應(yīng)的測試用插座122。
[0028]器件安裝部242或按壓部244在器件保持器30的相對面上可以包含吸附器件保持器30的吸附部。此時，器件安裝部242或按壓部244吸附被測器件12，通過朝遠離插座板120的方向移動，將測試用插座122上安裝的器件保持器30拆下。
[0029]另外，器件安裝部242可以控制器件托盤10上的多個被測器件12的溫度。器件安裝部242作為一例將多個被測器件12的溫度控制成為測試裝置執(zhí)行測試的溫度條件。器件安裝部242可以分別控制多個按壓部244所接觸的被測器件12的溫度。此處，多個按壓部244可以分別控制各個溫度，或者對兩個以上的按壓部244的溫度進行統(tǒng)一控制。
[0030]此時，按壓部244從各個被測器件12的電極面或端子面的相對面?zhèn)€別地加熱或冷卻。按壓部244可以包含珀耳帖元件等熱電元件，或者可以包含使制冷劑或制熱劑循環(huán)的冷卻器或加熱器。當(dāng)按壓部244對每個被測器件12從被測器件12的背面直接控制溫度時，分選裝置100無需精確地控制測試部220的整個腔室溫度便能夠高速且低功耗地控制多個被測器件12的溫度。而且，可選地，測試部220可以具有將測試部220的整個腔室溫度控制到與測試的溫度條件大致相同的溫度。
[0031]驅(qū)動部246驅(qū)動器件安裝部242。驅(qū)動部246控制器件安裝部242的移動，將器件托盤10朝插座板120運送，使多個被測器件12與對應(yīng)的測試用插座122電連接。
[0032]測試用插座攝像部310拍攝插座板120所具有的多個測試用插座122。測試用插座攝像部310拍攝包含各個測試用插座122中表示電極位置信息的區(qū)域。本例的測試用插座攝像部310拍攝與插座嵌合單元420相嵌合的測試用插座122。測試用插座攝像部310對包含插座嵌合單元420上設(shè)置的標記等以及測試用插座122中的電極的區(qū)域進行拍攝。從而取得與插座嵌合單元420上設(shè)置的標記等相對的測試用插座122中的電極的相對位置。測試用插座攝像部310可以對逐個測試用插座122地分別拍攝，或者可以對每多個測試用插座122進行拍攝。測試用插座攝像部310具有攝像機和使該攝像機移動的移動部，使該攝像機在待拍攝測試用插座122的附近移動對該測試用插座122進行拍攝。
[0033]或者，測試用插座攝像部310可以具有攝像機和鏡部，通過該鏡部由攝像機對測試用插座122進行拍攝。此時，測試用插座攝像部310可以通過使鏡部移動的移動部等使其移動，使待拍攝測試用插座122的像入射到該攝像機，對測試用插座122進行拍攝。
[0034]執(zhí)行器單元320在放置有多個被測器件12的器件托盤10上朝與連接有被測器件12的測試用插座122的電極相對應(yīng)的位置分別調(diào)整該被測器件12的位置。執(zhí)行器單元320在施熱部210內(nèi)分別檢測被測器件12的電極位置，被測器件12的電極調(diào)整被測器件12的位置從而能夠與對應(yīng)的測試用插座122的電極相連接。另外，執(zhí)行器單元320檢測出自身所具有的執(zhí)行器的原點位置及驅(qū)動距離等進行調(diào)整。
[0035]控制部340與測試用插座攝像部310及執(zhí)行器單元320相連，控制被測器件12的位置調(diào)整?？刂撇?40基于測試用插座攝像部310的拍攝結(jié)果、執(zhí)行器單元320的檢測結(jié)果等將被測器件12的調(diào)整量指定給執(zhí)行器單元320，使其調(diào)整該被測器件12的位置。另夕卜，控制部340可以與驅(qū)動部246、運送部240、送入裝載機、送出裝載機等連接，控制器件托盤10及調(diào)整用托盤20的裝載/卸載/運送、器件安裝部242的驅(qū)動等。
[0036]另外，控制部340與溫度控制部212、器件安裝部242及溫度控制部232相連，可以控制多個被測器件12的溫度。另外，控制部340在將多個被測器件12分別安裝于對應(yīng)的測試用插座122之后，可以通知測試裝置多個被測器件12的安裝結(jié)束。此時，測試裝置對應(yīng)于安裝結(jié)束通知執(zhí)行被測器件12的測試，可以將測試終止或停止通知給控制部340?？刂撇?40對應(yīng)于測試終止通知將被測器件12放置于器件托盤10上，將器件托盤10送出。
