專利名稱:形成引線連接的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本項發(fā)明涉及一種利用引線接合器在半導(dǎo)體芯片與襯底之間形成引線連接的方法。
背景技術(shù):
引線接合器是在半導(dǎo)體芯片安裝好后利用引線將其焊接到襯底的機器。引線接合器具有在其末端固定了觸角的毛細(xì)管。毛細(xì)管用于使引線焊接到半導(dǎo)體芯片上的連接點和襯底上的連接點,還用于在兩個連接點之間引導(dǎo)引線。
過去幾年,考慮到不斷變化的需求,已經(jīng)開發(fā)出多種用于形成這種引線連接的方法。利用廣泛采用的用于在半導(dǎo)體芯片上的連接點和襯底上的連接點之間形成引線回路的標(biāo)準(zhǔn)方法,首先,將伸出毛細(xì)管的引線末端熔融成球。然后,利用壓力和超聲波,將該引線球焊接到半導(dǎo)體芯片上的連接點。在這樣做時,對觸角輻射超聲波換能器產(chǎn)生的超聲波。該處理過程被稱為球形接合。然后,使引線延伸要求的長度,形成引線回路,焊接到襯底上的連接點。該最后一道處理步驟被稱為楔形接合。在將該引線焊接到襯底上的連接點后,斷開該引線,然后,開始下一個接合周期。利用兩個接合過程,襯底被加熱到的溫度起著重要作用。
該標(biāo)準(zhǔn)方法快捷,因為它包括少量簡單處理步驟。然而,它的缺點是,正如在本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)所公知,“弧高”較大。因此,對于需要小弧高(loop height)的應(yīng)用,開發(fā)了新方法。眾所周知的方法是所謂“逆向回路法”,利用該方法,首先,將引線球布置到半導(dǎo)體芯片上的連接點。在固定時,將引線球壓扁,即,形成“凸緣”,然后,斷開引線。然后,形成引線連接,即,伸出毛細(xì)管的引線末端熔融成球,然后,以與標(biāo)準(zhǔn)方法相反的方式,首先將引線球附著在襯底上,使引線延伸要求的長度,形成引線回路,然后,焊接到半導(dǎo)體芯片上的“凸緣”,作為“楔形接合”。
在第CN 1638077號中國專利申請中,描述了一種方法,利用這種方法,也是首先將“凸緣”焊接到半導(dǎo)體芯片上的連接點。然而,形成引線連接,作為所謂“楔形—楔形”引線連接,利用這種“楔形—楔形”引線連接,首先將引線焊接到半導(dǎo)體芯片上的“凸緣”,使它延伸要求的長度,然后焊接到襯底。
根據(jù)第CN 1516254號中國專利申請,已知一種方法,利用這種方法,與利用標(biāo)準(zhǔn)方法相同,在形成引線回路時,首先將引線焊接到半導(dǎo)體芯片上的連接點,然后焊接到襯底上。將引線球焊接到半導(dǎo)體芯片上的連接點后,首先使毛細(xì)管升高,然后使它沿水平方向,以離開襯底上的第二連接點的方向移動,使毛細(xì)管進一步升高,使它沿水平方向,以朝向襯底上的第二連接點的方向向回移動相同距離,然后,使它降低,從而使以這種方式形成的附加回路緊壓引線球,而且連接到該引線球。隨后,與標(biāo)準(zhǔn)方法相同,再使毛細(xì)管升高,形成引線回路,完成引線回路。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是開發(fā)一種用于以盡可能短的時間形成具有較低弧高的引線連接的方法。
根據(jù)本發(fā)明的方法基于在半導(dǎo)體芯片與襯底之間形成引線連接的標(biāo)準(zhǔn)方法原理,利用該原理,使從引線接合器的毛細(xì)管伸出的引線末端熔融成引線球,將它焊接到半導(dǎo)體芯片上的第一連接點,使毛細(xì)管延伸要求的距離,以及將它焊接到該襯底上的第一連接點。該方法的特征在于,在將引線球焊接到半導(dǎo)體芯片上的第一連接點后,首先使毛細(xì)管升高預(yù)定距離D1,然后在水平方向或者在向上傾斜方向,以朝向襯底上的第二連接點的方向,使毛細(xì)管移動預(yù)定距離D2。
