專(zhuān)利名稱(chēng)：立式熱處理裝置和立式熱處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及立式熱處理裝置和立式熱處理方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝置的制造過(guò)程中，有對(duì)半導(dǎo)體晶片(基板)實(shí)施例如 氧化處理、成膜處理等各種處理的工序，作為進(jìn)行這種處理的裝置例 如使用可批量式處理多枚晶片的立式熱處理裝置(半導(dǎo)體制造裝置) (例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1 (日本專(zhuān)利第3378241號(hào)公報(bào)))。該立式熱處 理裝置在立式熱處理爐的下方具有載入?yún)^(qū)域(移動(dòng)載入?yún)^(qū)域)，該立式 熱處理爐在其下部具有爐口，在該載入?yún)^(qū)域，搭載并保持大口徑的例 如直徑為300mm的多枚(100 150枚程度)晶片的晶舟(基板保持具) 通過(guò)保溫筒被載置在用來(lái)開(kāi)關(guān)上述爐口的蓋體的上部。此外，設(shè)置有 通過(guò)使蓋體升降而將晶舟搬入搬出熱處理爐內(nèi)的升降機(jī)構(gòu)，和在收納 多枚晶片的載具(收納容器)與上述晶舟之間進(jìn)行晶片的移動(dòng)載置的 移動(dòng)載置機(jī)構(gòu)。
由于上述晶舟采用石英制造，故非常昂貴。并且，上述晶片也價(jià) 格不菲，且隨著處理工藝的發(fā)展，制造成本將會(huì)增大。因此，要慎重 進(jìn)行這些處理。
但是，在上述批量式的半導(dǎo)體制造裝置中，在裝置的構(gòu)造方面、 硬件以及軟件方面存在各種各樣的制約，難以使其具有耐震構(gòu)造或耐 震功能，現(xiàn)狀是還沒(méi)有實(shí)施充分的耐震對(duì)策。因此， 一旦發(fā)生地震， 裝置受到大的搖晃，晶舟就會(huì)傾倒，有可能導(dǎo)致晶舟或晶片發(fā)生破損 等而帶來(lái)大的損失。
為了解決這個(gè)問(wèn)題，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1 (專(zhuān)利第3378241號(hào)公報(bào))記載的立式熱處理裝置中，采用一種通過(guò)基板保持具固定部件將基板保持 具的底板與保溫筒相互連結(jié)固定的構(gòu)造。
但是，在立式熱處理裝置中有采用一種所謂的雙晶舟系統(tǒng)的立式 熱處理裝置，即，使用2個(gè)上述晶舟，在將其中一個(gè)晶舟搬入熱處理 爐內(nèi)進(jìn)行熱處理期間，向另一晶舟移動(dòng)載置半導(dǎo)體晶片。
但是，在采用這種雙晶舟系統(tǒng)的立式熱處理裝置中，因伴隨保溫 筒上的晶舟的移換，難以采用利用基板保持具固定部件來(lái)連結(jié)固定保 溫筒與基板保持具的構(gòu)造，所以如果受到地震等外力，保溫筒上的晶 舟就有可能發(fā)生傾倒。再者，己經(jīng)提出一種方案(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2 (曰
本專(zhuān)利特開(kāi)2003-258063號(hào)公報(bào)))，即在蓋體上沒(méi)有保溫筒式的裝置 中，采用在蓋體上的載置部設(shè)置通過(guò)旋轉(zhuǎn)而能夠解除與基板保持具的卡合的鎖定部件以及使該鎖定部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部的結(jié)構(gòu)，但是，由于
該構(gòu)造除了要使基板保持具旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)機(jī)之外還需要鎖定部件的
旋轉(zhuǎn)部，因此，不僅導(dǎo)致結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，而且，也無(wú)法應(yīng)用于具有保溫 筒的裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是考慮上述情況而完成的，其目的是，提供一種采用雙 晶舟系統(tǒng)并且通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)造就能夠防止因地震等外力使保溫筒上的 晶舟傾倒的立式熱處理裝置和立式熱處理方法。
本發(fā)明是一種立式熱處理裝置，其特征在于，該裝置具備在下 部形成有爐口的熱處理爐；保持多個(gè)基板、并被搬入熱處理爐內(nèi)對(duì)基 板實(shí)施熱處理的一對(duì)基板保持具；閉塞熱處理爐的爐口的蓋體；設(shè)置 在該蓋體上的保溫筒；設(shè)置在該蓋體上并且使蓋體和保溫筒旋轉(zhuǎn)的旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；使蓋體升降的升降機(jī)構(gòu)；與熱處理爐的下方鄰接設(shè)置的載置 臺(tái)；和在保溫筒上以及載置臺(tái)上之間搬送一對(duì)基板保持具的各個(gè)的搬 送機(jī)構(gòu)，在各個(gè)基板保持具和保溫筒中的一方設(shè)置卡合固定部，同時(shí) 在另一方設(shè)置被卡合固定部，利用搬送機(jī)構(gòu)將該基板保持具保持在保 持筒正上方，并且通過(guò)利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使保持筒旋轉(zhuǎn)，卡合固定部和被 卡合固定部變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭ɑ蛘吣軌蚪獬ê瞎潭ǖ臓顟B(tài)。 、
本發(fā)明是一種立式熱處理裝置，其特正在于各個(gè)基板保持具具有環(huán)狀的底板，保溫筒具有將底板的下面沿其周向以適當(dāng)間隔支撐的 多個(gè)支柱，被卡合固定部在這些支柱的外側(cè)部形成為槽狀，卡合固定部以在上述底板的下面被各個(gè)被卡合固定部卡合固定的方式形成為鉤狀。
