位槽，轉(zhuǎn)軸15外壁的頂部設(shè)置有與限位槽適配連接的限位嵌塊，使得轉(zhuǎn)軸15與軸套162連接更加緊密，盤體161的頂部均勻安裝有支撐彈簧163，且支撐彈簧163的頂部與基板17的底部連接，支撐架18包括支撐板181，支撐板181的左右兩側(cè)均設(shè)置有支腿182，支撐板181的中心位置開有連接孔183，且連接孔183套接在轉(zhuǎn)軸15的外壁，支撐板181頂部的左右兩端均安裝有滾珠184。

工作原理：氫化物通過氫化物進氣管10進入反應(yīng)室1中，通過鼓風(fēng)機8帶動蒸汽存儲室9中的蒸汽將金屬反應(yīng)源鼓泡箱7中的金屬反應(yīng)源吹入到金屬反應(yīng)源進氣管6中，金屬反應(yīng)源隨著蒸汽進入分氣頭5中，通過分氣頭5底部的金屬反應(yīng)源出口4將金屬反應(yīng)源均勻的進入反應(yīng)室1中，三組加熱裝置22對反應(yīng)室1的內(nèi)部進行加熱，金屬反應(yīng)源出口4位于基板17的正上方，氫化物與金屬反應(yīng)源反應(yīng)物在基板17上生成，電機20轉(zhuǎn)動帶動主動帶輪21轉(zhuǎn)動，主動帶輪21通過皮帶帶動從動帶輪19轉(zhuǎn)動，從動帶輪19帶動轉(zhuǎn)軸15轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸15帶動承載盤16和承載盤17轉(zhuǎn)動，使得三組加熱裝置22對承載盤17和承載盤16的加熱更加均勻，反應(yīng)后的有毒氣體通過廢氣排氣管11和導(dǎo)氣管12進入廢氣消毒瓶13，廢氣消毒瓶13內(nèi)相應(yīng)的消毒液體將有毒氣體吸附并從金屬反應(yīng)源出口4排出無毒氣體。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。