技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開一種孔洞及膜厚自動化檢測裝置。孔洞及膜厚自動化檢測裝置檢測表面具有多個孔洞的基材。孔洞及膜厚自動化檢測裝置包括光學量測單元、處理單元及電性連接于處理單元的回饋單元。光學量測單元用以擷取在基材表面的待測區(qū)的待測區(qū)影像以及從待測區(qū)獲得反射光譜信息，待測區(qū)影像包括至少一孔洞的孔洞影像。處理單元電性連接于光學量測單元，并根據(jù)接收的待測區(qū)影像及反射光譜信息計算對應(yīng)的至少一孔洞的孔洞參數(shù)，再通過回饋單元將孔洞參數(shù)回饋到一制程端以優(yōu)化制程參數(shù)。本實用新型的孔洞及膜厚自動化檢測裝置可通過電性連接于穿孔裝置與處理單元之間的回饋單元，將已測得的孔洞參數(shù)回饋到制程端以優(yōu)化制程參數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：謝清福
受保護的技術(shù)使用者：廣運機械工程股份有限公司
文檔號碼：201621061756
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.19
技術(shù)公布日：2017.06.16