專利名稱：絲網(wǎng)印刷裝置以及凸起形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及絲網(wǎng)印刷裝置，尤其是涉及焊球印刷的凸起形成方法。
背景技術(shù)：
形成180~150fim間隔的球凸起(直徑為80 100nm)具有以下的
印刷法，即，利用上述的高精度絲網(wǎng)印刷裝置，在印刷后使膏狀釬焊
料回流('J7口一)，形成焊球。作為絲網(wǎng)印刷裝置的一個(gè)例子，具
有基板輸入傳送帶、基板輸出傳送帶、具有升降機(jī)構(gòu)的工作臺(tái)、作為 開(kāi)口部具有轉(zhuǎn)印圖案的掩模、刮刀(只軒一、;；)、具有刮刀升降機(jī)構(gòu)
以及水平方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的刮刀頭、控制這些機(jī)構(gòu)的控制裝置。在將基 板從搬入傳送帶部搬入裝置內(nèi)后，將基板臨時(shí)定位固定在印刷工作臺(tái) 部，之后，利用攝像機(jī)識(shí)別基板和具有對(duì)應(yīng)于電路圖案的開(kāi)口部的掩 模雙方的標(biāo)記，對(duì)雙方的偏差值進(jìn)行位置修正，將基板與掩模對(duì)位， 然后，使印刷工作臺(tái)上升以使基板與掩模接觸，利用刮刀一面使掩模 與基板接觸一面向掩模的開(kāi)口部填充骨狀釬焊料等糊劑，然后使工作 臺(tái)下降，通過(guò)分離基板和掩模將糊劑轉(zhuǎn)印到基板上，之后，通過(guò)將基 板從裝置中搬出而形成印刷。
另外，還已知有球裝入方法，即，將焊球裝入以高精度進(jìn)行微小 的開(kāi)孔加工后的篩選機(jī)(治具)，使其以規(guī)定的間距排列、直接輸送 到基板上，在放置后通過(guò)回流形成焊球。而且，根據(jù)日本特開(kāi) 2000-49183號(hào)公報(bào)，還具有擺動(dòng)或振動(dòng)掩模、向規(guī)定的開(kāi)口內(nèi)填充焊 球的方法以及由通過(guò)電刷的并進(jìn)運(yùn)動(dòng)等進(jìn)行填充后加熱的工序構(gòu)成的 方法。
專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-49183號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
由于青狀釬焊料印刷法的設(shè)備成本低，可一次形成大量的凸起，
因此具有生產(chǎn)率高、制造成本低的優(yōu)點(diǎn)。但是，印刷法存在以下問(wèn)題， 即，很難確保轉(zhuǎn)印體積的均勻性，通過(guò)顫振處理，對(duì)回流后的焊錫凸 起加壓、對(duì)高度進(jìn)行平滑處理，導(dǎo)致工序數(shù)量增加、設(shè)備成本提高。并且，在隨著設(shè)備的高密度化而向150~120nm間距等精密化發(fā)展的情 況下，存在印刷成品率低、生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。另一方面，雖然球裝 入法通過(guò)確保焊球的分級(jí)精度而可形成穩(wěn)定高度的凸起、適合精密化， 但使用高精度的焊球吸附篩選機(jī)、利用機(jī)器人進(jìn)行裝載，在精密化的 情況下生產(chǎn)節(jié)拍增大，存在因篩選機(jī)、設(shè)備價(jià)格而提高引起的形成凸 起的成本增大的問(wèn)題。