通過進一步開發(fā)該方法,在執(zhí)行了這些步驟后,在垂直方向,再一次使該毛細(xì)管升高預(yù)定距離D3,然后在水平方向或者在向上傾斜方向,以向著襯底上的第二連接點的方向,使該毛細(xì)管移動預(yù)定距離D4,以使部分該條引線平行于襯底表面延伸的方式,使該引線緊臨半導(dǎo)體芯片上的焊接點彎曲。
附圖引入本說明書而且構(gòu)成本說明書的一部分,它示出本發(fā)明的一個或者多個實施例,而且它與詳細(xì)說明一起用于解釋本發(fā)明原理和實現(xiàn)過程。各圖不按比例。附圖中圖1和2示出根據(jù)基于本發(fā)明方法的第一實施例或者第二實施例的毛細(xì)管的軌跡,圖3示出根據(jù)該方法形成的引線回路,圖4和5示出根據(jù)基于本發(fā)明方法的第三實施例或者第四實施例的毛細(xì)管的軌跡,以及圖6示出根據(jù)該方法形成的引線回路。
具體實施例方式
圖1示出根據(jù)基于本發(fā)明用于在半導(dǎo)體芯片3上的第一連接點2與襯底5上的第二連接點4之間形成引線回路的方法的第一實施例毛細(xì)管的軌跡1。在由垂直線7和連接兩個連接點2和4的向量8構(gòu)成的平面上,發(fā)生移動。根據(jù)下面的處理步驟形成引線連接1.使從毛細(xì)管尖端伸出的引線末端熔融成引線球,然后,將它焊接到半導(dǎo)體芯片3上的第一連接點2。
2.使毛細(xì)管升高預(yù)定距離D1,即,沿垂直方向移動距離D1。
距離D1的值通常等于引線直徑的1至2倍。如果引線直徑是25μm,則距離D1約為25至50μm。
3.在水平方向,以朝向襯底5上的第二連接點4的方向,使毛細(xì)管移動預(yù)定距離D2。
距離D2的值通常也等于引線直徑的1至2倍。
處理步驟2和3的作用是,在使焊接到第一連接點的引線球變形后,緊接著使引線彎曲90°,因此,與介紹中描述的標(biāo)準(zhǔn)方法不同,在焊接點上以幾乎水平方向直接延伸到襯底5上的第二連接點4。
4.以其中使引線延伸要求的長度并形成結(jié)點(kink)的傳統(tǒng)方式,例如,沿圖1所示的軌跡,進一步移動毛細(xì)管。
圖2示出根據(jù)基于本發(fā)明方法的第二實施例的毛細(xì)管的軌跡1。步驟1、2和4與第一實施例中的相同。利用下面的步驟代替步驟33′.使毛細(xì)管沿向上傾斜方向,以朝向襯底5上的第二連接點4的方向移動預(yù)定距離D2。
距離D2的值通常也是引線直徑的1至2倍。
因此,這兩個實施例的不同之處在于,利用第二種實施例,在步驟3′,不使毛細(xì)管沿水平方向移動,而使它同時沿水平方向和垂直方向向上移動,即,沿對角線移動。該軌跡與水平方向成角度,它通常為30至45°。
圖3示出利用根據(jù)本發(fā)明、利用其在步驟4還形成傳統(tǒng)結(jié)點10的方法形成的引線回路9的側(cè)視圖。半導(dǎo)體芯片3與結(jié)點10之間的這條引線不趨向于水平延伸,而趨向于彎曲延伸。因此,弧高H1稍許大于理論上的可能最小弧高。因此,根據(jù)本發(fā)明,建議了另一個實施例,利用該實施例,在步驟3之后,而在步驟4之前執(zhí)行附加處理步驟,以形成較靠近第一連接點2的附加結(jié)點,因為該附加結(jié)點,所以該附加結(jié)點與傳統(tǒng)結(jié)點10之間的該條引線幾乎水平延伸,甚或稍微傾斜向下延伸。圖4和5示出在利用該附加處理步驟擴展該第一實施例時,毛細(xì)管的軌跡1的兩個例子。附加處理步驟包括,在處理步驟3或處理步驟3′之后,使毛細(xì)管升高預(yù)定距離D3,然后,使它沿水平方向(圖4)或者沿向上傾斜方向(圖5)以及向著襯底5上的第二連接點的方向,移動預(yù)定距離D4。然而,必須注意,肉眼幾乎察覺不到該附加結(jié)點,而且代替附加結(jié)點,也可以僅涉及附加的稍許彎曲引線。距離D3確定附加結(jié)點離開第一連接點2的距離。距離D3越大,附加結(jié)點離開第一連接點2越遠。距離D4確定附加結(jié)點的強度,并因此強度結(jié)點位置的彎曲程度。可以以同樣的方式修改圖2所示毛細(xì)管的軌跡1。
