專利名稱：軸封的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種軸封，所述軸封特別適用于諸如螺旋泵的真空泵。
技術(shù)背景用于螺旋泵的軸封如在DE 10207929中描述。螺旋泵通常包括兩個(gè) 轉(zhuǎn)子軸，所述兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與轉(zhuǎn)子在相應(yīng)的轉(zhuǎn)子部分中連接。此外，軸與 軸承連接，所述軸承通常使用油進(jìn)行潤(rùn)滑。在軸承和轉(zhuǎn)子部分之間設(shè)置 有軸封。特別是當(dāng)產(chǎn)生真空時(shí)，由于必須防止油或其它潤(rùn)滑劑從軸承一 側(cè)向轉(zhuǎn)子一側(cè)流動(dòng)，因此提高了對(duì)密封件的需要。DE 10207929提出了 設(shè)置在軸承一側(cè)上的油封以及設(shè)置在轉(zhuǎn)子一側(cè)的氣封的組合。在此，氣 封被構(gòu)造為組合有多個(gè)活塞環(huán)的迷宮式密封件。在氣封和油封之間限定 有徑向延伸的分離室，所述分離室經(jīng)由分離室通風(fēng)通道與外界相連。通 風(fēng)通道使分離室被設(shè)定為需要的氣壓，優(yōu)選地設(shè)定為環(huán)境壓力。由此， 可以對(duì)穿過(guò)氣封降低的壓力差以及穿過(guò)油封降低的壓力差進(jìn)行調(diào)節(jié)。對(duì) 應(yīng)的壓力調(diào)節(jié)可以防止油從軸承一側(cè)經(jīng)過(guò)油封及經(jīng)過(guò)氣封流動(dòng)至螺旋 泵的吸入室。在這種軸封中，腐蝕性介質(zhì)、特別是濕氣會(huì)接觸活塞環(huán)并引起軸封 損壞甚至失效。此外，毒性或爆炸性氣體會(huì)從分離室逸出。此外，將密封氣體供應(yīng)至軸封是普通的操作。在此，密封氣體供應(yīng) 至軸封，從而防止?jié)櫥瑒⑻貏e是油進(jìn)入螺旋泵的干燥區(qū)域和/或吸入 室中。這是通過(guò)將密封氣體供應(yīng)至兩個(gè)活塞環(huán)組或兩個(gè)迷宮式密封件之 間。供應(yīng)密封氣體導(dǎo)致齒輪室中的壓力升高，在所述齒輪室中設(shè)置有潤(rùn) 滑軸承的潤(rùn)滑劑。當(dāng)對(duì)齒輪室通風(fēng)時(shí)，油霧會(huì)從齒輪室逸出。因而，油 逸出至外界。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種軸封，保護(hù)所述軸封的構(gòu)件免受腐蝕性介 質(zhì)、灰塵等的損壞。根據(jù)本發(fā)明，所述目的通過(guò)權(quán)利要求1的特征實(shí)現(xiàn)。
根據(jù)本發(fā)明的軸封，所述軸封特別適用于真空泵并優(yōu)選地適用于螺 旋泵，包括特別地與轉(zhuǎn)子軸可連接的內(nèi)部密封環(huán)。內(nèi)部密封環(huán)至少部分 地由外部密封環(huán)包圍，其中所述外部密封環(huán)優(yōu)選地是保持在殼體中的固 定環(huán)。根據(jù)本發(fā)明，設(shè)置有密封氣體室，所述密封氣體室至少部分地由 所述密封環(huán)限定，并且所述密封氣體室經(jīng)由優(yōu)選地設(shè)置在所述固定的外 部密封環(huán)中的供應(yīng)通道供應(yīng)密封氣體。所述密封氣體室與設(shè)置在所述內(nèi)部密封環(huán)和所述外部密封環(huán)之間的密封間隙連接；并且所述密封氣體室與出口間隙連接，從而密封氣體可以從所述密封氣體室逸出并進(jìn)入密封 間隙和出口間隙中。所述出口間隙優(yōu)選地與所述吸入室連接。由此，所述密封間隙和所述出口間隙優(yōu)選地與密封件的相應(yīng)側(cè)流體聯(lián)通。密封氣體通過(guò)密封間隙并通過(guò)出口間隙的逸出確保了腐蝕性介質(zhì) 或灰塵殼體等不能接近諸如活塞環(huán)的密封件的敏感部。