專利名稱：具有軸向推力平衡器件的再生真空泵的制作方法
具有軸向推力平衡器件的再生真空泵本發(fā)明涉及一種用于泵送流體介質(zhì)(氣體或液體)的泵。特別地，但并非排它地，本發(fā)明涉及一種被構(gòu)造為再生真空泵的真空泵。盡管下文將結(jié)合真空泵對本發(fā)明進(jìn)行描述，但應(yīng)該理解本發(fā)明絕不旨在局限于真空泵且本發(fā)明同樣可應(yīng)用于其他類型的泵，如液體泵、氣體壓縮機(jī)等。包括再生泵送機(jī)構(gòu)的真空泵是已公知的。已公知的再生泵送機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)子葉片的多個環(huán)形陣列，所述陣列被安裝在轉(zhuǎn)子上且從轉(zhuǎn)子沿軸向延伸進(jìn)入形成于定子中的相應(yīng)的環(huán)形通道內(nèi)。轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致葉片沿所述通道行進(jìn)，從而形成氣體漩渦，所述氣體漩渦沿流動路徑在泵送機(jī)構(gòu)的入口與出口之間流動。這類真空泵的實例是所屬技術(shù)領(lǐng)域已公知的且所述泵的特定變型見于EP0568069 和EP1170508中。這些文獻(xiàn)中描述的再生泵送機(jī)構(gòu)可包括以盤狀構(gòu)型形成的轉(zhuǎn)子，且在該轉(zhuǎn)子的任一側(cè)上都具有泵元件。被泵送的氣體沿循流動路徑流動，所述流動路徑被布置從而使得氣體沿轉(zhuǎn)子的一側(cè)從入口流出且隨后以序列方式被傳遞至轉(zhuǎn)子的另一側(cè)且由此向前到達(dá)出口。本發(fā)明提供了一種相對于常規(guī)泵而言經(jīng)過改進(jìn)的泵。因此，本發(fā)明提供了一種真空泵轉(zhuǎn)子，所述真空泵轉(zhuǎn)子適用于真空泵中，所述泵包括再生泵送機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)子具有大體上扁盤狀的構(gòu)型且可被安裝在軸向軸上以便相對于真空泵的定子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，其中所述轉(zhuǎn)子具有第一表面和與所述第一表面相對的第二表面，且轉(zhuǎn)子構(gòu)造被設(shè)置在所述第一表面和所述第二表面中，每個轉(zhuǎn)子構(gòu)造限定出在所述泵轉(zhuǎn)子與定子之間形成的泵級的一部分，從而使得氣體可從入口被泵送至出口且沿相同的徑向方向沿所述相對的第一表面和第二表面被泵送，且其中導(dǎo)管被設(shè)置以便將所述泵級的所述部分相互連接起來。結(jié)果是，所述導(dǎo)管提供了一種能夠?qū)λ鲛D(zhuǎn)子上的壓力不平衡進(jìn)行彌補(bǔ)的方式。所述導(dǎo)管可被布置以便穿過所述轉(zhuǎn)子或者所述導(dǎo)管可被設(shè)置在定子中。此外，所述轉(zhuǎn)子可包括至少兩個泵級，所述泵級被布置以便對從所述入口到達(dá)所述出口的被泵送的氣體進(jìn)行壓縮，從而使得被設(shè)置在接近所述入口的位置處的第一泵級可在比更接近所述出口的第二泵級更低的壓力下運(yùn)行，且所述導(dǎo)管被設(shè)置在所述第二泵級處。此外，所述導(dǎo)管可包括多條離散的氣體通路，所述多條離散的氣體通路被布置以便將所述泵級的所述部分相互連接起來。此外，本發(fā)明提供了真空泵，所述真空泵包括如上所述的轉(zhuǎn)子，所述泵進(jìn)一步包括定子，所述定子具有第一表面和第二表面，每個定子表面被布置以便面對所述第一轉(zhuǎn)子表面或所述第二轉(zhuǎn)子表面中的一個表面，其中每個定子表面包括同心通道，所述同心通道被布置以便與所述轉(zhuǎn)子構(gòu)造中的一個轉(zhuǎn)子構(gòu)造協(xié)同作用從而在所述泵級上形成氣體流動路徑。此外，所述定子和所述轉(zhuǎn)子的所述第一表面和所述第二表面可被布置成平的表面，所述定子通道可被布置以便在所述定子表面下方延伸，且所述轉(zhuǎn)子構(gòu)造可被布置以便在所述轉(zhuǎn)子表面下方延伸。此外，可在所述轉(zhuǎn)子與所述定子之間形成氣體密封件以便減輕氣體從所述泵級中泄漏的情況，所述氣體密封件包括所述定子表面和所述轉(zhuǎn)子表面的面對彼此的平的部分。因此，所述相應(yīng)的定子和轉(zhuǎn)子的面對彼此的所述平的表面協(xié)同作用以便形成氣體密封裝置為了實現(xiàn)該目的，所述定子的所述第一表面和所述第二表面可被布置成平面表面且平行于彼此。本發(fā)明提供了一種泵，所述泵包括再生泵送機(jī)構(gòu)，所述再生泵送機(jī)構(gòu)具有大體上呈盤形的泵轉(zhuǎn)子，所述泵轉(zhuǎn)子被安裝在軸向主動軸上以便相對于定子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述泵轉(zhuǎn)子具有轉(zhuǎn)子構(gòu)造，所述轉(zhuǎn)子構(gòu)造被設(shè)置在表面中且限定出流動路徑的至少一部分，所述流動路徑用于將氣體從入口泵送至出口且形成于所述泵送機(jī)構(gòu)的所述泵轉(zhuǎn)子與所述轉(zhuǎn)子之間，所述泵轉(zhuǎn)子和所述定子包括軸向氣體軸承，所述軸向氣體軸承被布置以便對在泵運(yùn)行過程中在所述轉(zhuǎn)子與所述定子之間形成的軸向空隙進(jìn)行控制。因此，泵的這種構(gòu)型提供了被設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子上的氣體軸承，所述氣體軸承使得能夠?qū)λ霰玫霓D(zhuǎn)子部件與定子部件之間的軸向空隙進(jìn)行控制并改進(jìn)了這種控制。