而且，根據(jù)日本特開(kāi)2000-49183號(hào)公報(bào)的通過(guò)擺動(dòng)或振動(dòng)掩模而 將焊球填充到規(guī)定的開(kāi)口中的方法存在以下問(wèn)題，即，隨著焊球的粒 子直徑的縮小，產(chǎn)生粒子間的密合現(xiàn)象，在掩模的孔徑不到粒子直徑 的1.3倍的情況下，粒子間的密合力大于粒子的自重，不能填充到開(kāi) 口部中。同樣，在利用刮刀或電刷的并進(jìn)運(yùn)動(dòng)等進(jìn)行的填充中也存在同樣的問(wèn)題。
本發(fā)明的目的是提供生產(chǎn)效率高的焊球填充用印刷裝置以及凸起 形成方法，在形成超精密間距的凸起時(shí)，可像印刷法那樣一起形成大 量凸起，且可像球裝入法那樣形成穩(wěn)定高度的凸起，可低價(jià)格、高速、 高效率地進(jìn)行印刷、填充。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施以下的方法。首先開(kāi)發(fā)了坪球填 充用印刷裝置，以印刷法使用的低價(jià)格、高精度的絲網(wǎng)印刷技術(shù)為基 礎(chǔ)，可高速/高精度地填充/印刷凸起高度穩(wěn)定的焊球微粒。并且，實(shí) 現(xiàn)了為了高效率地使用焊球微粒而一面在密閉狀態(tài)下保持焊球一面進(jìn) 行填充/印刷。而且，開(kāi)發(fā)了抑制焊球的填充不良、形成穩(wěn)定的高質(zhì)量 的凸起的方法。


圖l是金屬掩模的一個(gè)示例圖。
圖2是絲網(wǎng)印刷裝置的一個(gè)示例圖。
圖3是絲網(wǎng)印刷裝置的印刷動(dòng)作的概略說(shuō)明圖。
圖4是填充/印刷頭的焊球填充的示例圖。
圖5是填充/印刷頭的一個(gè)例子的剖視圖。
圖6是填充/印刷頭的收納式篩網(wǎng)形狀的一個(gè)示例圖。
圖7是表示填充印刷機(jī)構(gòu)的圖。
圖8是金屬掩模的結(jié)構(gòu)概念圖。
圖9是金屬掩模的排氣流路的示例圖。
圖IO是金屬掩模的開(kāi)口部和排氣流路的概略圖。
具體實(shí)施例方式
圖l是用于形成凸起電極的金屬掩模的示例。圖l(a)是掩模的 整體狀態(tài)，(b)表示相當(dāng)于印刷在一個(gè)設(shè)備上的電極群的開(kāi)口圖案 20p的示例。即，掩模20安裝在印版框21上。以下將包括印版框21 的整體稱為掩模20。使用本掩模的示例如下，電極焊盤部的直徑為 120nm、間距150nm，在一個(gè)CPU芯片中，安裝有多個(gè)電極焊盤群的 基板配置有數(shù)十個(gè)電極焊盤群，每個(gè)電極焊盤群具有數(shù)千個(gè)焊盤，相 對(duì)于所述基板等通過(guò)印刷法形成凸起。圖1 (a)的四邊形狀表示一個(gè) 電極焊盤群20a。即，對(duì)應(yīng)一個(gè)電極焊盤群設(shè)置的掩模開(kāi)口部20c以 對(duì)應(yīng)電極焊盤的大小的直徑開(kāi)設(shè)多個(gè)開(kāi)口。使用該掩模20進(jìn)行印刷， 印刷結(jié)束后，使印刷工作臺(tái)10下降，通過(guò)固定在印刷工作臺(tái)IO上的 基板5下降，進(jìn)行印版分離動(dòng)作，進(jìn)行印刷。
圖2表示本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置的構(gòu)成。圖2 (a)是從正面看的 絲網(wǎng)印刷裝置的構(gòu)成和系統(tǒng)構(gòu)成圖。而且，圖2(b)是從側(cè)面看絲網(wǎng) 印刷裝置的構(gòu)成圖。并且，圖3 (a) 、 (b)是從側(cè)面看絲網(wǎng)印刷裝 置的構(gòu)成，表示印刷中的狀態(tài)。