優(yōu)選地，密封間隙和出口間隙的橫截面的尺寸形成為使在所述密封 間隙中的流動(dòng)阻力大于在所述出口間隙中的流動(dòng)阻力。因而，大量的密 封氣體流向吸入室和/或遠(yuǎn)離齒輪的一側(cè)，并由此可以進(jìn)一步確保腐蝕 性介質(zhì)等不能進(jìn)入密封件。很少部分的密封氣體經(jīng)過(guò)密封間隙流動(dòng)至鄰 接的分離室中，在所述密封間隙中優(yōu)選地設(shè)置有活塞環(huán)。在外部和/或內(nèi)部密封環(huán)中優(yōu)選地設(shè)置有周向凹槽。為了在所述凹槽 中限定密封氣體室優(yōu)選地設(shè)置有與所述軸可連接的密封氣體盤。優(yōu)選 地，所述密封氣體盤包括延伸至凹槽的凸起，其中對(duì)特別是環(huán)形的凸起 的尺寸進(jìn)行選擇，使得在裝配狀態(tài)中所述凸起并不完全延伸至凹槽中以 用于限定密封氣體室。經(jīng)由優(yōu)選地設(shè)置在所述外部密封環(huán)中的供應(yīng)通道 供應(yīng)的密封氣體可以通過(guò)室間隙從密封氣體室逸出。室間隙由密封氣體 盤的設(shè)置和構(gòu)造限定。優(yōu)選地，室間隙設(shè)置在凹槽和延伸至凹槽內(nèi)的凸 起之間。密封氣體適于從室間隙流動(dòng)至密封間隙中，所述密封間隙設(shè)置 在所述內(nèi)部密封環(huán)和所述外部密封環(huán)之間。優(yōu)選地，活塞環(huán)和/或設(shè)置 用于密封的迷宮式密封件設(shè)置在密封間隙的區(qū)域中。密封氣體通過(guò)密封 間隙流動(dòng)至鄰接密封間隙設(shè)置的分離室中，所述分離室優(yōu)選地由內(nèi)部密 封環(huán)和外部密封環(huán)限定。分離室與排出通道連接以用于排出密封氣體， 其中排出通道優(yōu)選地與外界相連。根據(jù)本發(fā)明，鄰接包括排出通道的分離室設(shè)置的密封間隙確保腐蝕 性介質(zhì)或灰塵顆粒等不能進(jìn)入密封間隙中。由此能夠保護(hù)優(yōu)選地設(shè)置在
密封間隙中的活塞環(huán)免受損壞。優(yōu)選地，密封氣體室包括出口間隙，所述出口間隙與室間隙連接， 或者所述出口間隙與室間隙無(wú)關(guān)。出口間隙與吸入室連接。由此防止爆 炸性或毒性氣體從吸入室逸出并通過(guò)密封間隙和/或氣體密封件逸出至 外界。從而可以確保少量的密封氣體通過(guò)出口間隙不斷地流動(dòng)至吸入 室。設(shè)置包括排出通道的分離室特別提供了以下優(yōu)點(diǎn)，即密封氣體不會(huì) 進(jìn)入齒輪箱中。由此不需要對(duì)齒輪箱進(jìn)行通風(fēng)，而通風(fēng)可能會(huì)帶走油。 此外，流動(dòng)經(jīng)過(guò)排出通道的密封氣體阻止腐蝕性介質(zhì)或顆粒。為了確保來(lái)自齒輪室或來(lái)自經(jīng)潤(rùn)滑的軸承的潤(rùn)滑劑、特別是油沒有 進(jìn)入分離室中，至少一個(gè)離心室優(yōu)選地設(shè)置在分離室和齒輪室和/或軸 承之間。所述離心室優(yōu)選地為基本上徑向構(gòu)造的腔室，其中對(duì)潤(rùn)滑劑進(jìn) 行離心。離心室優(yōu)選地與齒輪室連接以用于收回潤(rùn)滑劑。在特別優(yōu)選的 方面，至少一個(gè)離心室也由內(nèi)部密封環(huán)和外部密封環(huán)限定。在此，盡可 能小的間隙設(shè)置在兩個(gè)密封環(huán)之間。優(yōu)選地，節(jié)流閥設(shè)置在與供應(yīng)通道連接的密封氣體室中，所述節(jié)流 閥以超臨界方式操作。由此可以確保持續(xù)的密封氣體質(zhì)量流與吸入室中 存在的壓力供應(yīng)至密封氣體室。由于出口間隙的流動(dòng)阻力顯著低于密封 間隙的流動(dòng)阻力，因此即使在此存在的壓力大于分離室的壓力，大部分 的密封氣體也將流動(dòng)至吸入室中。超臨界節(jié)流閥和所選擇的流動(dòng)阻力使分離室中的壓力調(diào)節(jié)至吸入 室中的壓力并超過(guò)后者。