另一種可選方式是，或此外，本發(fā)明提供了一種泵，所述泵包括再生泵送機(jī)構(gòu)，所述再生泵送機(jī)構(gòu)包括大體上呈盤形的泵轉(zhuǎn)子，所述泵轉(zhuǎn)子被安裝在軸向軸上以便相對于定子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述泵轉(zhuǎn)子具有第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面中的每個表面都具有在所述表面上以同心圓的方式形成的一系列成形凹部，和在所述定子的面對所述泵轉(zhuǎn)子的第一表面或第二表面中的一個表面的表面中形成的定子通道，其中所述同心圓中的每個同心圓與定子通道的一部分對準(zhǔn)以便形成在所述泵的入口與出口之間延伸的氣體流動路徑的一個區(qū)段，且所述泵轉(zhuǎn)子將流動路徑的所述區(qū)段分成子區(qū)段，從而使得氣體可沿任何子區(qū)段朝向所述出口同時流動。結(jié)果是，被泵送的所述氣體沿所述轉(zhuǎn)子的兩個表面以平行方式流動。因此，這種構(gòu)型可提供泵送機(jī)構(gòu)，其中所述轉(zhuǎn)子的任一側(cè)上的氣體壓力可大體上相等或平衡。另一種可選方式是，或此外，本發(fā)明提供了一種再生泵轉(zhuǎn)子，所述再生泵轉(zhuǎn)子包括大體上呈盤形的泵轉(zhuǎn)子，所述泵轉(zhuǎn)子可被安裝到軸向軸上以便相對于泵定子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述泵轉(zhuǎn)子具有第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面中的每個表面都具有在所述表面上以同心圓的方式形成的一系列成形凹部，且所述凹部被構(gòu)造以便面對在定子表面中形成的定子通道，其中在使用過程中，所述同心圓中的每個同心圓與定子通道的一部分對準(zhǔn)，以便形成在真空泵的入口與出口之間延伸的氣體流動路徑的一個區(qū)段，且所述氣體流動路徑被所述轉(zhuǎn)子分開，從而使得氣體可沿所述第一表面和所述第二表面朝向所述出口同時流動。因此，這種構(gòu)型可提供一種泵送轉(zhuǎn)子機(jī)構(gòu)，其中所述轉(zhuǎn)子的任一側(cè)上的氣體壓力可大體上相等或平衡。所述軸向氣體軸承可包括位于所述泵轉(zhuǎn)子上的轉(zhuǎn)子部段和位于所述定子上的定子部段。這種構(gòu)型使得相對易于在相對較少的部件上形成多個泵部段。所述定子可包括位于與所述泵轉(zhuǎn)子的相應(yīng)的軸向側(cè)相鄰的位置處的兩個定子部分，所述轉(zhuǎn)子構(gòu)造被設(shè)置在所述泵轉(zhuǎn)子的所述軸向側(cè)中的每個軸向側(cè)上，且所述流動路徑被所述泵轉(zhuǎn)子分成子流動路徑，從而使得氣體可沿所述泵轉(zhuǎn)子的每個軸向側(cè)同時流至所述出口。此外，所述子流動路徑可被布置以便圍繞所述泵轉(zhuǎn)子的徑向中心線是對稱的。此外，第一流動路徑子區(qū)段和第二流動路徑子區(qū)段可由被設(shè)置在所述泵轉(zhuǎn)子的兩側(cè)上的第一表面和第二表面和分別面向泵轉(zhuǎn)子的第一表面和第二表面中相應(yīng)表面的第一定子通道和第二定子通道限定。此外，由所述第一定子通道限定的第一流動路徑子區(qū)段和由所述第二定子通道限定的第二流動路徑子區(qū)段可被布置以便泵送等量體積的氣體。更進(jìn)一步地，所述第一流動路徑子區(qū)段和所述第二流動路徑子區(qū)段可被布置以便沿相同的徑向方向引導(dǎo)氣體，例如以便將氣體從所述泵轉(zhuǎn)子的內(nèi)部徑向位置引導(dǎo)至外部徑向位置。該構(gòu)型提供了平衡的泵送布置，由此使得所述泵送氣體施加在所述轉(zhuǎn)子的任一側(cè)上的壓力大體上等于彼此。結(jié)果是，所述轉(zhuǎn)子泵部件與所述定子泵部件之間的軸向空隙可被保持在相對較小的距離下，由此減輕所述轉(zhuǎn)子與所述定子之間的氣體泄漏，這可進(jìn)一步提高泵送效率。軸向氣體軸承轉(zhuǎn)子部件可被布置以便與氣體軸承定子部件協(xié)同作用從而在泵的運(yùn)行過程中控制所述轉(zhuǎn)子與泵的定子之間的軸向運(yùn)轉(zhuǎn)空隙。此外，所述軸向氣體軸承部件的一部分位于與所述第一表面相同的平面中。所述軸向氣體軸承可包括位于所述泵轉(zhuǎn)子的每個軸向側(cè)上的轉(zhuǎn)子部段，且所述轉(zhuǎn)子部段可與位于相應(yīng)定子部分上的定子部段協(xié)同作用，從而使得已經(jīng)沿所述流動路徑被泵送的氣體可在位于所述轉(zhuǎn)子的每個軸向側(cè)上的所述兩個部段之間穿過。換句話說，排出氣體可用于提供操作所述氣體軸承所需的氣體的至少一部分。結(jié)果是，所述泵送氣體可用于驅(qū)動所述軸向氣體軸承。所述再生泵送機(jī)構(gòu)的所述入口可被設(shè)置在所述泵的徑向內(nèi)部部分處且所述出口被設(shè)置在所述泵的徑向外部部分處。因此，所述氣體流動路徑被布置以使得被泵送的氣體從所述機(jī)構(gòu)的所述內(nèi)部部分流至所述機(jī)構(gòu)的所述外部部分。此外，如果所述空氣軸承被設(shè)置在所述泵轉(zhuǎn)子和所述定子的鄰近所述出口的徑向外部部分處，則位于更高的“出口壓力”下的氣體可用于驅(qū)動所述軸承。此外，這種布置可允許所述泵轉(zhuǎn)子與所述定子之間的所述軸向運(yùn)轉(zhuǎn)空隙處于小于 40 μ m、小于30 μ m、小于20 μ m或小于15 μ m中的任一種尺寸級別。實際上，所述空隙可為約8 μ m。這種空隙通常遠(yuǎn)小于常規(guī)再生泵機(jī)構(gòu)上所能夠?qū)崿F(xiàn)的那些空隙。結(jié)果是，可將所述轉(zhuǎn)子與所述定子之間的泵送氣體泄漏降至最底限度，由此可能提高泵效率和/或生產(chǎn)量。此外，所述泵機(jī)構(gòu)的表面可涂覆有比制造所述部件的材料更堅硬的材料。