本發(fā)明是一種立式熱處理裝置，其特征在于上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有 對(duì)保溫筒的旋轉(zhuǎn)方向的原點(diǎn)位置進(jìn)行檢測(cè)的傳感器；和用于根據(jù)來(lái)自 該傳感器的檢測(cè)信號(hào)，在上述卡合固定部與被卡合固定部變?yōu)槟軌蚩?合固定的位置或者變?yōu)槟軌蚪獬ê瞎潭ǖ奈恢脤?duì)保溫筒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控 制的控制裝置。
本發(fā)明是一種立式熱處理裝置，其特征在于卡合固定部被設(shè)置 在保溫筒上，該卡合固定部從保溫筒的上部中央向上沿左右方向以突 出狀延伸，各個(gè)基板保持具具有能夠載置在上述保溫筒的上部的底板， 在該底板上形成有卡合固定部能夠通過(guò)的鑰匙孔，通過(guò)使通過(guò)該鑰匙 孔的卡合固定部與保溫筒一體旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度，與該卡合固定部相對(duì)的 上述底板的上面變成被卡合固定部并卡合固定在卡合固定部。
本發(fā)明是一種立式熱處理裝置，其特征在于基板保持具具有環(huán) 狀的底板，保溫筒具有將底板的下面沿其周向以適當(dāng)間隔支撐的多個(gè) 支柱，被卡合固定部由設(shè)置在各個(gè)支柱上部的螺絲孔構(gòu)成，卡合固定 部由從底板插入螺絲孔的安裝螺絲構(gòu)成。
本發(fā)明是一種立式熱處理方法，其特征在于，該方法包括通過(guò) 保溫筒將保持有多個(gè)基板的一個(gè)基板保持具載置在閉塞熱處理爐的爐 口的蓋體上的工序；利用升降機(jī)構(gòu)使蓋體上升，將基板保持具搬入熱 處理爐內(nèi)的工序；利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一邊使蓋體、保溫筒以及基板保持具 旋轉(zhuǎn)一邊在熱處理爐內(nèi)對(duì)基板進(jìn)行熱處理，同時(shí)，將基板移動(dòng)載置到 載置在載置臺(tái)上的另一個(gè)基板保持具的工序；和在熱處理爐內(nèi)的熱處 理結(jié)束后，利用搬送裝置將一個(gè)基板保持具從保溫筒上向載置臺(tái)上搬 送，并且，將載置臺(tái)上的另一個(gè)基板保持具從載置臺(tái)上向保溫筒上搬 送的工序，在各個(gè)基板保持具和保溫筒中的一方設(shè)置卡合固定部，同 時(shí)在另一方設(shè)置被卡合固定部，利用搬送機(jī)構(gòu)將另一個(gè)基板保持具保 持在保持筒正上方，并且，通過(guò)利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使保持筒旋轉(zhuǎn)，使卡合 固定部與被卡合固定部變成卡合固定的狀態(tài)，之后，使該基板保持具進(jìn)一步下降而將其載置在保溫筒上。
本發(fā)明是一種立式熱處理方法，其特征在于..各個(gè)基板保持具具 有環(huán)狀的底板，保溫筒具有將底板的下面沿其周向以適當(dāng)間隔支撐的 多個(gè)支柱，被卡合固定部在這些支柱的外側(cè)部形成為槽狀，卡合固定 部以在上述底板的下面被各個(gè)被卡合固定部卡合固定的方式形成為鉤 狀。
本發(fā)明是一種立式熱處理方法，其特征在于上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有 對(duì)保溫筒的旋轉(zhuǎn)方向的原點(diǎn)位置進(jìn)行檢測(cè)的傳感器；和用來(lái)根據(jù)來(lái)自 該傳感器的檢測(cè)信號(hào)，在上述卡合固定部與被卡合固定部變?yōu)槟軌蚩?合固定的位置或者變?yōu)槟軌蚪獬ê瞎潭ǖ奈恢脤?duì)保溫筒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控 制的控制裝置。
本發(fā)明是一種立式熱處理方法，其特征在于卡合固定部被設(shè)置 在保溫筒上，該卡合固定部從保溫筒的上部中央向上沿左右方向以突 出狀延伸，各個(gè)基板保持具具有能夠載置在上述保溫筒的上部的底板， 在該底板上形成有卡合固定部能夠通過(guò)的鑰匙孔，通過(guò)使通過(guò)該鑰匙 孔的卡合固定部與保溫筒一體旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度，與該卡合固定部相對(duì)的 上述底板的上面變?yōu)楸豢ê瞎潭ú坎⒖ê瞎潭ㄔ诳ê瞎潭ú俊?br> 根據(jù)本發(fā)明，雖然采用所謂雙晶舟系統(tǒng)，但是用簡(jiǎn)單的構(gòu)造就能 夠防止因地震等外力導(dǎo)致保溫筒上的晶舟傾倒。


圖1是概略表示本發(fā)明的實(shí)施方式的立式熱處理裝置的縱截面圖。
圖2是概略表示該立式熱處理裝置的載入?yún)^(qū)域內(nèi)的結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖3是概略表示保溫筒上的晶舟的載置狀態(tài)的立體圖。
圖4是表示利用搬送機(jī)構(gòu)將晶舟載置在保溫筒上的狀態(tài)的立體圖。
圖5是表示卡合固定部與被卡合固定部變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭顟B(tài)的 立體圖。
圖6是表示晶舟被載置在保溫筒上的狀態(tài)的圖。
圖7是表示從保溫筒上搬送晶舟時(shí)舉起規(guī)定高度后的狀態(tài)的圖。
圖8是表示在將晶舟舉起規(guī)定高度后的狀態(tài)下使保溫筒旋轉(zhuǎn)而成
為能夠解除的狀態(tài)的立體圖。
圖9是表示將晶舟從保溫筒上進(jìn)一步舉起規(guī)定高度后向側(cè)面搬送 的狀態(tài)的示意圖。
圖10是概略表示保溫筒的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的圖。
圖11是概略表示晶舟載置臺(tái)上的晶舟的定位機(jī)構(gòu)的平面圖。
圖12是圖11的A-A線(xiàn)的放大截面圖。
圖13是表示保溫筒的變形例的主要部位的放大截面圖。
圖14 (a)、 (b)是表示對(duì)保溫筒與晶舟進(jìn)行卡合固定的其它結(jié)構(gòu)
的示意圖，(a)是能夠解除的狀態(tài)的立體圖，(b)是能夠卡合固定的
