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      一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法

      文檔序號:6282122閱讀:271來源:國知局

      專利名稱::一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      :本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工廠自動化
      技術(shù)領(lǐng)域
      ,尤其涉及一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理的方法。
      背景技術(shù)
      :半導(dǎo)體制造業(yè)是一個高科技行業(yè),也是一個高投資的行業(yè)。半導(dǎo)體制造工廠為了實現(xiàn)其運營目標(biāo),提高生產(chǎn)力,其生產(chǎn)管理活動的自動化程度越來越高,其中對半導(dǎo)體制造設(shè)備管理的自動化尤其重要。圖l是實現(xiàn)設(shè)備管理自動化的軟件架構(gòu)圖。如圖所示,半導(dǎo)體制造設(shè)備通常是集群設(shè)備。半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)中給集群設(shè)備所下的定義是由物理上連接在一起的,可以用來處理不同工藝模塊和傳輸模塊的集成制造系統(tǒng)。每一個工藝模塊和傳輸模塊都由相應(yīng)的控制進(jìn)行控制,而這些模塊控制器通過接口模塊連接成一個有機的整體。半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)主要包含三大子系統(tǒng)集群設(shè)備控制系統(tǒng)、傳輸控制系統(tǒng)和工藝模塊控制系統(tǒng)。其中集群設(shè)備控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)管理和協(xié)調(diào)傳輸控制系統(tǒng)和工藝模塊控制系統(tǒng),其主要功能是執(zhí)行工藝任務(wù),并維護(hù)與任務(wù)相關(guān)的工藝流程;一個任務(wù)就是將材料從源片盒送入一個或多個工藝反應(yīng)腔室中,經(jīng)過工藝處理,再傳送到目的片盒的過程。傳輸控制系統(tǒng)主要負(fù)責(zé)控制傳輸模塊及相關(guān)模塊的操作。工藝模塊控制系統(tǒng)主要負(fù)責(zé)控制工藝模塊的相關(guān)搡作。傳輸控制系統(tǒng)和工藝模塊控制系統(tǒng)都通過i/o通道實現(xiàn)對相連受控器件的控制。工廠自動化系統(tǒng)通過特定的通訊協(xié)議和半導(dǎo)體制造設(shè)備的通訊,以實現(xiàn)對半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制。這里的通訊協(xié)議是對SEMI相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的實現(xiàn),以符合業(yè)界規(guī)范。在半導(dǎo)體制造過程中,工藝配方是一個重要的因素,它記錄了如何加工原材料以生產(chǎn)出工廠想要的產(chǎn)品。因此在整個工廠自動化系統(tǒng)中,對工藝配方的管理占有相當(dāng)?shù)谋戎亍膱Dl可以看出,對工藝配方的管理需要由工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備共同完成。而在目前的實現(xiàn)中,這兩個系統(tǒng)都在本地有獨立的工藝配方存儲,兩個系統(tǒng)的交互只是集中在工藝配方的傳遞上,在整體上沒有一個統(tǒng)一的策略。這就可能造成存儲空間浪費、兩地工藝配方不同步,管理復(fù)雜等問題。本發(fā)明就是為了解決上述問題而提出的。