例如，其中設(shè)置有轉(zhuǎn)子構(gòu)造的所述泵轉(zhuǎn)子表面；面向所述泵轉(zhuǎn)子表面的定子表面；或者包括所述軸向氣體軸承的所述泵轉(zhuǎn)子或定子的表面，這些表面中的至少一個表面可涂覆有這種材料。 所述涂層材料可以是鎳一 PTra基體、受過陽極化處理的鋁、碳基材料或其組合中的任一種材料。此外，所述碳基材料可以是類金剛石材料或通過化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝沉積的合成金剛石材料中的任一種材料。這種硬涂層可用于防止泵部件免受磨損。此外，所述涂層可有助于防止攜帶在所述泵送氣體物質(zhì)流中的顆粒進(jìn)入所述泵轉(zhuǎn)子與定子之間的空隙空間內(nèi)。所述泵轉(zhuǎn)子的第一和第二表面可被布置成平行于彼此。此外，有利地，所述第一表面和所述第二表面可被布置以便具有平的表面(即平面的表面)，其中所述第一表面的平面平行于所述第二表面的平面。此外，所述軸向氣體軸承部件的一部分可被布置以便處在與所述第一表面或所述第二表面中的任一表面相同的平面中。結(jié)果是，所述表面可被機(jī)加工、 研磨或拋光以便具有相對較高的平整度。這可有助于在所述轉(zhuǎn)子泵部件與所述定子泵部件之間保持較小的軸向空隙。下文將對本發(fā)明的其他優(yōu)選的和/或可選的方面進(jìn)行描述并在所附權(quán)利要求書中對本發(fā)明的其他優(yōu)選的和/或可選的方面進(jìn)行限定。為了更好地理解本發(fā)明，現(xiàn)在將結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例進(jìn)行描述，該實施例僅是示例性的，其中

圖1示意性地示出了真空泵；
圖2是圖1所示真空泵的轉(zhuǎn)子的平面圖3是圖1所示真空泵的定子的平面圖4更詳細(xì)地示出了圖2所示的轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)子構(gòu)造；
圖5更詳細(xì)地示出了另一種可選的轉(zhuǎn)子構(gòu)造；
圖6是根據(jù)本發(fā)明的一個方面的泵的示意圖；和
圖7是根據(jù)本發(fā)明的一個方面的另一種可選泵的示意圖。參見圖1，圖中示出了真空泵10，所述真空泵包括再生泵送機(jī)構(gòu)11.真空泵具有入口 13和出口 15，所述入口用于連接至將要進(jìn)行排真空處理的設(shè)備或室，所述出口通常排通到大氣中。圖1所示真空泵進(jìn)一步包括分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)90，所述分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)被設(shè)置在再生機(jī)構(gòu)的上游且下文將對其進(jìn)行更詳細(xì)地描述。該再生泵送機(jī)構(gòu)包括大體上呈盤形的轉(zhuǎn)子12，所述轉(zhuǎn)子被安裝在軸向軸14上以便相對于定子16進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。該軸被馬達(dá)18驅(qū)動且可以介于IOOOOrpm (轉(zhuǎn)數(shù)/分鐘)與 75000rpm之間，且優(yōu)選為約40000rpm，的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子12具有多個轉(zhuǎn)子構(gòu)造20以便在轉(zhuǎn)子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時沿定子中的通道22沿介于該泵送機(jī)構(gòu)的入口 M與出口沈之間的流動路徑泵送氣體。圖3更詳細(xì)地示出了入口與出口。如下文更詳細(xì)地示出地，轉(zhuǎn)子構(gòu)造是在沿軸向面對轉(zhuǎn)子表面的平面中的每個平面中形成的凹部。轉(zhuǎn)子12和定子16包括軸向氣體軸承觀以便控制轉(zhuǎn)子與定子之間的軸向空隙X。 被動磁力軸承30控制轉(zhuǎn)子12相對于定子16的徑向位置。軸向氣體軸承觀包括位于泵轉(zhuǎn)子上的轉(zhuǎn)子部段32和位于定子上的定子部段34。 軸承位于較低真空下或位于大氣壓下，泵送機(jī)構(gòu)的一個部段鄰近出口 26。使用氣體軸承的有利之處在于其允許在轉(zhuǎn)子與定子之間存在較小的軸向運(yùn)轉(zhuǎn)空隙，所述空隙對于減輕泵送氣體從通道中的泄漏和生產(chǎn)高效的小型泵而言是必要的。在本發(fā)明的實施例中，可實現(xiàn)的典型軸向空隙小于30 μ m且甚至處于5-15 μ m范圍內(nèi)。盡管空氣軸承能夠產(chǎn)生較小的軸向運(yùn)轉(zhuǎn)空隙，但空氣軸承并不適于承載相對較重的載荷。因此，在圖1中，定子16包括兩個定子部分36、38，所述定子部分與轉(zhuǎn)子的相應(yīng)軸向側(cè)40、42相鄰，且轉(zhuǎn)子包括位于其每個軸向側(cè)上的轉(zhuǎn)子構(gòu)造20以便沿介于入口 M與出口沈之間的相應(yīng)的流動路徑將氣體泵送通過位于相應(yīng)的定子部分沈、28中的通道22。通過這種方式，流動路徑被轉(zhuǎn)子分裂或分開，從而使得子流動路徑圍繞轉(zhuǎn)子12的軸向中心線呈鏡像分布被泵送的氣體沿轉(zhuǎn)子的兩側(cè)平行地流動(沿相同徑向方向)。在泵送過程中產(chǎn)生的力被大體上平衡(即，沒有泵送氣體施加的凈載荷)，從而使得空氣軸承觀能夠抵抗施加的載荷。換句話說，被泵送機(jī)構(gòu)泵送且壓縮的氣體將軸向載荷施加在泵送機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)子和定子上。