狀態(tài)的立體圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)用來(lái)實(shí)施本發(fā)明的最佳方式進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。 圖1是概略表示本發(fā)明的實(shí)施方式的立式熱處理裝置的縱截面圖，圖2 是概略表示該立式熱處理裝置的載置區(qū)域內(nèi)的結(jié)構(gòu)的平面圖，圖3是 概略表示保溫筒上的晶舟的載置狀態(tài)的斜視圖，圖4是表示利用搬送 機(jī)構(gòu)將晶舟載置在保溫筒上的狀態(tài)的立體圖，圖5是表示卡合固定部 與被卡合固定部變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭ǖ臓顟B(tài)的立體圖。
如圖1和圖2所示，在潔凈室內(nèi)設(shè)置有半導(dǎo)體制造裝置，例如設(shè) 置有立式熱處理裝置1，該熱處理裝置1具有形成裝置外部的框體2。 在該框體2內(nèi)形成有用來(lái)搬送、保管收納有多個(gè)半導(dǎo)體晶片(基板) W的載具(收納容器)3的搬送保管區(qū)域Sa，和作為工作區(qū)域(移動(dòng) 載置區(qū)域)的載置區(qū)域Sb，該搬送保管區(qū)域Sa和載置區(qū)域Sb被隔壁 6相互隔開(kāi)。
另外，在框體2內(nèi)配置有在下部形成爐口 5a的熱處理爐5，和保 持多個(gè)晶片W的同時(shí)被搬入熱處理爐5內(nèi)后對(duì)晶片W實(shí)施熱處理的 一對(duì)晶舟(基板保持具)4。
并且，各個(gè)晶舟4能夠沿著上下方向并以規(guī)定的間距搭載多個(gè)例 如100 150枚左右的晶片W。也能夠在載置區(qū)域Sb內(nèi)，在晶舟4與 載具3之間進(jìn)行晶片W的移動(dòng)載置操作或者對(duì)熱處理爐5進(jìn)行晶舟4 的搬入、搬出操作。
熱處理爐5的爐口 5a被蓋體17閉塞，在該蓋體17上設(shè)置有保溫筒19。并且，在蓋體17的下部設(shè)置有使蓋體17和保溫筒19旋轉(zhuǎn)的旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20，進(jìn)一步，在蓋體17上設(shè)置有使蓋體17升降的升降機(jī)構(gòu)18。
進(jìn)一步在載置區(qū)域Sb內(nèi)，與熱處理爐5的下方鄰接設(shè)置有載置臺(tái) 22，并且，各個(gè)晶舟4在保溫筒19上和載置臺(tái)22上之間被晶舟搬送 機(jī)構(gòu)23搬送。
上述載具3由能夠在水平狀態(tài)下沿著上下方向按照規(guī)定間隔以多 層的方式容納多枚例如13 25枚左右的規(guī)定口徑的例如直徑為 300mm的晶片并且能夠搬運(yùn)的塑料容器構(gòu)成，在其前面部形成開(kāi)口的 晶片取出口處具有可裝卸的用來(lái)密封該取出口的蓋(省略圖示)。
在上述框體2的前面部分設(shè)置有用來(lái)通過(guò)操作員或者搬送機(jī)械手 (robot)搬入搬出載具3的搬入搬出口 7，在該搬入搬出口 7處設(shè)置有 上下滑動(dòng)來(lái)開(kāi)關(guān)的門(mén)8。在搬送保管區(qū)域Sa，在搬入搬出口 7附近設(shè) 置有用來(lái)載置載具3的載置臺(tái)9，在該載置臺(tái)9的后部設(shè)置有打開(kāi)載具 3的蓋后檢測(cè)晶片W的位置以及枚數(shù)的傳感器機(jī)構(gòu)10。并且，在載置 臺(tái)9的上方以及隔壁6側(cè)的上方設(shè)置有用來(lái)事先保管多個(gè)載具3的保 管架11。
在搬送保管區(qū)域Sa內(nèi)的上述隔壁6 —側(cè)，為了進(jìn)行晶片的移動(dòng)載 置，設(shè)置有用來(lái)載置載具3的移動(dòng)載置臺(tái)12。在搬送保管區(qū)域Sa，設(shè) 置有用來(lái)在上述載置臺(tái)9、保管架11和移動(dòng)載置臺(tái)12之間搬送載具3 的載具搬送機(jī)構(gòu)13。
載具搬送區(qū)域Sa是被未圖示的空氣清潔機(jī)(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元Fan Filter Unit)凈化過(guò)的空氣氛圍。載置區(qū)域Sb也被設(shè)置在其一側(cè)的空氣 清潔機(jī)(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元Fan Filter Unit) 14凈化，成為正壓的大氣氣 氛或者惰性氣體(例如氮?dú)?氣氛。在上述隔壁6上，使被載置在移 動(dòng)載置臺(tái)12上的載具3的前面部從搬送保管區(qū)域Sa —側(cè)與其接觸， 并且設(shè)置有用來(lái)連通載具3內(nèi)與載置區(qū)域Sb內(nèi)的未圖示的開(kāi)口部，同 時(shí)，以能夠開(kāi)關(guān)的方式設(shè)置有從載置區(qū)域Sb —側(cè)封閉該開(kāi)口部的門(mén) 15。開(kāi)口部形成為與載具3的取出口具有大體相同的口徑，能夠從開(kāi) 口部搬出搬入載具3內(nèi)的晶片。
在上述門(mén)15上設(shè)置有開(kāi)關(guān)載具3的蓋的未圖示的蓋開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)和從 載置區(qū)域Sb—側(cè)開(kāi)關(guān)門(mén)15的未圖示的門(mén)開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)，通過(guò)該門(mén)開(kāi)關(guān)機(jī)
構(gòu)，門(mén)15和蓋被打開(kāi)并移動(dòng)至載置區(qū)域Sb —側(cè)，進(jìn)一步向上方或者下方移動(dòng)(退避)以不影響晶片的移動(dòng)載置。在上述移動(dòng)載置臺(tái)12的下方，為了使結(jié)晶方向一致，設(shè)置有用來(lái)在同一方向上排列設(shè)置在晶片周邊部的切口 (切口部)的切口排列機(jī)構(gòu)16。該切口排列機(jī)構(gòu)16 面臨載置區(qū)域Sb —側(cè)并開(kāi)口，利用后述的移動(dòng)載置機(jī)構(gòu)24使從移動(dòng) 載置臺(tái)12上的載具3移動(dòng)載置的晶片的切口排列。
