本發(fā)明涉及一種振動(dòng)片、振動(dòng)片的制造方法、角速度傳感器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

背景技術(shù)：
在車(chē)輛的車(chē)身控制、汽車(chē)導(dǎo)航系統(tǒng)的本車(chē)輛位置檢測(cè)、數(shù)碼相機(jī)和攝像機(jī)等的振動(dòng)控制補(bǔ)償（所謂的手抖補(bǔ)償）等中，使用了對(duì)角速度、加速度等的物理量進(jìn)行檢測(cè)的角速度傳感器。例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1中所記載的角速度傳感器具有音叉型的振動(dòng)片，該音叉型的振動(dòng)片由兩個(gè)振動(dòng)臂、和對(duì)這兩個(gè)振動(dòng)臂的一端彼此進(jìn)行連接的基部構(gòu)成。該振動(dòng)片由非壓電體材料構(gòu)成，并且在各個(gè)振動(dòng)臂上，分別設(shè)置有在一對(duì)電極間插入了壓電體層的驅(qū)動(dòng)部以及檢測(cè)部。上述這種具有兩個(gè)振動(dòng)臂的音叉一般是通過(guò)對(duì)基板進(jìn)行蝕刻加工而形成的。此時(shí)，由于該基板的蝕刻各向異性和加工過(guò)程中的誤差等，因此難以按照設(shè)計(jì)的尺寸而對(duì)音叉進(jìn)行加工。因此，音叉會(huì)成為意圖之外的形狀，從而有時(shí)會(huì)出現(xiàn)如下的情況，即，即使在振動(dòng)臂未受到角速度的狀態(tài)下，振動(dòng)臂也會(huì)向與驅(qū)動(dòng)方向不同的方向彎曲。當(dāng)檢測(cè)出這種伴隨于振動(dòng)臂的彎曲而由檢測(cè)部產(chǎn)生的電荷時(shí)，將導(dǎo)致檢測(cè)精度的降低。因此，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的角速度傳感器中，通過(guò)部分去除檢測(cè)部的一對(duì)電極中的一個(gè)電極，從而對(duì)振動(dòng)臂未受到角速度的狀態(tài)下從檢測(cè)部的一對(duì)電極輸出的電荷量進(jìn)行調(diào)節(jié)。但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的角速度傳感器中，由于振動(dòng)臂的電荷量調(diào)節(jié)部兼作為檢測(cè)電極，因此有時(shí)會(huì)導(dǎo)致靈敏度的降低。此外，由于電荷量調(diào)節(jié)部被設(shè)置在振動(dòng)臂上，因此存在如下的課題，即，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)振幅過(guò)大從而難以高精度地實(shí)施對(duì)電荷量的調(diào)節(jié)的情況。專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2008－14887號(hào)公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明是為了解決上述課題中的至少一部分而被完成的，并且可以作為以下的方式或應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例1本應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片的特征在于，具備：基部；振動(dòng)臂，其從所述基部起進(jìn)行延伸；驅(qū)動(dòng)部以及檢測(cè)部，其被設(shè)置在所述振動(dòng)臂上；調(diào)節(jié)臂，其以與所述振動(dòng)臂并行的方式從所述基部起進(jìn)行延伸；調(diào)節(jié)部，其被設(shè)置在所述調(diào)節(jié)臂的主面上，所述調(diào)節(jié)部具有第一電極、第二電極以及設(shè)置在所述第一電極與所述第二電極之間的壓電體層，所述調(diào)節(jié)臂的輸出信號(hào)相對(duì)于在所述振動(dòng)臂上未施加有物理量時(shí)從所述檢測(cè)部輸出的電荷為反相。根據(jù)本應(yīng)用例，對(duì)于由振動(dòng)臂的形狀誤差（尤其是，成為截面不對(duì)稱(chēng)的情況）等引起的檢測(cè)部的泄漏輸出，通過(guò)由調(diào)節(jié)部產(chǎn)生與泄漏信號(hào)為反相的電荷，從而抵銷(xiāo)泄漏輸出。而且，如果通過(guò)除去（或者附加）調(diào)節(jié)部的壓電體層的一部分從而將0點(diǎn)輸出（振動(dòng)片上未施加角速度等的物理量的狀態(tài)下的、來(lái)自調(diào)節(jié)臂的輸出電流）調(diào)節(jié)為目標(biāo)值以下（例如“0”），并且通過(guò)去除第二電極的一部分從而將泄漏信號(hào)的振幅（泄漏電流）調(diào)節(jié)為目標(biāo)值以下，則能夠抑制振動(dòng)泄漏。此外，由于在第一以及第二調(diào)節(jié)部的調(diào)節(jié)用壓電體層中，可去除的質(zhì)量大于調(diào)節(jié)用電極，因此對(duì)于調(diào)節(jié)臂頻率的調(diào)節(jié)是有效的，并且在壓電體層上的第二電極中，對(duì)于電荷量的調(diào)節(jié)是有效的，因此，能夠進(jìn)行粗調(diào)以及微調(diào)，且具有擴(kuò)大振動(dòng)泄漏的抑制范圍和能夠進(jìn)行精細(xì)抑制的效果。應(yīng)用例2在上述應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片中，優(yōu)選為，在所述檢測(cè)部的與所述基部為相反側(cè)的頂端部處，于與所述驅(qū)動(dòng)部相比靠頂端側(cè)設(shè)置有，與所述檢測(cè)部的其他部分相比面積較大的大寬度部。檢測(cè)靈敏度是由被驅(qū)動(dòng)部激勵(lì)的振動(dòng)振幅的大小與檢測(cè)部的電荷產(chǎn)生效率之積而決定的。因此，通過(guò)與驅(qū)動(dòng)部相比于頂端側(cè)設(shè)置寬度較大的檢測(cè)部，從而能夠提高所述檢測(cè)靈敏度。此外，由于由調(diào)節(jié)臂的頂端部的調(diào)節(jié)而引起的電荷量的變化較小，因此如果將大寬度部考慮為附加質(zhì)量部，則能夠作為檢測(cè)頻率的調(diào)節(jié)部而使用。應(yīng)用例3在上述應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片中，優(yōu)選為，所述調(diào)節(jié)臂的長(zhǎng)度短于所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于用于調(diào)節(jié)泄漏輸出的調(diào)節(jié)臂的振動(dòng)不會(huì)阻礙振動(dòng)臂（兼作為驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂和檢測(cè)用振動(dòng)臂）的主要的振動(dòng)，因此，振動(dòng)片的振動(dòng)特征穩(wěn)定，并且還有利于振動(dòng)片的小型化。應(yīng)用例4在上述應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片中，優(yōu)選為，所述調(diào)節(jié)部在接近所述基部的位置處于所述調(diào)節(jié)臂的寬度方向上分支，且在長(zhǎng)度方向上延伸設(shè)置。振動(dòng)臂的振動(dòng)方向相對(duì)于主面為面內(nèi)彎曲振動(dòng)。在通過(guò)彎曲振動(dòng)而被壓縮的壓電體層的電極上產(chǎn)生＋電荷，而在伸長(zhǎng)時(shí)產(chǎn)生－電荷。因此，由于通過(guò)將調(diào)節(jié)部分支而使被分支的一方產(chǎn)生＋電荷，并使另一方產(chǎn)生－電荷，因而能夠?qū)a(chǎn)生電荷量的和作為泄漏信號(hào)的調(diào)節(jié)量而進(jìn)行輸出。