上述布置導(dǎo)致被施加到轉(zhuǎn)子上的凈軸向載荷大體上等于ON(零牛頓)，這是因為轉(zhuǎn)子的任一側(cè)上的軸向載荷通常是相等的且沿相對方向被施加從而彼此取消。然而，為了嘗試并確保轉(zhuǎn)子和定子在泵操作過程中不會碰撞，可能有必要提供這樣一種布置，這種布置能夠?qū)τ糜谙鄳?yīng)泵級的轉(zhuǎn)子的任一側(cè)上的壓力進(jìn)行平衡。圖1和圖 6所示的轉(zhuǎn)子具有介于入口 M與出口 15之間的三個泵級。泵的每個級包括位于轉(zhuǎn)子的相對表面上的相應(yīng)的轉(zhuǎn)子構(gòu)造20。換句話說，位于轉(zhuǎn)子盤12的一側(cè)上的轉(zhuǎn)子構(gòu)造形成了泵級的一部分且位于轉(zhuǎn)子的另一相對側(cè)上的轉(zhuǎn)子構(gòu)造形成了泵級的另一部分。即，每個泵級被分裂成兩個子級，所述兩個子級被設(shè)置在轉(zhuǎn)子盤的任一側(cè)上。相應(yīng)的泵子級之間或上的壓力不平衡(S卩，一個泵子級中的壓力相對于被設(shè)置在轉(zhuǎn)子盤的相對側(cè)上的相應(yīng)的泵子級中的壓力更高)會導(dǎo)致位于轉(zhuǎn)子一側(cè)上的轉(zhuǎn)子與定子之間的空隙相對于轉(zhuǎn)子另一側(cè)上的空隙更大。這本身就會導(dǎo)致相鄰泵級之間的泄漏速率會根據(jù)轉(zhuǎn)子側(cè)而存在差異——空隙最大的側(cè)部上的泄漏速率將更大。在極端壓力不平衡的情況下，轉(zhuǎn)子和定子會產(chǎn)生碰撞，從而導(dǎo)致對泵機(jī)構(gòu)產(chǎn)生損壞。壓力不平衡的出現(xiàn)可能是由于多種原因，但在轉(zhuǎn)子與定子之間的空隙相對較小 (例如小于30微米)的泵中，或者在具有相對較大的壓縮比的泵中，我們發(fā)現(xiàn)重要的是通過將位于轉(zhuǎn)子或定子的上表面或下表面上的相匹配的泵子級交叉連接的方式對相匹配的泵子級上的壓力進(jìn)行平衡，以便幫助避免出現(xiàn)上述潛在問題。用于平衡壓力的第一種方案可通過如圖6所示的外部端口來實現(xiàn)。位于轉(zhuǎn)子的任一側(cè)上的相應(yīng)的定子通道或?qū)Ч?2通過導(dǎo)管200被聯(lián)接以便允許氣體在位于轉(zhuǎn)子的相對側(cè)上的相應(yīng)的級之間流動且由此減輕或消除轉(zhuǎn)子上的壓力不平衡。圖7提供了用于平衡壓力的第二種方案?？赏ㄟ^設(shè)置穿過轉(zhuǎn)子的通孔或?qū)Ч?20 的方式對轉(zhuǎn)子上的壓力差進(jìn)行平衡，以便允許氣體在離散位置處從轉(zhuǎn)子的一側(cè)到達(dá)另一側(cè)。多條氣體通路可被布置在泵級周圍的不同位置處以便有助于在出現(xiàn)壓力不平衡的情況下在離散的泵級內(nèi)提供均勻分布的氣體。例如，四個或五個通孔或?qū)Ч芸蓢@一個泵級被設(shè)置在均勻分布的位置處。在該布置中，通孔可被布置在轉(zhuǎn)子構(gòu)造的底部處，或者被布置在位于泵級的轉(zhuǎn)子構(gòu)造之間的平的表面處。壓力不平衡可能在這樣的泵級中最為有害，該泵級的運(yùn)行壓力高于其他泵級。此外，在如圖7所示的布置中，所謂排出泵級(在相對較高的壓力下運(yùn)行)被設(shè)置在距離驅(qū)動轉(zhuǎn)子12的旋轉(zhuǎn)軸14最遠(yuǎn)的位置處。因此，在該布置中，由于排出級中的壓力不平衡而導(dǎo)致施加到轉(zhuǎn)子上的轉(zhuǎn)矩會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子12產(chǎn)生扭曲而與定子16無法軸向?qū)?zhǔn)。結(jié)果是，定子與轉(zhuǎn)子12會產(chǎn)生碰撞。優(yōu)選至少在多級泵的排出級上設(shè)置壓力平衡器件，以便防止出現(xiàn)壓力不平衡的可能性，從而導(dǎo)致泵發(fā)生故障。在泵級之前，轉(zhuǎn)子還包括如圖1中的虛線所示的至少一個通孔眼25，以便允許氣體從轉(zhuǎn)子的一個軸向側(cè)通過所述通孔眼而到達(dá)轉(zhuǎn)子的另一軸向側(cè)。該通孔眼允許氣體沿位于轉(zhuǎn)子的每個軸向側(cè)上的流動路徑被泵送。為了控制轉(zhuǎn)子和定子部分36的上表面40之間的軸向空隙且為了控制轉(zhuǎn)子和定子部分38的下表面42之間的軸向空隙，軸向氣體軸承觀包括位于轉(zhuǎn)子的每個軸向側(cè)上的轉(zhuǎn)子部分44、46。轉(zhuǎn)子部分44、46可與位于相應(yīng)的定子部分36、38上的定子部段48、50協(xié)同作用，從而使得排出區(qū)域中的氣體供給進(jìn)入介于軸承部件之間的空間內(nèi)并控制轉(zhuǎn)子與兩個定子部分之間的軸向空隙X。此外，沿流動路徑被泵送的氣體可在位于轉(zhuǎn)子的每個軸向側(cè)上的兩個部段44、48 ；46,50之間經(jīng)過并形成軸承中使用的氣體的至少一部分。如圖1和圖3更詳細(xì)地示出地，入口 M位于泵送機(jī)構(gòu)11的徑向內(nèi)部部分處且出口 立于泵送機(jī)構(gòu)的徑向外部部分處。該機(jī)構(gòu)的徑向外部部分處于與徑向內(nèi)部部分相對更高的壓力處。通常情況下，泵排放到大氣或相對較低的真空中。氣體軸承位于泵送機(jī)構(gòu)的徑向外部部分處而位于較低的真空下，這是因為氣體軸承需要充分的氣體量來相對于定子支承轉(zhuǎn)子。在現(xiàn)有技術(shù)的再生機(jī)構(gòu)中，入口通常位于徑向外部部分處且出口位于徑向內(nèi)部部分處。然而，當(dāng)使用氣體軸承時，優(yōu)選將軸承設(shè)置在轉(zhuǎn)子和定子的外部徑向部分處，這是因為其提供了更高的穩(wěn)定性且可更準(zhǔn)確地控制軸向空隙X。因此，在本實施例中，入口和出口位置被互換，從而使得氣體軸承位于與相對較高壓力的出口鄰近的外部徑向部分處， 從而使得其不僅接受足夠的氣體來運(yùn)行，而且提供了更大的支承和穩(wěn)定性。