另一方面，在載置區(qū)域Sb的里面上方，如上所述設(shè)置有在下部具 有爐口 5a的立式熱處理爐5，在載置區(qū)域Sb中配置有沿上下方向并且 按規(guī)定間隔以多層的方式搭載有例如100 150枚左右的多枚晶片W 的石英制的晶舟4，該晶舟4通過(guò)保溫筒9被載置在蓋體17的上部。 為了將晶舟4向熱處理爐5內(nèi)搬入、搬出并開(kāi)關(guān)爐口 5a，蓋體17通過(guò) 升降機(jī)構(gòu)18進(jìn)行升降。如上所述，在蓋體17的上部載置有用來(lái)在其 閉塞時(shí)抑制來(lái)自爐口 5a部分的散熱的保溫筒(隔熱體)19，在該保溫 筒19的上部載置有晶舟4。熱處理爐5主要由反應(yīng)管以及設(shè)置在該反 應(yīng)管周?chē)募訜嵫b置(加熱器)構(gòu)成，連接有向反應(yīng)管中導(dǎo)入處理氣 體或惰性氣體(例如氮?dú)?的氣體導(dǎo)入系統(tǒng)，和具有能夠?qū)⒎磻?yīng)管內(nèi) 減壓排氣至規(guī)定真空度的真空泵的排氣系統(tǒng)。
另外，在上述蓋體〗7上設(shè)置有通過(guò)保溫筒19使晶舟4旋轉(zhuǎn)的旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20。在爐口5a的附近，以能夠沿水平方向開(kāi)關(guān)移動(dòng)(可旋轉(zhuǎn)) 的方式設(shè)置有用來(lái)在打開(kāi)蓋體17然后搬出熱處理后的晶舟4時(shí)遮蔽爐 口 5a的閘門(mén)(shutter) 21。該閘門(mén)21具有使其沿水平方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而 開(kāi)關(guān)的未圖示的閘I、，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
在載置區(qū)域Sb的一側(cè)即空氣清潔機(jī)14 一側(cè)，為了移動(dòng)載置晶片 W而設(shè)置有作為用來(lái)預(yù)先載置晶舟4的載置臺(tái)的晶舟載置臺(tái)(也稱(chēng)晶 舟臺(tái)、基板保持具載置臺(tái))22。該晶舟載置臺(tái)22即使一個(gè)也行，如圖 2所示，優(yōu)選由沿著空氣清潔機(jī)14配置在前后的第一載置臺(tái)(裝料臺(tái)) 22a和第二載置臺(tái)(待機(jī)臺(tái))22b兩個(gè)構(gòu)成。
在載置區(qū)域Sb內(nèi)的下方設(shè)置有作為搬送機(jī)構(gòu)的晶舟搬送機(jī)構(gòu)23， 用來(lái)在移動(dòng)載置臺(tái)12和熱處理爐5之間，在晶舟載置臺(tái)22和蓋體p 上的保溫筒19之間，具體而言，在晶舟載置臺(tái)22的第一載置臺(tái)22a 或者第二載置臺(tái)22b與已下降的蓋體17上的保溫筒19之間、以及在
第一載置臺(tái)22a和第二載置臺(tái)22b之間進(jìn)行晶舟4的搬送。另外，在 該晶舟搬送機(jī)構(gòu)23的上方設(shè)置有移動(dòng)載置機(jī)構(gòu)24，用來(lái)在移動(dòng)載置臺(tái) 12上的載具3和晶舟載置臺(tái)22上的晶舟4之間，具體而言，在移動(dòng)載 置臺(tái)12上的載具3和切口排列機(jī)構(gòu)16之間、切口排列機(jī)構(gòu)16和晶舟 載置臺(tái)22的第一載置臺(tái)22a上的晶舟4之間、以及第一載置臺(tái)22a上 的熱處理后的晶舟4與移動(dòng)載置臺(tái)12上的空的載具3之間進(jìn)行晶片W 的移動(dòng)載置。
晶舟4如圖3所示，具有頂板4a、底板4b、和設(shè)置在頂板4a和 底板4b之間的多個(gè)支柱例如3根支柱4c。在上述支柱4c上按照規(guī)定 的間距形成有用來(lái)以多層的方式保持晶片W的梳齒(櫛刃)狀的槽部 4d。為了搬入搬出晶片W，正面?zhèn)鹊淖笥业闹е?c之間被擴(kuò)展。
晶舟搬送機(jī)構(gòu)23具有能夠垂直支撐一個(gè)晶舟4并且能夠水平伸縮 的臂。晶舟搬送機(jī)構(gòu)23具備能夠水平旋轉(zhuǎn)以及升降的第一臂23a; 對(duì)以能夠水平旋轉(zhuǎn)的方式被軸支撐在該第一臂23a的頂端的晶舟4的 下面(底板4b的下面)進(jìn)行支撐的平面略呈U字狀的第二臂23b;驅(qū) 動(dòng)第一臂23a以及第二臂23b的驅(qū)動(dòng)部23c;和使他們整體升降的升降 機(jī)構(gòu)23d，通過(guò)使第一臂21a與第二臂21b的水平旋轉(zhuǎn)操作同步，能夠 進(jìn)行水平直線(xiàn)方向的搬送。于是，通過(guò)使臂伸縮就能夠最大限度地縮 減搬送晶舟4的區(qū)域，并且能夠減少裝置的寬度和深度。
上述移動(dòng)載置機(jī)構(gòu)24具有能夠水平轉(zhuǎn)動(dòng)的基臺(tái)24a，和以能夠進(jìn) 退的方式設(shè)置在基臺(tái)24a上并且載置半導(dǎo)體晶片的多枚例如5枚薄板 狀的移動(dòng)載置臂24b。就上述移動(dòng)載置臂24b而言，優(yōu)選以5枚之中的 中央的單枚移動(dòng)載置用的1枚移動(dòng)載置臂能夠與其它4枚移動(dòng)載置臂 在基臺(tái)24a上獨(dú)立進(jìn)退的方式設(shè)置，同時(shí)，以其它的4枚移動(dòng)載置臂 以中央的移動(dòng)載置臂為基準(zhǔn)，能夠沿上下方向變換間距的方式構(gòu)成。 基臺(tái)24a能夠利用設(shè)置在載置區(qū)域Sb的另一側(cè)的升降機(jī)構(gòu)24c進(jìn)行升 降。
為了使被載置在上述保溫筒19上的晶舟4不會(huì)因地震等外力而傾 倒，在上述保溫筒19的上部設(shè)置有鉤部(卡合固定部)25，在晶舟4 的底部4b設(shè)置有與鉤部25卡合固定的卡合固定槽部(被卡合固定部) 26。如圖5 圖9所示，利用晶舟搬送機(jī)構(gòu)23使晶舟4位于保溫筒19的正上方位置，在此狀態(tài)下，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20使保溫筒19旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度例如90度，這樣就能相互卡合固定或解除卡合固定。