應(yīng)用例5在上述應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片中，優(yōu)選為，所述調(diào)節(jié)部具有共通部和多個(gè)分支部，所述共通部沿著所述調(diào)節(jié)臂的延伸方向而設(shè)置，所述多個(gè)分支部從所述共通部起向所述寬度方向兩側(cè)分支，且在所述延伸方向上配置。在這種結(jié)構(gòu)中，由于多個(gè)分支部從共通部起分支，因此即使切斷任意的分支部，其他的分支部也會(huì)維持與共通部電連接的狀態(tài)。即，能夠使調(diào)節(jié)部的壓電體層或第二電極的面積僅減小與多個(gè)分支部中的任意分支部相對(duì)應(yīng)的量，從而減少產(chǎn)生的電荷量。而且，由于多個(gè)分支部沿著調(diào)節(jié)臂的延伸方向并列設(shè)置，因此能夠根據(jù)被切斷的分支部的位置以及數(shù)量而簡(jiǎn)單且高精度地對(duì)調(diào)節(jié)部的信號(hào)輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。應(yīng)用例6在上述應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片中，優(yōu)選為，在所述多個(gè)分支部中，與所述共通部側(cè)相比，寬度方向頂端側(cè)寬度較寬。由此，能夠增大通過(guò)共通部或分支部的中途的切斷而實(shí)現(xiàn)的、調(diào)節(jié)部的信號(hào)輸出的調(diào)節(jié)寬度，并且能夠比較簡(jiǎn)單地對(duì)頂端側(cè)的寬度較窄的分支部的中途進(jìn)行切斷。應(yīng)用例7在上述應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片中，優(yōu)選為，在所述調(diào)節(jié)臂中，在頂端部上設(shè)置有錘部，在所述基部側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)部。通過(guò)以此方式在調(diào)節(jié)臂的頂端部上設(shè)置錘部，從而能夠在對(duì)調(diào)節(jié)臂的長(zhǎng)度的增大進(jìn)行抑制的同時(shí)，提高對(duì)泄漏振動(dòng)的抑制效果。應(yīng)用例8本應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片的制造方法的特征在于，包括：形成基部、振動(dòng)臂、調(diào)節(jié)臂和調(diào)節(jié)部的工序，其中，所述振動(dòng)臂從所述基部起進(jìn)行延伸，所述調(diào)節(jié)臂以與所述振動(dòng)臂并行的方式從所述基部起進(jìn)行延伸，所述調(diào)節(jié)部在所述調(diào)節(jié)臂的主面上具有第一電極、第二電極以及設(shè)置在所述第一電極與所述第二電極之間的壓電體層，且在所述調(diào)節(jié)部中，所述第一電極被設(shè)置于所述調(diào)節(jié)臂的主面?zhèn)?；?duì)所述振動(dòng)臂的泄漏信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的工序；在所述泄漏信號(hào)的振幅處于目標(biāo)值的范圍外、且處于所設(shè)定的可調(diào)節(jié)值的范圍外時(shí)，去除或附加所述壓電體層的一部分而對(duì)所述調(diào)節(jié)臂的頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序；在所述泄漏信號(hào)的振幅處于所述可調(diào)節(jié)值的范圍內(nèi)、且處于目標(biāo)值的范圍外時(shí)，去除或附加所述第二電極的一部分而對(duì)所述調(diào)節(jié)部中所產(chǎn)生的電荷進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序。根據(jù)本應(yīng)用例，由于通過(guò)去除調(diào)節(jié)部的壓電體層的一部分，從而使調(diào)節(jié)臂的頻率接近振動(dòng)臂的頻率（即，增大調(diào)節(jié)臂的振幅，并增大能夠從調(diào)節(jié)部輸出的電荷的總和），并通過(guò)去除或附加第二電極的一部分，從而對(duì)電荷量進(jìn)行調(diào)節(jié)，因此能夠高效地對(duì)振動(dòng)泄漏進(jìn)行抑制。應(yīng)用例9在上述應(yīng)用例所涉及的振動(dòng)片的制造方法中，優(yōu)選為，所述調(diào)節(jié)部具有共通部和多個(gè)分支部，所述共通部沿著所述調(diào)節(jié)臂的延伸方向而設(shè)置，所述多個(gè)分支部從所述共通部起向?qū)挾确较騼蓚?cè)分支，且在所述延伸方向上配置，所述振動(dòng)片的制造方法包括將所述分支部切斷的工序。通過(guò)將分支部切斷，從而能夠使調(diào)節(jié)部的壓電體層以及第二電極的電極面積僅減小與多個(gè)分支部中的任意的分支部相對(duì)應(yīng)的量。而且，由于多個(gè)分支部沿著調(diào)節(jié)臂的延伸方向并排設(shè)置，因此能夠根據(jù)被切斷的分支部的位置以及數(shù)量，而簡(jiǎn)單且高精度地對(duì)調(diào)節(jié)部的信號(hào)輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。應(yīng)用例10本應(yīng)用例所涉及的角速度傳感器的特征在于，具備：上述應(yīng)用例中的任一應(yīng)用例所記載的振動(dòng)片；電子部件，其包括使所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電路、和對(duì)來(lái)自所述檢測(cè)部的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的電路；封裝件，其對(duì)所述振動(dòng)片以及所述電子部件進(jìn)行收納。根據(jù)本應(yīng)用例，能夠提供一種實(shí)現(xiàn)上述應(yīng)用例中的任意一個(gè)應(yīng)用例所記載的振動(dòng)片的效果的角速度傳感器。而且，上述結(jié)構(gòu)的這種封裝件型的角速度傳感器具有，有利于小型化、薄型化且耐沖擊性較高的特征。應(yīng)用例11本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備的特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任一應(yīng)用例所記載的振動(dòng)片。根據(jù)本應(yīng)用例，由于具備被實(shí)施了對(duì)泄漏輸出進(jìn)行抑制的調(diào)節(jié)的、高靈敏度的振動(dòng)片，因此能夠提供具有高功能且穩(wěn)定的特性的電子設(shè)備。應(yīng)用例12本應(yīng)用例所涉及的移動(dòng)體的特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任一應(yīng)用例所記載的振動(dòng)片。上述振動(dòng)片（或者角速度傳感器）能夠?qū)σ苿?dòng)體的姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。由于具備如上所述的被實(shí)施了對(duì)泄漏輸出進(jìn)行抑制的調(diào)節(jié)的、高靈敏度的振動(dòng)片，因此能夠提供可進(jìn)行穩(wěn)定的姿態(tài)控制的移動(dòng)體。附圖說(shuō)明圖1表示實(shí)施方式1所涉及的振動(dòng)片，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）的A-A剖面的剖視圖。圖2為表示實(shí)施方式1所涉及的振動(dòng)片的泄漏輸出的抑制方法的工序說(shuō)明圖。