多層膜的量產(chǎn)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種薄膜的量產(chǎn)方法，特別是涉及一種多層膜的量產(chǎn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜制程中，一般用以在待鍍物表面鍍覆多層膜的量產(chǎn)設(shè)備，多半是以一鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)來(lái)完成。該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)是沿一排列方向依序配置有在同一真空腔體內(nèi)的一前緩沖區(qū)間、多個(gè)各含有不同靶材的鍍膜區(qū)間，及一個(gè)后緩沖區(qū)間，且該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)還包含一個(gè)載具。前述量產(chǎn)設(shè)備的鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)在執(zhí)行一整批次的待鍍物的多層膜的量產(chǎn)方法時(shí)，是由該載具將所述待鍍物依序送入該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)內(nèi)，以分別依序通過(guò)該前緩沖區(qū)間與所述鍍膜區(qū)間內(nèi)執(zhí)行各鍍膜制程，而分別在完成每一鍍膜區(qū)間的鍍膜制程以在各待鍍物上形成有一總厚度約達(dá)數(shù)十納米(nm)至數(shù)十微米(ym)的多層膜后，自該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的后緩沖區(qū)間離開(kāi)，即可得到一整批次的鍍覆有各多層膜的完成品。
[0003]目前上述多層膜的量產(chǎn)方法雖然能夠量產(chǎn)出整批次的多層膜的完成品。但需說(shuō)明的是，在量產(chǎn)過(guò)程中，為均勻地鍍制出所述多層膜，所述待鍍物于各鍍膜區(qū)間執(zhí)行各鍍膜制程時(shí)需分別于各鍍膜區(qū)間的靶材下方位移多次。然而，由于各鍍膜區(qū)間的靶材下方位置處是屬于一電漿區(qū)；因此，在進(jìn)行各厚度達(dá)數(shù)十納米至數(shù)十微米的多層膜的鍍膜制程中，所述待鍍物將因長(zhǎng)時(shí)間暴露在各電漿區(qū)而衍生出過(guò)熱問(wèn)題。一旦所述待鍍物是由不耐熱的材質(zhì)所構(gòu)成時(shí)，所述待鍍物也將因前述過(guò)熱問(wèn)題而產(chǎn)生變形，以致于降低所述完成品的鍍膜質(zhì)量。
[0004]再者，上述鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)也礙于該量產(chǎn)設(shè)備的限制，該載具只能令該整批待鍍物中的單一個(gè)待鍍物在完成每一鍍膜區(qū)間的鍍膜制程以產(chǎn)生其完成品后，才能再重新載放下一個(gè)待鍍物。因此，導(dǎo)致未執(zhí)行鍍膜制程的鍍膜區(qū)間閑置，并造成量產(chǎn)效率不彰且提高時(shí)間成本的困擾。
[0005]經(jīng)上述說(shuō)明可知，在解決待鍍物過(guò)熱等問(wèn)題的前提下，找出如何更有效率地利用每一鍍膜區(qū)間以提升量產(chǎn)效率，是此技術(shù)領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)人員所待突破的難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種多層膜的量產(chǎn)方法。
[0007]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，是用以將多個(gè)待鍍物進(jìn)行多道鍍膜程序，其依序包含以下步驟:一步驟(a)、一步驟(b)、一步驟(C)、一步驟(d)，及一步驟(e)。
[0008]該步驟(a)是提供一具有(η+l)個(gè)緩沖區(qū)間、η個(gè)鍍膜區(qū)間與多個(gè)載具的鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)，所述緩沖區(qū)間與所述鍍膜區(qū)間是沿一排列方向依序輪流設(shè)置于一真空腔體內(nèi)，n ^ 2且是正整數(shù)。
[0009]該步驟(b)是于該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的第一個(gè)緩沖區(qū)間或第二個(gè)緩沖區(qū)間載入放置有第一個(gè)待鍍物的第一個(gè)載具。
[0010]該步驟(C)是于該步驟(b)后，令第一個(gè)載具于第一個(gè)鍍膜區(qū)間執(zhí)行第一道鍍膜程序以于第一個(gè)待鍍物上形成一第一膜層時(shí)，是于該第一個(gè)緩沖區(qū)間、第二個(gè)緩沖區(qū)間兩者間位移至少一次。
[0011]該步驟(d)是于該步驟(C)后，令第一個(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間或第三個(gè)緩沖區(qū)間，且同時(shí)于該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的第一個(gè)緩沖區(qū)間或第二個(gè)緩沖區(qū)間載入放置有第二個(gè)待鍍物的第二個(gè)載具，但有條件的是，當(dāng)?shù)诙€(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間時(shí)，第一個(gè)載具是位于第三個(gè)緩沖區(qū)間。
[0012]該步驟(e)是于該步驟(d)后，同時(shí)令第二個(gè)載具與第一個(gè)載具分別于第一個(gè)鍍膜區(qū)間與第二個(gè)鍍膜區(qū)間內(nèi)執(zhí)行第一道鍍膜程序與第二道鍍膜程序，以分別于第二個(gè)待鍍物上與第一個(gè)待鍍物上形成該第一膜層與一第二膜層時(shí)，是同時(shí)分別于第一個(gè)緩沖區(qū)間、第二個(gè)緩沖區(qū)間兩者間與第二個(gè)緩沖區(qū)間、第三個(gè)緩沖區(qū)間兩者間位移至少一次，但有條件的是，當(dāng)?shù)诙€(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間時(shí)，第一個(gè)載具是位于第三個(gè)緩沖區(qū)間。