[0037]圖2表示本實施形態(tài)所述分選裝置100將被測器件12運送到測試用插座122的結(jié)構(gòu)例。圖2表示由器件安裝部242承載器件托盤10運送到插座板120附近，按壓部244將被測器件12朝插座板120的方向按壓從而安裝于對應(yīng)的測試用插座122上的例子。在本實施例中說明了被測器件12具有多個BGA型電極18的例子。
[0038]測試用插座122與被測器件12電連接，將從測試裝置供應(yīng)的測試信號傳送給被測器件12。另外，測試用插座122將被測器件12對應(yīng)于測試信號而輸出的應(yīng)答信號傳送給測試裝置。測試用插座122在插座板120具有多個，在與插座板120的測試頭110相對面上沿行方向及列方向排列封裝。測試用插座122包含插座針腳124和多個電極126。測試用插座122的多個電極126與被測器件12所具有的多個電極18電連接。
[0039]插座針腳124與器件保持器30相嵌合。插座針腳124可以對一個測試用插座122設(shè)置兩個以上。插座針腳124優(yōu)選分別位于測試用插座122的四個角附近。
[0040]器件保持器30具有內(nèi)部單元32、外部單元34、針腳插入部36。內(nèi)部單元32分別搭載有被測器件12。內(nèi)部單元32作為一例具有通過彈力等按壓被測器件12的彈性部件，分別固定被測器件12。內(nèi)部單元32在該被測器件12送入分選裝置100到送出之間保持搭載被測器件12并固定的狀態(tài)。
[0041]外部單元34可移動地保持內(nèi)部單元32。外部單元34可以包含有在使內(nèi)部單元32處于相對于外部單元34可移動的狀態(tài)或才處于固定于外部單元34的狀態(tài)之間進行機械切換的鎖定機構(gòu)。內(nèi)部單元32及外部單元34具有使按壓部244貫穿的貫穿孔。此時，按壓部244貫穿內(nèi)部單元32及外部單元34，按壓被測器件12形成有電極18的面的相對面。
[0042]可選地，外部單元34在與保持內(nèi)部單元32的面相對的面上按壓有器件安裝部242的按壓部244。此時，外部單元34可以形成為被按壓有按壓部244的凹部?？蛇x地，外部單元34具有使按壓部244的貫穿孔，按壓部244可以按壓內(nèi)部單元32的保持被測器件12的面的相對面。
[0043]針腳插入部36對應(yīng)于插座針腳124形成，與插座針腳124相嵌合。即，隨著按壓部244將器件保持器30按壓于測試用插座122，針腳插入部36與插座針腳124相嵌合，使被測器件12的電極18與測試用插座122的電極126電連接。
[0044]此處，通過使被測器件12的電極18的尺寸及間距等進行微細化，當(dāng)測試裝置及分選裝置100等的制造精度等與被測器件12的位置精度等成為大致同等程度時，即使使插座針腳124與針腳插入部36相嵌合，也會發(fā)生被測器件12與測試用插座122無法電連接的情形。因此，本實施形態(tài)的分選裝置100具有測試用插座攝像部310及執(zhí)行器單元320等，使用調(diào)整用托盤20等預(yù)先調(diào)整器件保持器30上搭載的被測器件12的位置，通過使插座針腳124與針腳插入部36相嵌合，從而使被測器件12與測試用插座122電連接。
[0045]圖3將本實施形態(tài)的執(zhí)行器單元320與器件托盤10共同顯示。圖3表示器件托盤10通過送入裝載機被送入到施熱部210內(nèi)部從而承載于運送部240上的例子。
[0046]器件托盤10作為一例將多個器件保持器30沿行方向及列方向排列并承載。器件托盤10使多個器件保持器30與測試裝置的測試用插座122的排列相對應(yīng)地承載。
[0047]在本實施例中說明了器件托盤10將器件保持器30排列16行16列進行承載的例子。此時，器件托盤10最大保持256個被測器件12進行運送。此處，以器件托盤10的行方向為X軸、列方向為Y軸。此時，運送部240使器件托盤10朝X軸方向移動，在施熱部210、測試部220、及除熱部230之間進行運送。