如圖3 圖5所示，上述晶舟4具有環(huán)狀的底板4b，上述保溫筒 19具有將上述底板4b的下面沿其圓周方向以適當(dāng)?shù)拈g隔支撐的多個(gè)支柱例如4根支柱19a。更加具體而言，保溫筒19具有圓板狀的基部 19b，豎立設(shè)置在該基部1%上的多個(gè)支柱19a，和沿著這些支柱19a 在高度方向上通過(guò)墊片(spacer) 19j以合適的間隔多層配置的多枚隔 熱板19c，這些構(gòu)件例如采用石英形成。支柱19a為圓筒形，在上端部 一體設(shè)置有堵塞其開(kāi)口端的上端部件19e。為了防止因內(nèi)外的壓力差導(dǎo)致支柱19a發(fā)生破損，在支柱19a的側(cè)面適當(dāng)形成連通支柱19a的內(nèi)外 的孔部19f。在支柱19a的上端部即上端部件19e形成有承受晶舟4的 底板4b的下面的載置面19g，和與位于該載置面19g之上的底板4b 的內(nèi)周接觸并對(duì)底板4b進(jìn)行定位的定位部19h。為了使定位部19h易 于與底板4b的內(nèi)周嵌合或者卡合，優(yōu)選在定位部19h的上端邊緣部形 成傾斜面19i。
與上述支柱19a外接的外接圓的直徑形成為比底板4b的外徑小， 該支柱19a用于支撐晶舟4的環(huán)狀的底板4b，并沿其圓周方向以適當(dāng)間隔配置。因此，當(dāng)晶舟搬送機(jī)構(gòu)23的第二臂23b支撐晶舟4的底板 4b的下面并將他載置在保溫筒19的支柱19a的上端部時(shí)，不會(huì)與支柱 19a發(fā)生干擾。并且，在這些支柱19a的外側(cè)部設(shè)置有槽狀的作為被卡合固定部的卡合固定槽部26，在上述底板4b的下面，與上述各個(gè)卡合固定槽部26卡合固定的鉤狀(斷面為L(zhǎng)字形狀)的作為卡合固定部的多個(gè)鉤部25被設(shè)置在與上述卡合固定槽部26對(duì)應(yīng)的位置。
鉤部25由從底板4b的下面垂下的垂直部25a，和從該垂直部25a 的下端向半徑方向內(nèi)部突出的水平部25b組成。對(duì)于上述卡合固定槽 部26，在利用晶舟搬送機(jī)構(gòu)23將晶舟4搬送至保溫筒19的正上方并保持它的狀態(tài)下，通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20使保溫筒19旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度時(shí)，鉤部25的水平部25b從圓周方向進(jìn)入該卡合固定槽部26內(nèi)。此時(shí)，卡合固定槽部26形成為不與鉤部25的水平部25b干擾的槽寬以及槽深。 另外，當(dāng)鉤部25位于卡合固定槽部26的可卡合固定的位置時(shí)保溫筒 19的旋轉(zhuǎn)停止，接著，通過(guò)晶舟搬送機(jī)構(gòu)23使晶舟4進(jìn)一步下降并被載置在保溫筒19的支柱19a上時(shí)，優(yōu)選以使鉤部25的水平部25b不 與卡合固定槽部26接觸的方式對(duì)卡合固定槽部26的槽寬進(jìn)行設(shè)計(jì)， 從而抑制顆粒的發(fā)生(參照?qǐng)D6)。上述水平部25b的頂端以及卡合固 定槽部26的底面優(yōu)選形成為以保溫筒19的旋轉(zhuǎn)中心為中心的曲面形 狀。
就上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20而言，例如可應(yīng)用日本專(zhuān)利第3579278號(hào)公報(bào) 中所載的機(jī)構(gòu)。即，如圖10所示，在上述蓋體17的底部設(shè)置有具有 軸孔的固定部件27，在該固定部件27的外周，有底筒狀的旋轉(zhuǎn)筒體 28通過(guò)配設(shè)在上下的未圖示的軸承以及磁性流體密封件(seal)以可旋 轉(zhuǎn)的方式設(shè)置，在該旋轉(zhuǎn)筒體28的底部設(shè)置有活動(dòng)式貫通上述固定部 件27的軸孔的旋轉(zhuǎn)軸29。該旋轉(zhuǎn)軸29的上端部活動(dòng)式貫通蓋體17 的中央部，在該旋轉(zhuǎn)軸29的上端部安裝有旋轉(zhuǎn)臺(tái)30。旋轉(zhuǎn)臺(tái)30以與 蓋體17的上部之間留有間隙的方式設(shè)置，上述保溫筒19被載置在該 旋轉(zhuǎn)臺(tái)30上，保溫筒19的基底部19b被固定部件31固定在旋轉(zhuǎn)臺(tái)30 上。在旋轉(zhuǎn)筒體28上通過(guò)同步帶33連結(jié)有用來(lái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)它的電動(dòng)機(jī) 32。
為了在上述鉤部25與上述卡合固定槽部26能夠卡合固定的位置 或者能夠解除卡合固定的位置對(duì)保溫筒19進(jìn)行自動(dòng)旋轉(zhuǎn)控制，上述旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20優(yōu)選具有對(duì)保溫筒19的旋轉(zhuǎn)方向的原點(diǎn)位置進(jìn)行檢測(cè)的 傳感器34;和用來(lái)根據(jù)該傳感器34的檢測(cè)信號(hào)，在上述鉤部25與上 述卡合固定槽部26變得能夠卡合固定的位置或者變得能夠解除卡合固 定的位置對(duì)保溫筒19進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制的控制裝置35。在上述旋轉(zhuǎn)筒體 28的外周部突出設(shè)置有被檢測(cè)部件(kicker) 36，用來(lái)對(duì)該被檢測(cè)部件 36進(jìn)行檢測(cè)的傳感器34被設(shè)置在蓋體17的下方。上述控制裝置35 在熱處理時(shí)進(jìn)行通過(guò)保溫筒19使晶舟4連續(xù)旋轉(zhuǎn)的控制。
另一方面，在利用晶舟搬送機(jī)構(gòu)23搬送晶舟4的過(guò)程中，為了防 止該晶舟4因地震等外力而傾倒，如圖4所示，優(yōu)選在上述第二臂23b 的上部設(shè)置有傾倒限制控制部件37，在該傾倒限制控制部件37與該第 二臂23b之間從上下對(duì)晶舟4的底板4b進(jìn)行限制。該傾倒限制部件37 被設(shè)置在第二臂23b的上面部的基部一側(cè)，在被支撐在第二臂的上面 的晶舟4的底板4b的上面以規(guī)定的間隔具有相對(duì)的限制片37a。