圖3為振動(dòng)片1的驅(qū)動(dòng)以及檢測(cè)的說(shuō)明圖。圖4為模式化地表示圖2中的步驟4的概念的說(shuō)明圖。圖5為模式化地表示圖2中的步驟5的概念的說(shuō)明圖。圖6為模式化地表示圖2中的步驟6的概念的說(shuō)明圖。圖7為模式化地表示圖2中的步驟8的概念的說(shuō)明圖。圖8為表示實(shí)施方式2所涉及的振動(dòng)片的俯視圖。圖9為表示實(shí)施方式3所涉及的振動(dòng)片的俯視圖。圖10表示角速度傳感器的概要結(jié)構(gòu)，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）的B-B剖面的剖視圖。圖11為概要地表示作為電子設(shè)備的智能手機(jī)的立體圖。圖12為概要地表示作為電子設(shè)備的其他具體示例的數(shù)碼相機(jī)的立體圖。圖13為概要地表示作為移動(dòng)體的一個(gè)具體示例的汽車(chē)的立體圖。具體實(shí)施方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，以下的說(shuō)明中所參照的附圖為，為了將各個(gè)部件設(shè)定為能夠識(shí)別的大小，而使各個(gè)部件或者一部分的橫縱的比例尺不同于實(shí)際的比例尺的模式圖。實(shí)施方式1圖1表示實(shí)施方式1所涉及的振動(dòng)片1，其中，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）中A-A剖面的剖視圖。另外，本實(shí)施方式中的振動(dòng)片1作為角速度傳感器等的傳感器元件而被使用。在圖1（a）、（b）中，振動(dòng)片1由主體部10、壓電體層和第二電極構(gòu)成，所述主體部10由非壓電體形成，所述壓電體層以預(yù)定的圖案被形成于主體部10的主面12上，所述第二電極被形成在壓電體層的表面上。振動(dòng)臂20、30從基部11的一邊起在相同的方向上平行地延伸。如圖1（a）所示，主體部10通過(guò)基部11和振動(dòng)臂20、30而構(gòu)成了音叉。在主體部10上，還具有調(diào)節(jié)臂40、50，所述調(diào)節(jié)臂40、50從與基部11的延伸出振動(dòng)臂20、30的邊正交且相互對(duì)置的各邊起，在與振動(dòng)臂20、30相同的方向上延伸。調(diào)節(jié)臂40、50與振動(dòng)臂20、30相比而較短。此外，主體部10例如由硅（Si）形成。另外，以下，將主面12表示為第一主面12，將與第一主面對(duì)置的面（相對(duì)于第一主面12而言為背面）表示為第二主面13。另外，第二主面13為，后文所述的將振動(dòng)片1固定在封裝件上的固定面。如圖1（a）、（b）所示，在主體部10的第一主面12上形成有第一電極60。另外，在主體部10具有導(dǎo)電性的情況下，在第一主面12與第一電極60之間形成有絕緣層。在振動(dòng)臂20的寬度方向中央部處，從第一主面12起層壓形成有第一電極60、檢測(cè)用壓電體層21、檢測(cè)用電極22。將由第一電極60、檢測(cè)用壓電體層21、檢測(cè)用電極22構(gòu)成的圖案設(shè)為第一檢測(cè)部20b。在第一檢測(cè)部20b的與基部11為相反側(cè)的頂端部處形成有大寬度部22a。此外，檢測(cè)用電極22在基部11上連續(xù)至檢測(cè)端子23。在振動(dòng)臂30的寬度方向中央部處，從第一主面12起層壓形成有第一電極60、檢測(cè)用壓電體層31、檢測(cè)用電極32。將由第一電極60、檢測(cè)用壓電體層31、檢測(cè)用電極32構(gòu)成的圖案設(shè)為第二檢測(cè)部30b。在第二檢測(cè)部30b的與基部11為相反側(cè)的頂端部處，形成有大寬度部32a。此外，檢測(cè)用電極32在基部11上連續(xù)至檢測(cè)端子33。在振動(dòng)臂20中，以隔著第一檢測(cè)部20b的方式于寬度方向兩側(cè)，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、驅(qū)動(dòng)用壓電體層25、驅(qū)動(dòng)用電極26、第一電極60、驅(qū)動(dòng)用壓電體層27、驅(qū)動(dòng)用電極28。以包括上述驅(qū)動(dòng)用壓電體層和驅(qū)動(dòng)用電極在內(nèi)的方式而設(shè)定第一驅(qū)動(dòng)部20a。另一方面，在振動(dòng)臂30中，以隔著第二檢測(cè)部30b的方式于寬度方向兩側(cè)，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、驅(qū)動(dòng)用壓電體層35、驅(qū)動(dòng)用電極36、第一電極60、驅(qū)動(dòng)用壓電體層37、驅(qū)動(dòng)用電極38。以包括上述驅(qū)動(dòng)用壓電體層和驅(qū)動(dòng)用電極的方式而設(shè)定第二驅(qū)動(dòng)部30a。驅(qū)動(dòng)用電極26和驅(qū)動(dòng)用電極36在基部11的第一主面12上與共通的驅(qū)動(dòng)端子29相連接。此外，驅(qū)動(dòng)用電極28和驅(qū)動(dòng)用電極38在基部11的第一主面12上與共通的驅(qū)動(dòng)端子39相連接。在調(diào)節(jié)臂40中，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、調(diào)節(jié)用電極43、44，并且調(diào)節(jié)用壓電體層41以及調(diào)節(jié)用壓電體層43的層、和調(diào)節(jié)用壓電體層42以及調(diào)節(jié)用電極44的層從基部11側(cè)的一端起，在調(diào)節(jié)臂40的寬度方向上分支。以包括形成于調(diào)節(jié)臂40上的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42和調(diào)節(jié)用電極43、44在內(nèi)的方式而設(shè)定第一調(diào)節(jié)部40a。調(diào)節(jié)用電極43和調(diào)節(jié)用電極44與第一主面12上的調(diào)節(jié)端子45相連接。另一方面，在調(diào)節(jié)臂50中，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、調(diào)節(jié)用壓電體層51、52、調(diào)節(jié)用電極53、54，并且調(diào)節(jié)用壓電體層51以及調(diào)節(jié)用電極53的層、和調(diào)節(jié)用壓電體層52以及調(diào)節(jié)用電極54的層從基部11側(cè)的一端起，在調(diào)節(jié)臂50的寬度方向上分支。以包括形成于調(diào)節(jié)臂50上的、調(diào)節(jié)用壓電體層51、52和調(diào)節(jié)用電極53、54在內(nèi)的方式而設(shè)定第二調(diào)節(jié)部50a。調(diào)節(jié)用電極53和調(diào)節(jié)用電極54與第一主面12上的調(diào)節(jié)端子55相連接。如上所述，在第一驅(qū)動(dòng)部20a和第二驅(qū)動(dòng)部30a、第一檢測(cè)部20b和第二檢測(cè)部30b、以及第一調(diào)節(jié)部40a和第二調(diào)節(jié)部50a中，第一電極60為共通電極，且在本實(shí)施方式中為接地電極。圖1（a）所示的接地端子61為第一電極60的一部分。這里，檢測(cè)端子23、33、驅(qū)動(dòng)端子29、39、調(diào)節(jié)端子45、55以及接地端子61為，與后述的作為電子設(shè)備的IC芯片電連接的連接用端子。另外，如圖1（a）所圖示的那樣，主體部10的外形形狀以及上述的各個(gè)壓電體層、各個(gè)電極關(guān)于軸線(xiàn)P1而呈對(duì)稱(chēng)形狀。