進(jìn)氣裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及薄膜沉積或蝕刻領(lǐng)域，特別是涉及一種進(jìn)氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜沉積速率或蝕刻速率的均勻性，是大尺寸產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中面臨的問題。一般地，進(jìn)氣裝置包括進(jìn)氣板和單層篩板，進(jìn)氣板上開設(shè)有進(jìn)氣口。氣體經(jīng)進(jìn)氣口進(jìn)入并由單層篩板分散開來。
[0003]上述進(jìn)氣裝置由于氣體分散不均勻，邊緣和中間的沉積或刻蝕速率往往差別較大，導(dǎo)致產(chǎn)品均勻性較差。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]基于此，有必要提供一種氣體分散均勻、產(chǎn)品均勻性好的進(jìn)氣裝置。
[0005]一種進(jìn)氣裝置，包括至少一個氣體分散單元，所述氣體分散單元包括:
[0006]第一層篩板，設(shè)有多個第一進(jìn)氣孔；
[0007]第二層篩板，設(shè)置于第一層篩板下方，與所述第一層篩板平行，所述第二層篩板設(shè)有多個第二進(jìn)氣孔，所述第一進(jìn)氣孔在所述第二篩板上形成正投影，所述第一進(jìn)氣孔的正投影被所述第二進(jìn)氣孔圍繞；以及
[0008]進(jìn)氣管，包括多個支管，所述第一層篩板包括遠(yuǎn)離所述第二層篩板的第一表面以及靠近所述第二層篩板的第二表面，所述支管的端部靠近所述第一表面，所述支管與所述第一進(jìn)氣孔連通。
[0009]在其中一個實施例中，所述第一進(jìn)氣孔的直徑沿著靠近所述第二層篩板的方向依次增大。
[0010]在其中一個實施例中，所述第一進(jìn)氣孔均勻設(shè)置在所述第一層篩板上。
[0011 ] 在其中一個實施例中，所述第二進(jìn)氣孔的形狀與所述第一進(jìn)氣孔的形狀相同。
[0012]在其中一個實施例中，所述第二進(jìn)氣孔均勻分布在所述第一進(jìn)氣孔的正投影的周圍。
[0013]在其中一個實施例中，所述氣體分散單元還包括第三層篩板，所述第三層篩板設(shè)有多個第三進(jìn)氣孔，所述第三層篩板與所述第二層篩板平行，所述第二層篩板位于所述第一層篩板與所述第三層篩板之間。
[0014]在其中一個實施例中，所述第三進(jìn)氣孔的形狀與所述第一進(jìn)氣孔的形狀相同。
[0015]在其中一個實施例中，所述第一進(jìn)氣孔、所述第二進(jìn)氣孔、所述第三進(jìn)氣孔的個數(shù)依次增多。
[0016]在其中一個實施例中，所述第三進(jìn)氣孔均勻設(shè)置在所述第三層篩板上。
[0017]在其中一個實施例中，所述第一層篩板與所述第二層篩板之間的距離為0.3-5cm0
[0018]上述進(jìn)氣裝置，氣體經(jīng)由進(jìn)氣管輸送出來，然后經(jīng)由支管輸入到第一進(jìn)氣孔中并穿過所述第一層篩板，然后進(jìn)入第一層篩板和第二層篩板之間，當(dāng)?shù)谝贿M(jìn)氣孔進(jìn)入第一層篩板和第二層篩板之間時，多個第一進(jìn)氣孔對氣體進(jìn)行第一次分散，由于第二進(jìn)氣孔是圍繞著第一進(jìn)氣孔在第二層篩板上的正投影進(jìn)行設(shè)置的，即第二進(jìn)氣孔與第一進(jìn)氣孔的位置不對應(yīng)，因此，當(dāng)氣體從第一進(jìn)氣孔逸出時受到第二層篩板的阻擋，從而返回第一層篩板和第二層篩板之間，然后氣體經(jīng)第二進(jìn)氣孔逸出，第二進(jìn)氣孔對氣體進(jìn)行再次分散，最后再進(jìn)入腔室進(jìn)行沉積或刻蝕流程。經(jīng)過兩次分散的氣體，使得腔室內(nèi)氣體分散均勻，產(chǎn)品的邊緣和中間的沉積或刻蝕速率差別較小，得到的產(chǎn)品均勻性好。
【附圖說明】