換句話說,可以認(rèn)為所描述的擴展是,中途中斷在處理步驟4開始的使毛細(xì)管垂直運動,以插入其方向?qū)?zhǔn)襯底5上的第二連接點4的短水平運動的或向上傾斜運動。
圖6示出利用該擴展方法形成的引線回路9,利用該擴展方法,半導(dǎo)體芯片3上的連接點2和傳統(tǒng)結(jié)點10之間的這條引線水平延伸。由于選擇的距離D3較短,所以附加結(jié)點位于靠近第一連接點2的位置。因此,弧高H2小于弧高H1。
盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明實施例及其應(yīng)用,但是,受益于該公開的本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員明白,在不脫離在此描述的本發(fā)明原理的情況下,可以進行上述內(nèi)容之外的許多修改。因此,本發(fā)明僅受所附權(quán)利要求及其等同的限制。
權(quán)利要求
1.一種用于在半導(dǎo)體芯片(3)與襯底(5)之間形成引線連接的方法,該方法包括步驟a)使從引線接合器的毛細(xì)管伸出的引線末端熔融成引線球;b)將該球焊接到半導(dǎo)體芯片(3)上的第一連接點(2);c)使毛細(xì)管升高預(yù)定距離D1,該距離D1的值是引線直徑的1至2倍;d)在水平方向或者向上傾斜方向,以朝向襯底上的第二連接點的方向,使毛細(xì)管移動預(yù)定距離D2,該距離D2的值是引線直徑的1至2倍;e)使毛細(xì)管升高并移動毛細(xì)管,以形成引線回路,然后,將該引線焊接到襯底(5)上的第二連接點(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中在步驟d之后而在步驟e之前,執(zhí)行下面的步驟f)使毛細(xì)管在垂直方向升高預(yù)定距離D3,以及g)在水平方向或者向上傾斜方向,以向著襯底(5)上的第二連接點(4)的方向,使毛細(xì)管移動預(yù)定距離D4。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中距離D3的值是該引線直徑的1至2倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其中距離D4的值是該引線直徑的1至2倍。
全文摘要
一種用于在半導(dǎo)體芯片(3)與襯底(5)之間形成引線連接的方法,利用該方法,使從引線接合器的毛細(xì)管伸出的引線末端熔融成引線球,將它焊接到半導(dǎo)體芯片(3)上的第一連接點(2),使毛細(xì)管延伸要求的距離,以及將它焊接到該襯底(5)的第一連接點(2),該方法的特征在于,在將引線球焊接到半導(dǎo)體芯片(3)上的第一連接點(2)后,首先,使毛細(xì)管升高預(yù)定距離D
文檔編號H01L21/60GK1838394SQ20061007176
公開日2006年9月27日 申請日期2006年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月23日
發(fā)明者余水元 申請人:優(yōu)利訊國際貿(mào)易有限責(zé)任公司