在以上所說(shuō)明的本實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)片1中，針對(duì)于由振動(dòng)臂20、30的形狀誤差（尤其是，截面成為非對(duì)稱(chēng)的情況）等引起的檢測(cè)部（第一檢測(cè)部20b以及第二檢測(cè)部30b）的泄漏輸出，使第一調(diào)節(jié)部40a以及第二調(diào)節(jié)部50a產(chǎn)生與泄漏信號(hào)為反相的電荷，從而抵消泄漏輸出。而且，通過(guò)去除第一調(diào)節(jié)部40a以及第二調(diào)節(jié)部50a的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的一部分，從而能夠使調(diào)節(jié)臂的頻率接近驅(qū)動(dòng)頻率，并能夠增大調(diào)節(jié)電荷量的總和，并且如果去除調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54的一部分，且將泄漏信號(hào)的振幅（泄漏電流）調(diào)節(jié)為目標(biāo)值以下，則能夠抑制振動(dòng)泄漏。此外，由于在第一調(diào)節(jié)部40a以及第二調(diào)節(jié)部50a的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52中，可去除的質(zhì)量與各個(gè)調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54相比而較大，因此對(duì)于調(diào)節(jié)臂頻率的調(diào)節(jié)是有效的，并且在調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54中，對(duì)于電荷量的調(diào)節(jié)是有效的，因此，能夠進(jìn)行粗調(diào)以及微調(diào)，從而具有擴(kuò)大振動(dòng)泄漏的抑制范圍，并能夠進(jìn)行精細(xì)抑制的效果。此外，在第一檢測(cè)部20b以及第二檢測(cè)部30b的與基部11為相反側(cè)的頂端部處，于與第一驅(qū)動(dòng)部20a以及第二驅(qū)動(dòng)部30a相比靠頂端側(cè)設(shè)置有，與第一檢測(cè)部20b以及第二檢測(cè)部30b的其他部分相比面積較大的大寬度部22a、32a。檢測(cè)靈敏度是由被驅(qū)動(dòng)部激勵(lì)的振動(dòng)振幅的大小與檢測(cè)部的電荷產(chǎn)生效率之積而決定的。因此，通過(guò)在與驅(qū)動(dòng)部相比靠頂端側(cè)設(shè)置寬幅的檢測(cè)部，從而能夠提高檢測(cè)靈敏度。此外，由于由振動(dòng)臂20、30的頂端部的調(diào)節(jié)而引起的電荷量的變化較小，因此如果將大寬度部20a、30a考慮為附加質(zhì)量部，則能夠作為檢測(cè)頻率的調(diào)節(jié)部而使用。此外，在振動(dòng)片1中，使調(diào)節(jié)臂40、50的長(zhǎng)度短于振動(dòng)臂20、30的長(zhǎng)度。如果采用此方式，則由于用于調(diào)節(jié)泄漏輸出的調(diào)節(jié)臂40、50的振動(dòng)不會(huì)阻礙兼作為驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂和檢測(cè)用振動(dòng)臂的振動(dòng)臂20、30的振動(dòng)，因此振動(dòng)片1的振動(dòng)特性穩(wěn)定，并且還有利于振動(dòng)片1的小型化。而且，調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、調(diào)節(jié)用壓電體層51、52分別在調(diào)節(jié)臂40、50的各自的寬度方向上分支，且在長(zhǎng)度方向上延伸。振動(dòng)方向相對(duì)于第一主面12為面內(nèi)彎曲振動(dòng)。例如，在通過(guò)彎曲振動(dòng)而被壓縮的調(diào)節(jié)用壓電體層51上將產(chǎn)生＋電荷，而在為被伸長(zhǎng)的調(diào)節(jié)用壓電體層52時(shí)將產(chǎn)生－電荷。因此，由于通過(guò)將調(diào)節(jié)用壓電體層51、52分支，從而使被分支的一方產(chǎn)生＋電荷并使另一方產(chǎn)生－電荷，因而只需取得產(chǎn)生電荷量的和，即可作為泄漏信號(hào)的調(diào)節(jié)電荷而進(jìn)行輸出。實(shí)施方式1所涉及的振動(dòng)片1的制造方法接下來(lái)，對(duì)實(shí)施方式1中的振動(dòng)片1的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。在上述的振動(dòng)片1中，通過(guò)使用光刻法來(lái)對(duì)硅（Si）等的非壓電體材料進(jìn)行蝕刻加工，從而一體地形成主體部10。原本，振動(dòng)臂20、30的截面形狀被設(shè)計(jì)為矩形形狀，但是，由于非壓電體材料的蝕刻各向異性和加工過(guò)程的誤差等，從而不呈矩形形狀，而是呈平行四邊形、菱形、或者呈更為復(fù)雜的不確定形狀。此時(shí)，若振動(dòng)臂20、30的截面形狀較大程度偏離所設(shè)計(jì)的矩形形狀，則振動(dòng)臂20、30的振動(dòng)方向?qū)⑵x設(shè)計(jì)值，而產(chǎn)生所謂的泄漏輸出這一不希望出現(xiàn)的振動(dòng)泄漏，從而成為使角速度傳感器的檢測(cè)靈敏度劣化的主要原因。這里，以對(duì)這種泄漏輸出進(jìn)行抑制的方法為中心進(jìn)行說(shuō)明。圖2為，表示本實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)片1的泄漏輸出的抑制方法的工序說(shuō)明圖。首先，形成振動(dòng)片1（步驟1：S1）。在振動(dòng)片1的形成中，通過(guò)使用光刻法來(lái)對(duì)Si晶片進(jìn)行蝕刻加工，從而如圖1所示而形成主體部10，之后，在主體部10的第一主面12上依次層壓形成第一電極層、壓電體層、第二電極層，并且如圖1所示，按照第二電極層、壓電體層的順序利用公知的圖案形成技術(shù)來(lái)進(jìn)行圖案形成。作為壓電體層，例如以1μｍ～3μｍ的厚度使PZT（鋯鈦酸鉛）成膜，作為第一電極層以及第二電極層，例如以的厚度使Au或Cr-Au成膜。這里，參照?qǐng)D3對(duì)振動(dòng)片1的驅(qū)動(dòng)以及檢測(cè)進(jìn)行說(shuō)明。圖3為，振動(dòng)片1的驅(qū)動(dòng)以及檢測(cè)的說(shuō)明圖。當(dāng)對(duì)驅(qū)動(dòng)端子29和驅(qū)動(dòng)端子39施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，振動(dòng)臂20以及振動(dòng)臂30在X方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)（所謂的音叉振動(dòng)）。將振動(dòng)信號(hào)的頻率設(shè)為fd。此時(shí)，若調(diào)節(jié)臂40、50的頻率接近驅(qū)動(dòng)頻率fd，則振動(dòng)通過(guò)基部11進(jìn)行傳播，并且調(diào)節(jié)臂40、50在X方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。將振動(dòng)臂40、50的頻率設(shè)為f-tu。調(diào)節(jié)臂40、50成為與振動(dòng)臂20、30為反相的振動(dòng)。在這種結(jié)構(gòu)的振動(dòng)片1中，當(dāng)在對(duì)振動(dòng)臂20、30施加預(yù)定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)以使其振動(dòng)的狀態(tài)下，在振動(dòng)片1上被施加了角速度時(shí)，振動(dòng)臂20、30將通過(guò)科里奧利力而在Z方向上進(jìn)行振動(dòng)（被稱(chēng)為步行模式振動(dòng)），并輸出檢測(cè)信號(hào)。