為此，密封氣體優(yōu)選地經(jīng)由壓力控制器額外進(jìn) 行供應(yīng)。優(yōu)選地，過(guò)濾器設(shè)置在噴嘴的上游以用于防止噴嘴出現(xiàn)污垢。根據(jù)本發(fā)明的軸封的特別的優(yōu)點(diǎn)在于供應(yīng)密封氣體是可選擇的特 征。根據(jù)軸封所要滿足的需要，可以省略供應(yīng)保護(hù)性氣體。即使不供應(yīng) 保護(hù)性氣體，所述軸封也能夠給出良好的密封特性。此外，本發(fā)明涉及一種真空泵，特別是螺旋泵，所述真空泵包括至 少一個(gè)轉(zhuǎn)子軸。所述轉(zhuǎn)子軸與轉(zhuǎn)子和軸承連接。在所述轉(zhuǎn)子和所述軸承 之間設(shè)置有軸封，其中所述轉(zhuǎn)子優(yōu)選地設(shè)置在吸入室中，所述軸承通常 設(shè)置在齒輪箱中并由油潤(rùn)滑。根據(jù)本發(fā)明，所述軸封如上所述進(jìn)行構(gòu)造


現(xiàn)在將參考附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的實(shí)施方式，在附圖中圖l示出了螺旋泵轉(zhuǎn)子軸的第一實(shí)施方式在軸封區(qū)域中的示意性截 面圖，圖2示出了軸封的第二實(shí)施方式在密封氣體室的區(qū)域中的部分截面圖，圖3示出了螺旋泵轉(zhuǎn)子軸的另一個(gè)實(shí)施方式在軸封區(qū)域中的示意性 截面圖，圖4示出了軸封的另一個(gè)實(shí)施方式在密封氣體室的區(qū)域中的部分截 面圖，以及圖5示出了軸封的第二實(shí)施方式在密封氣體室的區(qū)域中的部分截面圖。
具體實(shí)施方式
轉(zhuǎn)子軸10在吸入室一側(cè)或干燥一側(cè)12上與轉(zhuǎn)子14連接，為了簡(jiǎn) 化圖示，其中僅示出了構(gòu)造為螺旋形轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)子的一個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。此外， 轉(zhuǎn)子軸10與軸承16連接，在所示的實(shí)施方式中所述軸承16為球軸承。 軸承16例如通過(guò)油進(jìn)行潤(rùn)滑。在轉(zhuǎn)子14和軸承16之間設(shè)置有根據(jù)本 發(fā)明的軸封。在第一實(shí)施方式(圖1)中，軸封包括內(nèi)部密封環(huán)18，所述內(nèi)部密 封環(huán)18與轉(zhuǎn)子軸IO永久連接。內(nèi)部密封環(huán)18由外部密封環(huán)20包圍， 所述外部密封環(huán)例如永久設(shè)置在未示出的殼體中。在外部密封環(huán)20中 設(shè)置有供應(yīng)通道22，所述供應(yīng)通道22與設(shè)置在殼體24中的通道26連 接。經(jīng)由通道26和供應(yīng)通道22，密封氣體可被供應(yīng)至密封氣體室28。在所示出的實(shí)施方式(圖1)中，密封氣體室由設(shè)置在外部密封環(huán) 20中的周向凹槽30限定，其中與軸10永久連接的密封氣體盤34的凸 起32延伸至凹槽30中。圓環(huán)形凸起32的外部尺寸略小于凹槽30的尺 寸，從而在凸起32和凹槽30之間室間隙36限定在內(nèi)側(cè)，而出口間隙 38限定在外側(cè)。密封氣體能夠通過(guò)所述兩個(gè)間隙36、 38從密封氣體室28逸出。 密封氣體通過(guò)出口間隙38進(jìn)入吸入室12中。室間隙36與密封間隙40連接，從而密封氣體通過(guò)室間隙36從密 封氣體室28流出并進(jìn)入密封間隙40中，并通過(guò)密封間隙40流動(dòng)至分 離室42中。密封氣體通過(guò)排出通道44從分離室42流動(dòng)至外界或流動(dòng) 至收集室中。分離室42由設(shè)置在外部密封環(huán)20中的徑向凹槽46和"&置在內(nèi)部 密封環(huán)18中的內(nèi)部徑向凹槽48限定，其中所述凹槽46、 48彼此相對(duì) 地設(shè)置。