在外部徑向部分處設(shè)置泵送機(jī)構(gòu)出口的附加優(yōu)點在于被攜帶在氣體流中的顆粒通常由離心力推向出口并被推出泵送機(jī)構(gòu)。現(xiàn)在將結(jié)合圖2和圖3對氣體軸承進(jìn)行更詳細(xì)地描述。圖2示出了轉(zhuǎn)子12的上部軸向側(cè)40的平面圖且圖3示出了定子部分36的平面圖。在圖2中，氣體軸承的轉(zhuǎn)子部段32位于轉(zhuǎn)子的外部徑向部分處且包括圍繞轉(zhuǎn)子的周部被等距分布的多個軸承表面52以便在轉(zhuǎn)子上提供對稱軸承力。軸承表面與轉(zhuǎn)子的上表面40齊平或位于相同平面中。相應(yīng)的凹進(jìn)部分M位于軸承表面52的相對于旋轉(zhuǎn)方向R (在本實例中為逆時針)的前緣處。在本實例中，凹進(jìn)部分討分別包括兩個凹進(jìn)表面56、58， 所述兩個凹進(jìn)表面相對于軸承表面凹進(jìn)不同深度且朝向軸承表面具有逐漸減少的深度。凹進(jìn)表面56在該區(qū)域中相對較深，與盤12的上表面40相距1mm。凹進(jìn)表面58在該區(qū)域中相對較輕，與上表面40相距15 μ m。圖3所示的定子部段48包括平面的圓周軸承表面60，所述表面延伸通過的徑向距離與轉(zhuǎn)子軸承表面52延伸通過的距離是相當(dāng)?shù)摹］S承表面60與定子部分36、38的平面表面69、71是齊平的或與所述平面表面處在相同平面中。應(yīng)該意識到在另一可選布置中，軸承表面52可被設(shè)置在定子上且圓周軸承表面 60可被設(shè)置在轉(zhuǎn)子上。在使用過程中，更深的凹進(jìn)表面56連同定子的軸承表面60 —起捕獲環(huán)境空氣或通過出口沈排出的氣體。轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致被捕獲的氣體在階梯狀的表面58與定子表面60 之間被推動，由此使得當(dāng)氣體被中間凹窩的更淺的深度壓縮時壓力升高。介于更淺的凹窩與軸承表面之間的階梯允許壓力以更漸進(jìn)的方式升高且因此促使氣體在軸承表面52與定子表面60之間流動。氣體隨后在軸承表面52與定子表面60之間被推動，從而當(dāng)氣體被壓縮時進(jìn)一步提高其壓力。軸向空隙X受到軸承表面52與定子表面60之間的距離的控制， 其中相對較高壓力的氣體支承轉(zhuǎn)子且抵制相對于定子的軸向移動。即，位于轉(zhuǎn)子的兩個軸向側(cè)上的軸承布置共同抵制沿兩個軸向方向的移動。通常情況下，介于軸承表面52與定子表面60之間的軸向空隙基于IOym與30μπι之間，且優(yōu)選為15 μ m。介于軸承表面52與凹進(jìn)部分M之間的前緣62相對于徑向方向(如虛線所示)成一定角度，從而使得沿一條或多條流動路徑的顆粒在使用過程中在離心力的作用下朝向泵出口 15被前緣62引向下游。在該實例中，該角度為約30°，但也可根據(jù)需要使用其他角度。相似地，介于凹進(jìn)表面56、58之間的交叉點64也相對于徑向方向成一定角度，從而使得沿流動路徑的顆粒被引向出口。相交點64與前緣62的角度優(yōu)選是相同的，從而使得在表面58或軸承表面52上行進(jìn)的氣體在內(nèi)部徑向位置與外部徑向位置處行進(jìn)大約相同的距離，從而使得表面上的壓力是大體上相等的。這種角度之間存在較小差異，這是因為轉(zhuǎn)子的切向速度在表面的外部徑向位置處比在表面的內(nèi)部徑向位置處更大。 空氣軸承表面可由陶瓷制成或可涂覆有陶瓷，這是因為這種材料提供了適用于氣體軸承的相對較平且摩擦較低的表面。當(dāng)轉(zhuǎn)子開始運(yùn)行時，轉(zhuǎn)子和定子起初接觸并摩擦，直至速度達(dá)到約lOOOrpm。一旦轉(zhuǎn)子積累了足夠的速度，則氣體軸承支承轉(zhuǎn)子遠(yuǎn)離定子。因此，氣體軸承的表面優(yōu)選非常光滑或是自潤滑的。轉(zhuǎn)子和定子的相對徑向定位可受到圖1所示被動磁力軸承30的控制。在另一可選布置中，可采用滾珠軸承。然而，磁力軸承提供了干軸承，所述干軸承對于特定真空泵應(yīng)用場合而言可能是優(yōu)選的。進(jìn)一步地，在這種被構(gòu)造以便以相對較高的速度運(yùn)行的小型泵中，氣體軸承與磁力軸承的結(jié)合提供了無接觸的軸承布置，所述布置對旋轉(zhuǎn)的阻力相對較小。此外，氣體軸承沿軸向方向抵制磁力軸承元件的相對移動。在磁力軸承失效的情況下， 可設(shè)置備用軸承(未示出)。現(xiàn)在將結(jié)合圖2至圖5對本實施例的再生泵送機(jī)構(gòu)進(jìn)行更詳細(xì)地描述。轉(zhuǎn)子的平面的平的表面40、42與定子部分36、38的平面的平的表面69、71緊密相鄰且平行。轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)子構(gòu)造20由一系列成形凹部(或鏟斗部)形成，所述凹部(或鏟斗部)在轉(zhuǎn)子的平面表面40、42中被布置成同心圓66或環(huán)形陣列。在本實施例中，在兩個表面40和42中都形成了該構(gòu)造，但在其他布置中，轉(zhuǎn)子凹部可僅被設(shè)置在轉(zhuǎn)子的一個軸向側(cè)中。圖2示出了凹部20的七個同心圓，但也可根據(jù)需求設(shè)置數(shù)量更多或更少的同心圓。多條大體上沿圓周的通道68被形成于第一定子部分36的平面表面69中，且與形成于轉(zhuǎn)子的一個面40中的同心圓66對準(zhǔn)。第二組多個大體上沿圓周的通道68被形成于第二定子部分38的平面表面71中且與形成于轉(zhuǎn)子的另一面42中的同心圓66對準(zhǔn)。應(yīng)該注意到盡管圖3為簡化起見僅示出了三條通道68，但適用于圖2所示轉(zhuǎn)子的定子將包括與七個同心圓66中的每個同心圓對準(zhǔn)的七條通道。