本實(shí)用新型涉及檢漏儀器，尤其涉及一種廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀。

背景技術(shù)：

氦氣檢漏儀使用氦氣作為檢測(cè)氣體，由于氦氣具有分子小質(zhì)量輕、擴(kuò)散穿透性強(qiáng)、反應(yīng)快切穩(wěn)定等特點(diǎn)，使氦氣檢漏裝置受到重視并廣泛使用。目前常用氦氣檢漏儀的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，其包括磁場(chǎng)偏向性質(zhì)量分析管a，在進(jìn)行磁場(chǎng)偏向型的質(zhì)量分析之后，分析管a內(nèi)的壓力需要保持在10^-2Pa以下。為此，設(shè)置與渦輪分子泵b相連通的不同壓縮率的導(dǎo)入端口g～i，對(duì)分析管(1)，壓縮率較高的導(dǎo)入端口3(9)，通過真空計(jì)，當(dāng)試驗(yàn)體內(nèi)的壓力達(dá)到1000～2000Pa左右時(shí)進(jìn)行連接，開始檢測(cè)。氦氣，由于是很小的分子，在渦輪分子泵中相反地往上走，到達(dá)分析管(1)，在10^-4～10^-9Pa·m³/s程度范圍進(jìn)行檢測(cè)。

與此同樣的原理，導(dǎo)入端口h，在100～200Pa下連接，在10^-6～10^-11Pa·m³/s程度進(jìn)行檢測(cè)，導(dǎo)入端口g，在10～20Pa下進(jìn)行連接，在10^-7～10^-12Pa·m³/s程度進(jìn)行檢測(cè)，按照這樣的方式進(jìn)行。導(dǎo)入端口的數(shù)量，根據(jù)設(shè)計(jì)也有2種情況，大約在10^-4～10^-12Pa·m³/s程度為氦氣檢漏儀的檢測(cè)范圍。進(jìn)行吸入法的情況下，將吸入探頭m與導(dǎo)入口c連接。吸入探頭m，大氣壓與導(dǎo)入端口的連接壓力的壓差采用毛細(xì)管或輸入孔那樣的結(jié)構(gòu)，一般由導(dǎo)入端口h進(jìn)行連接。其測(cè)定范圍，一般在10^-4～10^-8Pa·m³/s的程度。綜上，氦氣檢漏儀在差壓式檢測(cè)試驗(yàn)中無法檢測(cè)10^-6Pa·m³/s以下的較小漏泄。當(dāng)吸入了大量的氦氣時(shí)，會(huì)產(chǎn)生氦氣檢漏儀的后臺(tái)上升，靈敏度過高，超出檢測(cè)范圍的較大漏泄的位置無法探知的問題。

為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在無法測(cè)量微小泄漏的缺陷，本實(shí)用新型提出了一種廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀，在檢測(cè)對(duì)象漏泄量的大小不明的檢漏試驗(yàn)時(shí)，雖然漏泄量較大，但還屬于適當(dāng)范圍的，也可以進(jìn)行漏泄量檢漏。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提出了一種廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀，其包括高感應(yīng)度檢漏裝置，所述高感應(yīng)度檢漏裝置包括依次連通的分析管、渦輪分子泵、輔助泵，在所述渦輪分子泵與所述輔助泵之間并聯(lián)地設(shè)有低感應(yīng)度檢漏裝置；所述低感應(yīng)度檢漏裝置包括：通用濃度計(jì)，所述通用濃度計(jì)的進(jìn)氣端通過第一閥與所述輔助泵的排氣管道相連通，所述排氣管道的末端設(shè)有排氣口；所述通用濃度計(jì)的進(jìn)氣端還通過第二閥與所述輔助泵的進(jìn)氣管道相連通；所述通用濃度計(jì)的排氣端口設(shè)有排氣管道，所述排氣管道的末端設(shè)有排氣口；低感應(yīng)度吸入探頭，其與所述通用濃度計(jì)的排氣端口相連通。

本實(shí)用新型提出的所述廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀中，所述高感應(yīng)度檢漏裝置包括：與所述渦輪分子泵連通的高感應(yīng)度吸入探頭；及與所述渦輪分子泵連通的排氣閥。

本實(shí)用新型提出的所述廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀中，所述高感應(yīng)度檢漏裝置進(jìn)一步包括：與所述渦輪分子泵連通的真空計(jì)。

本實(shí)用新型提出的所述廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀中，所述高感應(yīng)度檢漏裝置進(jìn)一步設(shè)有測(cè)試端口，其與所述真空計(jì)、所述排氣閥連通。

本實(shí)用新型提出的所述廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀中，進(jìn)一步設(shè)有校正漏泄端，所述校正漏泄端與所述測(cè)試端口和所述渦輪分子泵連通。

本實(shí)用新型的有益效果在于：本實(shí)用新型提出了一種廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀，在檢測(cè)對(duì)象漏泄量的大小不明的檢漏試驗(yàn)時(shí)，雖然漏泄量較大，但還屬于適當(dāng)范圍的，也可以進(jìn)行漏泄量檢漏。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中氦氣檢漏儀的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型廣范圍氦氣檢漏儀的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