[0013]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該多層膜的量產(chǎn)方法還包含一步驟(f)及一步驟(g)，且η = 3。該步驟(f)，于該步驟(e)后，令第一個(gè)載具位于第三個(gè)緩沖區(qū)間或第四個(gè)緩沖區(qū)間，且同時(shí)令第二個(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間或第三個(gè)緩沖區(qū)間，并同時(shí)于該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的第一個(gè)緩沖區(qū)間或第二個(gè)緩沖區(qū)間載入放置有第三個(gè)待鍍物的第三個(gè)載具，但有條件的是，當(dāng)?shù)谌齻€(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間時(shí)，第二個(gè)載具是位于第三個(gè)緩沖區(qū)間，且第一個(gè)載具是位于第四個(gè)緩沖區(qū)間。該步驟(g)，于該步驟(f)后，同時(shí)令第三個(gè)載具、第二個(gè)載具與第一個(gè)載具分別于第一個(gè)鍍膜區(qū)間、第二個(gè)鍍膜區(qū)間與第三個(gè)鍍膜區(qū)間內(nèi)執(zhí)行第一道鍍膜程序、第二道鍍膜程序與第三道鍍膜程序，以分別于第三個(gè)待鍍物上、第二個(gè)待鍍物上與第一個(gè)待鍍物上形成該第一膜層、該第二膜層與一第三膜層時(shí)，是同時(shí)分別于第一個(gè)緩沖區(qū)間、第二個(gè)緩沖區(qū)間兩者間、第二個(gè)緩沖區(qū)間、第三個(gè)緩沖區(qū)間兩者間與第三個(gè)緩沖區(qū)間、第四個(gè)緩沖區(qū)間兩者間位移至少一次，但有條件的是，當(dāng)?shù)谌齻€(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間時(shí)，第二個(gè)載具是位于第三個(gè)緩沖區(qū)間且第一個(gè)載具是位于第四個(gè)緩沖區(qū)間。
[0014]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(b)是于該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的第一個(gè)緩沖區(qū)間載入放置有第一個(gè)待鍍物的第一個(gè)載具；該步驟(d)是令第一個(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間，且同時(shí)于該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的第一個(gè)緩沖區(qū)間載入放置有第二個(gè)待鍍物的第二個(gè)載具。
[0015]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(f)是令第一個(gè)載具位于第三個(gè)緩沖區(qū)間，且同時(shí)令第二個(gè)載具位于第二個(gè)緩沖區(qū)間，并同時(shí)于該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的第一個(gè)緩沖區(qū)間載入放置有第三個(gè)待鍍物的第三個(gè)載具。
[0016]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(e)的第二個(gè)載具與第一個(gè)載具分別于第一個(gè)鍍膜區(qū)間與第二個(gè)鍍膜區(qū)間內(nèi)執(zhí)行第一道鍍膜程序與第二道鍍膜程序時(shí)所耗費(fèi)的時(shí)間相同。
[0017]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(e)的第二個(gè)載具與第一個(gè)載具，分別于第一個(gè)緩沖區(qū)間、第二個(gè)緩沖區(qū)間兩者間與第二個(gè)緩沖區(qū)間、第三個(gè)緩沖區(qū)間兩者間所位移的次數(shù)相同，且所位移的速率相同。
[0018]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(g)的第三個(gè)載具、第二個(gè)載具與第一個(gè)載具分別于第一個(gè)鍍膜區(qū)間、第二個(gè)鍍膜區(qū)間與第三個(gè)鍍膜區(qū)間內(nèi)執(zhí)行第一道鍍膜程序、第二道鍍膜程序與第三道鍍膜程序時(shí)所耗費(fèi)的時(shí)間相同。
[0019]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(g)的第三個(gè)載具、第二個(gè)載具與第一個(gè)載具，分別于第一個(gè)緩沖區(qū)間、第二個(gè)緩沖區(qū)間兩者間、第二個(gè)緩沖區(qū)間、第三個(gè)緩沖區(qū)間兩者與第三個(gè)緩沖區(qū)間、第四個(gè)緩沖區(qū)間兩者間所位移的次數(shù)相同，且所位移的速率相同。
[0020]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(a)的每一個(gè)鍍膜區(qū)間包括至少一鍍膜段，且所述鍍膜段是分別以一靶材來(lái)執(zhí)行各鍍膜程序，所述靶材是由不同材質(zhì)所構(gòu)成或由相同材質(zhì)所構(gòu)成。
[0021]本發(fā)明的多層膜的量產(chǎn)方法，該步驟(a)的該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)還具有一分別設(shè)置于該真空腔體的相反兩端的一入口閥門(mén)、一出口閥門(mén)、一連續(xù)地設(shè)置于所述緩沖區(qū)間和所述鍍膜區(qū)間內(nèi)用以傳輸所述載具的傳輸機(jī)構(gòu)，及一供所述載具自該出口閥門(mén)回流至該入口閥門(mén)的自動(dòng)回流單元，該自動(dòng)回流單元包括一銜接該出口閥門(mén)的載出腔、一銜接該入口閥門(mén)的載入腔，及一銜接于該載出腔與該載入腔間的回送機(jī)構(gòu)，該回送機(jī)構(gòu)具有一對(duì)應(yīng)載出腔設(shè)置的沉降段、一對(duì)應(yīng)該載入腔設(shè)置的舉升段，及一連接該沉降段與該舉升段的中繼段。
[0022]本發(fā)明的有益效果在于:利用該鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的依序輪流配置的緩沖區(qū)間與鍍膜區(qū)間，并配合所述載具同時(shí)進(jìn)入相對(duì)應(yīng)的各鍍膜區(qū)間內(nèi)執(zhí)行各道鍍膜程序時(shí)，是于各鍍膜區(qū)間的兩相鄰緩沖