成有貫穿孔的例子?；鶞?zhǔn)標(biāo)記454形成在保持內(nèi)部單元440的一面上位于從該一側(cè)面經(jīng)內(nèi)部單元440的開口部442能夠進(jìn)行觀察的位置。開口部456是從與調(diào)整用插座430相嵌合的面的相對面對內(nèi)部單元440的至少形成有基準(zhǔn)標(biāo)記424的區(qū)域進(jìn)行觀察的貫穿孔。
[0114]此處，調(diào)整用插座430在與外部單元450相嵌合并固定外部單元450的位置的同時(shí)，在開口部436的內(nèi)壁固定內(nèi)部單元440的位置。當(dāng)外部單元450包含保持內(nèi)部單元440的鎖定機(jī)構(gòu)時(shí)，調(diào)整用插座430在與外部單元450相嵌合的同時(shí)解除該鎖定機(jī)構(gòu)使內(nèi)部單元440可移動，之后在開口部436的內(nèi)壁固定內(nèi)部單元440的位置。
[0115]調(diào)整用插座攝像部322對嵌合的調(diào)整用插座430及執(zhí)行器嵌合單元410從調(diào)整用托盤20的表面?zhèn)冉?jīng)貫穿孔324進(jìn)行觀察。調(diào)整用插座位置檢測部342基于調(diào)整用插座攝像部322的拍攝結(jié)果對調(diào)整用插座430與執(zhí)行器嵌合單元410的相對位置進(jìn)行檢測。
[0116]由于調(diào)整用插座430固定了內(nèi)部單元440及外部單元450的位置，調(diào)整用插座位置檢測部342在調(diào)整用插座430與外部單元450的相對位置的基礎(chǔ)之上，還可以對與內(nèi)部單元440的相對位置進(jìn)行檢測。即，調(diào)整用插座位置檢測部342對外部單元450的基準(zhǔn)標(biāo)記454的位置和內(nèi)部單元440的基準(zhǔn)標(biāo)記444的位置分別進(jìn)行檢測，檢測基準(zhǔn)標(biāo)記454與基準(zhǔn)標(biāo)記444的相對位置進(jìn)行檢測。
[0117]另外，調(diào)整用插座位置檢測部342由于取得了與測試用插座122之間的第I關(guān)系，通過對外部單元450的基準(zhǔn)標(biāo)記454的位置進(jìn)行檢測，從而能夠確定測試用插座122中的基準(zhǔn)標(biāo)記454的位置。此時(shí)，調(diào)整用插座位置檢測部342可以根據(jù)調(diào)整用插座430的基準(zhǔn)標(biāo)記434對應(yīng)于外部單元450的基準(zhǔn)標(biāo)記454的位置的相對位置來確定測試用插座122中的基準(zhǔn)標(biāo)記45的位置。
[0118]然后，分選裝置100將執(zhí)行器330嵌合于執(zhí)行器嵌合單元410，得到作為執(zhí)行器330的初始位置的執(zhí)行器座標(biāo)(S740)。圖16表示本實(shí)施形態(tài)所述執(zhí)行器嵌合單元410與執(zhí)行器330相嵌合的結(jié)構(gòu)例。
[0119]執(zhí)行器攝像部326在將執(zhí)行器330與執(zhí)行器嵌合單元410相嵌合的狀態(tài)下，從執(zhí)行器嵌合單元410側(cè)對執(zhí)行器330及執(zhí)行器嵌合單元410進(jìn)行拍攝。此處，執(zhí)行器攝像部326可以對與執(zhí)行器330相嵌合的多個執(zhí)行器嵌合單元410從調(diào)整用托盤20的背面?zhèn)纫来芜M(jìn)行拍攝。執(zhí)行器調(diào)整部348基于執(zhí)行器攝像部326及調(diào)整用插座攝像部322中的拍攝結(jié)果來調(diào)整執(zhí)行器330的驅(qū)動量。