位于一個軸向側(cè)上的轉(zhuǎn)子和定子的平面表面40、69和位于另一軸向側(cè)上的平面表面42、71分別通過軸向運(yùn)轉(zhuǎn)空隙X被分開。由于運(yùn)轉(zhuǎn)空隙較小，因此抵制了從凹部和通道68中的氣體泄漏，從而使得在轉(zhuǎn)子的每側(cè)上形成了從泵送機(jī)構(gòu)的入口 M到達(dá)出口沈的氣體流動路徑70。因此，當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時，該成形凹部產(chǎn)生氣體漩渦，所述氣體漩渦沿流動路徑流動。換句話說，定子和轉(zhuǎn)子表面的面對彼此且位于泵級之間(或位于相鄰的氣體流動路徑之間)的平的或平面的部分用作密封件以便減輕從泵級或流動路徑中的氣體泄漏 相應(yīng)的定子和轉(zhuǎn)子表面的平面部分協(xié)同作用以便在相鄰泵級之間形成氣體密封。定子通道68的大多數(shù)是沿著圓周的，但也包括大體上直的區(qū)段72以便將氣體從一條通道引導(dǎo)至徑向外部通道。因此，這些直的區(qū)段類似于在常規(guī)再生泵上發(fā)現(xiàn)的所謂“汽提器(stripper)”區(qū)段，所述區(qū)段也用于將氣體從一條泵通道傳遞至下一條通道。成形凹部20在轉(zhuǎn)子的平面表面69上通過，如圖3中的虛線所示。在已公知的再生型泵送機(jī)構(gòu)中，轉(zhuǎn)子構(gòu)造通常為延伸出轉(zhuǎn)子表面的平面且與定子表面的平面交疊的葉片。該葉片被布置成同心圓，所述同心圓伸出而進(jìn)入定子中的通道內(nèi)且與轉(zhuǎn)子的同心圓對準(zhǔn)。在這種現(xiàn)有技術(shù)的轉(zhuǎn)子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時，葉片產(chǎn)生氣體漩渦而沿流動路徑壓縮氣體。在轉(zhuǎn)子的葉片或葉片支承構(gòu)件與通道之間存在徑向空隙，所述通道控制氣體從氣體流動路徑中的滲出。泵的運(yùn)行導(dǎo)致泵的一些部段溫度升高，但轉(zhuǎn)子的升溫通常高于定子的升溫。升溫導(dǎo)致轉(zhuǎn)子和定子產(chǎn)生膨脹，最明顯的膨脹出現(xiàn)在徑向方向。由于轉(zhuǎn)子的膨脹程度不同于定子的膨脹程度，因此轉(zhuǎn)子葉片或葉片支承構(gòu)件與定子之間的徑向空隙必須足夠大才能適應(yīng)不同的膨脹率，從而使得轉(zhuǎn)子葉片或葉片支承構(gòu)件不會與定子接觸。因此，不可避免地，徑向空隙相對較大且允許氣體從流動路徑中泄漏。
在本實施例中，介于轉(zhuǎn)子和定子的平面表面40、69與42、71之間的軸向運(yùn)轉(zhuǎn)空隙 X控制流動路徑(即，流動路徑的介于相繼設(shè)置的圓之間或卷繞層之間)的密封。圖1更清晰地示出了這種布置，其中示出了三個卷繞層。由于軸向空隙較小，優(yōu)選小于50 μ m，更優(yōu)選處于10 μ m至30 μ m之間，且最優(yōu)選為約15 μ m,因此防止了氣體從位于該機(jī)構(gòu)的徑向外部部分處的高壓通道泄漏到沿徑向位于該通道內(nèi)的壓力較低的通道中。在本發(fā)明的布置中， 氣體軸承能夠提供足夠小的軸向運(yùn)轉(zhuǎn)空隙，從而將從流動路徑中的滲出氣體保持在可接受的較小程度內(nèi)。此外，沿軸向方向在轉(zhuǎn)子與定子之間沒有交疊。因此，可易于適應(yīng)沿徑向方向在轉(zhuǎn)子與定子之間出現(xiàn)的任何差別膨脹而不會增加滲出，這是因為沿徑向方向的膨脹不會影響轉(zhuǎn)子與定子之間的軸向空隙X。差別徑向膨脹會導(dǎo)致定子的通道與轉(zhuǎn)子的同心圓之間出現(xiàn)較小的不對準(zhǔn)，但這種不對準(zhǔn)不會給泵送帶來很大影響。在轉(zhuǎn)子表面設(shè)置凹部，而不是從表面沿軸向伸出的葉片，所帶來的進(jìn)一步的優(yōu)點在于凹部更易于制造，例如可通過銑削或鑄造的方式制造凹部。此外，轉(zhuǎn)子表面和定子表面可被機(jī)加工、研磨或拋光至具有相對較高表面平整度的平的表面并且被機(jī)加工、研磨或拋光至較高的容限水平。這使得轉(zhuǎn)子和定子的相對表面在泵運(yùn)行過程中可經(jīng)過緊密距離而不會碰撞。結(jié)果是，定子的頂表面69、71是平的和平面的。同樣地，泵凹部20從轉(zhuǎn)子的平面的定表面40、42懸垂下來。因此，平面的轉(zhuǎn)子表面和平面的定子表面用于防止相鄰的同心泵送陣列之間出現(xiàn)氣體流。換句話說，平的表面對相應(yīng)的泵送級進(jìn)行密封，如上所述?，F(xiàn)在將結(jié)合圖4和圖5對在轉(zhuǎn)子中形成的凹部進(jìn)行更詳細(xì)地描述，圖4和圖5分別示出了凹部的相應(yīng)的第一實例和第二實例。圖如示出了沿圖4b所示的中心線C穿過轉(zhuǎn)子凹部20的圓66截取的剖面。圖4b 示出了轉(zhuǎn)子的圓66的平面圖。凹部被成形以使得在使用過程中它們沿流動路徑70沿氣體漩渦的流向?qū)恿渴┘拥綒怏w上。即，凹部沿流動路徑70與氣體相互作用從而在流動路徑中產(chǎn)生并保持氣體漩渦。除了形成并保持漩渦以外，凹部與氣體的相互作用對氣體進(jìn)行壓縮，從而加強(qiáng)了漩渦狀態(tài)或者提高了氣體沿流動路徑自旋的速率。如圖4所示，凹部20大體上是由轉(zhuǎn)子12的其中一個平面表面40中的不對稱切口形成的。凹部具有前部部分72和相對于旋轉(zhuǎn)方向R位于后部的后部部分74。前部部分是通過從成一定角度的前緣76逐漸增加凹部的深度D而形成的。就這方面而言，前緣76 與平面表面40成約30° (士 10° )的角度。后部部分是通過向著后緣78以相對陡峭的方式減少深度D形成的。后部部分與前部部分大約成直角角度且與平面表面40成約60° (士 10° )的角度。后部部分76形成了彎曲表面，所述彎曲表面相對于方向R轉(zhuǎn)向約180° 的角度且與漩渦中的氣體流的變化方向大體上近似。