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      一種開(kāi)放體系SiC納米線的制備方法與流程

      文檔序號(hào):11269961閱讀:372來(lái)源:國(guó)知局
      一種開(kāi)放體系SiC納米線的制備方法與流程

      本發(fā)明涉及一種sic納米線的制備方法,具體的說(shuō)是涉及一種開(kāi)放體系sic納米線的制備方法。



      背景技術(shù):

      在眾多一維納米材料的研究中,寬帶隙半導(dǎo)體一維材料的合成及物性研究己成為主要研究熱點(diǎn)之一。而在這些寬帶隙半導(dǎo)體材料中,sic晶體材料是一種直接寬帶隙半導(dǎo)體材料,其常溫禁帶寬度為3.0ev,具有高飽和電子漂移速率和導(dǎo)電性等特性,成為制作高頻、大功率、低能耗、耐高溫和抗輻射器件的理想材料。

      一維納米材料相比于體材料具有更優(yōu)越的性能。一維碳化硅材料由于量子尺寸效應(yīng)、小尺寸效應(yīng)和表面效應(yīng),具有更優(yōu)異的發(fā)光性能,電學(xué)性能,場(chǎng)發(fā)射性質(zhì)和光催化效應(yīng)。除此之外,碳化硅一維納米材料在儲(chǔ)氫和原子力顯微鏡的探針以及傳感和增強(qiáng)復(fù)合材料等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。

      鑒于一維碳化硅材料的優(yōu)異性能,科研工作者就碳化硅納米線的制備做了大量的工作。j.j.niu,j.n.wang于2007年在europeanjournalofinorganicchemistry(歐洲無(wú)機(jī)化學(xué)雜志,2007,4006~4010)發(fā)表了題為:anapproachtothesynthesisofsiliconcarbidenanowiresbysimplethermalevaporationofferroceneontosiliconwafers(二茂鐵在硅晶片表面上熱蒸發(fā)合成碳化硅納米線)的文章。文中將硅晶片放在高溫反應(yīng)段,并在硅晶片上鋪設(shè)二茂鐵粉體,當(dāng)溫度達(dá)到1550℃時(shí),二茂鐵熱解產(chǎn)生碳和催化劑鐵以此合成碳化硅納米線。該法中,二茂鐵在達(dá)到反應(yīng)溫度之前就會(huì)因高溫?fù)]發(fā),并且只能與硅片表面接觸,所得的納米線產(chǎn)量較少。

      j.zhu等報(bào)道了以sicl4為硅源,c6h6為碳源,二茂鐵為催化劑在sicl4-c6h6-h2-ar體系下合成碳化硅納米棒(solidstatecommunications,118(2001),595-598),此方法裝備設(shè)置較為復(fù)雜,且c6h6有毒,嚴(yán)重影響操作人員的身體健康。

      zl201410675593.1公開(kāi)了一種制備碳化硅納米線的方法,將有機(jī)酚醛樹(shù)脂和無(wú)機(jī)硅粉機(jī)械混合,裝入瓷方舟中,在氬氣保護(hù)下1200℃~1400℃下保溫1~4h,然后再冷卻到常溫,即可得到碳化硅的納米線。

      zl201410653437.5公開(kāi)了一種制備碳化硅納米線的方法,按照碳元素與硅元素的摩爾比為(3~1):1稱(chēng)取石墨、硅和二氧化硅,其中硅和二氧化硅的物質(zhì)的量相同;再稱(chēng)取催化劑,催化劑與硅的質(zhì)量比為(5~20%):1,將所有原料混合,進(jìn)行球磨8~30h,然后干燥后放入瓷方舟推至管式爐中央,在氬氣保護(hù)、常壓條件下,升溫至1150~1350℃、反應(yīng)1~4h,再降至常溫,即獲得超長(zhǎng)碳化硅納米線。

      zl200610049667.6公開(kāi)了一種合成碳化硅納米棒的方法,是將碎硅片置于石墨坩鍋里,將盛有碳納米管的多孔氧化鋁基片放置于坩鍋上,隨后倒置另一石墨坩鍋于基片上;將坩鍋放置真空高溫?zé)Y(jié)爐里,以10~30℃/min的升溫速率一直升溫到1400℃~1600℃,保溫時(shí)間3~6個(gè)小時(shí),硅蒸氣與碳納米管反應(yīng),整個(gè)裝置在氬氣的氣氛下進(jìn)行,反應(yīng)結(jié)束后,關(guān)掉加熱電源,冷卻;最后有大量的灰白色的納米sic棒粉體產(chǎn)品附著在基片上。