將該檢測(cè)振動(dòng)的頻率設(shè)為fs。當(dāng)形成振動(dòng)片1時(shí)，驅(qū)動(dòng)頻率（fd）、調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）、檢測(cè)頻率（fs）之間的關(guān)系為fs＞fd＞f-tu，也就是說(shuō)，以使得調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）低于驅(qū)動(dòng)頻率（fd）的方式，實(shí)施主體部10的形狀形成。接下來(lái)，對(duì)振動(dòng)片1中驅(qū)動(dòng)頻率（fd）是否大于調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）進(jìn)行判斷（步驟2：S2）。這里，由于在驅(qū)動(dòng)頻率（fd）小于調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）的情況下（否），即使實(shí)施以后的工序也難以進(jìn)行振動(dòng)泄漏抑制，因此排除該情況。當(dāng)驅(qū)動(dòng)頻率（fd）大于調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）時(shí)（是），對(duì)0點(diǎn)輸出電流進(jìn)行測(cè)定，以掌握泄漏信號(hào)的相位和振幅（步驟3：S3）。0點(diǎn)輸出電流是指，振動(dòng)片1上未施加有角速度的狀態(tài)下的調(diào)節(jié)臂40、50的輸出電流。接下來(lái)，對(duì)泄漏信號(hào)的振幅（泄漏電流）和目標(biāo)值進(jìn)行比較（步驟4:S4）。參照?qǐng)D4對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。圖4為，模式化地表示圖2中的步驟4的概念的說(shuō)明圖。如果泄漏信號(hào)的振幅（泄漏電流）小于預(yù)先設(shè)置的目標(biāo)值，則判斷為處于泄漏振動(dòng)被抑制了的狀態(tài)，且結(jié)束用于泄漏振動(dòng)抑制的處理。此外，如果泄漏信號(hào)的振幅（泄漏電流）大于預(yù)先設(shè)置的目標(biāo)值（否），則移動(dòng)至下一個(gè)工序。接下來(lái)，進(jìn)行如下的比較，即，泄漏信號(hào)的振幅（泄漏電流）大于目標(biāo)值時(shí)的泄漏信號(hào)的振幅（電流）是否處于可調(diào)節(jié)值范圍內(nèi)（步驟5：S5）。參照?qǐng)D5對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。圖5為，模式化地表示圖2中的步驟5的概念的說(shuō)明圖。這里，在泄漏信號(hào)的振幅（泄漏電流）小于可調(diào)節(jié)值時(shí)，判斷為不需要實(shí)施調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整，并轉(zhuǎn)移至調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54的修整（步驟8：S8）。此外，當(dāng)泄漏信號(hào)的振幅大于可調(diào)節(jié)值時(shí)，轉(zhuǎn)移到調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整（步驟6：S6）。另外，修整是指，去除調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52或調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54的一部分。接下來(lái)，參照?qǐng)D6對(duì)調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整進(jìn)行說(shuō)明。圖6為，模式化地表示圖2中的步驟6的概念的說(shuō)明圖。在調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整中，預(yù)先求出修整量和輸出電荷量的差（驅(qū)動(dòng)頻率（fd）－調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu））之間的關(guān)系，并對(duì)修整量進(jìn)行計(jì)算。如圖6（a）所示，驅(qū)動(dòng)頻率（fd）與調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）的差越小，總輸出電荷量越大。也就是說(shuō)，檢測(cè)輸出增高。因此，對(duì)調(diào)節(jié)臂40、50的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52中的任意一個(gè)進(jìn)行修整，從而使調(diào)節(jié)臂40、50的頻率接近驅(qū)動(dòng)頻率。因此，優(yōu)選進(jìn)行修整直至成為驅(qū)動(dòng)頻率（fd）≒調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）為止。接下來(lái)，對(duì)是否成為驅(qū)動(dòng)頻率（fd）≒調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）進(jìn)行判斷（步驟7：S7）。另外，參照?qǐng)D6（b）預(yù)先設(shè)定驅(qū)動(dòng)頻率（fd）與調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）之間的容許差（差的目標(biāo)值）。這里，在判斷為未達(dá)成驅(qū)動(dòng)頻率（fd）≒調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）時(shí)（否），實(shí)施對(duì)調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整直至驅(qū)動(dòng)頻率（fd）與調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）的差值成為容許值為止。在驅(qū)動(dòng)頻率（fd）與調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）的差處于容許值的范圍內(nèi)時(shí)（是），轉(zhuǎn)移至調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整工序。圖6（b）表示調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整的一個(gè)示例。雖然在圖6（b）中，例示了去除調(diào)節(jié)用壓電體層51、52的一部分的情況，但是也存在對(duì)調(diào)節(jié)臂40側(cè)的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42進(jìn)行修整的情況，或者，也存在對(duì)調(diào)節(jié)臂40以及調(diào)節(jié)臂50的調(diào)節(jié)用壓電體層的雙方進(jìn)行修整的情況。對(duì)于步驟6中的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的修整，由于使用激光等而將一部分去除，因此形成于各個(gè)調(diào)節(jié)用壓電體層的表面上的各個(gè)調(diào)節(jié)用電極也被一起去除。此外，相同區(qū)域的第一電極60也可以同時(shí)被去除。這是因?yàn)?，調(diào)節(jié)用電極修整對(duì)調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）的影響與調(diào)節(jié)用壓電體層修整相比明顯較小。