在所示出的實(shí)施方式中，三個(gè)活塞環(huán)50設(shè)置在密封間隙40中。活 塞環(huán)50設(shè)置在內(nèi)部密封環(huán)18的相應(yīng)凹槽中，并且其相對(duì)側(cè)抵靠外部密 封環(huán)。由此，通過(guò)密封間隙40逸出的密封氣體量與通過(guò)出口間隙38逸 出至吸入室12中的密封氣體量相比非常小。優(yōu)選地，大約80%的密封 氣體通過(guò)出口間隙38逸出。在面向軸承16的軸封一側(cè)上兩個(gè)離心室52設(shè)置在外部密封環(huán)20 中。離心室52由基本上徑向延伸的環(huán)形凹槽限定在外部密封環(huán)20中。 離心室起離心或接收從軸承16流向轉(zhuǎn)子14的潤(rùn)滑劑、特別是潤(rùn)滑油的 作用。離心室52經(jīng)未示出的橫向鉆孔與齒輪箱連接以用于引回潤(rùn)滑劑。密封氣體室的另一個(gè)實(shí)施方式在圖2中示出，其中相同或類似部件 以相同的附圖標(biāo)記表示。在該實(shí)施方式中，密封氣體盤34不包括向凹 槽30延伸的凸起。相反，密封氣體盤34包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的凸起54、 56，其中凸起54相比凸起56以與中心線58更大的距離設(shè)置。在兩個(gè) 凸起54、 56之間設(shè)置有密封氣體室28,其中在密封氣體盤34中限定有 相對(duì)凹槽30設(shè)置的凹槽60，所述凹槽60用于增大密封氣體室28。兩個(gè)凸起54、 56分別延伸至設(shè)置在外部密封環(huán)20中的兩個(gè)圓環(huán)形 凹槽62和64中。環(huán)形凸起54、 56的外部尺寸略小于凹槽62、 64的寬 度。由此出口間隙38限定于凸起54和凹槽62之間，而室間隙36限定 于凹槽64和凸起56之間。在另一個(gè)實(shí)施方式(圖3)中相同或類似的部件以相同的附圖標(biāo)記 表示。 所述實(shí)施方式(圖3)與以上描述的實(shí)施方式主要不同在于，與密 封氣體盤34具有相同作用的密封氣體盤66是由兩部分構(gòu)成的構(gòu)造。在 此，密封氣體盤66的內(nèi)部密封氣體環(huán)68與軸10永久連接。外部密封 氣體環(huán)70與外部密封環(huán)20永久連接。外部密封氣體環(huán)70包括頭狀凸 起72,所述頭狀凸起72相對(duì)對(duì)稱線58旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，所述凸起72延伸至 內(nèi)部密封氣體環(huán)中的對(duì)應(yīng)構(gòu)造的凹口 74中，所述凹口 74同樣相對(duì)軸線 58旋轉(zhuǎn)對(duì)稱。由此同樣是環(huán)形構(gòu)造的第二密封氣體室76設(shè)置在密封氣 體盤66中兩個(gè)密封氣體環(huán)68、 70之間。第二密封氣體室76將經(jīng)過(guò)間 隙38的密封氣體供應(yīng)至第二間隙80，經(jīng)由所述第二間隙80密封氣體均 勻地在周圍分散、流動(dòng)至吸入室12中而阻止顆粒、冷凝物和腐蝕性或 毒性氣體進(jìn)入。由于密封氣體通過(guò)環(huán)形間隙80沿轉(zhuǎn)子14的主供應(yīng)方向 供應(yīng)至吸入室12，因此環(huán)形間隙80的開口保持在密封氣體盤66的風(fēng)影 區(qū)(windshadow)中。在沒有密封氣體的操作中，這樣將顯著地降低 來(lái)自所供應(yīng)的氣體流的顆粒或冷凝物進(jìn)入環(huán)形間隙80中的危險(xiǎn)。環(huán)形 間隙80相比環(huán)形間隙38具有更大的環(huán)形表面，從而間隙38在密封氣 體室28的出口一側(cè)限定有確定性的節(jié)流閥。密封氣體室28經(jīng)由分布凹 槽78與環(huán)形間隙36和38連接，其中環(huán)形間隙36在外部密封環(huán)20和 內(nèi)部密封環(huán)18之間非常短，并且密封氣體室28將氣體直接供應(yīng)至密封 間隙40，所述密封間隙40由活塞環(huán)50限定，從而非常少量的密封氣體 經(jīng)過(guò)密封間隙。