      綜上所述,碳化硅納米線的制備通常是在封閉的反應(yīng)體系中進(jìn)行。目前尚沒(méi)有在開(kāi)放體系中,并且以乙醇或丙醇作為碳源制備碳化硅納米線的先例。目前制備碳化硅納米線一般主要在封閉體系中使用硅粉、二氧化硅、或者四氯化硅為硅源,石墨片、酚醛樹(shù)脂為碳源或有機(jī)物裂解碳得到碳源。這些方法容易產(chǎn)生其他分解產(chǎn)物的雜質(zhì)或者是固態(tài)物質(zhì)的殘留,制備所得到的納米線純度以及均勻性會(huì)有所影響,產(chǎn)量也不是很高,在封閉的空間內(nèi)也無(wú)法實(shí)現(xiàn)碳化硅納米線的連續(xù)制備。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      為了克服背景技術(shù)領(lǐng)域中存在的問(wèn)題,本發(fā)明的目的是提供一種開(kāi)放體系sic納米線的制備方法,是一種方法簡(jiǎn)單,低能源消耗成本,并且可操作性強(qiáng),可進(jìn)行大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的,首次在開(kāi)放體系中以硅粉為硅源,以乙醇作為碳源通過(guò)高溫裂解得到碳源,在惰性氣體氬氣的流通下通過(guò)碳熱還原反應(yīng)得到sic納米線的方法。

      本發(fā)明是通過(guò)以下工藝方法實(shí)現(xiàn)的:

      本發(fā)明在開(kāi)放體系中以金屬硅粉為硅源,乙醇或丙醇為碳源,通過(guò)碳熱還原反應(yīng)制備出sic納米線;具體工藝過(guò)程如下:

      1)開(kāi)放體系中的實(shí)驗(yàn)裝置包括:高溫管式爐、液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵和氬氣瓶;

      2)將盛有金屬硅粉的石英坩堝放入管式爐中間區(qū)域,并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙

      3)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵和氬氣瓶分別插入管式爐內(nèi),根據(jù)反應(yīng)所需要的溫度來(lái)設(shè)定管式爐的升溫程序,并根據(jù)液態(tài)碳源乙醇或丙醇注射量的多少來(lái)設(shè)定反應(yīng)保溫時(shí)間;

      4)當(dāng)溫度達(dá)到反應(yīng)所需要的溫度時(shí),開(kāi)啟液態(tài)碳源數(shù)字注射泵,將碳源乙醇或丙醇通過(guò)數(shù)字注射泵注入管式爐內(nèi),并開(kāi)通氬氣瓶,將液態(tài)碳源乙醇或丙醇通過(guò)高溫裂解氣化得到碳源,再通過(guò)氬氣輸送至管式爐中間區(qū)域反應(yīng)段進(jìn)行碳熱還原反應(yīng);

      5)待液態(tài)碳源注射結(jié)束后,開(kāi)始啟動(dòng)降溫程序,降至常溫時(shí),在管式爐的低溫段鋪設(shè)的石墨紙上沉積有淺綠色纖維產(chǎn)物。

      所述步驟1)的開(kāi)放體系中的實(shí)驗(yàn)裝置是通過(guò)管式爐低溫端不接法蘭,直接與空氣相通實(shí)現(xiàn)開(kāi)放的,液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵和氬氣瓶是與法蘭相連并與管式爐相通,從而實(shí)現(xiàn)液態(tài)碳源的注入和氬氣的輸送。

      所述步驟2)金屬硅粉,有三種不同的形式,經(jīng)過(guò)球磨處理的硅粉、未經(jīng)球磨處理硅粉和納米級(jí)硅粉;經(jīng)過(guò)球磨處理的硅粉能降低硅粉的粒級(jí),增大反應(yīng)接觸面積。