      發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,在工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備之間制定一個統(tǒng)一的工藝配方管理策略,提高管理效率。為了實現(xiàn)統(tǒng)一工藝配方管理的目的,首先需要在工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備之間進(jìn)行明確的角色劃分。1)工廠自動化系統(tǒng)進(jìn)行工藝配方的集中管理,具體功能包括a)維護(hù)一個工藝配方的信息庫,記錄當(dāng)前與它連接的設(shè)備中含有的工藝配方,包括工藝配方的名字、存儲位置、版本信息,而不進(jìn)行工藝配方的實際存儲。工藝配方的名字和版本信息唯一標(biāo)識了整個系統(tǒng)中的一個工藝配方,而存儲位置指定了工藝配方具體存儲在哪個設(shè)備中。b)向設(shè)備請求一個工藝配方。c)發(fā)送一個工藝配方到設(shè)備。d)可以從設(shè)備中刪除一個工藝配方。2)設(shè)備進(jìn)行工藝配方的實際存儲,具體功能包括a)本地存儲的一個工藝配方發(fā)生變化后,通知與之相連接的工廠自動化系統(tǒng)。b)刪除工廠自動化系統(tǒng)要求刪除的工藝配方。c)向工廠自動化系統(tǒng)請求一個工藝配方。d)接收來自工廠自動化系統(tǒng)的一個工藝配方。e)發(fā)送一個工藝配方到工廠自動化系統(tǒng)。在上述角色劃分的基礎(chǔ)上,制定一系列策略來實現(xiàn)對工藝配方有效的管理,這些策略以工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備提供的功能為基礎(chǔ)。1)工廠自動化系統(tǒng)連接一個新的設(shè)備。a)根據(jù)設(shè)備的位置信息建立與該設(shè)備的連接。b)獲取該設(shè)備含有的工藝配方的列表。c)從工藝配方列表中提取工藝配方名稱、版本信息,結(jié)合設(shè)備的位置信息在工藝配方庫中添加記錄。2)工廠自動化系統(tǒng)斷開與一個設(shè)備的連接。a)獲取斷開連接設(shè)備的位置信息。b)從工藝配方庫中刪除所有該位置信息的工藝配方記錄。3)工廠自動化系統(tǒng)要求設(shè)備刪除其含有的一個工藝配方。a)向設(shè)備發(fā)送刪除一個工藝配方的命令。b)從工藝配方庫中刪除該工藝配方的記錄。4)工廠自動化系統(tǒng)設(shè)計一個工藝配方下發(fā)到設(shè)備。a)工廠自動化系統(tǒng)發(fā)送一個工藝配方到設(shè)備。b)設(shè)備接收該工藝配方并存儲。c)工廠自動化系統(tǒng)更新其工藝配方庫,記錄設(shè)備已經(jīng)含有該工藝配方。5)工廠自動化系統(tǒng)中的一個工藝配方發(fā)生變化。a)接收到設(shè)備關(guān)于一個工藝配方發(fā)生變化的通知。b)根據(jù)設(shè)備位置信息和工藝配方名字信息在工藝配方庫中查詢有無記錄,如果有,更新這條記錄的版本信息,如果沒有在工藝配方庫中添加記錄,版本信息賦值為版本l。6)工藝配方在多個設(shè)備之間的自動散發(fā)。a)設(shè)備A向工廠自動化系統(tǒng)請求一個工藝配方。b)工廠自動化系統(tǒng)從工藝配方庫中査詢是否有該工藝配方,如果有的話得到其的存儲位置,這里我們假設(shè)為設(shè)備B(可能有多個)。c)工廠自動化系統(tǒng)向存儲該工藝配方的設(shè)備B中請求該工藝配方。d)設(shè)備B從本地提取該工藝配方并向工廠發(fā)送。e)工廠接收工藝配方并將其發(fā)送到設(shè)備A。f)設(shè)備A接收該工藝配方并保存。g)工廠在工藝配方庫中添加一條記錄,記錄設(shè)備A也存儲該工藝配方。本發(fā)明通過對工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備角色的明確劃分,兩個系統(tǒng)協(xié)同管理工藝配方,降低了管理的復(fù)雜性,從而提高了管理的效率。工藝配方只在設(shè)備存儲,減少了對存儲空間的要求,同時引進(jìn)版本控制策略,從而解決了同名工藝配方的同步問題。通過工廠自動化系統(tǒng)對工藝配方的轉(zhuǎn)發(fā)功能,實現(xiàn)了工藝配方在多個設(shè)備的自動散發(fā)。圖i為現(xiàn)有技術(shù)中的工廠自動化系統(tǒng)架構(gòu)示意圖;圖2為工藝配方在設(shè)備間的散發(fā)流程圖;具體實施方式以下實施例用于說明本發(fā)明,但不用來限制本發(fā)明的范圍。當(dāng)前有一個工廠自動化系統(tǒng)(FA)和兩個設(shè)備(分別為DA和DB)。設(shè)備A中含有工藝配方RA1(名字),Vl(版本號);RA2(名字),VI(版本號)。設(shè)備B中含有工藝配方Rm(名字),VI(版本號);RB2(名字),VI(版本號)。最初,F(xiàn)A和DA,DB之間沒有連接,其工藝配方庫中沒有任何記2007錄。FA和DA建立連接后,按照策略l,F(xiàn)A的工藝配方庫會發(fā)生變化,它會記錄設(shè)備A內(nèi)所有的工藝配方,如表1所示。