此外，為了防止載置在晶舟載置臺(tái)22上的晶舟4因地震等外力發(fā)生傾倒而采用了如下的結(jié)構(gòu)。如圖2、圖11或者圖12所示，在晶舟載 置臺(tái)22上設(shè)置有用來(lái)對(duì)晶舟4進(jìn)行定位的定位機(jī)構(gòu)38。該定位機(jī)構(gòu) 38具有在晶舟載置臺(tái)22上通過(guò)氣缸(cylinder) 38a而在直徑方向上擴(kuò) 張收縮的一對(duì)銷(xiāo)38b。另一方面，在晶舟4的底板4b的內(nèi)周在直徑方 向相對(duì)設(shè)置有V字形狀的卡合槽40，該卡合槽40在上述一對(duì)銷(xiāo)38b 擴(kuò)張時(shí)卡合?？ê喜?0以規(guī)定角度e例如120度擴(kuò)展。于是，即使晶 舟4略微偏離而被載置在晶舟載置臺(tái)22上，也能將晶舟4定位。并且， 在上述銷(xiāo)39b的上部設(shè)置有突出狀的傾倒限制部38c，當(dāng)銷(xiāo)3%與卡合 槽40卡合時(shí)，該傾倒限制部38c與晶舟4的底板4b的上面相對(duì)，在 與晶舟載置臺(tái)22的上面之間從上下對(duì)晶舟4的底板4b進(jìn)行限制，從 而防止晶舟4的傾倒。
接著，對(duì)采用上述結(jié)構(gòu)的立式熱處理裝置1的作用或立式熱處理 方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，利用蓋體17的上升將以多層的方式保持多枚晶 片W并且通過(guò)保溫筒4被載置在蓋體1.7上的晶舟4與保溫筒19 一起 搬入熱處理爐5內(nèi)，然后用蓋體17密封熱處理爐5的爐口 5a。接著， 使用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20通過(guò)保溫筒19使晶舟4在熱處理爐5內(nèi)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)， 在規(guī)定溫度、規(guī)定的壓力以及規(guī)定的處理氣體氣氛下對(duì)晶片W進(jìn)行規(guī) 定時(shí)間的熱處理。在該熱處理過(guò)程中，向晶舟載置臺(tái)22的第一載置臺(tái) 22a上的另一個(gè)晶舟4移動(dòng)載置晶片W。在這種情況下，首先，使用 移動(dòng)載置機(jī)構(gòu)24將搭載在晶舟4上的熱處理后的晶片搬出至移動(dòng)載置 臺(tái)12上的空的載具3中，接著，從被搬送至移動(dòng)載置臺(tái)12上的收納 有熱處理前的晶片的載具3中將熱處理前的晶片搭載在上述空的晶舟 4上。
如果上述熱處理爐5內(nèi)的熱處理結(jié)束，就通過(guò)蓋體17的下降將晶 舟4從熱處理爐5內(nèi)搬出至載置區(qū)域Sb。晶舟搬送機(jī)構(gòu)23的第一臂 23a從下方接近該晶舟4(參照?qǐng)D6)，并將晶舟4僅舉起規(guī)定的高度(參 照?qǐng)D7)。在此狀態(tài)下，通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20使保溫筒19旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度 例如90度并位于鉤部25與卡合固定槽S6能夠解除卡合固定的位置(參 照?qǐng)D8)，接著，在將晶舟4進(jìn)一步舉起至規(guī)定高度(鉤部與保溫筒的 支柱不干擾的高度)之后，向晶舟載置臺(tái)22的第二載置臺(tái)22b的方向搬送(參照?qǐng)D9)，并載置在第二載置臺(tái)22b上。載置在第二載置臺(tái)22b 上的晶舟4被定位機(jī)構(gòu)38定位，同時(shí)利用突出狀的傾倒限制部38c來(lái) 防止晶舟4的傾倒。
另一方面，第一載置臺(tái)22a上的晶舟4在被解除傾倒限制部38c 的限制之后，被晶舟搬送機(jī)構(gòu)23的第二臂23b支撐并被搬送至上述蓋 體17的保溫筒19的上方。接著，利用晶舟搬送機(jī)構(gòu)23使晶舟4下降 至保溫筒19上，在將晶舟4載置于保溫筒19上之前，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 20使保溫筒19旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度例如90度并位于鉤部25和卡合固定槽 部26能夠卡合固定的位置后，使晶舟4進(jìn)一步下降并載置在保溫筒19 上即可。晶舟4在保溫筒19上的載置結(jié)束后，通過(guò)蓋體17的上升將 晶舟4搬入熱處理爐5內(nèi)開(kāi)始熱處理即可。并且，在該熱處理過(guò)程中， 上述第二載置臺(tái)22b上的晶舟4被晶舟搬送機(jī)構(gòu)23搬送至第一載置臺(tái) 22a上，在該第一載置臺(tái)22a上，進(jìn)行利用移動(dòng)載置機(jī)構(gòu)24從該晶舟 4向移動(dòng)載置臺(tái)12上的載具3移交熱處理后的晶片的移交作業(yè)，和從 移動(dòng)載置臺(tái)12上的載具3向晶舟4搭載熱處理前的晶片的搭載作業(yè)， 實(shí)現(xiàn)總處理能力的提高。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式的立式熱處理裝置1，在上述保溫筒19的 上部與晶舟4的底部設(shè)置有鉤部25和卡合固定槽部26，在利用晶舟搬 送機(jī)構(gòu)23使晶舟4位于保溫筒19的正上方的狀態(tài)下，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 20使保溫筒19旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度，該鉤部25和卡合固定槽部26變得能 夠相互卡合固定或者能夠解除卡合固定。因此，雖然采用所謂的雙晶 舟系統(tǒng)，但是用簡(jiǎn)單的構(gòu)造就能防止因地震等外力使保溫筒19上的晶 舟4發(fā)生傾倒。另外，根據(jù)立式熱處理方法，利用上述搬送機(jī)構(gòu)23使 晶舟4下降至保溫筒19上，在晶舟4載置于保溫筒19上之前，利用 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20使保溫筒19旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度，使鉤部25和卡合固定槽部 26變成能夠卡合固定的狀態(tài)之后，進(jìn)一步使晶舟4下降并載置在保溫 筒19上。因此，雖然采用所謂的雙晶舟系統(tǒng)，但是用簡(jiǎn)單的構(gòu)造就能 夠防止因地震等外力導(dǎo)致保溫筒19上的晶舟4發(fā)生傾倒。
