1.一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，包括反應(yīng)室(1)，其特征在于：所述反應(yīng)室(1)的頂部安裝有頂蓋(2)，所述反應(yīng)室(1)與頂蓋(2)的連接處設(shè)置有密封墊圈(3)，所述頂蓋(2)的底部均勻安裝有金屬反應(yīng)源出口(4)，所述頂蓋(2)的頂部連接有分氣頭(5)，所述分氣頭(5)的頂部連接有金屬反應(yīng)源進(jìn)氣管(6)，所述金屬反應(yīng)源進(jìn)氣管(6)的右端連接有金屬反應(yīng)源鼓泡箱(7)，所述金屬反應(yīng)源鼓泡箱(7)的右端通過(guò)管道連接有鼓風(fēng)機(jī)(8)，所述鼓風(fēng)機(jī)(8)的右端通過(guò)管道連接有蒸汽存儲(chǔ)室(9)，所述反應(yīng)室(1)的左側(cè)壁安裝有氫化物進(jìn)氣管(10)，且氫化物進(jìn)氣管(10)貫穿反應(yīng)室(1)的左側(cè)壁，所述反應(yīng)室(1)的右側(cè)壁安裝有廢氣排氣管(11)，所述廢氣排氣管(11)的右端連接有導(dǎo)氣管(12)，所述導(dǎo)氣管(12)的底部連接有廢氣消毒瓶(13)，且導(dǎo)氣管(12)的底部位于廢氣消毒瓶(13)內(nèi)腔液面以下，所述廢氣消毒瓶(13)的頂部設(shè)置有出氣管(14)，且出氣管(14)的底部位于廢氣消毒瓶(13)內(nèi)腔的液面的上方，所述反應(yīng)室(1)的內(nèi)腔設(shè)置有轉(zhuǎn)軸(15)，所述轉(zhuǎn)軸(15)的頂部安裝有承載盤(pán)(16)，所述承載盤(pán)(16)的頂部安裝有基板(17)，所述轉(zhuǎn)軸(15)的外壁套接有支撐架(18)，所述支撐架(18)的底部與反應(yīng)室(1)內(nèi)腔的底部連接，所述轉(zhuǎn)軸(15)貫穿反應(yīng)室(1)的底部，所述轉(zhuǎn)軸(15)外壁的底部套接有從動(dòng)帶輪(19)，所述反應(yīng)室(1)的底部安裝有電機(jī)(20)，所述電機(jī)(20)位于轉(zhuǎn)軸(15)的右側(cè)，所述電機(jī)(20)輸出端的外壁套接有主動(dòng)帶輪(21)，且主動(dòng)帶輪(21)通過(guò)皮帶與從動(dòng)帶輪(19)連接，所述反應(yīng)室(1)的底部和頂蓋(2)的底部均設(shè)置有加熱裝置(22)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述加熱裝置(22)為紫外線(xiàn)加熱燈，所述加熱裝置(22)的外壁設(shè)置有光反射板，且光反射板的外壁均勻涂有耐熱涂層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述承載盤(pán)(16)包括盤(pán)體(161)，所述盤(pán)體(161)的底部中心處設(shè)置有軸套(162)，且軸套(162)與轉(zhuǎn)軸(15)適配連接，所述軸套(162)的內(nèi)壁開(kāi)有限位槽，所述轉(zhuǎn)軸(15)外壁的頂部設(shè)置有與限位槽適配連接的限位嵌塊，所述盤(pán)體(161)的頂部均勻安裝有支撐彈簧(163)，且支撐彈簧(163)的頂部與基板(17)的底部連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述支撐架(18)包括支撐板(181)，所述支撐板(181)的左右兩側(cè)均設(shè)置有支腿(182)，所述支撐板(181)的中心位置開(kāi)有連接孔(183)，且連接孔(183)套接在轉(zhuǎn)軸(15)的外壁，所述支撐板(181)頂部的左右兩端均安裝有滾珠(184)。