硅棒粘棒機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅棒粘棒機(jī)，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，目前國內(nèi)生產(chǎn)多晶硅的工藝大部分都是常規(guī)三氯氫硅氫還原法，即改良西門子法，改良西門子法或其他類似方法生產(chǎn)大直徑多晶硅的主要設(shè)備是多晶硅還原爐，多晶硅還原爐在細(xì)長的硅芯上通上電源，使硅芯加熱發(fā)紅，直至表面溫度達(dá)到1100攝氏度，通入高純的三氯氫硅和氫氣，使其在高溫下發(fā)生氫還原反應(yīng)，使三氯氫硅中的硅分子堆積在硅芯上，使其的直徑不斷地增大，通常，硅芯的直徑在7-10毫米，可以是圓形也可以是方型，或是其他形狀，最終通過氫還原反應(yīng)使直徑不斷地增大到120-200毫米，生產(chǎn)出高純太陽能級(jí)6N或電子級(jí)IlN的多晶硅。
[0003]現(xiàn)硅芯的制備方法有二種，傳統(tǒng)的方法是用CZ法(區(qū)熔提拉法)，即把直徑在20-50毫米的硅棒在充滿惰性氣體的真空爐膛內(nèi)用高頻感應(yīng)加熱，使其頂部局部熔化，從上部放入I根直徑在5-10毫米的籽晶，然后慢慢向上提拉，使其成為直徑在7-10毫米，長度在1900-3000毫米之間的細(xì)長硅芯，其缺點(diǎn)是提拉速度慢，一般為8-12毫米/分鐘，拉制I根2米的硅芯需要4小時(shí)，生產(chǎn)效率低，電力消耗大，設(shè)備投資大。
[0004]另一種是用金剛石工具切割法，美國Diamond Wire Technology公司研制出采用金剛石線的數(shù)控多晶硅細(xì)長硅芯多線切割機(jī)床，用于硅芯的制備。通過利用電鍍上金剛石微粒的細(xì)鋼絲線在被加工工件上高速地往復(fù)運(yùn)動(dòng)或單向移動(dòng)，將硅棒壓在該機(jī)床用金剛石線交叉組成的方形線網(wǎng)上，從而將該硅棒切割成細(xì)長的硅芯。其優(yōu)點(diǎn)十分明顯，10-12小時(shí)可以切割出200根左右2米長的7X7或8X8毫米的方形硅芯，電力消耗小，加工效率高。
[0005]硅芯切割時(shí)需要將硅棒懸掛至切割機(jī)上，硅棒懸掛前需要通過粘合膠將硅棒與晶座連接在一起，由于硅棒和晶座重量很重，因此整個(gè)粘棒過程操作十分不便，并且無法有效保證硅棒與晶座的同軸度，從而影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量和成材率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種硅棒粘棒機(jī)，它大大方便了硅棒的粘棒過程，保證了硅棒與晶座的同軸度，從而提高了最終產(chǎn)品的質(zhì)量和成材率。
[0007]本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種硅棒粘棒機(jī)，它包括工作平臺(tái)，所述工作平臺(tái)上設(shè)置有晶座固定座，所述晶座固定座后方設(shè)置有前后兩個(gè)娃棒固定座，所述前后兩個(gè)娃棒固定座之間設(shè)置有兩個(gè)硅棒支撐墊。
[0008]所述晶座固定座包括底座，所述底座上設(shè)置有左右兩條第一滑軌，所述左右兩條第一滑軌上設(shè)置有滑座，所述滑座上設(shè)置有第一支座和第二支座，所述第一支座位于第二支座前方，所述第一支座和第二支座頂部開設(shè)有弧形支撐槽，所述第一支座上設(shè)置有壓塊，所述第一支座前側(cè)設(shè)置有固定支架，所述固定支架上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)螺栓，所述左右兩條第一滑軌之間設(shè)置有第一螺桿支座，所述第一螺桿支座上穿裝有第一連接螺桿，所述第一連接螺桿前端設(shè)置有第一手輪，所述第一連接螺桿后端通過螺紋與滑座底部相連接。
[0009]所述第一滑軌前端設(shè)置有擋板。
[0010]所述硅棒固定座包括底板，所述底板上設(shè)置有豎直支撐板，所述豎直支撐板前側(cè)設(shè)置有上下兩條第二滑軌，所述上下兩條第二滑軌上左右對稱設(shè)置有兩個(gè)移動(dòng)夾板，所述兩個(gè)移動(dòng)夾板內(nèi)側(cè)開設(shè)有弧形卡槽，所述上下兩條第二滑軌右側(cè)設(shè)置有第二螺桿支座，所述第二螺桿支座上穿裝有第二連接螺桿，所述第二連接螺桿左段設(shè)置有兩段反向螺紋，所述第二連接螺桿通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個(gè)移動(dòng)夾板相連接，所述第二連接螺桿右端設(shè)置有第二手輪，所述移動(dòng)夾板后側(cè)開設(shè)有上下兩個(gè)滑槽，所述上下兩個(gè)滑槽分別位于弧形卡槽的上下兩側(cè)，所述上下兩個(gè)滑槽內(nèi)設(shè)置有夾塊，所述夾塊外側(cè)設(shè)置有固定塊，所述固定塊上設(shè)置有第二調(diào)節(jié)螺栓，所述夾塊上沿水平方向開設(shè)有限位孔，所述限位孔內(nèi)設(shè)置有限位螺栓。