圖4和圖5示出了另外兩個(gè)實(shí)施方式的部分截面圖，其中類似或?qū)?應(yīng)的部件以相同的附圖標(biāo)記表示。如兩個(gè)附圖所示出的，未設(shè)置有密封氣體。根據(jù)圖4，密封氣體室 28由兩個(gè)密封環(huán)18、 20限定，其中對(duì)應(yīng)的凹槽設(shè)置在內(nèi)部密封環(huán)18 中。在圖5示出的實(shí)施方式中，密封氣體室28由內(nèi)部密封環(huán)18、外部密 封環(huán)20和轉(zhuǎn)子14限定。
權(quán)利要求
1.一種軸封，特別是一種用于諸如螺旋泵的真空泵的軸封，包括內(nèi)部密封環(huán)(18)，其與軸(10)可連接；固定的外部密封環(huán)(20)，其至少部分地包圍所述內(nèi)部密封環(huán)(18)；密封氣體室(28)，其至少部分地由所述密封環(huán)(18、20)限定，密封氣體經(jīng)由供應(yīng)通道(22)能夠引入所述密封氣體室(28)；密封間隙(40)，其與所述密封氣體室(28)連接，并設(shè)置在所述內(nèi)部密封環(huán)(18)和所述外部密封環(huán)(20)之間；以及出口間隙(38)，其與所述密封氣體室(28)連接，并優(yōu)選地與吸入室(12)連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的軸封，其特征在于，所述密封間隙(40) 中的流動(dòng)阻力大于所述出口間隙(38)中的流動(dòng)阻力。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的軸封，其特征在于，所述密封氣體室 (28 )至少部分地由設(shè)置在所述內(nèi)部密封環(huán)(18 )和/或所述外部密封環(huán) (20)中的凹槽(30)限定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于密封氣體 盤(34、 66)，所述密封氣體盤(34、 66)與所述軸(10)可連接以用 于限定所述密封氣體室(28)。
5.根據(jù)權(quán)利要求l至3中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，所述密 封氣體室(28)由兩個(gè)不旋轉(zhuǎn)的部件、特別是所述外部密封環(huán)(20)和 外部密封氣體環(huán)(70)限定。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于分離室 (42)，所述分離室(42)鄰接所述密封間隙(40)并由所述內(nèi)部密封 環(huán)(18)和所述外部密封環(huán)(20)限定，所述分離室與排出通道(44) 連接以用于排出所述密封氣體。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的軸封，其特征在于，所述密封氣體盤 (34)包括凸起(32)，所述凸起(32)延伸至所述凹槽(30)中以限 定所述密封氣體室(28 )。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的軸封，其特征在于，所述分離室(42 ) 包括設(shè)置在所述外部密封環(huán)(20)中的外部徑向凹槽(46)和/或設(shè)置在 所述內(nèi)部密封環(huán)(18)中的內(nèi)部徑向凹槽(48)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于設(shè)置在密 封間隙(40)中的密封件(50)，特別是至少一個(gè)活塞環(huán)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，所述 排出通道(44)與外界相連。