      所述步驟3)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵與法蘭相連接并延伸至管式爐爐膛內(nèi)為25cm~27cm,管式爐設(shè)定的升溫程序?yàn)?℃/min,反應(yīng)所需溫度為1500~1600℃,保溫時(shí)間則根據(jù)液態(tài)碳源注射量的多少,設(shè)置為2~4h。

      所述步驟4)中氬氣的載氣速度為50~300ml/min,液態(tài)碳源的注射速度為0.2~1ml/min。

      所述步驟5)中的降溫程序?yàn)?℃/min,在低溫沉積段石墨紙上沉積有淺綠色纖維產(chǎn)物,為sic納米線。

      本發(fā)明具有的有益效果是:

      本發(fā)明在開(kāi)放體系下,首次以成本較低的液態(tài)乙醇或丙醇為碳源,以硅粉為硅源,通過(guò)數(shù)字注射系統(tǒng)將液態(tài)碳源注入到管式爐內(nèi),通過(guò)氬氣將乙醇高溫裂解得到的碳源輸送到反應(yīng)段,通過(guò)碳熱還原反應(yīng)制備得到產(chǎn)物碳化硅納米線。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在開(kāi)放體系下成功制備碳化硅納米線,并且可以通過(guò)增加硅粉的量以及乙醇的注射量和延長(zhǎng)保溫時(shí)間從而可以有望實(shí)現(xiàn)的碳化硅納米線連續(xù)制。該方法具有低能源消耗成本,工藝簡(jiǎn)單,無(wú)需催化劑等優(yōu)點(diǎn),該納米線可以應(yīng)用于增強(qiáng)陶瓷基復(fù)合材料、納米電子傳感器件、光催化等領(lǐng)域,同時(shí)還可以開(kāi)拓納米線的實(shí)際應(yīng)用范圍,并且本發(fā)明設(shè)備要求低,操作性強(qiáng),實(shí)驗(yàn)過(guò)程簡(jiǎn)單且適合碳化硅納米線連續(xù)制備。

      附圖說(shuō)明

      圖1是本發(fā)明開(kāi)放體系實(shí)驗(yàn)裝置的示意圖。

      圖2是本發(fā)明實(shí)施例1的產(chǎn)物的x射線衍射圖。

      圖3是本發(fā)明實(shí)施例1的產(chǎn)物的掃描電鏡圖。

      圖4是本發(fā)明實(shí)施例1的產(chǎn)物的透射電鏡圖。

      具體實(shí)施方式

      以下結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。

      如圖1所示,開(kāi)放體系中的實(shí)驗(yàn)裝置包括:管式爐、液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵和氬氣瓶;將盛有金屬硅粉的石英坩堝放入有加熱元件的管式爐中間區(qū)域,并在管式爐的低溫段鋪設(shè)石墨紙;開(kāi)放體系中的實(shí)驗(yàn)裝置是通過(guò)管式爐低溫端不接法蘭,直接與空氣相通實(shí)現(xiàn)開(kāi)放的,液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵和氬氣瓶是與法蘭相連并與管式爐相通,從而實(shí)現(xiàn)液態(tài)碳源的注入和氬氣的輸送。

      實(shí)施例1:

      1、以純度為99.9%的硅粉為硅源,不經(jīng)過(guò)球磨處理,稱(chēng)硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1500℃,當(dāng)溫度達(dá)到1500℃時(shí),開(kāi)始保溫2h。

      3、量取97%乙醇20ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將乙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.2ml/min,通過(guò)乙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以50ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、保溫2h后,然后再以3℃/min降低至常溫,取出低溫段鋪設(shè)的石墨紙,石墨紙上生成了淺綠色絮狀沉積物,即為本發(fā)明的碳化硅納米線。

      如圖2所示,是本發(fā)明實(shí)施例1的產(chǎn)物的x射線衍射圖。如圖3所示,是本發(fā)明實(shí)施例1的產(chǎn)物的掃描電鏡圖。如圖4所示,是本發(fā)明實(shí)施例1的產(chǎn)物的透射電鏡圖。

      實(shí)施例2:

      1、以純度為99.9%的硅粉為硅源,不經(jīng)過(guò)球磨處理,將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1550℃,當(dāng)溫度達(dá)到1550℃時(shí),開(kāi)始保溫2h。