在本體框架上設(shè)置無(wú)圖示的印版框支撐件，掩模20設(shè)置在印版框 支撐件上，掩模20鋪設(shè)有作為開(kāi)口部而具有印刷圖案的絲網(wǎng)。在掩模 20的上方設(shè)置填充/印刷頭2，在填充/印刷頭2上安裝由刮刀(在本 發(fā)明中，由篩網(wǎng)狀體45和刮板3等構(gòu)成，用來(lái)代替刮刀)形放的填充 組件。填充/印刷頭2通過(guò)填充/印刷頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)6可向水平方向移動(dòng)。 填充組件通過(guò)填充組件升降機(jī)構(gòu)4可向上下方向移動(dòng)。在掩模20的下方與掩模20相對(duì)地設(shè)置印刷工作臺(tái)10，用于載置保持作為印刷對(duì)象 物的基板5。該印刷工作臺(tái)10具有XYe工作臺(tái)ll和工作臺(tái)升降機(jī)構(gòu) 12， XY0工作臺(tái)11使基板5向水平方向移動(dòng)、與掩模進(jìn)行對(duì)位；工 作臺(tái)升降機(jī)構(gòu)12從搬入傳送帶25接收基板5，且使基板5接近或接 觸掩模20面。在印刷工作臺(tái)10的上面設(shè)置基板接收傳送帶26，將通 過(guò)基板輸入傳送帶25搬入的基板5接收在印刷工作臺(tái)10上，印刷結(jié) 束后將基板5向基板輸出傳送帶27排出。
在印刷組件本體1上，具有自動(dòng)進(jìn)行掩模20和基板5對(duì)位的功能。 即，通過(guò)CCD攝像機(jī)15對(duì)分別設(shè)置在掩模20和基板5上的對(duì)位用 標(biāo)記進(jìn)行攝影，進(jìn)行圖像處理、求出位置偏差量，驅(qū)動(dòng)XYθ工作臺(tái) ll進(jìn)行對(duì)位，以修正該偏差量。
另外，印刷機(jī)控制部30設(shè)置在印刷機(jī)本體框架的內(nèi)部，用于進(jìn)行 控制用數(shù)據(jù)的改寫和用于改變印刷條件等的數(shù)據(jù)輸入部50以及用于 監(jiān)視印刷狀況等及取入識(shí)別標(biāo)記的顯示部40設(shè)置在印刷機(jī)的外側(cè)，該 印刷機(jī)控制部30控制各部驅(qū)動(dòng)用的印刷控制部36和對(duì)來(lái)自CCD攝 像機(jī)15的圖像信號(hào)進(jìn)行處理的圖像輸入部37等。
印刷機(jī)控制部30具有控制填充組件的填充組件控制部36，根據(jù) 所生產(chǎn)的凸起的間距或焊球粒子直徑的不同以及所使用的金屬掩模的 種類，可簡(jiǎn)單地選擇設(shè)定適當(dāng)?shù)奶畛?印刷模式。并且，還具有根據(jù)輸 入圖像計(jì)算相關(guān)值的相關(guān)值計(jì)算部31 、根據(jù)收入的圖像或來(lái)自詞典38 的數(shù)據(jù)求出形狀的形狀估算部32、求出位置坐標(biāo)的位置坐標(biāo)運(yùn)算部33 以及尺寸運(yùn)算部34，從CCD攝像機(jī)15拍攝的數(shù)據(jù)中，根據(jù)設(shè)置在基 板和掩模上的位置識(shí)別標(biāo)記求出位置偏差量，驅(qū)動(dòng)XYe工作臺(tái)，進(jìn)行 對(duì)位。
以下就本發(fā)明的印刷裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
形成凸起的基板5通過(guò)基板輸入傳送帶25向基板接收傳送帶26 供給，固定在印刷工作臺(tái)10上的規(guī)定位置上。在固定基板后，將CCD 攝像機(jī)15移動(dòng)到事先編目設(shè)定的基板標(biāo)記位置。然后，CCD攝像機(jī) 15對(duì)設(shè)置在基板5和掩模20上的位置識(shí)別用標(biāo)記(無(wú)圖示)進(jìn)行攝像，傳送到印刷機(jī)控制部30。