點“a”與點“b”之間沿中心線C的距離與垂直于中心線“C”的凹部的寬度之比為約0. 7 :1。在使用過程中，轉(zhuǎn)子沿方向“R”旋轉(zhuǎn)且氣體在前緣76的點“a”處進(jìn)入凹部。在點 “a”處，漩渦的流動方向大體上平行于彎曲表面74和前部部分(約30° )。圖4b中的箭頭表示“空氣流進(jìn)入葉片腔體”的流向。彎曲后部部分74的角度和前部部分72的角度增加了進(jìn)入凹部的氣體量，這是因為其與漩渦中的氣體流向互補(bǔ)。凹部中的氣體圍繞彎曲后部部分74被引導(dǎo)。從圖4b的平面圖中可以看到，氣體轉(zhuǎn)向約90-180°，從而使得當(dāng)氣體流出凹部時，其沿相對于其進(jìn)入凹部的方向大體上成直角或相對的方向流動。此外，隨著氣體越來越接近后部部分的出口點“b”，其轉(zhuǎn)向也越來越迅速，由此將動量施加到氣體上且沿流動路徑70對氣體進(jìn)行壓縮。前部部分72的深度隨著氣體沿后部部分74流動而逐漸增加，直至其到達(dá)位于點“d”處的凹部的最深部段。圖5示出了凹部的第二實例。圖如示出了凹部的平面圖。圖恥示出了沿轉(zhuǎn)子和定子的中心線C截取的剖面。圖5c示出了沿垂直于中心線C的線截取的穿過凹部和通道的剖面。與圖4所示的凹部不同的是，圖5所示的凹部是對稱的。凹部20大體上是由轉(zhuǎn)子 12的平面表面40、42中的一個表面中的對稱切口形成的。凹部具有前部部分78和后部部分80。前部部分是通過從成一定角度的前緣82逐漸增加凹部的深度而形成的。就這方面而言，前部部分與平面表面40成約30° (士 10° )的角度。后部部分80是通過向著后緣 84以相對陡峭的方式減少深度形成的。前部部分通過彎曲表面平滑地轉(zhuǎn)變至后部部分。后部部分76形成了彎曲表面，所述彎曲表面轉(zhuǎn)向約180°的角度且與漩渦中的氣體流的變化方向大體上近似。前緣82與中心線C成直角。在使用過程中，轉(zhuǎn)子沿方向“R”旋轉(zhuǎn)且氣體在前緣76處進(jìn)入凹部。漩渦的流向為以約30°的角度且與中心線C大體上平行地進(jìn)入凹部內(nèi)。圖4b所示的箭頭表示“氣體進(jìn)入”的流向。彎曲后部部分的角度與入口處的流向大體上對準(zhǔn)。凹部中的氣體圍繞彎曲后部部分80被引導(dǎo)。從圖4b的平面圖中可以看到氣體轉(zhuǎn)向約180°，從而使得當(dāng)氣體流出凹部時，其沿與其進(jìn)入凹部的方向大體上相對的方向流動，由此將動量施加到氣體上并沿流動路徑70對氣體進(jìn)行壓縮。圖5c示出了氣體漩渦在由凹部20和定子通道68形成的導(dǎo)管內(nèi)的流向。轉(zhuǎn)子和/或定子表面上的涂層可有助于降低磨損。在泵的啟動階段過程中，當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)行自旋且到達(dá)運(yùn)行速度時，轉(zhuǎn)子和定子的表面可能彼此接觸并摩擦接靠。該摩擦發(fā)生在轉(zhuǎn)子以低于閾值水平的速度旋轉(zhuǎn)的情況下，此時軸向空氣軸承并未運(yùn)行。在該閾值之上， 空氣軸承提供了足夠的“升力”從而將轉(zhuǎn)子部件與定子部件分開。通過提供硬化的和/或自潤滑的涂層，可控制或限制磨損量。此外，涂層可有助于防止攜帶在泵送氣體物質(zhì)流中的顆粒進(jìn)入轉(zhuǎn)子與定子之間的空隙間隙內(nèi)。由于轉(zhuǎn)子部件與定子部件之間的間隙相對較小， 因此這被認(rèn)為是特別成問題的。如果具有特定直徑或尺寸的灰塵顆粒或類似物能夠進(jìn)入該間隙內(nèi)，則它們可能用作磨料，從而使泵部件受到過度磨損。在最壞的情況下，泵會被卡住。本發(fā)明設(shè)想了許多適當(dāng)?shù)耐繉?，但涂層材料可以是鎳?PTFE基體、受過陽極化處理的鋁、碳基材料中的任何一種或其組合。此外，碳基材料可以是類金剛石材料(DLM)或通過化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝沉積的合成金剛石材料中的任何一種。轉(zhuǎn)子和定子上的涂層材料并不一定是相同的——可選擇不同涂層以便利用每種涂層的性質(zhì)。例如，定子部件可涂覆有自潤滑涂層，而轉(zhuǎn)子可涂覆有類金剛石材料。還可使用其他表面處理手段，如對鋁表面進(jìn)行等離子體陽極弧表面處理。在圖1所示的實施例中，再生泵機(jī)構(gòu)11與上游分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)90是串聯(lián)的。在該實施例中，分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)90包括Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)，所述機(jī)構(gòu)包括被安裝在軸向軸 14上以便相對于定子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的大體上呈盤形的轉(zhuǎn)子92。定子是由位于轉(zhuǎn)子盤92的每個軸向側(cè)上的定子部分94、96形成的。每個定子部分包括多個壁部98，所述多個壁部朝向轉(zhuǎn)子盤進(jìn)行延伸且限定出多條螺旋通道100。由于氣體軸承觀支承再生泵送機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)子且該再生泵送機(jī)構(gòu)和Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)都被安裝到軸14上，因此氣體軸承為Siegbahn機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)子提供了軸向支承。