成膜裝置和成膜方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種成膜裝置和成膜方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 彩膜基板是顯示裝置中的彩色化部件，是液晶顯示裝置（LiquidCrystal Display，簡稱IXD)和白光有機電致發(fā)光顯示裝置（WhiteOrganicLightEmitting Diode，簡稱WOLED)必備的關(guān)鍵部件。彩膜基板的核心層是彩膜層，彩膜層是影響顯示裝置 顯示效果的重要因素，其厚度一方面影響了顯示裝置的色飽和度，另一方面也影響了顯示 裝置的光透過率。因此，彩膜層的厚度成為重要的檢測數(shù)據(jù)。
[0003] 目前，彩膜層的制備工藝主要包括成膜工藝和構(gòu)圖工藝，首先通過成膜工藝形成 厚度均勻的特定顏色（例如紅、綠、藍中的任一種顏色或組合顏色）的彩膜層，然后通過 構(gòu)圖工藝形成條狀排布（或三角形排列或馬賽克排布）的圖形。目前成膜工藝包括涂覆 (spin)工藝或濺射（slit)工藝，由于形成彩膜層的材料通常為流體，因此難以控制成膜過 程中的厚度。以涂覆工藝為例，目前控制彩膜層膜厚的常用方式是：將涂覆后的膜層放入旋 轉(zhuǎn)減薄裝置中減薄完畢后取出，然后測量彩膜層的膜厚，若膜厚達不到要求，則需剝離已成 膜的彩膜層重新進行涂覆，如此反復(fù)，直到測試結(jié)果達到要求為止。這個過程既消耗大量的 工藝時間，造成產(chǎn)能的損失和效率低下，又浪費大量的材料。
[0004] 可見，設(shè)計一種能精確控制彩膜層的厚度，提高生產(chǎn)效率，降低耗材的成膜裝置和 成膜方法成為目前亟待解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種成膜裝 置和成膜方法，可以實時監(jiān)控有色加工膜的色度，從而得到設(shè)定的加工膜厚度，從而有效提 高有色膜成膜的生產(chǎn)效率，降低有色膜材料的損耗。
[0006] 解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是該成膜裝置，包括用于對加工膜旋轉(zhuǎn)成 型的旋轉(zhuǎn)單元和控制單元，還包括與所述控制單元電連接的色度監(jiān)測單元，所述色度監(jiān)測 單元用于對所述加工膜的色度進行檢測，以及比較所述加工膜的色度與預(yù)設(shè)色度的差值， 進而利用該差值，通過所述控制單元調(diào)節(jié)所述旋轉(zhuǎn)單元的速度來控制所述加工膜的厚度。
[0007] 優(yōu)選的是，所述旋轉(zhuǎn)單元包括旋轉(zhuǎn)基臺，所述旋轉(zhuǎn)基臺具有用于承載所述加工膜 的承載區(qū)；所述色度監(jiān)測單元包括光源、色度采集模塊、色度分析模塊和色度比較模塊，其 中：
[0008] 所述光源和所述色度采集模塊，與所述承載區(qū)相對設(shè)置，所述光源用于向所述承 載區(qū)提供光照，所述色度采集模塊用于采集所述加工膜經(jīng)光照產(chǎn)生的光譜圖；
[0009] 所述色度分析模塊，與所述色度采集模塊和所述色度比較模塊分別電連接，用于 接收和分析光譜圖，并將對光譜圖分析得到的色度數(shù)據(jù)傳送至所述色度比較模塊；
[0010] 所述色度比較模塊，預(yù)設(shè)色度參考值，用于將分析得到的色度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)色度參 考值進行比較，并將比較結(jié)果傳送至所述控制單元；
[0011] 所述控制單元，用于根據(jù)比較結(jié)果調(diào)節(jié)所述旋轉(zhuǎn)基臺的速度。
[0012] 優(yōu)選的是，所述光源設(shè)于所述承載區(qū)的上方，所述色度采集模塊設(shè)于所述承載區(qū) 的下方且與所述旋轉(zhuǎn)基臺相離，所述光源與所述色度采集模塊相對且處于同一直線上；
[0013] 或者，所述光源和所述色度采集模塊均設(shè)于所述承載區(qū)的上方，所述承載區(qū)為反 光鏡面，所述光源提供的光照經(jīng)所述承載區(qū)反射后射向所述色度采集模塊。
[0014] 優(yōu)選的是，所述色度比較模塊中預(yù)存有映射表，所述映射表具有至少一個位置處、 所述加工膜某一設(shè)定厚度對應(yīng)的預(yù)設(shè)色度參考值；
[0015] 或者，進一步的，所述映射表具有多個不同位置處、所述加工膜不同設(shè)定厚度與預(yù) 設(shè)色度參考值的對應(yīng)關(guān)系。
[0016] 優(yōu)選的是，所述旋轉(zhuǎn)單元還包括帶動所述旋轉(zhuǎn)基臺旋轉(zhuǎn)的馬達機構(gòu)，所述控制單 元與所述馬達機構(gòu)電連接，所述控制單元用于根據(jù)比較結(jié)果調(diào)節(jié)所述馬達機構(gòu)對所述旋轉(zhuǎn) 基臺的速度的控制。
[0017] 優(yōu)選的是，所述光源包括黃光和標(biāo)準(zhǔn)光源，黃光和標(biāo)準(zhǔn)光源均能調(diào)焦和自動聚焦。