在控制部?jī)?nèi)的圖像輸入部37，從圖像數(shù) 據(jù)求出掩模20和基板5的位置偏差量，印刷機(jī)控制部30根據(jù)該結(jié)果 使移動(dòng)印刷工作臺(tái)10的XYG工作臺(tái)35動(dòng)作，對(duì)基板5相對(duì)掩模20 的位置進(jìn)行修正、對(duì)位。在對(duì)位動(dòng)作結(jié)束后，CCD攝像機(jī)15進(jìn)行規(guī) 定量的退避動(dòng)作到達(dá)不與印刷工作臺(tái)IO干涉的位置。CCD攝像機(jī)15 結(jié)束退避后，印刷工作臺(tái)10上升，使基板5與掩模20接觸。之后， 通過(guò)使填充組件升降機(jī)構(gòu)動(dòng)作，使設(shè)置在填充/印刷頭2上的篩網(wǎng)狀體 與掩模20面接觸。然后， 一面對(duì)篩網(wǎng)狀體進(jìn)行勵(lì)振一面使之在掩模面 上移動(dòng)，從篩網(wǎng)狀體的開(kāi)口通過(guò)設(shè)置在掩模面上的開(kāi)口向基板的電極 部供給焊球。
填充/印刷頭2向水平方向進(jìn)行一定距離的行程后上升。然后，印 刷工作臺(tái)IO下降，掩模20與基板5分離，填充到掩模20開(kāi)口部的焊 球轉(zhuǎn)印到基板上。然后，印刷了焊球的基板5經(jīng)過(guò)基板輸出傳送帶27 -皮輸送到下一個(gè)工序。
另外，在基板5和掩模20上，相對(duì)地在同一部位設(shè)置兩處以上識(shí) 別對(duì)位用標(biāo)記，通過(guò)具有上下方向兩個(gè)視野的特殊CCD攝像機(jī)15對(duì) 這兩方的各標(biāo)記進(jìn)行識(shí)別，從下方識(shí)別掩才莫20的標(biāo)記，從上方識(shí)別基 板5的標(biāo)記，讀取設(shè)置在規(guī)定位置的所有標(biāo)記的位置坐標(biāo)，對(duì)基板5 相對(duì)于掩模20的偏差量進(jìn)行位置運(yùn)算、修正，使基板5與掩模20進(jìn) 行對(duì)位。
以下就本發(fā)明的印刷頭進(jìn)行說(shuō)明。
圖4是表示填充/印刷頭一面向掩模填充焊球一面在掩;f莫上移動(dòng)時(shí) 的模式圖。圖5表示填充/印刷頭的剖視圖。
如圖4所示，填充/印刷頭2具有用于固定載置焊球的篩網(wǎng)狀體 45的篩網(wǎng)狀體固定件3a;向篩網(wǎng)狀體45施加垂直或水平振動(dòng)的勵(lì)振 裝置47;以及可將供給到絲網(wǎng)面上而未被填充的焊球一點(diǎn)不留地刮掉 的刮板3。另外，在圖4中形成了篩網(wǎng)狀體安裝在刮板3上的構(gòu)成， 但也可如圖5所示，形成篩網(wǎng)狀體安裝在篩網(wǎng)狀體固定件3a上、刮板 3設(shè)置在其外側(cè)的構(gòu)成。另外，也可以形成將刷子設(shè)置在篩網(wǎng)狀體固定件3a上而省略刮板3的構(gòu)成。篩網(wǎng)狀體45是由具有網(wǎng)眼狀的開(kāi)口 46或連續(xù)的圓形、橢圓形、長(zhǎng)方形或狹縫等開(kāi)口 46的極薄的金屬板 形成的。另外，網(wǎng)眼狀的開(kāi)口 46可通過(guò)電鑄法等在金屬板上一體成型 地形成。通過(guò)勵(lì)振裝置47使篩網(wǎng)狀體45向垂直或水平方向或者向合 成兩者的方向(箭頭42的方向)振動(dòng)，可使設(shè)置在篩網(wǎng)狀體45上部 的焊球48彼此的密合力降低/擴(kuò)散，并可使旋轉(zhuǎn)力作用于焊球。通過(guò) 在該焊球48上產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力，焊球48產(chǎn)生豎直方向向下分量的力。 通過(guò)該向下的力，可將焊球48通過(guò)篩網(wǎng)狀體45的開(kāi)口 46填充到掩模 20的規(guī)定開(kāi)口位置。即，在勵(lì)振篩網(wǎng)狀體45的同時(shí)，填充/印刷頭2 在掩模20面上向水平方向移動(dòng)，從而將焊球48連續(xù)地填充/印刷到基 板5面上的電極部5p。