[0120]圖17表示本實(shí)施形態(tài)所述執(zhí)行器攝像部326對嵌合的執(zhí)行器嵌合單元410及執(zhí)行器330進(jìn)行拍攝的結(jié)構(gòu)例。此處，執(zhí)行器330包括:外部捕捉部332、內(nèi)部捕捉部334、執(zhí)行器驅(qū)動部336。
[0121]外部捕捉部332把持執(zhí)行器嵌合單元410的外部單元450。外部捕捉部332具有與插座針腳124相同的形狀，與外部單元450的針腳插入部452相嵌合對外部單元450進(jìn)行把持。
[0122]內(nèi)部捕捉部334把持內(nèi)部單元440。當(dāng)外部單元450包含保持內(nèi)部單元440的鎖定機(jī)構(gòu)時(shí)，內(nèi)部捕捉部334在把持內(nèi)部單元440的狀態(tài)下解除設(shè)置于內(nèi)部單元440的鎖定使得內(nèi)部單元440能夠相對于外部單元450移動之后把持內(nèi)部單元440。內(nèi)部捕捉部334可以具有與調(diào)整用插座430的開口部436的內(nèi)壁相同的形狀，外部捕捉部332對應(yīng)于外部單元450的把持而對內(nèi)部單元440進(jìn)行把持。
[0123]執(zhí)行器驅(qū)動部336固定于外部捕捉部332上使內(nèi)部捕捉部334移動。執(zhí)行器驅(qū)動部336根據(jù)從執(zhí)行器調(diào)整部348指示的調(diào)整量使內(nèi)部捕捉部334。首先，執(zhí)行器調(diào)整部348可以將把持內(nèi)部單元440的內(nèi)部捕捉部334作為初始位置。此處，內(nèi)部捕捉部334的初始位置作為一例可以被確定為使內(nèi)部單元440位于外部單元450上的中央部。
[0124]執(zhí)行器調(diào)整部348通過對外部單元450的基準(zhǔn)標(biāo)記454與內(nèi)部單元440的基準(zhǔn)標(biāo)記444的相對位置進(jìn)行檢測，能夠檢測內(nèi)部捕捉部334的初始位置相對于外部捕捉部332的偏移量。另外，執(zhí)行器調(diào)整部348在使執(zhí)行器與嵌合單元410相嵌合的狀態(tài)下驅(qū)動執(zhí)行器330，執(zhí)行器330基于實(shí)際移動的距離及方向?qū)φ{(diào)整器件保持器30上的被測器件12的位置時(shí)的執(zhí)行器330的驅(qū)動量進(jìn)行調(diào)整。
[0125]S卩，執(zhí)行器調(diào)整部348驅(qū)動內(nèi)部捕捉部334，基于內(nèi)部捕捉部334實(shí)際移動的距離及方向來調(diào)整驅(qū)動量。此處，執(zhí)行器調(diào)整部348可以對應(yīng)于從內(nèi)部捕捉部334的初始位置的移動量檢測內(nèi)部捕捉部334來檢測實(shí)際移動的距離及方向。
[0126]另外，執(zhí)行器調(diào)整部348能夠比較執(zhí)行器攝像部326及調(diào)整用插座攝像部322中的拍攝結(jié)果，來檢測內(nèi)部捕捉部334實(shí)際移動的距離及方向。即，執(zhí)行器調(diào)整部348在將執(zhí)行器嵌合單元410嵌合于調(diào)整用插座430時(shí)，基于在將執(zhí)行器嵌合單元410嵌合于執(zhí)行器330時(shí)產(chǎn)生的執(zhí)行器嵌合單元410的錯位量來調(diào)整執(zhí)行器330的驅(qū)動量。
[0127]控制部340在獲得分選裝置100內(nèi)的第I關(guān)系及第2關(guān)系后檢測執(zhí)行器330的初始位置、移動距離、及方向等，因此降低了執(zhí)行器330相對于測試用插座122的相對位置的錯位及誤差等，從而能夠準(zhǔn)確地驅(qū)動執(zhí)行器330?？刂撇?40可以對多個執(zhí)行器330分別檢測初始位置、移動距離、及方向等，并個別獨(dú)立地調(diào)整各個執(zhí)行器330。
