一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路制造領(lǐng)域，生產(chǎn)工藝配方(Recipe)是存儲生產(chǎn)工藝信息的文件，其內(nèi)容可包含工藝加工過程中的多個(gè)步驟以及各個(gè)步驟的各種工藝參數(shù)值和該步驟的持續(xù)時(shí)間，這些內(nèi)容被保存在設(shè)備端。半導(dǎo)體制造的過程中每一個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)都離不開Recipe，設(shè)備可依靠Recipe的內(nèi)容完成對物料的加工，由此看出，正是生產(chǎn)工藝配方真正決定生產(chǎn)原料作用于晶圓的步驟與方法，它是直接影響生產(chǎn)質(zhì)量的關(guān)鍵。
[0003]在一個(gè)成熟的半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線，通常同一生產(chǎn)步驟是可以由多個(gè)設(shè)備完的，這樣不僅僅保證了設(shè)備利用率還支持多種產(chǎn)能調(diào)配策略，因此相同的Recipe需要部署在不同設(shè)備上。但由于設(shè)備自身的特性不盡相同，Recipe在部署到不同設(shè)備上的時(shí)候需要做出微調(diào)才能保證不同設(shè)備有相同的產(chǎn)出品質(zhì)。
[0004]這些分布在不同生產(chǎn)設(shè)備上的用于同一生產(chǎn)步驟的Recipe，通常使用統(tǒng)一的Recipe ID，生產(chǎn)要求這些Recipe要保證主體信息一致，同時(shí)細(xì)部信息要有調(diào)整，這些Recipe之間存在一種不完全的一致性要求(簡稱:關(guān)聯(lián)Recipe, Relat1nal Recipe)。如何有效管理這些Recipe就成了一個(gè)決定能否高效生產(chǎn)的問題。
[0005]通常半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括可以設(shè)置和控制數(shù)個(gè)生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)工藝配方管理系統(tǒng)(Recipe Management System簡稱RMS),連接至該RMS上的數(shù)個(gè)工作設(shè)備具有執(zhí)行相同工藝步驟的Recipe。RMS支持將生產(chǎn)設(shè)備上的Recipe信息上傳，并設(shè)置管控閥值(Spec)，在生產(chǎn)時(shí)檢驗(yàn)Recipe的具體參數(shù)。這在很大程度上幫助了制程工程師(Process Engineer簡稱PE)管理在某一設(shè)備上的某一 Recipe，但是針對這種存在多個(gè)設(shè)備上的有一定一致性關(guān)系的Recipe就顯得力不能支了。
[0006]PE通常的做法是手動(dòng)將不同設(shè)備上的相關(guān)Recipe進(jìn)行對比，確認(rèn)其間的差異信息，如果可以接受那么投產(chǎn)，否則認(rèn)為Recipe設(shè)置有誤，并人為去調(diào)整。沒有任何系統(tǒng)保證PE的操作實(shí)施的頻次與質(zhì)量，且整個(gè)過程沒有其他人員有力參與，完全處于“暗操作”狀態(tài)，因此這個(gè)人工操作過程的可靠非常低。
[0007]設(shè)備上的Recipe的詳細(xì)信息由于需要經(jīng)過轉(zhuǎn)譯才可讀，因此這部分信息集中在RMS系統(tǒng)中，與外部系統(tǒng)的接入性相對較低，這就導(dǎo)致由于相關(guān)Recipe的設(shè)置有誤而造成的生產(chǎn)質(zhì)量問題非常不易識別。
[0008]因此，提供一種新型的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體工藝配方的管控方法及系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中人為進(jìn)行關(guān)聯(lián)配方校準(zhǔn)時(shí)可靠性低的問題。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法至少包括步驟:
[0011]1)提供存儲有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；
[0012]2)識別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲的配方為基準(zhǔn)配方；
[0013]3)將該組中其他工藝設(shè)備上存儲的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。
[0014]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，具有相同的設(shè)備信息和配方編號的一組配方定義為關(guān)聯(lián)配方，所述關(guān)聯(lián)配方既體現(xiàn)組內(nèi)配方的一致性，又體現(xiàn)組內(nèi)配方的差異性，具有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備用于執(zhí)行相同的工藝步驟。
[0015]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述設(shè)備信息包括設(shè)備型號、軟件版本和生產(chǎn)用途。
[0016]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟2)中采用系統(tǒng)識別模塊來識別基準(zhǔn)配方，所述基準(zhǔn)配方為組內(nèi)第一個(gè)授權(quán)投產(chǎn)的配方。
[0017]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，若系統(tǒng)識別模塊無法識別基準(zhǔn)配方，則手動(dòng)選擇產(chǎn)品產(chǎn)出質(zhì)量最優(yōu)的配方為基準(zhǔn)配方。