如圖5所示，填充/印刷頭2通過(guò)篩網(wǎng)狀體45形成焊球收納裝置， 可以密閉狀態(tài)保持印刷所需的焊球48的量。填充/印刷頭2在印刷動(dòng) 作中使收納印刷球48的篩網(wǎng)狀體45與相對(duì)的刮板3連接振動(dòng)。即， 設(shè)置對(duì)篩網(wǎng)狀體固定件3a和刮板3進(jìn)行勵(lì)振的勵(lì)振裝置47，使刮板3 和篩網(wǎng)狀體45同步振動(dòng)。
圖6是具有連接振動(dòng)作用的篩網(wǎng)結(jié)構(gòu)圖。如上所述，篩網(wǎng)狀體45 由極薄的金屬板構(gòu)成，在其底面設(shè)置網(wǎng)眼狀等的開(kāi)口 46。并且，其兩 端部順著'歸網(wǎng)狀體固定件3a的傾斜彎曲，彎曲部安裝在篩網(wǎng)狀體固定 件3a的面上。由于篩網(wǎng)狀體45可容易地伸縮變形，因此，在利用其 形狀特性使焊球直徑>開(kāi)口尺寸+伸縮變形尺寸的情況下，焊球48不 能通過(guò)，可保持焊球48。相反，在使焊球直徑<開(kāi)口尺寸+伸縮變形尺 寸的情況下，可確保焊球48可通過(guò)的間隙，可填充焊球?？赏ㄟ^(guò)對(duì)篩 網(wǎng)狀體45進(jìn)行勵(lì)振或利用磁力等外力使該篩網(wǎng)狀體45伸縮。
圖7表示由通過(guò)篩網(wǎng)狀體45(無(wú)圖示)的填充/印刷頭進(jìn)行的焊球 的填充/印刷機(jī)構(gòu)的說(shuō)明圖。在圖中，篩網(wǎng)狀體固定件3a的操作角度e 設(shè)定為大約60度。 一面利用無(wú)圖示的勵(lì)振裝置47向傾斜方向(操作 角方向)對(duì)篩網(wǎng)狀體固定件3a進(jìn)行勵(lì)振一面使該填充/印刷頭2向箭 頭41方向移動(dòng)。該振動(dòng)通過(guò)篩網(wǎng)狀體固定件3a傳遞到篩網(wǎng)狀體45。當(dāng)該振動(dòng)傳遞到收納于篩網(wǎng)狀體45底面的焊球48時(shí)，在焊球48上產(chǎn) 生箭頭41r方向的旋轉(zhuǎn)力。通過(guò)該旋轉(zhuǎn)，在焊球48上產(chǎn)生箭頭41方 向的力(水平方向)和箭頭41a方向(垂直方向)的力。即，通過(guò)旋 轉(zhuǎn)力在焊球48上產(chǎn)生向下的力。在該狀態(tài)下，篩網(wǎng)狀體45反復(fù)伸縮， 當(dāng)篩網(wǎng)狀體45成為伸長(zhǎng)的狀態(tài)時(shí)，設(shè)置在其底面部的開(kāi)口部的開(kāi)口張 大，焊球從該處落到掩模面上，進(jìn)行移動(dòng)。落到掩模的開(kāi)口部的焊球 被篩網(wǎng)狀體的彎曲角部或刮板壓入掩模開(kāi)口部。落到掩模面上的開(kāi)口 部以外的焊球被篩網(wǎng)狀體4 5的彎曲角部或刮板3等刮掉。
另外，在上述的說(shuō)明中就設(shè)置刮板來(lái)刮掉殘留在掩模面上的焊球 的情況進(jìn)行了說(shuō)明，也可以不設(shè)置刮板，而在篩網(wǎng)狀體固定件3a的下 部、與掩模面接觸的部分設(shè)置刷子，利用刷子來(lái)掃掉焊球。并且，在 上述的說(shuō)明中，形成了在刷子的本體部分設(shè)置篩網(wǎng)狀體的構(gòu)成，但也 可以與篩網(wǎng)狀體分開(kāi)地安裝刮板或刷子。在這種情況下，需要對(duì)篩網(wǎng)
圖8表示將焊球填充到本發(fā)明;吏用的掩模開(kāi)口部的狀況的一個(gè)示 例。并且，圖9表示設(shè)置在掩模下部的樹(shù)脂層部的吸引流路的設(shè)置。 圖IO是掩模開(kāi)口部的放大圖。