[0128]分選裝置100對應(yīng)于所取得的第I關(guān)系、第2關(guān)系、及執(zhí)行器330的座標(biāo)結(jié)束由調(diào)整用托盤20進(jìn)行的調(diào)整，將該調(diào)整用托盤20送出(S750)。然后，分選裝置100將搭載有被測器件12的器件托盤10送入(S760)?？刂撇?40通過送入裝載機(jī)而將器件托盤10送入施熱部210。
[0129]然后，分選裝置100將器件保持器30嵌合于調(diào)整用插座430，取得作為被測器件12與測試用插座122的相對位置的器件座標(biāo)(S770)。S卩，調(diào)整用插座430在將保持被測器件12的器件保持器30嵌合于測試用插座122之前，器件保持器30被嵌合。
[0130]調(diào)整用插座攝像部322在器件保持器30嵌合于調(diào)整用插座430上的狀態(tài)下，對調(diào)整用插座430及被測器件12進(jìn)行拍攝。調(diào)整用插座位置檢測部342基于調(diào)整用插座攝像部322中的拍攝結(jié)果來檢測被測器件12相對于調(diào)整用插座430的相對位置。
[0131]圖18表示本實(shí)施形態(tài)所述調(diào)整用插座攝像部322對嵌合的調(diào)整用插座430及器件保持器30進(jìn)行拍攝的結(jié)構(gòu)例。當(dāng)插座針腳432嵌合于外部單元34的針腳插入部36的同時(shí),調(diào)整用插座430的開口部436的內(nèi)壁固定內(nèi)部單元32。當(dāng)外部單元34包含保持內(nèi)部單元32的鎖定機(jī)構(gòu)時(shí)，調(diào)整用插座430在與外部單元34嵌合的同時(shí)解除該鎖定機(jī)構(gòu)使內(nèi)部單元32成為可移動之后在開口部436的內(nèi)壁固定內(nèi)部單元32。
[0132]調(diào)整用插座攝像部322從調(diào)整用插座430的與器件保持器30相嵌合的面的相對面對調(diào)整用插座430包含基準(zhǔn)標(biāo)記434及被測器件12的至少一部分的電極18區(qū)域進(jìn)行拍攝。調(diào)整用插座位置檢測部342對被測器件12的電極18相對于調(diào)整用插座430的相對位置進(jìn)行檢測?？蛇x地，調(diào)整用插座位置檢測部342可以對被測器件12的電極18相對于調(diào)整用插座430的基準(zhǔn)標(biāo)記434的相對位置進(jìn)行檢測。
[0133]另外，調(diào)整用插座位置檢測部342基于在使執(zhí)行器嵌合單元410嵌合于調(diào)整用插座430以及在使器件保持器30嵌合于調(diào)整用插座430時(shí)產(chǎn)生的執(zhí)行器嵌合單元410的內(nèi)部單元440與器件保持器30的內(nèi)部單元32的錯位量，檢測內(nèi)部單元32與測試用插座122的相對位置。調(diào)整用插座位置檢測部342能夠從內(nèi)部單元32與電極18的相對位置和內(nèi)部單元32與測試用插座122的相對位置檢測出被測器件12的電極18與測試用插座122的相對位置。
[0134]S卩，調(diào)整用插座位置檢測部342能夠取得當(dāng)器件保持器30與測試用插座122相嵌合時(shí)的器件座標(biāo)作為被測器件12的電極18與測試用插座122的電極126的相對位置。根據(jù)該器件座標(biāo)，控制部340能夠在器件保持器30與測試用插座122相嵌合時(shí)確定被測器件12在器件保持器30上的待設(shè)置位置，以使電極18與電極126電連接。