[0011]所述硅棒支撐墊包括上下兩個(gè)弧形支撐墊，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊相對布置，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊之間設(shè)置有水平支撐墊。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果:
本發(fā)明一種硅棒粘棒機(jī)，它大大方便了硅棒的粘棒過程，保證了硅棒與晶座的同軸度，從而提尚了最終廣品的質(zhì)量和成材率。
【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明一種硅棒粘棒機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為圖1中硅棒固定座的局部示意圖。
[0015]其中:
工作平臺(tái)I 晶座固定座2 底座2.1 滑座2.2
第一滑軌2.3 擋板2.4 第一支座2.5 第二支座2.6 壓塊2.7 固定支架2.8 第一調(diào)節(jié)螺栓2.9 第一手輪2.10 第一螺桿支座2.11 第一連接螺桿2.12 娃棒固定座3 底板3.1 豎直支撐板3.2 第二螺桿支座3.3 第二滑軌3.4 第二連接螺桿3.5 第二手輪3.6 移動(dòng)夾板3.7 滑槽3.8 固定塊3.9 夾塊3.10 限位孔3.11 限位螺栓3.12 第二調(diào)節(jié)螺栓3.13 娃棒支撐墊4 弧形支撐墊4.1 水平支撐墊4.2 晶座5 娃棒6。
【具體實(shí)施方式】
[0016]參見圖1、圖2，本發(fā)明一種硅棒粘棒機(jī)，它包括工作平臺(tái)1，所述工作平臺(tái)I上設(shè)置有晶座固定座2，所述晶座固定座2后方設(shè)置有前后兩個(gè)娃棒固定座3，所述前后兩個(gè)娃棒固定座3之間設(shè)置有兩個(gè)硅棒支撐墊4 ;
所述晶座固定座2包括底座2.1，所述底座2.1上設(shè)置有左右兩條第一滑軌2.3，所述左右兩條第一滑軌2.3上設(shè)置有滑座2.2，所述滑座2.2上設(shè)置有第一支座2.5和第二支座2.6，所述第一支座2.5位于第二支座2.6前方，所述第一支座2.5和第二支座2.6頂部開設(shè)有弧形支撐槽，所述第一支座2.5上設(shè)置有壓塊2.7，所述第一支座2.5前側(cè)設(shè)置有固定支架2.8，所述固定支架2.8上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)螺栓2.9，所述左右兩條第一滑軌2.3之間設(shè)置有第一螺桿支座2.11，所述第一螺桿支座2.11上穿裝有第一連接螺桿2.12，所述第一連接螺桿2.12前端設(shè)置有第一手輪2.10，所述第一連接螺桿2.12后端通過螺紋與滑座
2.2底部相連接，所述第一滑軌2.3前端設(shè)置有擋板2.4 ;
所述硅棒固定座3包括底板3.1，所述底板3.1上設(shè)置有豎直支撐板3.2，所述豎直支撐板3.2前側(cè)設(shè)置有上下兩條第二滑軌3.4，所述上下兩條第二滑軌3.4上左右對稱設(shè)置有兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7，所述兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7內(nèi)側(cè)開設(shè)有弧形卡槽，所述上下兩條第二滑軌
3.4右側(cè)設(shè)置有第二螺桿支座3.3，所述第二螺桿支座3.3上穿裝有第二連接螺桿3.5，所述第二連接螺桿3.5左段設(shè)置有兩段反向螺紋，所述第二連接螺桿3.5通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7相連接，所述第二連接螺桿3.5右端設(shè)置有第二手輪3.6，通過第二手輪3.6轉(zhuǎn)動(dòng)第二連接螺紋3.5可以實(shí)現(xiàn)左右兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7同時(shí)向內(nèi)或向外移動(dòng)，所述移動(dòng)夾板3.7后側(cè)開設(shè)有上下兩個(gè)滑槽3.8，所述上下兩個(gè)滑槽3.8分別位于弧形卡槽的上下兩側(cè)，所述上下兩個(gè)滑槽3.8內(nèi)設(shè)置有夾塊3.10，所述夾塊3.10外側(cè)設(shè)置有固定塊3.9，所述固定塊3.9上設(shè)置有第二調(diào)節(jié)螺栓3.13，所述夾塊3.10上沿水平方向開設(shè)有限位孔3.11，所述限位孔3.11內(nèi)設(shè)置有限位螺栓3.12 ; 所述硅棒支撐墊4包括上下兩個(gè)弧形支撐墊4.1，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊4.1相對布置，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊4.1之間設(shè)置有水平支撐墊4.2。