當(dāng)驅(qū)動(dòng)頻率（fd）與調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）的差變?yōu)榱巳菰S值范圍內(nèi)（例如，驅(qū)動(dòng)頻率（fd）≒調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu））時(shí)，轉(zhuǎn)移至第一調(diào)節(jié)部40a以及第二調(diào)節(jié)部50a的調(diào)節(jié)用電極修整（步驟8：S8）。接下來(lái)，參照?qǐng)D7對(duì)調(diào)節(jié)臂40、50的調(diào)節(jié)用電極修整進(jìn)行說(shuō)明。圖7為，模式化地表示圖2中的步驟8的概念的說(shuō)明圖。如圖7（a）所示，首先，去除調(diào)節(jié)臂40、50的調(diào)節(jié)用電極43、44、54、55中的任意一個(gè)的一部分，并產(chǎn)生輸出電荷。接下來(lái)，實(shí)施調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54的修整直至0點(diǎn)輸出成為目標(biāo)值為止。雖然在圖7（b）中，例示了去除調(diào)節(jié)用電極53的一部分的情況，但是也存在對(duì)調(diào)節(jié)用電極54進(jìn)行修整的情況、和對(duì)調(diào)節(jié)臂40側(cè)的調(diào)節(jié)用電極43、44進(jìn)行修整的情況，或者，還存在對(duì)調(diào)節(jié)臂40以及調(diào)節(jié)臂50的調(diào)節(jié)用電極的雙方進(jìn)行修整的情況。這里，對(duì)調(diào)節(jié)臂40、50的輸出電荷進(jìn)行說(shuō)明。如果設(shè)定為，在例如調(diào)節(jié)臂40于－X方向上進(jìn)行了位移時(shí)調(diào)節(jié)用壓電體層41被壓縮且產(chǎn)生＋電荷，則由于調(diào)節(jié)用壓電體層42被伸長(zhǎng)從而將產(chǎn)生－電荷。由于調(diào)節(jié)用電極43和調(diào)節(jié)用電極44相連接，因此在調(diào)節(jié)端子45中，能夠檢測(cè)出由調(diào)節(jié)用壓電體層41產(chǎn)生的電荷與由調(diào)節(jié)用壓電體層42產(chǎn)生的電荷之和，以作為輸出電荷量。在調(diào)節(jié)臂50側(cè)也與調(diào)節(jié)臂40側(cè)同樣地，在調(diào)節(jié)端子55中，能夠檢測(cè)出由調(diào)節(jié)用壓電體層51產(chǎn)生的電荷與由調(diào)節(jié)用壓電體層52產(chǎn)生的電荷之和，以作為電荷量。由于調(diào)節(jié)臂40側(cè)的調(diào)節(jié)用電極43、44與調(diào)節(jié)臂50側(cè)的調(diào)節(jié)用電極53、54電氣性分離，因此能夠分別地掌握調(diào)節(jié)臂40和調(diào)節(jié)臂50中所產(chǎn)生的電荷量。因此，能夠分別獨(dú)自地實(shí)施泄漏電流（泄漏信號(hào)的振幅）的調(diào)節(jié)。在步驟9中，在未實(shí)現(xiàn)0點(diǎn)輸出＜目標(biāo)值的情況下（否），進(jìn)一步實(shí)施電極修整，在實(shí)現(xiàn)了0點(diǎn)輸出＜目標(biāo)值的情況下（是），認(rèn)為已經(jīng)抑制了振動(dòng)泄漏，從而結(jié)束調(diào)諧處理。根據(jù)以上所說(shuō)明的振動(dòng)片1的制造方法，由于在第一調(diào)節(jié)部40a以及第二調(diào)節(jié)部50a的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52中，可去除的質(zhì)量與調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54相比而較大，因此對(duì)于調(diào)節(jié)臂頻率的調(diào)節(jié)是有效的，并且在壓電體層上的第二電極中，對(duì)于電荷量的調(diào)節(jié)是有效的。因此，能夠進(jìn)行粗調(diào)以及微調(diào)，且具有擴(kuò)大振動(dòng)泄漏的抑制范圍，并能夠進(jìn)行精細(xì)的抑制，且高效地抑制振動(dòng)泄漏的這一效果。另外，雖然在上述步驟6中，去除調(diào)節(jié)臂的調(diào)節(jié)用壓電體層41、42、51、52的一部分并實(shí)施修整，并且在步驟8中，去除調(diào)節(jié)用電極43、44、53、54的一部分并實(shí)施修整，但是，對(duì)于此雙方而言，通過(guò)附加一部分也均可得到同樣的效果。實(shí)施方式2接下來(lái)，對(duì)實(shí)施方式2所涉及的振動(dòng)片進(jìn)行說(shuō)明。實(shí)施方式2的特征在于，由設(shè)置于調(diào)節(jié)臂40、50上的調(diào)節(jié)用壓電體層和調(diào)節(jié)用電極構(gòu)成的調(diào)節(jié)部具有，共通部和多個(gè)分支部，所述共通部在調(diào)節(jié)臂40、50的延伸方向上延伸設(shè)置，所述多個(gè)分支部從共通部起向?qū)挾确较騼蓚?cè)分支，且在延伸方向上配置。因此，以與實(shí)施方式1的不同之處為中心，并對(duì)與實(shí)施方式1的共通部分標(biāo)記相同的符號(hào)而進(jìn)行說(shuō)明。圖8為，表示實(shí)施方式2所涉及的振動(dòng)片2的俯視圖。振動(dòng)臂20、30從基部11的一邊起在相同的方向上平行地延伸，并且振動(dòng)片2還具有調(diào)節(jié)臂40、50，所述調(diào)節(jié)臂40、50從與基部11的延伸出振動(dòng)臂20、30的邊正交且對(duì)置的各個(gè)邊起，在與振動(dòng)臂20、30相同的方向上進(jìn)行延伸。調(diào)節(jié)臂40、50與振動(dòng)臂20、30相比而較短。主體部10由例如硅（Si）形成。主體部10的形狀以及分別形成于調(diào)節(jié)臂20、30上的驅(qū)動(dòng)用壓電體層、檢測(cè)用電極的圖案，與實(shí)施方式1（參照?qǐng)D1（a））相同。另外，在主體部10的第一主面12的表面上形成有第一電極（共通電極）60。如圖8所示，在調(diào)節(jié)臂40上形成有，由調(diào)節(jié)用壓電體層141和調(diào)節(jié)用電極142構(gòu)成的第一調(diào)節(jié)部140。第一調(diào)節(jié)部140具有在寬度方向的大致中央部處于長(zhǎng)度方向上延伸的共通部143、和由小寬度部144和大寬度部145形成的分支部146，其中，所述小寬度部144從共通部143起向?qū)挾确较騼蓚?cè)分支，所述大寬度部145在小寬度部144的頂端上延伸設(shè)置。雖然在圖8中圖示了分支部146在長(zhǎng)度方向上各排列了四個(gè)從而共計(jì)八個(gè)的情況，但分支部146的數(shù)量并不限定于此。在調(diào)節(jié)臂50中也同樣地設(shè)置有，由調(diào)節(jié)用壓電體層151和調(diào)節(jié)用電極152構(gòu)成的第二調(diào)節(jié)部150。第二調(diào)節(jié)部150具有，在寬度方向的大致中央部處于長(zhǎng)度方向上延伸的共通部153、和由小寬度部154和大寬度部155形成的分支部156，其中，所述小寬度部154從共通部153起向?qū)挾确较騼蓚?cè)分支，所述大寬度部155在寬度較窄部154的頂端上延伸設(shè)置。雖然在圖8中圖示了分支部156在長(zhǎng)度方向上各排列了四個(gè)從而共計(jì)八個(gè)的情況，但分支部156的數(shù)量并不限定于此。另外，第一調(diào)節(jié)部140和第二調(diào)節(jié)部150關(guān)于軸線(xiàn)P1呈對(duì)稱(chēng)形狀。調(diào)節(jié)用電極142與設(shè)置于振動(dòng)臂20上的檢測(cè)用電極22通過(guò)檢測(cè)端子23而被連接在一起。