      3、量取97%乙醇50ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將乙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.5ml/min,通過(guò)乙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以100ml/min的氬氣載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、步驟d與實(shí)施例1相同。

      實(shí)施例3:

      1、以純度為99.9%的硅粉為硅源,不經(jīng)過(guò)球磨處理,將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1600℃,當(dāng)溫度達(dá)到1600℃時(shí),開(kāi)始保溫2h

      3、量取97%丙醇80ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將丙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.8ml/min,通過(guò)丙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以300ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、步驟d與實(shí)施例1相同。

      實(shí)施例4:

      1、以純度為99.9%的硅粉為硅源,將硅粉經(jīng)過(guò)球磨,控制轉(zhuǎn)速為100r/min、球磨時(shí)間0.5h,過(guò)篩干燥后將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1500℃,當(dāng)溫度達(dá)到1500℃時(shí),開(kāi)始保溫3h。

      3、量取97%乙醇60ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將乙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.4ml/min,通過(guò)乙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以180ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、保溫3h后,然后再以3℃/min降低至常溫,取出低溫段鋪設(shè)的石墨紙,石墨紙上生成了淺綠色絮狀沉積物,即為本發(fā)明的碳化硅納米線。

      實(shí)施例5:

      1、以純度為99.9%的硅粉為硅源,將硅粉經(jīng)過(guò)球磨,控制轉(zhuǎn)速為120r/min、球磨時(shí)間1h,過(guò)篩干燥后將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1550℃,當(dāng)溫度達(dá)到1550℃時(shí),開(kāi)始保溫3h

      3、量取97%乙醇90ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將乙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.6ml/min,通過(guò)乙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以240ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、步驟d與實(shí)施例4相同。

      實(shí)施例6:

      1、以純度為99.9%的硅粉為硅源,將硅粉經(jīng)過(guò)球磨,控制轉(zhuǎn)速為150r/min、球磨時(shí)間1h,過(guò)篩干燥后將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1600℃,當(dāng)溫度達(dá)到1600℃時(shí),開(kāi)始保溫3h。

      3、量取97%丙醇130ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將丙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.8ml/min,通過(guò)丙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以300ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、步驟d與實(shí)施例4相同。

      實(shí)施例7:

      1、以納米硅粉為硅源,粒徑為20~60nm,,將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1500℃,當(dāng)溫度達(dá)到1500℃時(shí),開(kāi)始保溫4h。

      3、量取97%乙醇40ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將乙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.2ml/min,通過(guò)乙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以50ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、保溫4h后,然后再以3℃/min降低至常溫,取出低溫段鋪設(shè)的石墨紙,石墨紙上生成了淺綠色絮狀沉積物,即為本發(fā)明的碳化硅納米線。

      實(shí)施例8:

      1、以納米硅粉為硅源,粒級(jí)為20~60nm,將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1550℃,當(dāng)溫度達(dá)到1550℃時(shí),開(kāi)始保溫4h。

      3、量取97%乙醇80ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將乙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為0.4ml/min,通過(guò)乙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以160ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、步驟d與實(shí)施例7相同。

      實(shí)施例9:

      1、以納米硅粉為硅源,粒徑為20~60nm,,將硅粉放入石英坩堝內(nèi),并將石英坩堝推送至管式爐的中間區(qū)域。并在管式爐的低溫段鋪設(shè)一層石墨紙,用來(lái)收集反應(yīng)低溫沉積所得到的sic納米線。

      2、根據(jù)碳熱還原反應(yīng)制備sic納米線所需要的溫度設(shè)置升溫程序,以5℃/min的升溫速率升至1600℃,當(dāng)溫度達(dá)到1600℃時(shí),開(kāi)始保溫4h。

      3、量取97%丙醇200ml,裝入注射器中,通過(guò)液態(tài)碳源的數(shù)字注射泵將丙醇注入到管式爐內(nèi),注射速率為1ml/min,通過(guò)丙醇高溫裂解氣化獲得碳源,并開(kāi)通氬氣以300ml/min的載氣速度將裂解氣化的碳源輸送到高溫反應(yīng)段,參與反應(yīng)。

      4、步驟d與實(shí)施例7相同。

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