技術(shù)總結(jié)
微加熱器包括由陽極氧化膜形成的基底以及加熱器電極，該加熱器電極形成在基底上并且提供有發(fā)熱配線線路。發(fā)熱配線線路以層壓狀態(tài)形成。還公開了微傳感器、微加熱器以及微傳感器制造方法。

技術(shù)研發(fā)人員：安范模;樸勝浩;邊圣鉉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：普因特工程有限公司
文檔號(hào)碼：201610990366
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.10
技術(shù)公布日：2017.05.17