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      一種用于紅外光譜襯底的制備方法與流程

      文檔序號(hào):11945746閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種紅外光譜襯底的制備方法,包括如下步驟:

      1)選取支撐基底:支撐基底的幾何尺寸為500μm-5cm;橫向切面形狀為圓形、橢圓形、三角形、正方形、矩形、五角形結(jié)構(gòu)、正六邊形、八角形;支撐基底的厚度為1μm-5cm;

      2)利用機(jī)械加工、干法或者濕法刻蝕的方法,在支撐基底上制備通孔結(jié)構(gòu);通孔的橫向切面為圓形、橢圓形、三角形、正方形、矩形、五角形結(jié)構(gòu)、正六邊形、八角形,通孔以陣列形式排布,通孔陣列的中心與基底的幾何中心基本保持一致,通孔之間的間距為1μm-4cm;

      3)轉(zhuǎn)移襯底材料和其保護(hù)層至通孔表面:利用標(biāo)準(zhǔn)的濕法轉(zhuǎn)移工藝,將厚度為0.3nm-1000nm的襯底材料和其保護(hù)層轉(zhuǎn)移至樣品表面,將樣品晾干并且加熱使得轉(zhuǎn)移的薄膜與基底貼合緊密;

      4)對(duì)通孔的背面進(jìn)行密封:利用另一塊基底材料貼合至背面通孔處,使用玻璃膠將背面的通孔密封;

      5)去除樣品表面的保護(hù)層:將樣品放置于丙酮或者去保護(hù)層溶劑里,去除表面的保護(hù)層;

      6)拆除樣品背面的密封結(jié)構(gòu):將樣品清洗干凈并且晾干以后拆除背面的密封基底。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述支撐基底選用金屬或無(wú)機(jī)晶體或有機(jī)塑料。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述支撐基底選用鋁、銅、金、鋼。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述支撐基底選自硅,石英、氟化鈣。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述支撐基底選用厚度為500μm的硅片。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述通孔的橫向切面為圓形、橢圓形、三角形、正方形、矩形、五角形結(jié)構(gòu)、正六邊形、八角形。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述通孔的孔徑為25μm-5cm。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述襯底材料選自1層至1000層厚度的石墨烯,二硫化鉬,氮化硼,MX2,黑磷。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述MX2中M選自Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Re,X選自S,Se,Te。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外光譜襯底的制備方法,其中所述保護(hù)層選自材料PMMA、PVA或PDMS。

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