一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備，包括帶有陽(yáng)極的陽(yáng)室組件，陽(yáng)室組件設(shè)置于一對(duì)陰室組件之間，在各陰室組件內(nèi)設(shè)置陰極；各陰室組件的內(nèi)側(cè)與陽(yáng)室組件的兩側(cè)之間分別設(shè)置陰膜，于各陰室組件的外側(cè)也分別設(shè)置陰模；于所陰室組件的兩端分別開(kāi)設(shè)陰室進(jìn)液口及再生液出液口，于陽(yáng)室組件的兩端分別開(kāi)設(shè)陽(yáng)室進(jìn)液口及殘液出液口，各陽(yáng)室組件、陰室組件及陰膜均連接形成一體。本實(shí)用新型通過(guò)布置陰模使陰室組件中沒(méi)有酸的累積，由此減少了鹽酸的揮發(fā)，減少了現(xiàn)有工藝中藥水的鹽酸損耗量，提高了藥水回用率。另外陰室組件、陽(yáng)室組件、陰膜一體化設(shè)計(jì)減少了占地面積，設(shè)備體積小，降低了維護(hù)人員的勞動(dòng)時(shí)間和強(qiáng)度，有效滿足了生產(chǎn)需求。
【專利說(shuō)明】
一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及蝕刻液廢液處理設(shè)備，尤其涉及一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液的循環(huán)利用主要有以下兩種方式:
[0003](I)第一種為離子膜強(qiáng)電流電解工藝，該工藝的藥水回用率高(包含回用所需要添加的物料)，電解銅呈顆粒狀，其具有設(shè)備制造復(fù)雜、占用面積大、維護(hù)困難、工作量大而繁瑣、設(shè)備部件易損耗、性能穩(wěn)定性差、能耗高等缺點(diǎn)。
[0004](2)第二種為分離電解工藝，該工藝具有能耗高(包含回用所需添加的物料)，電解銅呈塊狀，其具有藥水回用率低、廢水產(chǎn)量大、占用面積大。另外該工藝所需設(shè)備需要管控氯氣，具有氯氣泄漏的風(fēng)險(xiǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本
【申請(qǐng)人】針對(duì)上述現(xiàn)有問(wèn)題，進(jìn)行了研究改進(jìn)，提供一種結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)合理的針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備，其具有占地面積小、可控性強(qiáng)、工作能耗低、設(shè)備性能穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。
[0006]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下:
[0007]—種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備，包括帶有陽(yáng)極的陽(yáng)室組件，所述陽(yáng)室組件設(shè)置于一對(duì)陰室組件之間，在各陰室組件內(nèi)設(shè)置陰極;各陰室組件的內(nèi)側(cè)與陽(yáng)室組件的兩側(cè)之間分別設(shè)置陰膜，于各陰室組件的外側(cè)也分別設(shè)置陰模;于所述陰室組件的兩端分別開(kāi)設(shè)陰室進(jìn)液口及再生液出液口，于所述陽(yáng)室組件的兩端分別開(kāi)設(shè)陽(yáng)室進(jìn)液口及殘液出液口，各陽(yáng)室組件、陰室組件及陰膜均連接形成一體。
[0008]其進(jìn)一步技術(shù)方案在于:
[0009]如權(quán)利要求1所述的一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備，所述陰室組件以陽(yáng)室組件為中心對(duì)稱布置;所述陽(yáng)室進(jìn)液口以陰室進(jìn)液口為中心對(duì)稱布置;所述再生液出液口以殘液出液口為中心對(duì)稱布置。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果如下:
[0011]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，通過(guò)布置陰模使陰室組件中沒(méi)有酸的累積，由此減少了鹽酸的揮發(fā)，減少了現(xiàn)有工藝中藥水的鹽酸損耗量，提高了藥水回用率，利用本實(shí)用新型降低了對(duì)設(shè)備零部件的損耗，提高了工作穩(wěn)定性。另外陰室組件、陽(yáng)室組件、陰膜一體化設(shè)計(jì)減少了占地面積，設(shè)備體積小，降低了維護(hù)人員的勞動(dòng)時(shí)間和強(qiáng)度，有效滿足了生產(chǎn)需求。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型的工作流程示意圖。