而后FA再和DB建立連接,最終FA工藝配方庫的內(nèi)容如表2所示。上述過程中DA和DB內(nèi)存儲的工藝配方未發(fā)送變化。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>FA可以向DA下發(fā)一個工藝配方RA3(名字),VI(版本),按照策略4,成功后,DA存儲的工藝配方有RA1(名字),VI(版本號);RA2(名字),VI(版本號);RA3(名字),VI(版本)。FA工藝配方庫的內(nèi)容如表3所示表3<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>假定某種情況下,DA的工藝配方RA3(名字),VI(版本)發(fā)生變化,根據(jù)策略5,F(xiàn)A工藝配方庫也要做相應(yīng)的更改,其內(nèi)容如表4所示。DA存儲的工藝配方為RA1(名字),VI(版本號);RA2(名字),VI(版本號);RA3(名字),V2(版本)表4<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>FA可以要求DA刪除工藝配方RA3(名字),V2(版本),按照策略3,成功后,DA存儲的工藝配方有RA1(名字),Vl(版本號);RA2(名字),Vl(版本號)。FA工藝配方庫的內(nèi)容如表2所示DA可以向FA請求一個工藝配方RB1(名字),VI(版本),按照策略5,F(xiàn)A首先從DB中獲取給工藝配方,然后再發(fā)送到DA,成功后,DA存儲的工藝配方有RA1(名字),VI(版本號);RA2(名字),VI(版本號);RB1(名字),VI(版本號)。FA工藝配方庫的內(nèi)容如表5所示表5<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>系統(tǒng)關(guān)閉時,F(xiàn)A斷開與DA,DB的連接,按照策略2,F(xiàn)A將從工藝配方庫中與斷開設(shè)備相關(guān)的工藝配方記錄,成功后工藝配方庫為空。其中工藝配方在設(shè)備間的散發(fā)流程如圖2所示,首先設(shè)備A向工廠自動化系統(tǒng)請求一個工藝配方;工廠自動化系統(tǒng)從工藝配方庫中查詢是否有該工藝配方;如果沒有則通知設(shè)備A沒有工藝配方A;如果有的話得到其的存儲位置,這里我們假設(shè)為設(shè)備B(可能有多個);然后工廠自動化系統(tǒng)向設(shè)備B請求工藝配方A;設(shè)備B接收請求后從本地提取該工藝配方A并向工廠發(fā)送;然后工廠接收工藝配方并將其發(fā)送到設(shè)備A;設(shè)備A接收該工藝配方并保存,同時工廠也修改其工藝配方庫,記錄設(shè)備A也存儲該工藝配方。雖然本實施例表述的是半導(dǎo)體工廠自動化系統(tǒng)的工藝配方管理方法,但本領(lǐng)域技術(shù)人員可以將其應(yīng)用到其它領(lǐng)域以解決生產(chǎn)要素管理問題,因此本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的所有相關(guān)的擴展和應(yīng)用都應(yīng)落入本申請的保護(hù)范圍。權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于該方法在工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備之間進(jìn)行明確的功能角色劃分的基礎(chǔ)上,依照如下策略來實現(xiàn)對工藝配方的管理A)工廠自動化系統(tǒng)連接一個新設(shè)備的策略;B)工廠自動化系統(tǒng)斷開與一個設(shè)備的連接的策略;C)工廠自動化系統(tǒng)要求設(shè)備刪除其含有的一個工藝配方的策略;D)工廠自動化系統(tǒng)設(shè)計一個工藝配方下發(fā)到設(shè)備的策略;E)工廠自動化系統(tǒng)中的一個工藝配方發(fā)生變化的策略;F)工藝配方在多個設(shè)備之間自動散發(fā)的策略。2、如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于對所述工廠自動化系統(tǒng)的功能角色劃分如下a)維護(hù)一個工藝配方的信息庫,記錄當(dāng)前與它連接的設(shè)備中含有的工藝配方,包括工藝配方的名字、存儲位置、版本信息,而不進(jìn)行工藝配方的實際存儲,工藝配方的名字和版本信息唯一標(biāo)識了整個系統(tǒng)中的一個工藝配方,而存儲位置指定了工藝配方具體存儲在哪個設(shè)備中;b)向設(shè)備請求一個工藝配方;c)發(fā)送一個工藝配方到設(shè)備;d)可以從設(shè)備中刪除一個工藝配方。