結(jié)合以下具體實(shí)施例和附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。實(shí)施本實(shí)用新型的過程、條件、實(shí)驗(yàn)方法等，除以下專門提及的內(nèi)容之外，均為本領(lǐng)域的普遍知識(shí)和公知常識(shí)，本實(shí)用新型沒有特別限制內(nèi)容。

圖2顯示的是本實(shí)用新型廣范圍氦氣檢漏儀的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀主要由高感應(yīng)度檢漏裝置100和低感應(yīng)度檢漏裝置200構(gòu)成。其中，高感應(yīng)度檢漏裝置100包括依次連通的分析管1、渦輪分子泵2、輔助泵3、真空計(jì)4、測(cè)試端口5、校正漏泄端6、排氣閥11以及高感應(yīng)度吸入探頭13。分析管1與渦輪分子泵2連通，渦輪分子泵2通過輔助泵閥10與輔助泵3連通。渦輪分子泵2設(shè)有導(dǎo)入端口7、8、9，其中，真空計(jì)與導(dǎo)入端口7連通，排氣閥11與導(dǎo)入端口8連通，高感應(yīng)度吸入探頭13通過吸入探頭閥14與渦輪分子泵2連通。其中，由于泵油對(duì)通用濃度計(jì)的污染抑制檢測(cè)能力的降低，所以輔助泵3使用卷動(dòng)型干泵為佳。

低感應(yīng)度檢漏裝置200包括：通用濃度計(jì)15、低感應(yīng)度吸入探頭16、第一閥17、第二閥18。通用濃度計(jì)15的進(jìn)氣端通過第一閥17與輔助泵3的排氣管道相連通，排氣管道的末端設(shè)有排氣口19。通用濃度計(jì)15的進(jìn)氣端還通過第二閥18與輔助泵3的進(jìn)氣管道相連通。通用濃度計(jì)15的排氣端口設(shè)有排氣管道，排氣管道的末端設(shè)有排氣口19。低感應(yīng)度吸入探頭16，其與通用濃度計(jì)15的排氣端口相連通。

通用濃度計(jì)15能測(cè)定數(shù)百ppm～10％的氦氣濃度。本實(shí)施例是進(jìn)行氣體音速的測(cè)定，在根據(jù)音速差來測(cè)定被注入的氣體濃度的原理基礎(chǔ)上，選定濃度計(jì)。該通用濃度計(jì)15通過輔助泵3的上游和下游的螺栓進(jìn)行連接。由輔助泵3的排氣口分支通過測(cè)試端口5在通用濃度計(jì)15處由試驗(yàn)對(duì)象導(dǎo)入，由輔助泵3進(jìn)行抽吸，氣體則通過低感應(yīng)度吸入探頭16進(jìn)入通用濃度計(jì)15中。由于通用濃度計(jì)15的進(jìn)氣端通過第一閥17直接與輔助泵3連接，若流量過大會(huì)導(dǎo)致通用濃度計(jì)15有內(nèi)壓上升，可能出現(xiàn)破損或是檢測(cè)不良。所以本實(shí)施例第一閥17采用了能夠?qū)雽?duì)通用濃度計(jì)15同時(shí)不產(chǎn)生壓力的氣體量的輸入孔。輔助泵3在排氣口19處分支通過第一閥17將一部分從試驗(yàn)體排出的氣體導(dǎo)入通用濃度計(jì)15以檢測(cè)氦氣濃度。經(jīng)過檢測(cè)的氣體，由排氣口19排出。如此，磁場(chǎng)偏向型質(zhì)量分析管1也能夠檢測(cè)壓力外的較大漏泄。

本實(shí)用新型使用較大漏泄專用的低感應(yīng)度吸入探頭16。通常的吸入探頭的漏泄試驗(yàn)范圍在10^-4～10^-8Pa·m³/s，但是如果使用了通用濃度計(jì)15，漏泄檢測(cè)可以達(dá)到10^-4Pa·m³/s以上。低感應(yīng)度吸入探頭16導(dǎo)入的大氣與從實(shí)驗(yàn)體流出的氦氣，經(jīng)過通用濃度計(jì)15，通過具有以降低流量為目的的輸入孔的第一閥17，由輔助泵3進(jìn)行排氣。所以無需閥門試驗(yàn)所有領(lǐng)域可以采用干式的嗅漏試驗(yàn)。導(dǎo)入端口7在100～200Pa下連接，漏泄試驗(yàn)范圍為10^-6～10^-11Pa·m³/s，導(dǎo)入端口8在10～20Pa下進(jìn)行連接，漏泄試驗(yàn)范圍為10^-7～10^-12Pa·m³/s，按照這樣的方式進(jìn)行。因此本實(shí)用新型廣范圍檢漏的氦氣檢漏儀的漏泄試驗(yàn)范圍范圍在10^-4～10^-8Pa·m³/s。

本實(shí)用新型的保護(hù)內(nèi)容不局限于以上實(shí)施例。在不背離實(shí)用新型構(gòu)思的精神和范圍下，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠想到的變化和優(yōu)點(diǎn)都被包括在本實(shí)用新型中，并且以所附的權(quán)利要求書為保護(hù)范圍。