[0018]本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)至少包括:
[0019]用于識別基準(zhǔn)配方的識別模塊；
[0020]用于對比關(guān)聯(lián)配方中指定的配方與所述基準(zhǔn)配方之間的差異并產(chǎn)生差異報(bào)表的對比模塊；
[0021]用于顯示所述差異信息的顯示模塊。
[0022]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述管控系統(tǒng)還包括與簽核系統(tǒng)相連的簽核系統(tǒng)接口模塊，通過簽核系統(tǒng)接口模塊將產(chǎn)生的差異報(bào)表以附件的形式傳遞到所述簽核系統(tǒng)中。
[0023]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述顯示模塊還用于顯示指定工藝設(shè)備上配方的詳細(xì)信息。
[0024]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述基準(zhǔn)配方為組內(nèi)第一個(gè)授權(quán)投產(chǎn)的配方。
[0025]作為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述基準(zhǔn)配方為產(chǎn)品產(chǎn)出質(zhì)量最優(yōu)的配方。
[0026]如上所述，本發(fā)明的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)，包括步驟:首先，提供存儲有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；然后，識別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲的配方為基準(zhǔn)配方；最后將該組中其他工藝設(shè)備上存儲的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。
[0027]本發(fā)明的具有以下有益效果:
[0028]1、這個(gè)方法與制程工程師日常管理單一 Recipe的工作結(jié)合在一起，沒有增加額外的工作量。
[0029]2、這個(gè)方法在制程工程師決定投產(chǎn)Recipe的時(shí)刻由系統(tǒng)自動(dòng)執(zhí)行，不會有投產(chǎn)Recipe漏查的情況，而且關(guān)聯(lián)配方組內(nèi)差異信息完全公開給相關(guān)人員，過程公開結(jié)果明了。
[0030]3、由于差異信息以附加的形式由RMS系統(tǒng)中導(dǎo)出，因此為其他外部系統(tǒng)的接入提供了基礎(chǔ)。
【附圖說明】
[0031]圖1為本發(fā)明的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的流程示意圖。
[0032]圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法中的關(guān)聯(lián)配方定義示意圖。
[0033]圖3為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法中的基準(zhǔn)配方定義示意圖。
[0034]圖4為半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下通過特定的具體實(shí)例說明本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0036]請參閱附圖。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0037]實(shí)施例一
[0038]本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法，如圖1所示，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法至少包括以下步驟:
[0039]步驟一，提供存儲有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；
[0040]步驟二，識別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲的配方為基準(zhǔn)配方；
[0041]步驟三，將該組中其他工藝設(shè)備上存儲的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。
[0042]下面結(jié)合具體附圖對本發(fā)明的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法進(jìn)行詳細(xì)的介紹。
[0043]首先進(jìn)行步驟一，如圖2所示，提供存儲有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備，例如，工藝設(shè)備1、工藝設(shè)備2、工藝設(shè)備3和工藝設(shè)備4，每一個(gè)工藝設(shè)備存儲關(guān)聯(lián)配方組中對應(yīng)的一個(gè)配方。
[0044]所述關(guān)聯(lián)配方(Relat1nal Recipe),是一組存在于不同工藝設(shè)備上的配方A的集合。工藝設(shè)備通過這些存儲于不同工藝設(shè)備上的配方A來執(zhí)行相同的生產(chǎn)步驟，要求產(chǎn)品有一致的產(chǎn)出質(zhì)量。一般，根據(jù)設(shè)備信息和配方編號(Recipe ID)兩大維度將現(xiàn)有的配方劃分組別。
[0045]優(yōu)選地，所述設(shè)備信息主要包括設(shè)備型號、軟件版本和生產(chǎn)用途等。
[0046]例如，設(shè)備型號為AMAT_公司的某反應(yīng)艙式生產(chǎn)設(shè)備、軟件版本為B**、該種設(shè)備用來生成阻擋特定物質(zhì)間產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的保護(hù)層，這