[0018] 優(yōu)選的是，所述旋轉(zhuǎn)基臺為圓形，所述色度采集模塊和所述光源相對設(shè)置于所述 旋轉(zhuǎn)基臺的中心區(qū)域。
[0019] 優(yōu)選的是，對應(yīng)著所述旋轉(zhuǎn)基臺的周邊區(qū)域的上方還設(shè)置至少一對輔助光源和輔 助色度采集模塊，成對設(shè)置的所述輔助光源和所述輔助色度采集模塊與所述承載區(qū)相對斜 向設(shè)置。
[0020] 優(yōu)選的是，所述色度采集模塊采用色度采集鏡頭；或者，進一步的，所述色度采集 鏡頭的外側(cè)還設(shè)置有防護膜。
[0021] 一種成膜方法，采用控制單元調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)單元的速度來旋轉(zhuǎn)成型加工膜，所述成膜 方法包括對所述加工膜的色度進行檢測，以及比較所述加工膜的色度與預(yù)設(shè)色度的差值， 進而利用該差值，通過所述控制單元調(diào)節(jié)所述旋轉(zhuǎn)單元的速度來控制所述加工膜的厚度。
[0022] 優(yōu)選的是，所述旋轉(zhuǎn)單元包括旋轉(zhuǎn)基臺，所述成膜方法具體包括：
[0023] 采集當(dāng)前所述加工膜的光譜圖；
[0024] 分析光譜圖得到色度數(shù)據(jù)；
[0025] 比較色度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)色度參考值，根據(jù)比較結(jié)果控制所述旋轉(zhuǎn)基臺的速度。
[0026] 優(yōu)選的是，在采集當(dāng)前所述加工膜的光譜圖之前，還包括預(yù)存至少一個所述加工 膜一定厚度對應(yīng)的理論色度的偏差色度作為預(yù)設(shè)色度參考值；
[0027] 或者，進一步的，預(yù)設(shè)所述加工膜多個不同設(shè)定厚度與預(yù)設(shè)色度參考值的對應(yīng)關(guān) 系。
[0028] 優(yōu)選的是，采集當(dāng)前所述加工膜的光譜圖的采集頻率范圍為900-1100HZ。
[0029] 優(yōu)選的是，在分析光譜圖得到色度數(shù)據(jù)的過程中，包括對多個色度數(shù)據(jù)計算均值 的步驟。
[0030] 優(yōu)選的是，根據(jù)比較結(jié)果控制所述旋轉(zhuǎn)基臺的速度包括：
[0031] 當(dāng)色度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)色度參考值的差值在設(shè)定誤差范圍內(nèi)時，所述控制單元停止所 述旋轉(zhuǎn)基臺的旋轉(zhuǎn)，并使得所述旋轉(zhuǎn)基臺完全停止時刻的所述加工膜的色度正好為理論色 度；
[0032] 當(dāng)色度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)色度參考值的差值在設(shè)定誤差范圍外時，所述控制單元使所述 旋轉(zhuǎn)基臺加速旋轉(zhuǎn)或保持勻速旋轉(zhuǎn)。
[0033] 優(yōu)選的是，所述旋轉(zhuǎn)基臺的旋轉(zhuǎn)速度設(shè)置在安全轉(zhuǎn)速范圍之內(nèi)，并不超過所述旋 轉(zhuǎn)基臺的額定轉(zhuǎn)速的90%。
[0034] 優(yōu)選的是，色度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)色度參考值的差值的設(shè)定誤差范圍為±0. 05。
[0035] 本發(fā)明的有益效果是：該成膜裝置和相應(yīng)的成膜方法通過對加工膜的色度監(jiān)測， 通過加工膜的色度的變化來監(jiān)控加工膜的膜厚的變化，當(dāng)加工膜的色度達到預(yù)設(shè)色度參考 值時，成膜裝置的旋轉(zhuǎn)基臺的速度迅速下降，完成成膜過程，從而實現(xiàn)了加工膜膜厚的實時 監(jiān)控，達到有色膜的膜厚的精確控制，一方面提高彩膜基板的生產(chǎn)效率，另一方面降低彩膜 材料的損耗。
【附圖說明】
[0036] 圖1為本發(fā)明實施例1中成膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037] 圖2為圖1中色度監(jiān)測的數(shù)據(jù)流向圖；
[0038] 圖3為本發(fā)明實施例2中成膜方法的流程圖；
[0039] 圖4為CIE1931標(biāo)準(zhǔn)色品圖；
[0040] 圖5為本發(fā)明實施例2中加工膜的光譜圖示例；
[0041]圖中：
[0042] 1 -旋轉(zhuǎn)單元；11 一旋轉(zhuǎn)基臺；12 -馬達；
[0043]2-控制單元；
[0044] 3 -色度監(jiān)測單元；31 -光源；32 -色度采集模塊；33 -色度分析模塊；34 -色度 比較模塊；
[0045] 4 -蓋板；
[0046]5 -基板。
【具體實施方式】
[0047] 為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具