1.一種孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置，其用以檢測(cè)具有多個(gè)孔洞的一基材，其特征在于，所述孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置包括：
一光學(xué)量測(cè)單元，所述光學(xué)量測(cè)單元從所述基材表面的一待測(cè)區(qū)中同時(shí)擷取一待測(cè)區(qū)影像以及獲得一反射光譜信息，其中，所述待測(cè)區(qū)影像包括具有至少一所述孔洞的一孔洞影像；
用以接收所述反射光譜信息與所述孔洞影像的一處理單元，其電性連接于所述光學(xué)量測(cè)單元，其中，所述處理單元根據(jù)所接收的所述待測(cè)區(qū)影像以及所述反射光譜信息，以計(jì)算出對(duì)應(yīng)于至少一所述孔洞的一孔洞參數(shù)；以及
一回饋單元，其電性連接于所述處理單元，其中，所述處理單元通過(guò)所述回饋單元，以將所述孔洞參數(shù)回饋到一制程端。
2.如權(quán)利要求1所述的孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置，其特征在于，所述孔洞為貫孔或者盲孔，且所述孔洞參數(shù)包括每一個(gè)所述孔洞的孔徑、深度以及底部形貌。
3.如權(quán)利要求1所述的孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光學(xué)量測(cè)單元包括：
一光產(chǎn)生器，其用以產(chǎn)生投射至所述待測(cè)區(qū)的一檢測(cè)光，其中所述檢測(cè)光通過(guò)所述待測(cè)區(qū)的反射而形成一反射光；
一光學(xué)組件，其設(shè)置于所述反射光的光路上，其中，所述反射光通過(guò)所述光學(xué)組件的分光而分成一第一光束以及一第二光束；
一影像感測(cè)單元，其設(shè)置于所述第一光束的光路上，其中，所述影像感測(cè)單元通過(guò)接收所述第一光束，以得到所述待測(cè)區(qū)影像；以及
一光譜儀，其設(shè)置于所述第二光束的光路上，其中，光譜儀通過(guò)接收所述第二光束，以獲得所述反射光譜信息。
4.如權(quán)利要求1所述的孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置，其特征在于，在所述待測(cè)區(qū)的涵蓋范圍內(nèi)的所述孔洞數(shù)量介于2至10之間。
5.如權(quán)利要求1所述的孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置，其特征在于，所述基材包括一底材以及覆蓋在所述底材上的一膜層，所述處理單元根據(jù)所述反射光譜信息以計(jì)算所述膜層的厚度，以得到一膜厚信息，且所述膜厚信息通過(guò)所述回饋單元回饋到所述制程端。
6.如權(quán)利要求1所述的孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置，其特征在于，所述孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置包括和所述處理單元電性連接的一可旋轉(zhuǎn)位移平臺(tái)，所述可旋轉(zhuǎn)位移平臺(tái)通過(guò)所述處理單元的控制而相對(duì)于所述光學(xué)量測(cè)單元進(jìn)行移動(dòng)或者轉(zhuǎn)動(dòng)，且所述光學(xué)量測(cè)單元通過(guò)所述可旋轉(zhuǎn)位移平臺(tái)的移動(dòng)或者轉(zhuǎn)動(dòng)，以沿著一螺旋狀檢測(cè)路徑檢測(cè)所述基材上的多個(gè)所述孔洞。
7.如權(quán)利要求1所述的孔洞及膜厚自動(dòng)化檢測(cè)裝置，其特征在于，所述制程端為一穿孔裝置，且所述穿孔裝置包括一控制器以及與所述控制器電性連接的一蝕刻單元，所述蝕刻單元通過(guò)所述控制器的控制以依據(jù)一制程參數(shù)在所述基材上形成多個(gè)所述孔洞，所述回饋單元電性連接所述控制器，以使所述控制器根據(jù)所述孔洞參數(shù)調(diào)整所述制程參數(shù)。