在使用過程中，穿過該Siegbahn機(jī)構(gòu)的流動路徑由箭頭所示，所述箭頭沿徑向向外在轉(zhuǎn)子的第一或上部軸向側(cè)上經(jīng)過且沿徑向向內(nèi)沿轉(zhuǎn)子的第二或下部軸向側(cè)經(jīng)過。轉(zhuǎn)子相對于定子的徑向位置由軸承30控制，所述軸承為被動磁力軸承。如上所述，軸承布置都是非接觸式干軸承，所述軸承特別適于干燥的泵送環(huán)境。再生泵送機(jī)構(gòu)11與Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)的組合提供了能夠每小時泵送10立方米且與現(xiàn)有泵相比仍相對較小的真空泵。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠在不偏離所要求的本發(fā)明的情況下預(yù)想得出本發(fā)明的其他可選實施例。例如，通孔眼25可包括被設(shè)置穿過轉(zhuǎn)子的一系列孔眼。
權(quán)利要求
1.一種用于真空泵中的真空泵轉(zhuǎn)子，所述泵包括再生泵送機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)子具有大體上呈盤形的構(gòu)型且可被安裝在軸向軸上以便相對于真空泵的定子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，其中所述轉(zhuǎn)子具有相對的第一表面和第二表面，且轉(zhuǎn)子構(gòu)造被設(shè)置在所述第一表面和所述第二表面上，每個轉(zhuǎn)子構(gòu)造限定出在所述泵轉(zhuǎn)子與定子之間形成的泵級的一部分，以便沿相同的徑向方向沿所述相對的第一表面和第二表面將氣體從入口泵送至出口，且其中導(dǎo)管被設(shè)置以便將所述泵級的所述部分相互連接起來。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)子，其中所述導(dǎo)管穿過所述轉(zhuǎn)子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)子，其中所述導(dǎo)管被設(shè)置在定子中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的轉(zhuǎn)子，其中所述轉(zhuǎn)子包括至少兩個泵級，所述泵級被布置以便對從所述入口到達(dá)所述出口的被泵送的氣體進(jìn)行壓縮，從而使得被設(shè)置在接近所述入口的位置處的第一泵級能夠在比更接近所述出口的第二泵級更低的壓力下運(yùn)行，且所述導(dǎo)管被設(shè)置在所述第二泵級處。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的轉(zhuǎn)子，其中所述導(dǎo)管包括多條離散的氣體通路， 所述多條離散的氣體通路被布置以便將所述泵級的所述部分相互連接起來。
6.一種真空泵，所述真空泵包括根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的轉(zhuǎn)子，所述泵進(jìn)一步包括定子，所述定子具有第一表面和第二表面，每個定子表面被布置以便面對所述第一轉(zhuǎn)子表面或所述第二轉(zhuǎn)子表面中的一個表面，其中所述定子表面中的每個定子表面包括同心通道，所述同心通道被布置以便與所述轉(zhuǎn)子構(gòu)造中的一個轉(zhuǎn)子構(gòu)造協(xié)同作用從而在所述泵級上形成氣體流動路徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其中所述導(dǎo)管被設(shè)置在所述定子中。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的真空泵，其中所述定子和所述轉(zhuǎn)子的所述第一表面和所述第二表面是平的，所述定子通道被布置以便在所述定子表面下方延伸，所述轉(zhuǎn)子構(gòu)造被布置以便在所述轉(zhuǎn)子表面下方延伸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空泵，其中在所述轉(zhuǎn)子與所述定子之間形成氣體密封件以便減輕氣體從所述泵級中泄漏的情況，所述氣體密封件包括所述定子表面和所述轉(zhuǎn)子表面的面對彼此的平的部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其中所述定子的所述第一表面和所述第二表面是平面的且平行于彼此。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種真空泵轉(zhuǎn)子，所述真空泵轉(zhuǎn)子適用于真空泵中，所述泵包括再生泵送機(jī)構(gòu)。所述轉(zhuǎn)子具有大體上呈盤形的構(gòu)型且被安裝在軸向軸上以便相對于真空泵的定子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。所述轉(zhuǎn)子具有相對的第一表面和第二表面，轉(zhuǎn)子構(gòu)造被設(shè)置在所述第一表面和所述第二表面上，每個轉(zhuǎn)子構(gòu)造限定出在所述泵轉(zhuǎn)子與定子之間形成的泵級的一部分，以便沿相同的徑向方向沿所述相對的第一表面和第二表面將氣體從入口泵送至出口。導(dǎo)管被設(shè)置以便將所述泵級的所述部分相互連接起來且有助于對在轉(zhuǎn)子的相對側(cè)上可能出現(xiàn)的壓力不平衡進(jìn)行處理。
文檔編號F04D17/16GK102428280SQ201080021887
公開日2012年4月25日 申請日期2010年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月20日
發(fā)明者C. K. 劉 M., P. 肖菲爾德 N. 申請人:愛德華茲有限公司