此外，調(diào)節(jié)用電極152與設(shè)置于振動(dòng)臂30上的檢測(cè)用電極32通過(guò)檢測(cè)端子33被連接在一起。另外，在調(diào)節(jié)用電極142與驅(qū)動(dòng)用電極26的交叉部、和調(diào)節(jié)用電極152與檢測(cè)用電極32的交叉部上，設(shè)置有絕緣層（未圖示）。另外，能夠以與前文所述的實(shí)施方式1（參照?qǐng)D2）相同的方法來(lái)執(zhí)行基于本實(shí)施方式的、振動(dòng)片2的泄漏振動(dòng)抑制方法。例如，雖然在步驟6中，實(shí)施調(diào)節(jié)臂40、50的調(diào)節(jié)用壓電體層141、151的修整，但是在本實(shí)施方式中，如圖6（a）所示，預(yù)先求出修整量和輸出電荷量的增加量（驅(qū)動(dòng)頻率（fd）－調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu））之間的關(guān)系，并對(duì)修整量進(jìn)行計(jì)算，并且能夠通過(guò)選擇并切斷多個(gè)分支部146、156中的某一個(gè)，從而使調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu）≒驅(qū)動(dòng)頻率（fd）。另外，在步驟8的調(diào)節(jié)用電極的修整中，通過(guò)對(duì)切斷上述分支部后剩余的多個(gè)分支部146、156的調(diào)節(jié)用電極142、143進(jìn)行修整，從而能夠?qū)⑿孤┬盘?hào)的振幅（泄漏電流）調(diào)節(jié)為目標(biāo)值以下。此時(shí)，可以針對(duì)每個(gè)分支部而切斷調(diào)節(jié)用電極142、143部，并可以去除任意量。根據(jù)以上所說(shuō)明的實(shí)施方式2，由于多個(gè)分支部146是從共通部143起分支的，因此切斷任意的分支部均能夠維持電連接了的狀態(tài)。即、只需切斷第一調(diào)節(jié)部140或第二調(diào)節(jié)部150的多個(gè)分支部146中的任意的分支部，就能夠?qū)崿F(xiàn)振動(dòng)泄漏的抑制。另外，如果預(yù)先計(jì)算出修整量（分支部146、156的切斷位置和數(shù)量）和輸出電荷量的增加量（驅(qū)動(dòng)頻率（fd）－調(diào)節(jié)臂頻率（f-tu））之間的關(guān)系，則能夠高效地實(shí)現(xiàn)對(duì)振動(dòng)泄漏的抑制。此外，對(duì)檢測(cè)用電極22和調(diào)節(jié)用電極142進(jìn)行電連接，對(duì)檢測(cè)用電極32和調(diào)節(jié)用電極152進(jìn)行電連接。調(diào)節(jié)臂40、50所產(chǎn)生的電信號(hào)重疊于檢測(cè)用電極22、23的輸出信號(hào)。因此，能夠通過(guò)調(diào)節(jié)臂40、50的輸出信號(hào)來(lái)抵消泄漏振動(dòng)的成分。另外，在前文所述的實(shí)施方式1的振動(dòng)片1中，也可以采用如下的結(jié)構(gòu)，即，對(duì)檢測(cè)用電極22和調(diào)節(jié)用電極43、44進(jìn)行電連接，并對(duì)檢測(cè)用電極32和調(diào)節(jié)用電極53、54進(jìn)行電連接的結(jié)構(gòu)。另外，考慮到上述的調(diào)節(jié)用壓電體層的修整和調(diào)節(jié)用電極的修整的作用，也可以采用如下的結(jié)構(gòu)，即，不將第一調(diào)節(jié)部140、第二調(diào)節(jié)部150的各個(gè)分支部中的、頂端側(cè)的分支部作為調(diào)節(jié)用電極的結(jié)構(gòu)。實(shí)施方式3接下來(lái)，對(duì)實(shí)施方式3所涉及的振動(dòng)片3進(jìn)行說(shuō)明。實(shí)施方式3的特征在于，在調(diào)節(jié)臂40、50的頂端部上設(shè)置有錘部，在基部11側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)部。因此，以與實(shí)施方式1的不同之處為中心，并對(duì)與實(shí)施方式1共通的部分標(biāo)記相同的符號(hào)而進(jìn)行說(shuō)明。圖9為，表示實(shí)施方式3所涉及的振動(dòng)片3的俯視圖。如圖9所示，在調(diào)節(jié)臂40的頂端部上形成有寬度較大的錘部46，在調(diào)節(jié)臂50的頂端部上形成有寬度較大的錘部56。在調(diào)節(jié)臂40上，在遠(yuǎn)離錘部46的位置處形成有第一調(diào)節(jié)部40a，并且在調(diào)節(jié)臂50上，在遠(yuǎn)離錘部56的位置處形成有第二調(diào)節(jié)部50a。第一調(diào)節(jié)部40a和第二調(diào)節(jié)部50a為，與實(shí)施方式1（參照?qǐng)D1）相同的結(jié)構(gòu)。在錘部46的第一主面12上形成有調(diào)節(jié)用壓電體層47，在錘部56的第一主面12上形成有調(diào)節(jié)用壓電體層57。雖然振動(dòng)片3的泄漏振動(dòng)的抑制方法能夠沿襲與前文所述的實(shí)施方式1相同的調(diào)諧處理（參照?qǐng)D2），但是能夠通過(guò)使調(diào)節(jié)臂40、50的頂端部處具備錘部46、56，并對(duì)位于頂端部的調(diào)節(jié)用壓電體層47、57進(jìn)行修整，從而能夠進(jìn)一步擴(kuò)大調(diào)節(jié)臂頻率的調(diào)節(jié)范圍。另外，如果考慮振動(dòng)片3的制造效率，則也可以在調(diào)節(jié)用壓電體層47、57的表面上形成第二電極。如此，由于在調(diào)節(jié)臂40、50的頂端側(cè)具備了錘部46、56，因此能夠在抑制調(diào)節(jié)臂40、50的長(zhǎng)度增加的同時(shí)使泄漏振動(dòng)的抑制效果得到提高，并且可擴(kuò)大用于抑制泄漏振動(dòng)的調(diào)節(jié)范圍，進(jìn)而通過(guò)對(duì)第一調(diào)節(jié)部40a和第二調(diào)節(jié)部50a的修整，能夠?qū)崿F(xiàn)用于泄漏振動(dòng)抑制的精細(xì)調(diào)節(jié)。另外，雖然在圖9中例示了第一調(diào)節(jié)部40a以及第二調(diào)節(jié)部50a具有與實(shí)施方式1相同的結(jié)構(gòu)的情況，但是也可以應(yīng)用與實(shí)施方式2（參照?qǐng)D8）相同的結(jié)另外，作為各個(gè)壓電體層，并不限定于鋯鈦酸鉛（PZT），例如，可以使用氮化鋁（AlN）、鈮酸鋰（LiNbO3）、鉭酸鋰（LiTaO3）、四硼酸鋰（Li2B4O7）、硅酸鎵鑭(La3Ga5SiO14)等的氧化物基板、在玻璃基板上層壓氮化鋁或五氧化二鉭（Ta2O5）等的壓電體材料而構(gòu)成的層壓壓電基板、或壓電陶瓷等。此外，雖然前文所述的各個(gè)實(shí)施方式的振動(dòng)片1、2、3中的任意一個(gè)均為，振動(dòng)臂20、30具備了第一驅(qū)動(dòng)部20a、第二驅(qū)動(dòng)部30a、第一檢測(cè)部20b、第二檢測(cè)部30b，且兼用為振動(dòng)臂和檢測(cè)臂的形態(tài)，但是也可以應(yīng)用獨(dú)立具備振動(dòng)臂和檢測(cè)臂的所謂的H型振動(dòng)片。角速度傳感器接下來(lái)，對(duì)使用了前文所述的振動(dòng)片1的角速度傳感器進(jìn)行說(shuō)明。圖10表示角速度傳感器的概要結(jié)構(gòu)，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）的B-B剖面的剖視圖。另外，（a）表示透視了蓋部件的狀態(tài)。