如圖8所示，掩模20形成為在由磁性材料構(gòu)成的金屬層20s的下 面設(shè)置樹(shù)脂層20n的雙層結(jié)構(gòu)的掩模形狀。另外，20n是為了具有密 合性/柔軟性而形成的樹(shù)脂層，但考慮到耐久性，也可以通過(guò)用鎳等薄 的金屬形成20n來(lái)實(shí)現(xiàn)。向電極焊盤5p上部供給用于增加焊球的粘 合性的焊劑5f (糊劑)。并且，在印刷工作臺(tái)10的基板支撐面?zhèn)龋?以與印刷工作臺(tái)10面成為相同的面的方式固定多個(gè)磁鐵墊片10b。利 用該磁鐵墊片10b的磁力吸引掩模的金屬層20s，增加掩模20與基板 5的各個(gè)面的密合性。
并且，在本實(shí)施例中，如圖9所示，在金屬層20s下部的樹(shù)脂層 20n上，呈大致棋盤的格子形狀地設(shè)置著用于從設(shè)置在掩模面上的開(kāi) 口部吸引氣流的槽。該槽作為將掩模設(shè)置在基板上時(shí)排出空氣的排氣 流路52。另外，排氣流路52連接排氣槽51,該排氣槽51由圍住電極群設(shè)置的槽構(gòu)成。另外，設(shè)置用于吸引空氣的泵(未圖示)，設(shè)置連
接該泵和排氣流路52的管道。另外，在上述的說(shuō)明中，形成了利用泵 經(jīng)過(guò)排氣流路52從掩模開(kāi)口部吸引空氣的構(gòu)成，也可以通過(guò)在印刷/ 填充頭側(cè)設(shè)置向掩模面噴射空氣的加壓空氣供給裝置，在對(duì)焊球印刷 后向掩模面噴射壓縮空氣，從掩模開(kāi)口部向電極焊盤部壓入焊球。在 這種情況下，通過(guò)形成在構(gòu)成掩模的樹(shù)脂層上設(shè)置排氣流路而使空氣 從掩模周邊排出的構(gòu)成，也可容易地向掩模開(kāi)口部供給焊球。
圖10所示，與掩模20的金屬層20s側(cè)的開(kāi)口相比，樹(shù)脂層20n 側(cè)的開(kāi)口形成得更大。這樣，通過(guò)在掩模與基板的接觸側(cè)設(shè)置樹(shù)脂層， 在增加掩模相對(duì)基板的密合性的同時(shí)，可防止損壞基板，能切實(shí)地向 基板的電極部供給焊球。掩模的開(kāi)口間隙(間距)為L(zhǎng)、金屬層20s 側(cè)的開(kāi)口直徑為Rs、樹(shù)脂層20n側(cè)的開(kāi)口直徑為Rr (-l.lRs )、排 氣槽52的寬度為Rl (大約為0.4Rr)。掩模的開(kāi)口直徑由所供給的 焊球的直徑來(lái)決定。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，可一次低成本高速地形成焊接凸起的高 度精度穩(wěn)定的大量的焊接凸起。并且，也可使裝置成為簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)， 降低設(shè)備的成本。
權(quán)利要求
1.一種凸起的形成方法，是利用焊球來(lái)形成凸起的方法，采用印刷裝置，該裝置具有絲網(wǎng)、絲網(wǎng)固定裝置、基板固定裝置、識(shí)別定位裝置、密合裝置、印刷機(jī)構(gòu)、平動(dòng)裝置以及轉(zhuǎn)印裝置，絲網(wǎng)具有以規(guī)定的圖案填充/轉(zhuǎn)印焊球的開(kāi)口；絲網(wǎng)固定裝置載置/固定絲網(wǎng)；基板固定裝置搬入/固定要形成凸起的基板，并在完成規(guī)定的印刷/轉(zhuǎn)印后搬出；識(shí)別定位裝置對(duì)絲網(wǎng)和基板的各標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像處理、進(jìn)行絲網(wǎng)和基板的對(duì)位；密合裝置用于使基板與絲網(wǎng)密合；印刷機(jī)構(gòu)用于通過(guò)絲網(wǎng)將焊球填充到規(guī)定的位置；平動(dòng)裝置使印刷機(jī)構(gòu)相對(duì)絲網(wǎng)面平行移動(dòng)；轉(zhuǎn)印裝置將填充到絲網(wǎng)開(kāi)口的焊球固定在基板上，并通過(guò)印版分離進(jìn)行轉(zhuǎn)印，印刷機(jī)構(gòu)具有載置焊球的篩網(wǎng)狀體和使篩網(wǎng)狀體垂直或水平振動(dòng)的振動(dòng)裝置。