在這種情況下，上述晶舟4具有環(huán)狀的底板4b，上述保榫筒19 具有沿其圓周方向以適當(dāng)間隔支撐上述底板4b的下面的多個(gè)支柱]9a， 在這些支柱19a的外側(cè)部設(shè)置有卡合固定槽部(槽狀的被卡合固定部)
26，在上述底板4b的下面設(shè)置有與上述各個(gè)卡合固定槽部26卡合固 定的鉤部(鉤狀的卡合固定部)25。因此，通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，能夠可 靠并容易地進(jìn)行保溫筒19和晶舟4之間的鎖定與解除。
另外，上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20具有對(duì)保溫筒19的旋轉(zhuǎn)方向的原點(diǎn)位置 進(jìn)行檢測(cè)的傳感器34，和用來(lái)根據(jù)來(lái)自該傳感器34的檢測(cè)信號(hào)在上述 鉤部25和上述卡合固定槽部26變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭ǖ奈恢没蛘吣軌蚪?除卡合固定的位置對(duì)保溫筒19進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制的控制裝置35。因此，能 夠可靠并容易地進(jìn)行保溫筒19和晶舟4之間的鎖定與解除。
圖13是表示保溫筒的變形例的主要部分的放大截面圖。在圖13 的實(shí)施方式的保溫筒19中，在支柱19a的上端部件19e上設(shè)置有使用 安裝螺絲41來(lái)固定晶舟4的底板4b的螺絲孔42。安裝螺絲41通過(guò)底 板4b的V字狀的卡合槽40被擰進(jìn)上述螺絲孔42中，安裝螺絲41的 頭部4la緊固底板4b的上面從而將底板4b固定在支柱19a上。根據(jù) 該保溫筒19，通過(guò)使用安裝螺絲41固定保溫筒19與晶舟4，這樣不 僅能在單晶舟系統(tǒng)中利用，而且，如果取下安裝螺絲41也能在雙晶舟 系統(tǒng)中利用。
圖14是表示卡合固定保溫筒與晶舟的其它結(jié)構(gòu)的圖，圖14 (a) 是能夠解除的狀態(tài)的立體圖，圖14 (b)是能夠卡合固定的狀態(tài)的立體 圖。如該圖所示，保溫筒19具有從上部中央向上沿著左右方向以突出 狀延伸出來(lái)的長(zhǎng)圓板狀的作為卡合固定部的閂鎖鑰匙43，上述晶舟4 具有能夠載置在上述保溫筒19上部的底板4b。在該底板4b上形成有 上述閂鎖鑰匙43能夠通過(guò)的作為鑰匙孔的閂鎖鑰匙孔44，使通過(guò)該閂 鎖鑰匙孔44的閂鎖鑰匙43與保溫筒19 一體旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度例如旋轉(zhuǎn) 90度，于是，閂鎖鑰匙43和與其相對(duì)的上述底板4b的上面(被卡合 固定部)45變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭ǖ臓顟B(tài)。
圓筒狀的保溫筒19的上端被閉塞，在該上端部的中央通過(guò)截面為 圓形的軸部43a —體形成上述閂鎖鑰匙43，閂鎖鑰匙43的長(zhǎng)徑被形成 為比保溫筒19的直徑小并且比軸部43a的直徑大，閂鎖鑰匙43的短 徑被形成為與軸部43的直徑大致相同的大小。在晶舟4的底^ 4b中 的閂鎖鑰匙孔44的內(nèi)周，優(yōu)選與上述實(shí)施方式同樣形成有定位用的V 字狀的卡合槽(圖示省略)。
將晶舟4向保溫筒19上載置時(shí)，利用晶舟搬送機(jī)構(gòu)23的第二臂 23b支撐晶舟4的底板4b的下面并將晶舟4搬送到蓋體17的保溫筒 19的上方，使晶舟4下降并使閂鎖鑰匙43通過(guò)底板4b的閂鎖鑰匙孔 44，在晶舟4載置在保溫筒19上之前，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20使保溫筒19 旋轉(zhuǎn)例如卯度的規(guī)定角度，閂鎖鑰匙43與底板4b的上面45位于能 夠卡合固定的位置之后，使晶舟4進(jìn)一步下降并載置在保溫筒19上即 可。這樣，不僅能防止保溫筒19上的晶舟4發(fā)生傾倒，而且還能夠防 止晶舟4和晶片W的破損。
以上，利用附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了詳述，但是，本發(fā)明 并不局限于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍能夠進(jìn)行各 種各樣的設(shè)計(jì)更改等。
權(quán)利要求
1.一種立式熱處理裝置，其特征在于，該裝置包括在下部形成有爐口的熱處理爐；保持多個(gè)基板，并被搬入熱處理爐內(nèi)對(duì)基板實(shí)施熱處理的一對(duì)基板保持具；閉塞熱處理爐的爐口的蓋體；設(shè)置在蓋體上的保溫筒；設(shè)置在蓋體上并且使蓋體和保溫筒旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；使蓋體升降的升降機(jī)構(gòu)；與熱處理爐的下方鄰接設(shè)置的載置臺(tái)；和在保溫筒上以及載置臺(tái)上之間搬送一對(duì)基板保持具的各個(gè)的搬送機(jī)構(gòu)，在各個(gè)基板保持具和保溫筒中的一方設(shè)置卡合固定部，同時(shí)在另一方設(shè)置被卡合固定部，利用搬送機(jī)構(gòu)將該基板保持具保持在保持筒正上方，并且通過(guò)利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使保持筒旋轉(zhuǎn)，卡合固定部和被卡合固定部變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭ɑ蛘吣軌蚪獬ê瞎潭ǖ臓顟B(tài)。
2. 如權(quán)利要求1所述的立式熱處理裝置，其特正在于 各個(gè)基板保持具具有環(huán)狀的底板，保溫筒具有將底板的下面沿其周向以適當(dāng)間隔支撐的多個(gè)支柱，被卡合固定部在這些支柱的外側(cè)部 形成為槽狀，卡合固定部以在所述底板的下面被各個(gè)被卡合固定部卡 合固定的方式形成為鉤狀。