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，設(shè)置 在所述外部密封件(18)和/或內(nèi)部密封件(20 )中的凹槽(30 )基本上 沿軸向(58)延伸。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于至少一 個(gè)離心室(52)，所述離心室(52)由所述內(nèi)部密封環(huán)(18)和所述外 部密封環(huán)(20)限定并特別設(shè)置在所述分離室(42)和齒輪室之間。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，所述 出口間隙(38)由設(shè)置在所述凹槽(30)中的凸起(32)限定，所述出 口間隙(38)特別是相對(duì)所述室間隙(36)而設(shè)置，并特別設(shè)置用于將 密封氣體排出到pA^室(12)中。
14.根據(jù)權(quán)利要求l至13中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，所述 外部密封環(huán)(20 )和/或所述密封氣體盤(66)是由兩部分構(gòu)成的構(gòu)造以 用于限定優(yōu)選地為環(huán)形的第二密封氣體室(76)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，所述 供應(yīng)通道(22)與壓力控制器和/或流量控制器連接。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，所述 密封氣體室(76)延伸至第二環(huán)形間隙(80)，所述密封氣體從所述第 二環(huán)形間隙(80)流動(dòng)至所述吸入室(12)中，其中所述密封氣體流均 勻地^b^周圍。
17.根據(jù)權(quán)利要求1至16中任一項(xiàng)所述的軸封，其特征在于，所述 密封氣體沿轉(zhuǎn)子(14)的主供應(yīng)方向流動(dòng)通過(guò)環(huán)形間隙(80),并且所 述環(huán)形間隙(80)在所述密封氣體盤(66)的風(fēng)影區(qū)中朝向所述吸入室 (12)打開。
18.—種真空泵，特別是螺旋泵，包括轉(zhuǎn)子軸(10 )，所述轉(zhuǎn)子軸(10 ) 與轉(zhuǎn)子(14 )和軸承(16)連接，其中在所述轉(zhuǎn)子(14 )和所述軸承(16 ) 之間設(shè)置有根據(jù)權(quán)利要求1至16中任一項(xiàng)所述的軸封。
全文摘要
本發(fā)明公開一種軸封，所述軸封特別適用于諸如螺旋泵的真空泵。所述軸封包括內(nèi)部密封環(huán)(18)，其能與軸(10)連接；以及外部密封環(huán)(20)，其包圍所述內(nèi)部密封環(huán)(18)。在所述外部密封環(huán)(20)中設(shè)置有周向凹槽(30)，密封氣體適于經(jīng)由供應(yīng)通道(22)供應(yīng)至所述周向凹槽(30)中。此外，密封氣體盤(34)與所述軸(10)可連接，所述密封氣體盤(34)包括向所述凹槽(30)延伸的凸起(32)。由此密封氣體室(28)限定在所述凹槽(30)中。所述密封氣體室(28)經(jīng)由室間隙(36)連接至位于所述內(nèi)部密封環(huán)(18)和所述外部密封環(huán)(20)之間的密封間隙(40)，密封氣體適于流動(dòng)通過(guò)所述室間隙(36)。鄰接所述密封間隙(40)設(shè)置有由所述內(nèi)部密封環(huán)(18)和所述外部密封環(huán)(20)限定的分離室(42)，所述分離室(42)與排出通道(44)連接以用于排出所述密封氣體。
文檔編號(hào)F16J15/447GK101156008SQ200680010895
公開日2008年4月2日 申請(qǐng)日期2006年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月2日
發(fā)明者伯恩哈德·克利姆, 托馬斯·德賴費(fèi)特, 沃爾夫?qū)ぜ惵? 海因茨·托倫 申請(qǐng)人:厄利孔萊博爾德真空技術(shù)有限責(zé)任公司