[0019]圖1為第一實施例的進(jìn)氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為圖1所示的進(jìn)氣裝置的第一層篩板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為圖1所示的進(jìn)氣裝置的第二層篩板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為第二實施例的進(jìn)氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為圖4所示的進(jìn)氣裝置的第三層篩板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]附圖標(biāo)記:
[0025]10-氣體分散單元；100-第一層篩板；110-第二層篩板；120-第三層篩板；130_進(jìn)氣管；102_第一進(jìn)氣孔；112_第二進(jìn)氣孔；122_第三進(jìn)氣孔；132_支管。
【具體實施方式】
[0026]為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本實用新型不受下面公開的具體實施的限制。
[0027]如圖1和圖2所示，一實施方式的進(jìn)氣裝置，包括至少一個氣體分散單元10，氣體分散單元10包括第一層篩板100、第二層篩板110和進(jìn)氣管130，第二層篩板110設(shè)置于第一層篩板100下方，并與第一層篩板100平行。如圖2所不，第一層篩板100設(shè)有多個第一進(jìn)氣孔102，進(jìn)氣管130包括多個支管132，支管132與第一進(jìn)氣孔102連通，即，當(dāng)氣體從進(jìn)氣管130進(jìn)入后，經(jīng)由支管132輸送到第一進(jìn)氣孔102中并進(jìn)入第一層篩板100和第二層篩板110之間。可以理解的是，第一進(jìn)氣孔102的數(shù)量與支管132的數(shù)量是相等的，即每個第一進(jìn)氣孔102均對應(yīng)一個支管132。第一層篩板100包括遠(yuǎn)離第二層篩板110的第一表面以及靠近第二層篩板110的第二表面，支管132的端部靠近第一表面，即支管132是與第一進(jìn)氣孔102的上端連通。在本實施例中，第一進(jìn)氣孔102均勻設(shè)置在第一層篩板100上，氣體從進(jìn)氣管130進(jìn)入，經(jīng)由支管132進(jìn)入第一進(jìn)氣孔102分散到第一層篩板100和第二層篩板110之間，均勻設(shè)置的第一進(jìn)氣孔102可以使得氣體的分散更加均勻。
[0028]如圖3所示，第二層篩板110設(shè)有多個第二進(jìn)氣孔112，第一進(jìn)氣孔102在第二層篩板110上形成正投影，第一進(jìn)氣孔102的正投影被第二進(jìn)氣孔112圍繞。氣體分散單元10的個數(shù)可以為一個、兩個或三個。例如，當(dāng)工作腔室較大時，可以將多個氣體分散單元10組合形成進(jìn)氣裝置。當(dāng)工作腔室較小時，可以僅使用一個氣體分散單元10。氣體分散單元10的形狀可以根據(jù)實際情況進(jìn)行選擇，例如，當(dāng)工作腔室為正方體時，可以將氣體分散單元10的形狀也設(shè)計成正方體以匹配工作腔室的形狀。在其他實施例中，氣體分散單元10的形狀也可以為圓柱形。
[0029]請同時參閱圖1、圖2和圖3，在本實施例中，第一層篩板100與第二層篩板110平行且尺寸相同，第一層篩板100和第二層篩板110均為長方形。第一層篩板100上開設(shè)有多個第一進(jìn)氣孔102，氣體經(jīng)由第一進(jìn)氣孔102穿過第一層篩板100并進(jìn)入第一層篩板100和第二層篩板110之間。第一進(jìn)氣孔102的作用是用于引導(dǎo)氣體，其形狀和大小可以根據(jù)實際情況進(jìn)行選擇。例如，第一進(jìn)氣孔102的形狀可以為圓形、方形或者其它形狀。在本實施例中，第一進(jìn)氣孔102的形狀為“八”字形，即第一進(jìn)氣孔102的直徑沿著靠近所述第二層篩板110的方向依次增大。這種形狀的進(jìn)氣孔利于氣體擴(kuò)散并在第一層篩板100和第二次層篩板之間分散均勻。在本實施例中，第