3. 權(quán)利要求1的立式熱處理裝置，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有對(duì)保溫筒的旋轉(zhuǎn)方向的原點(diǎn)位置進(jìn)行檢測(cè)的傳 感器；和用于根據(jù)來(lái)自該傳感器的檢測(cè)信號(hào)，在所述卡合固定部與被 卡合固定部變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭ǖ奈恢没蛘咦優(yōu)槟軌蚪獬ê瞎潭ǖ奈?置對(duì)保溫筒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制的控制裝置。
4. 權(quán)利要求1的立式熱處理裝置，其特征在于 卡合固定部被設(shè)置在保溫筒上，該卡合固定部從保溫筒的上部中央向上沿左右方向以突出狀延伸，各個(gè)基板保持具具有能夠載置在所 述保溫筒的上部的底板，在該底板上形成有卡合固定部能夠通過(guò)的鑰 匙孔，通過(guò)使通過(guò)該鑰匙孔的卡合固定部與保溫筒一體旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度， 與該卡合固定部相對(duì)的所述底板的上面變成被卡合固定部并卡合固定 在卡合固定部。
5. 權(quán)利要求1的立式熱處理裝置，其特征在于基板保持具具有環(huán)狀的底板，保溫筒具有將底板的下面沿其周向 以適當(dāng)間隔支撐的多個(gè)支柱，被卡合固定部由設(shè)置在各個(gè)支柱上部的 螺絲孔構(gòu)成，卡合固定部由從底板插入螺絲孔的安裝螺絲構(gòu)成。
6. —種立式熱處理方法，其特征在于，該方法包括 通過(guò)保溫筒將保持有多個(gè)基板的一個(gè)基板保持具載置在閉塞熱處理爐的爐口的蓋體上的工序；利用升降機(jī)構(gòu)使蓋體上升，將基板保持具搬入熱處理爐內(nèi)的工序；利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一邊使蓋體、保溫筒以及基板保持具旋轉(zhuǎn)一邊在熱 處理爐內(nèi)對(duì)基板進(jìn)行熱處理，并且，將基板移動(dòng)載置到載置在載置臺(tái) 上的另一個(gè)基板保持具的工序；和在熱處理爐內(nèi)的熱處理結(jié)束后，利用搬送裝置將一個(gè)基板保持具 從保溫筒上向載置臺(tái)上搬送，并且，將載置臺(tái)上的另一個(gè)基板保持具 從載置臺(tái)上向保溫筒上搬送的工序，在各個(gè)基板保持具和保溫筒中的一方設(shè)置卡合固定部，同時(shí)在另 一方設(shè)置被卡合固定部，利用搬送機(jī)構(gòu)將另一個(gè)基板保持具保持在保 持筒正上方，并且，通過(guò)利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使保持筒旋轉(zhuǎn)，使卡合固定部 與被卡合固定部變成卡合固定的狀態(tài)，之后，使該基板保持具進(jìn)一步 下降而將其載置在保溫筒上。
7. 如權(quán)利要求5所述的立式熱處理方法，其特征在于 各個(gè)基板保持具具有環(huán)狀的底板，保溫筒具有將底板的下面沿其周向以適當(dāng)間隔支撐的多個(gè)支柱，被卡合固定部在這些支柱的外側(cè)部 形成為槽狀，卡合固定部以在所述底板的下面被各個(gè)被卡合固定部卡合固定的方式形成為鉤狀。
8. 如權(quán)利要求5的立式熱處理方法，其特征在于 所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有對(duì)保溫筒的旋轉(zhuǎn)方向的原點(diǎn)位置進(jìn)行檢測(cè)的傳感器；和用來(lái)根據(jù)來(lái)自該傳感器的檢測(cè)信號(hào)，在所述卡合固定部與被 卡合固定部變?yōu)槟軌蚩ê瞎潭ǖ奈恢没蛘咦優(yōu)槟軌蚪獬ê瞎潭ǖ奈?置對(duì)保溫筒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制的控制裝置。
9. 如權(quán)利要求5的立式熱處理方法，其特征在于 卡合固定部被設(shè)置在保溫筒上，該卡合固定部從保溫筒的上部中央向上沿左右方向以突出狀延伸，各個(gè)基板保持具具有能夠載置在所 述保溫筒的上部的底板，在該底板上形成有卡合固定部能夠通過(guò)的鑰 匙孔，通過(guò)使通過(guò)該鑰匙孔的卡合固定部與保溫筒一體旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度， 與該卡合固定部相對(duì)的所述底板的上面變?yōu)楸豢ê瞎潭ú坎⒖ê瞎潭?在卡合固定部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種立式熱處理裝置，該裝置包括在下部具有爐口的熱處理爐；封閉該爐口的蓋體；在蓋體上通過(guò)保溫筒對(duì)載置的多枚基板(W)以多層的方式保持的基板保持具；通過(guò)設(shè)置在蓋體上的保溫筒使基板保持具旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；和使蓋體升降后將基板保持具搬入搬出爐內(nèi)的升降機(jī)構(gòu)。當(dāng)一個(gè)基板保持具位于爐內(nèi)時(shí)，另一個(gè)基板保持具為了基板的移動(dòng)載置而被載置在載置臺(tái)上，在載置臺(tái)與保溫筒之間通過(guò)搬送機(jī)構(gòu)搬送基板保持具。在保溫筒的上部與各個(gè)基板保持具的底部設(shè)置有在利用搬送機(jī)構(gòu)使基板保持具位于保溫筒的正上方的狀態(tài)下，當(dāng)利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使保溫筒旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度時(shí)能夠相互卡合固定或者解除卡合固定的卡合固定部與被卡合固定部。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101207006SQ20071015974
公開(kāi)日2008年6月25日 申請(qǐng)日期2007年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月22日
發(fā)明者似鳥(niǎo)弘彌, 金子裕史 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社