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:它包括工作平臺(tái)(1)，所述工作平臺(tái)(I)上設(shè)置有晶座固定座(2)，所述晶座固定座(2)后方設(shè)置有前后兩個(gè)娃棒固定座(3)，所述前后兩個(gè)娃棒固定座(3)之間設(shè)置有兩個(gè)娃棒支撐墊(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:所述晶座固定座(2)包括底座(2.1)，所述底座(2.1)上設(shè)置有左右兩條第一滑軌(2.3)，所述左右兩條第一滑軌(2.3)上設(shè)置有滑座(2.2)，所述滑座(2.2)上設(shè)置有第一支座(2.5)和第二支座(2.6)，所述第一支座(2.5)位于第二支座(2.6)前方，所述第一支座(2.5)和第二支座(2.6)頂部開設(shè)有弧形支撐槽，所述第一支座(2.5)上設(shè)置有壓塊(2.7)，所述第一支座(2.5)前側(cè)設(shè)置有固定支架(2.8)，所述固定支架(2.8)上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)螺栓(2.9)，所述左右兩條第一滑軌(2.3)之間設(shè)置有第一螺桿支座(2.11)，所述第一螺桿支座(2.11)上穿裝有第一連接螺桿(2.12)，所述第一連接螺桿(2.12)前端設(shè)置有第一手輪(2.10)，所述第一連接螺桿(2.12)后端通過螺紋與滑座(2.2)底部相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:所述第一滑軌(2.3)前端設(shè)置有擋板(2.4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:所述硅棒固定座(3)包括底板(3.1)，所述底板(3.1)上設(shè)置有豎直支撐板(3.2)，所述豎直支撐板(3.2)前側(cè)設(shè)置有上下兩條第二滑軌(3.4)，所述上下兩條第二滑軌(3.4)上左右對稱設(shè)置有兩個(gè)移動(dòng)夾板(3.7)，所述兩個(gè)移動(dòng)夾板(3.7)內(nèi)側(cè)開設(shè)有弧形卡槽，所述上下兩條第二滑軌(3.4)右側(cè)設(shè)置有第二螺桿支座(3.3)，所述第二螺桿支座(3.3)上穿裝有第二連接螺桿(3.5)，所述第二連接螺桿(3.5)左段設(shè)置有兩段反向螺紋，所述第二連接螺桿(3.5)通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個(gè)移動(dòng)夾板(3.7)相連接，所述第二連接螺桿(3.5)右端設(shè)置有第二手輪(3.6)，所述移動(dòng)夾板(3.7)后側(cè)開設(shè)有上下兩個(gè)滑槽(3.8)，所述上下兩個(gè)滑槽(3.8)分別位于弧形卡槽的上下兩側(cè)，所述上下兩個(gè)滑槽(3.8)內(nèi)設(shè)置有夾塊(3.10)，所述夾塊(3.10)外側(cè)設(shè)置有固定塊(3.9)，所述固定塊(3.9)上設(shè)置有第二調(diào)節(jié)螺栓(3.13)，所述夾塊(3.10)上沿水平方向開設(shè)有限位孔(3.11)，所述限位孔(3.11)內(nèi)設(shè)置有限位螺栓(3.12)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:所述硅棒支撐墊(4)包括上下兩個(gè)弧形支撐墊(4.1)，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊(4.1)相對布置，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊(4.1)之間設(shè)置有水平支撐墊(4.2)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種硅棒粘棒機(jī)，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。它包括工作平臺(tái)（1），所述工作平臺(tái)（1）上設(shè)置有晶座固定座（2），所述晶座固定座（2）后方設(shè)置有前后兩個(gè)硅棒固定座（3），所述前后兩個(gè)硅棒固定座（3）之間設(shè)置有兩個(gè)硅棒支撐墊（4）。本發(fā)明一種硅棒粘棒機(jī)，它大大方便了硅棒的粘棒過程，保證了硅棒與晶座的同軸度，從而提高了最終產(chǎn)品的質(zhì)量和成材率。
【IPC分類】C01B33-035
【公開號(hào)】CN104817086
【申請?zhí)枴緾N201510189887
【發(fā)明人】陳大春, 袁鄭堂, 薛榮國, 孫勇
【申請人】江陰東升新能源有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年4月21日