保護(hù)膜、用于晶圓劃片膜的基材薄膜及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本申請屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種保護(hù)膜、用于晶圓劃片膜的基材薄 膜及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前的晶圓切割劃片膜的基材薄膜一般是采用單一型號的聚乙烯并添加部分助 劑聚合生成，其生產(chǎn)工藝一般是吹塑、流延、壓延發(fā)生產(chǎn)，從而使這種基材膜的表面光滑潔 凈，顏色透明，或者是采用比較粗紋路的光棍進(jìn)行表面處理而使表面顆粒狀粗大，顏色偏 白，但是這種基材生產(chǎn)出的晶圓劃片膜強(qiáng)度一般不高，容易撕破；另外，由于表面過于光滑 或者過于粗糙，而使后續(xù)再使用過程中很不方便。
[0003] 在晶圓劃片膜使用過程中，特別是針對UV型晶圓劃片膜的使用過程中，由于拉伸 強(qiáng)度過低，使晶圓在擴(kuò)膜過程中容易由于劃片膜的破損而導(dǎo)致晶粒散落；在貼膜的過程中， 由于劃片膜的表面過于光滑而使劃片膜和壓輥之間的產(chǎn)生"粘棍"的現(xiàn)象，從而使貼膜容易 失敗。
[0004] 在晶圓劃片膜使用過程中，特別是晶圓劃片后在照射UV的過程中，由于劃片膜的 表面過于粗糙，表面顆粒度過大，從而使UV光的能量過分反射而達(dá)不到膠粘層從而使膠粘 層的粘度固化不徹底或者固化時(shí)間過長，照射UV的時(shí)間過長或者粘度固化不徹底都會造 成膠粘層的殘膠。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的在于提供一種保護(hù)膜、用于晶圓劃片膜的基材薄膜及其制造方法， 以克服現(xiàn)有技術(shù)中針對晶圓劃片過程中容易出現(xiàn)的破膜和殘膠的技術(shù)問題。
[0006] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
[0007] 本申請實(shí)施例公開了一種用于晶圓劃片膜的基材薄膜，該基材薄膜365nm波長光 的透光率大于30%小于90%;所述基材薄膜單面磨砂，且磨砂顆粒度直徑不大于10 μm ;所 述基材薄膜的拉伸強(qiáng)度在l〇N\in到92N\in ;所述基材薄膜的伸長率380%到1930%。
[0008] 優(yōu)選的，在上述的用于晶圓劃片膜的基材薄膜中，所述基材薄膜的材質(zhì)選自聚烯 烴和醋酸乙烯酯共聚物材料中的一種或多種的組合。
[0009] 優(yōu)選的，在上述的用于晶圓劃片膜的基材薄膜中，所述基材薄膜的材質(zhì)按照重量 比包括5%~30%的低密度聚乙烯（LDPE)、10%~45%的線形低密度聚乙烯（LLDPE)、 20%~50%的茂金屬聚烯烴（MLDPE)、5%~35%的醋酸乙烯酯共聚物（EVA)、0.1 %~5% 的助劑。
[0010] 相應(yīng)的，本申請實(shí)施例還公開了一種用于晶圓劃片膜的基材薄膜的制造方法，包 括：
[0011] ⑴、物料混合，該物料按照重量比包括5 %~30%的低密度聚乙烯（LDPE)、 10 %~45 %的線形低密度聚乙烯（LLDPE)、20 %~50 %的茂金屬聚烯烴（MLDPE)、5 %~ 35%的醋酸乙烯酯共聚物（EVA)、0.1 %~5%的助劑；
[0012] (2)、將所述物料進(jìn)行吹塑法或流延法制膜，同時(shí)采用顆粒度為0.1 um到IOum的壓 紋輥進(jìn)行單面壓紋。
[0013] 優(yōu)選的，在上述的用于晶圓劃片膜的基材薄膜的制造方法中，所述物料按照重量 比包括30%的低密度聚乙烯、20%的線形低密度聚乙烯、40%的茂金屬聚烯烴、9%的醋酸 乙烯酯共聚物、余量為助劑。