[0014]其中:1、陽(yáng)室進(jìn)液口；2、陰室進(jìn)液口；3、殘液出液口 ；4、再生液出液口 ；5、陰室組件;6、陽(yáng)室組件;7、陰膜。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖，說(shuō)明本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】。
[0016]如圖1所示，一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備包括帶有陽(yáng)極8的陽(yáng)室組件6，陽(yáng)室組件6設(shè)置于一對(duì)陰室組件5之間，在各陰室組件5內(nèi)設(shè)置陰極9。各陰室組件5的內(nèi)側(cè)與陽(yáng)室組件6的左右兩側(cè)之間分別設(shè)置陰膜7，陰膜7將各陰室組件5中的陰極室與陽(yáng)極組件6中的陽(yáng)極室分隔。于各陰室組件5的外側(cè)也分別設(shè)置陰模7。如圖1所示，于陰室組件5的兩端分別開(kāi)設(shè)陰室進(jìn)液口 I及再生液出液口4，于陽(yáng)室組件6的兩端分別開(kāi)設(shè)陽(yáng)室進(jìn)液口2及殘液出液口 3，各陽(yáng)室組件6、陰室組件5及陰膜7均通過(guò)外部壓力(圖1箭頭表示壓力方向)連接形成一體。如圖1所示，上述陰室組件5以陽(yáng)室組件6為中心對(duì)稱布置。陽(yáng)室進(jìn)液口 I以陰室進(jìn)液口 2為中心對(duì)稱布置;再生液出液口 4以殘液出液口 3為中心對(duì)稱布置。
[0017]本實(shí)用新型的具體工作過(guò)程如下:
[0018]如圖1、圖2所示，蝕刻線使用后的廢液(參數(shù):Cu2+含量110_155g/l，H+含量1.5-3.0mol/l)通過(guò)電機(jī)以3000-120001/h的流速?gòu)年?yáng)室進(jìn)液口 I進(jìn)入陽(yáng)室組件6的內(nèi)腔，同時(shí)另一部分廢液以60-1801/h的流速?gòu)年幨疫M(jìn)液口 2流入陰室組件5的內(nèi)腔，其電解液銅含量保持在20-40g/l濃度電解，蝕刻廢液在陰室組件5的內(nèi)腔中受電解作用失電，同時(shí)該蝕刻廢液受陰膜7的影響提高了酸濃度，使陰室組件5中沒(méi)有酸的累積從而減少了鹽酸的揮發(fā)，由此減少了現(xiàn)有工藝藥水中鹽酸的損耗量，提高了藥水回用率，同時(shí)陰膜7的布置不僅隔絕了陰室組件5與陽(yáng)室組件6的內(nèi)腔，同時(shí)保證了銅離子的濃度。上述蝕刻廢液經(jīng)過(guò)電解后無(wú)損分離出塊狀電解銅，在電場(chǎng)的作用下，氯離子向陽(yáng)室組件6的內(nèi)腔中迀移、分離并形成再生液，而陰室組件5內(nèi)電解后的一部分廢液形成殘液，殘液與再生液以1:50的比例混合，由此形成可供蝕刻線再利用的新液，該新液以3000-60001的速度返回蝕刻生產(chǎn)線使用。
[0019]以上描述是對(duì)本實(shí)用新型的解釋，不是對(duì)實(shí)用新型的限定，本實(shí)用新型所限定的范圍參見(jiàn)權(quán)利要求，在不違背本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)的情況下，本實(shí)用新型可以作任何形式的修改。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備，其特征在于:包括帶有陽(yáng)極(8)的陽(yáng)室組件(6)，所述陽(yáng)室組件(6)設(shè)置于一對(duì)陰室組件(5)之間，在各陰室組件(5)內(nèi)設(shè)置陰極(9);各陰室組件(5)的內(nèi)側(cè)與陽(yáng)室組件(6)的兩側(cè)之間分別設(shè)置陰膜(7)，于各陰室組件(5)的外側(cè)也分別設(shè)置陰模(7);于所述陰室組件(5)的兩端分別開(kāi)設(shè)陰室進(jìn)液口(I)及再生液出液口(4)，于所述陽(yáng)室組件(6)的兩端分別開(kāi)設(shè)陽(yáng)室進(jìn)液口(2)及殘液出液口(3)，各陽(yáng)室組件(6)、陰室組件(5)及陰膜(7)均連接形成一體。2.如權(quán)利要求1所述的一種針對(duì)鹽酸體系的蝕刻液再生循環(huán)設(shè)備，其特征在于:所述陰室組件(5)以陽(yáng)室組件(6)為中心對(duì)稱布置;所述陽(yáng)室進(jìn)液口(I)以陰室進(jìn)液口(2)為中心對(duì)稱布置;所述再生液出液口( 4)以殘液出液口( 3)為中心對(duì)稱布置。
【文檔編號(hào)】C23F1/08GK205443453SQ201620012134
【公開(kāi)日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年1月7日
【發(fā)明人】郭峰, 郭志敏, 陳啟山, 林元吉, 佟永明
【申請(qǐng)人】無(wú)錫市瑞思科環(huán)?？萍加邢薰?br>