[0048]器件托盤10在測試部220中與插座板120相對的一面上具有容納器件保持器30的容納部14。容納部14也可以為對應(yīng)于多個器件保持器30而分別形成的凹部。而且，各個容納部14具有從器件托盤10的一面貫穿到另一面的貫穿孔16。據(jù)此，器件安裝部242所具有的按壓部244貫穿該貫穿孔16能夠?qū)⑵骷３制?0按壓在測試用插座122上。
[0049]執(zhí)行器單元320設(shè)置于器件托盤10上。執(zhí)行器單元320具有執(zhí)行器330。執(zhí)行器330在將保持被測器件12的器件保持器30嵌合于測試用插座122之前嵌合于器件保持器30，調(diào)整器件保持器30上的被測器件12的位置。本例的執(zhí)行器330通過使保持被測器件12的內(nèi)部單元32相對于外部單元34移動來調(diào)整器件保持器30上的被測器件12的位置。執(zhí)行器330基于被測器件12相對于調(diào)整用插座430的相對位置來調(diào)整器件保持器30上的被測器件12的位置。
[0050]執(zhí)行器330可以在執(zhí)行器單元320上設(shè)置多個。此時，各個執(zhí)行器330分別調(diào)整對應(yīng)的被測器件12的位置。例如，執(zhí)行器330對應(yīng)于被測器件12的列方向配置設(shè)置多個，分別對沿列方向排列的多個被測器件12分別進行調(diào)整。此時，可以在列方向(即，本例情形中為Y方向)上設(shè)置16個執(zhí)行器330。而且,執(zhí)行器單兀320基于與被測器件12的一列配置對應(yīng)的距離沿X方向移動16次，從而可以逐列地調(diào)整最大256的被測器件12?？蛇x地，運送部240基于與被測器件12的一列配置對應(yīng)的距離使器件托盤10沿X方向移動16次，從而可對最大256個被測器件12進行逐列地調(diào)整。
[0051]可選地，執(zhí)行器330可以沿Y方向設(shè)置不足16個的執(zhí)行器330。此時，執(zhí)行器單元320可以在施熱部210內(nèi)沿Y方向移動，依次調(diào)整在列方向上排列的多個被測器件12。作為一例，當(dāng)8個執(zhí)行器330每隔一個沿列方向排列時,該8個執(zhí)行器330對沿列方向排列的多個被測器件12中奇數(shù)行或偶數(shù)行的8個被測器件12分別進行調(diào)整。
[0052]據(jù)此，執(zhí)行器單元320僅基于被測器件12的I行配置所對應(yīng)的距離沿Y方向移動，從而能夠?qū)ρ亓蟹较蚺帕械墓?6個被測器件12進行調(diào)整。而且，執(zhí)行器單元320可以每完成I列調(diào)整，就基于被測器件12的I列配置所對應(yīng)的距離沿X方向移動，從而能夠?qū)ψ畲?56個被測器件12分別進行調(diào)整。可選地，運送部240每當(dāng)完成I列調(diào)整時，可以基于被測器件12的I列配置所對應(yīng)的距離使器件托盤10沿X方向移動，從而可以對最大256個被測器件12分別進行調(diào)整。
[0053]如此，執(zhí)行器單元320通過沿列方向移動，可以使沿列方向設(shè)置的執(zhí)行器330的數(shù)量減少到最少的一個。在本實施例中說明了具有執(zhí)行器單元320每隔一個沿列方向排列的8個執(zhí)行器330的例子。
[0054]圖4將本實施形態(tài)所述執(zhí)行器單元320與調(diào)整用托盤20共同顯示。圖4表示使調(diào)整用托盤20通過送入裝載機送入施熱部210內(nèi)部并承載于運送部240上的例子。
[0055]調(diào)整用托盤20形成為與搭載器件保持器30的器件托盤10大致相同的形狀。調(diào)整用托盤20例如形成為與器件托盤10的外徑尺寸相同。調(diào)整用托盤20具有容納部22和貫穿狹縫26。
[0056]容納部22例如與器件托盤10的容納部14同一形狀地形成為同一排列。而且，各個容納部22具有從調(diào)整用托盤20的一面貫穿到另一面的貫穿孔24。
[0057]調(diào)整用托盤20搭載多個執(zhí)行器嵌合單元410及多個