[0014] 進(jìn)一步地，所述助劑優(yōu)選為開口劑或爽滑劑。
[0015] 優(yōu)選的，在上述的用于晶圓劃片膜的基材薄膜的制造方法中，所述物料按照重量 比包括18 %的低密度聚乙烯、30 %的線形低密度聚乙烯、30 %的茂金屬聚烯烴、20 %的醋酸 乙烯酯共聚物、余量為助劑。
[0016] 本申請實(shí)施例還公開了一種保護(hù)膜，該保護(hù)膜365nm波長光的透光率大于30%小 于90% ;所述保護(hù)膜單面磨砂，且磨砂顆粒度直徑不大于IOym ;所述保護(hù)膜的拉伸強(qiáng)度在 10叭丨11到92"丨11;所述保護(hù)膜的伸長率380%到1930%。
[0017] 相應(yīng)地，本申請實(shí)施例還公開了一種保護(hù)膜的制造方法，包括：
[0018] (1)、物料混合，該物料按照重量比包括5 %~30%的低密度聚乙烯（LDPE)、 10 %~45 %的線形低密度聚乙烯（LLDPE)、20 %~50 %的茂金屬聚烯烴（MLDPE)、5 %~ 35%的醋酸乙烯酯共聚物（EVA)、0. 1 %~5%的助劑；
[0019] (2)、將所述物料進(jìn)行吹塑法或流延法制膜，同時(shí)采用納米壓輥進(jìn)行單面壓紋。
[0020] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明所獲得的基材薄膜由聚乙烯、聚丙烯 等聚烯烴材料中的一種或多種按比例聚合生成，相比一般的塑料薄膜做出的晶圓劃片膜產(chǎn) 品，這種薄膜做出的晶圓劃片UV膜產(chǎn)品其優(yōu)點(diǎn)是：1.需要的UV光能量更小；2.產(chǎn)品不會 "粘棍"，3.產(chǎn)品不容易破膜和殘膠。
【具體實(shí)施方式】
[0021] 本發(fā)明通過下列實(shí)施例作進(jìn)一步說明：根據(jù)下述實(shí)施例，可以更好地理解本發(fā)明。 然而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解，實(shí)施例所描述的具體的物料比、工藝條件及其結(jié)果僅用 于說明本發(fā)明，而不應(yīng)當(dāng)也不會限制權(quán)利要求書中所詳細(xì)描述的本發(fā)明。
[0022] 選取上海頎璞公司的晶圓切割膜B-363產(chǎn)品配方膠水，用0. 05mm厚度的單面硅離 型PET膜轉(zhuǎn)移涂布，涂布設(shè)備為太倉廣盛產(chǎn)品高精密涂布機(jī)涂布，速度45m\min，涂布干膠 厚度為0.025mm，選取不同的特性的基材薄膜，對比其性能。其中剝離力測試按照國標(biāo)GB/ T 2792-81測試方式實(shí)施，拉伸強(qiáng)度測試和斷裂伸長率按照國標(biāo)GB/T 1040-92測試方式實(shí) 施。
[0023] 實(shí)施例 I :LDPE (臺塑 9001) 18 % 含量，LLDPE (石化 /DFDA-7042) 30 % 含量， MLDPE(?？松梨?018FA)30%含量，EVA(中國臺灣聚合UE639-04)20%含量，其他開口 劑等助劑2%。吹塑法制膜（臺聯(lián)TL-A90型吹膜機(jī)），采用5um顆粒度的壓紋棍單面壓紋 (I. 5kg壓力），厚度150um的基材膜。外觀檢測單面鏡面單面磨砂，磨砂面紋路深度0. 6um ; 測試UV透光率43%，拉伸強(qiáng)度31N，伸長率1060%。
[0024] 實(shí)施例 2 :LDPE (臺塑 9001) 30 % 含量，LLDPE (石化 /DFDA-7042) 20 % 含量， MLDPE(?？松梨?018FA)40%含量，EVA(中國臺灣聚合