3、如權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于對所述設(shè)備功能角色劃分如下a)本地存儲的一個工藝配方發(fā)生變化后,通知與之相連接的工廠自動化系統(tǒng);b)刪除工廠自動化系統(tǒng)要求刪除的工藝配方;c)向工廠自動化系統(tǒng)請求一個工藝配方;d)接收來自工廠自動化系統(tǒng)的一個工藝配方;e)發(fā)送一個工藝配方到工廠自動化系統(tǒng)。4、如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于所述策略A)的具體步驟如下a)根據(jù)設(shè)備的位置信息建立與該設(shè)備的連接;b)獲取該設(shè)備含有的工藝配方的列表;c)從工藝配方列表中提取工藝配方名稱、版本信息,結(jié)合設(shè)備的位置信息在工藝配方庫中添加記錄。5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于所述策略B)的具體步驟如下a)獲取斷開連接設(shè)備的位置信息;b)從工藝配方庫中刪除所有該位置信息的工藝配方記錄。6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于所述策略C)的具體步驟如下a)向設(shè)備發(fā)送刪除一個工藝配方的命令;b)從工藝配方庫中刪除該工藝配方的記錄。7.如權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于所述策略D)的具體步驟如下a)工廠自動化系統(tǒng)發(fā)送一個工藝配方到設(shè)備;b)設(shè)備接收該工藝配方并存儲;c)工廠自動化系統(tǒng)更新其工藝配方庫,記錄設(shè)備已經(jīng)含有該工藝配方。8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于所述策略E)的具體步驟如下a)接收到設(shè)備關(guān)于一個工藝配方發(fā)生變化的通知;b)根據(jù)設(shè)備位置信息和工藝配方名字信息在工藝配方庫中查詢有無記錄,如果有,更新這條記錄的版本信息,如果沒有在工藝配方庫中添加記錄,版本信息賦值為版本l。9、如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法,其特征在于所述策略F)的具體步驟如下a)設(shè)備A向工廠自動化系統(tǒng)請求一個工藝配方;b)工廠自動化系統(tǒng)從工藝配方庫中查詢是否有該工藝配方,如果有的話得到其的存儲位置,這里假設(shè)為設(shè)備B;c)工廠自動化系統(tǒng)向存儲該工藝配方的設(shè)備B中請求該工藝配方;d)設(shè)備B從本地提取該工藝配方并向工廠發(fā)送;e)工廠接收工藝配方并將其發(fā)送到設(shè)備A;f)設(shè)備A接收該工藝配方并保存;g)工廠在工藝配方庫中添加一條記錄,記錄設(shè)備A也存儲該工藝配方。全文摘要本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工廠自動化
      技術(shù)領(lǐng)域
      ,尤其涉及一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法。本發(fā)明的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法在工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備之間進(jìn)行明確的功能角色劃分的基礎(chǔ)上,依照系統(tǒng)和設(shè)備之間連接、斷開、管理等若干策略來實現(xiàn)對工藝配方的管理。本發(fā)明通過對工廠自動化系統(tǒng)和設(shè)備角色的明確劃分,兩個系統(tǒng)協(xié)同管理工藝配方,降低了管理的復(fù)雜性,從而提高了管理的效率。文檔編號G05B19/04GK101216698SQ20071006322公開日2008年7月9日申請日期2007年1月4日優(yōu)先權(quán)日2007年1月4日發(fā)明者菅彥彬申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
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