技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，包括反應(yīng)室，所述反應(yīng)室的頂部安裝有頂蓋，所述反應(yīng)室與頂蓋的連接處設(shè)置有密封墊圈，所述頂蓋的底部均勻安裝有金屬反應(yīng)源出口，所述頂蓋的頂部連接有分氣頭，所述分氣頭的頂部連接有金屬反應(yīng)源進(jìn)氣管，所述金屬反應(yīng)源進(jìn)氣管的右端連接有金屬反應(yīng)源鼓泡箱，所述金屬反應(yīng)源鼓泡箱的右端通過管道連接有鼓風(fēng)機(jī)，該金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，通過三組加熱裝置的組合加熱，使得反應(yīng)室內(nèi)的熱空氣形成對(duì)流，從而加熱更加均勻，通過電機(jī)等一系列的傳動(dòng)使得承載盤和基板轉(zhuǎn)動(dòng)，使得反應(yīng)后的薄膜均勻的覆蓋在基板的表面。

技術(shù)研發(fā)人員：崔乘幸;鄧紹新;劉露;焦紅艷;張中印;張?jiān)Ｆ?br/>受保護(hù)的技術(shù)使用者：河南科技學(xué)院
文檔號(hào)碼：201611101614
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.05
技術(shù)公布日：2017.05.31