在圖10（a）、（b）中，角速度傳感器100由作為傳感器元件的振動(dòng)片1、作為電子部件的IC芯片110和封裝件構(gòu)成，其中，所述IC芯片110包括，使振動(dòng)片1進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電路和對(duì)來(lái)自檢測(cè)部的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的電路（均未圖示），所述封裝件對(duì)振動(dòng)片1以及IC芯片110進(jìn)行收納。封裝件被構(gòu)成為，通過(guò)封裝件主體90和作為蓋部件的蓋95而具有內(nèi)部空間，并且在該內(nèi)部空間內(nèi)收納有振動(dòng)片1和IC芯片110。封裝件主體90為，由陶瓷等成形而成的、平面形狀為矩形的容器。在封裝件主體90的內(nèi)部，設(shè)置有兩段結(jié)構(gòu)的底面，在最下部底面91上，并且通過(guò)粘接劑85而固定有IC芯片110。此外，在上部底面92上，通過(guò)粘接劑85而固定有振動(dòng)片1。在IC芯片110的上部配置有振動(dòng)片1。振動(dòng)片1在第二主面13上通過(guò)粘接劑85而被固定在封裝件主體90的上部底面92上。另外，關(guān)于角速度傳感器100，雖然在圖10中例示了前文所述的實(shí)施方式1的振動(dòng)片1，但是也可以應(yīng)用實(shí)施方式2的振動(dòng)片2以及實(shí)施方式3的振動(dòng)片3。在封裝件主體90的上部底面92上形成有連接端子71～76。這些連接端子與設(shè)置在振動(dòng)片1的第一主面12上的連接端子相連接。具體而言，檢測(cè)端子23和連接端子72、檢測(cè)端子33和連接端子73、驅(qū)動(dòng)端子29和連接端子72、驅(qū)動(dòng)端子39和連接端子74、調(diào)節(jié)端子45和連接端子76、調(diào)節(jié)端子55和連接端子75通過(guò)焊線(xiàn)80而被連接在一起。連接端子71～76的每一個(gè)通過(guò)與封裝件主體90的上部底面92以及最下部底面91連續(xù)設(shè)置的配線(xiàn)，而與被設(shè)置在IC芯片110上的端子相連接。角速度傳感器100以如下方式構(gòu)成，即，在將IC芯片110以及振動(dòng)片1固定在封裝件主體90內(nèi)，并對(duì)兩者進(jìn)行了電連接后，將蓋95固定在封裝件主體90的邊緣部上。優(yōu)選使封裝件內(nèi)部處于真空狀態(tài)。此外，雖然省略圖示，但是在封裝件的外側(cè)設(shè)置有外部端子，并設(shè)置有多個(gè)用于向IC芯片110的電力供給和輸出來(lái)自IC芯片110的信號(hào)的外部端子。由于以此方式構(gòu)成的角速度傳感器100使用了前文所述的實(shí)施方式1、實(shí)施方式2、實(shí)施方式3的振動(dòng)片1、2、3中的任意一個(gè)，因此起到了各個(gè)實(shí)施方式中所記載的效果。此外，上述結(jié)構(gòu)的這種封裝件類(lèi)型的角速度傳感器100具有，有利于小型化和薄型化并且抗沖擊性較高的這一特征。電子設(shè)備接下來(lái)，對(duì)于具備了角速度傳感器100的電子設(shè)備，列舉出作為具體示例的智能手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)，作為移動(dòng)體的示例的汽車(chē)來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，其中，所述角速度傳感器100使用了前文所述的實(shí)施方式1～實(shí)施方式3的振動(dòng)片1、2、3中的任意一個(gè)。圖11為，概要地表示作為電子設(shè)備的智能手機(jī)201的立體圖。在智能手機(jī)201中組裝有具有振動(dòng)片1（或者振動(dòng)片2、或者振動(dòng)片3）的角速度傳感器100。在角速度傳感器100中，實(shí)施了對(duì)智能手機(jī)201的姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的移動(dòng)傳感。角速度傳感器100的檢測(cè)信號(hào)被供給至例如微電腦芯片（MPU）202。MPU202能夠根據(jù)移動(dòng)傳感而執(zhí)行各種各樣的處理。這樣移動(dòng)傳感能夠在移動(dòng)電話(huà)、便攜式游戲機(jī)、游戲控制器、汽車(chē)導(dǎo)航系統(tǒng)、定點(diǎn)設(shè)備、頭戴式顯示器、平板電腦等的電子設(shè)備中進(jìn)行利用。圖12為，概要地表示作為電子設(shè)備的其他具體示例的數(shù)碼相機(jī)（以下稱(chēng)為“照相機(jī)”）203的立體圖。在照相機(jī)203中組裝有具有振動(dòng)片1（或者振動(dòng)片2、或者振動(dòng)片3）的角速度傳感器100。角速度傳感器100能夠?qū)φ障鄼C(jī)203的姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。角速度傳感器100的檢測(cè)信號(hào)被供給至手抖補(bǔ)償裝置204。手抖補(bǔ)償裝置204能夠根據(jù)角速度傳感器100的檢測(cè)信號(hào)，而使例如透鏡組205內(nèi)的特定的透鏡移動(dòng)，以進(jìn)行手抖補(bǔ)償。關(guān)于其他，手抖補(bǔ)償也能夠利用在數(shù)碼攝像機(jī)中。移動(dòng)體接下來(lái)，對(duì)具有角速度傳感器100的移動(dòng)體進(jìn)行說(shuō)明，該角速度傳感器100使用了前文所述的實(shí)施方式1～實(shí)施方式3的振動(dòng)片1、2、3中的任意一個(gè)。圖13為，概要地表示作為移動(dòng)體的一個(gè)具體示例的汽車(chē)206的立體圖。在汽車(chē)206中組裝有具有振動(dòng)片1（或者振動(dòng)片2、或者振動(dòng)片3）的角速度傳感器100。角速度傳感器100能夠?qū)?chē)身207的姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。角速度傳感器100的檢測(cè)信號(hào)被供給至車(chē)身姿態(tài)控制裝置208。車(chē)身姿態(tài)控制裝置208能夠根據(jù)例如車(chē)身207的姿態(tài)，來(lái)對(duì)懸架的軟硬進(jìn)行控制、或者對(duì)每個(gè)車(chē)輪209的制動(dòng)器進(jìn)行控制。這種姿態(tài)控制能夠在雙足步行機(jī)器人、飛機(jī)、直升機(jī)等的各種移動(dòng)體中進(jìn)行利用。在上述電子設(shè)備的各個(gè)具體示例中，由于具備被實(shí)施了對(duì)泄漏輸出進(jìn)行抑制的調(diào)節(jié)的、高靈敏度的振動(dòng)片1（或者振動(dòng)片2、或者振動(dòng)片3），因此能夠提供一種高功能且具有穩(wěn)定的特性的電子設(shè)備。在例如為智能手機(jī)201的情況下，通過(guò)實(shí)施對(duì)姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的移動(dòng)傳感，從而能夠正確地檢測(cè)出智能手機(jī)201的姿態(tài)。此外，在為數(shù)碼相機(jī)203的情況下，能夠?qū)嵤┚?xì)的手抖補(bǔ)償。此外，在為汽車(chē)206的車(chē)身姿態(tài)控制裝置208的情況下，具有能夠正確地檢測(cè)出車(chē)身207的姿態(tài)的這一效果。符號(hào)說(shuō)明1…振動(dòng)片；11…基部；12…第一主面；20、30…振動(dòng)臂；20a…第一驅(qū)動(dòng)部；20b…第一檢測(cè)部；30a…第二驅(qū)動(dòng)部；30b…第二檢測(cè)部；40、50…調(diào)節(jié)臂；40a…第一調(diào)節(jié)部；41、42、51、52…調(diào)節(jié)用壓電體層；43、44、53、54…調(diào)節(jié)用電極；50b…第二調(diào)節(jié)部；60…第一電極。