[0135]運(yùn)送部240及/或執(zhí)行器單元320使器件托盤10移動，使得調(diào)整用插座位置檢測部342檢測至少一個執(zhí)行器嵌合單元410與多個器件保持器30之間的各個相對位置。例如，控制部340控制運(yùn)送部240及/或執(zhí)行器單元320將調(diào)整用插座430與器件托盤10上全部器件保持器30依次嵌合，以分別確定全部被測器件12應(yīng)當(dāng)設(shè)置的位置。
[0136]然后，分選裝置100將器件保持器30嵌合于執(zhí)行器330，調(diào)整器件保持器30上的被測器件12的位置(S780)?？刂撇?40控制運(yùn)送部240及/或執(zhí)行器單元320，以使器件托盤10的預(yù)定列上排列的器件保持器30與執(zhí)行器單元320的執(zhí)行器330相嵌合。
[0137]執(zhí)行器調(diào)整部348從調(diào)整用插座位置檢測部342的檢測結(jié)果檢測出器件保持器30與執(zhí)行器嵌合單元410之間的位置的相關(guān)，確定器件座標(biāo)所對應(yīng)的內(nèi)部單元32 ( S卩，被測器件12)的調(diào)整位置。即，執(zhí)行器330基于在調(diào)整用插座430與器件保持器30相嵌合的狀態(tài)下器件保持器30相對于調(diào)整用插座430的相對位置以及調(diào)整用插座430與插座嵌合單元420相嵌合的狀態(tài)下插座嵌合單元420相對于調(diào)整用插座430的相對位置，來調(diào)整器件保持器30上的被測器件12的位置。
[0138]圖19表示本實(shí)施形態(tài)所述執(zhí)行器330與器件保持器30相嵌合的結(jié)構(gòu)例。在外部捕捉部332把持器件保持器30的針腳插入部36的同時(shí)，內(nèi)部捕捉部334把持內(nèi)部單元32。當(dāng)外部單元34包含保持內(nèi)部單元32的鎖定機(jī)構(gòu)時(shí)，外部捕捉部332在把持外部單元34的同時(shí)解除該鎖定機(jī)構(gòu)使內(nèi)部單元32能夠移動，內(nèi)部捕捉部334把持內(nèi)部單元32。
[0139]內(nèi)部捕捉部334被執(zhí)行器驅(qū)動部336驅(qū)動，執(zhí)行器調(diào)整部348使內(nèi)部單元32移動到所確定的調(diào)整位置。如此，執(zhí)行器330能夠基于在將器件保持器30嵌合于測試用插座122時(shí)以及在將器件保持器30嵌合于調(diào)整用插座430時(shí)應(yīng)當(dāng)產(chǎn)生的器件保持器30的錯位量(即器件座標(biāo))，能夠調(diào)整器件保持器30上的被測器件12的位置。
[0140]控制部340控制執(zhí)行器單元320，使得器件托盤10的預(yù)定列上排列的全部器件保持器30上的被測器件12由執(zhí)行器330進(jìn)行調(diào)整。另外，控制部340控制運(yùn)送部240及/或執(zhí)行器單元320，使得器件托盤10的另一列中排列的器件保持器30上的被測器件12由執(zhí)行器330進(jìn)行調(diào)整。
[0141]S卩，控制部340使執(zhí)行器單元320順次移動，從而將執(zhí)行器330配置于與多個器件保持器30的每一個相對應(yīng)的各個預(yù)定位置。執(zhí)行器單元320每當(dāng)移動到器件托盤10上的預(yù)定位置時(shí)順次移動，使得在與該預(yù)定位置對應(yīng)的列上排列的器件保持器30與執(zhí)行器330相嵌合，執(zhí)行器330分別調(diào)整多個器件保持器30上保持的多個被測器件12的位置。
[0142]然后，分選裝置100將被測器件12運(yùn)送到測試部220 (S790)。此處，分選裝置100可以由溫度控制部212對進(jìn)行被測器件12加熱后進(jìn)行運(yùn)送?？蛇x地，分選裝置100可以在器件托盤10被送入