2. 如權(quán)利要求1所述的凸起形成方法，其特征在于，在所述篩網(wǎng) 狀體上設(shè)置可以密閉狀態(tài)保持印刷所需量的焊球的焊球收納裝置，在 印刷動(dòng)作中，使收納焊球的所述篩網(wǎng)狀體振動(dòng)。
3. 如權(quán)利要求1所述的印刷裝置以及凸起形成方法，其特征在于， 所述印刷機(jī)構(gòu)具有與篩網(wǎng)狀體并設(shè)或獨(dú)立設(shè)置的刷狀體或者刮板機(jī) 構(gòu)，在印刷動(dòng)作中使刷狀體或刮板機(jī)構(gòu)振動(dòng)。
4. 如權(quán)利要求1所述的凸起形成方法，其特征在于，具有由樹(shù) 脂材料在所述絲網(wǎng)背面的圖案開(kāi)口部周圍一體成型層差且總厚度為 焊球直徑的1倍至1.2倍以下的絲網(wǎng)、焊球直徑的1/2以下的所述層 差、在所述絲網(wǎng)的層差部設(shè)置狹縫而在與基板密合時(shí)形成的吸引路 徑、以及絲網(wǎng)吸附裝置。
5. 如權(quán)利要求1所述的凸起形成方法，其特征在于，所述印刷機(jī) 構(gòu)具有在進(jìn)行焊球填充動(dòng)作后利用所述絲網(wǎng)的柔軟性、從絲網(wǎng)的上部 向下加壓來(lái)施加壓力的焊球加壓裝置。
6. —種絲網(wǎng)印刷裝置，通過(guò)掩模、利用印刷機(jī)構(gòu)向形成于基板上 的電極供給焊球、進(jìn)行印刷， 其特征在于，所述印刷機(jī)構(gòu)具有篩網(wǎng)狀體和勵(lì)振裝置，篩網(wǎng)狀體具有帶有多個(gè)開(kāi)口部的金屬面；勵(lì)振裝置向所述篩網(wǎng)狀體施加振動(dòng)， 通過(guò)所述勵(lì)振裝置對(duì)篩網(wǎng)狀體進(jìn)行勵(lì)振而擴(kuò)大所述開(kāi)口 ，將收納于所 述篩網(wǎng)狀體上的焊球通過(guò)所述掩模向基板上的電極供給。
7. —種絲網(wǎng)印刷裝置，通過(guò)掩模、利用印刷機(jī)構(gòu)向形成于基板上 的電極供給焊球、進(jìn)行印刷，其特征在于，所述印刷機(jī)構(gòu)具有歸網(wǎng)狀體、勵(lì)振裝置以及基板保 持裝置，篩網(wǎng)狀體具有帶有多個(gè)開(kāi)口部的金屬面，勵(lì)振裝置向所述篩 網(wǎng)狀體施加振動(dòng)，基板保持裝置支撐固定基板，磁鐵內(nèi)置于所述基板 保持裝置，印刷機(jī)構(gòu)在掩模面上平行移動(dòng)時(shí)，使磁力通過(guò)基板對(duì)所述 金屬掩模和金屬篩網(wǎng)作用，擴(kuò)大篩網(wǎng)開(kāi)口，將收納于所述篩網(wǎng)狀體上 的焊球通過(guò)所述掩模供給到基板上的電極。
8. 如權(quán)利要求6或7所述的絲網(wǎng)印刷裝置，其特征在于，在所述 填充組件上與所述篩網(wǎng)狀體并設(shè)或獨(dú)立地設(shè)置刷狀體或刮板機(jī)構(gòu)，并 且具有在印刷動(dòng)作中使刷狀體振動(dòng)的勵(lì)振裝置。
全文摘要
在形成凸起電極時(shí)，使掩模擺動(dòng)或振動(dòng)而將焊球填充到規(guī)定的開(kāi)口的方法具有以下問(wèn)題，即，隨著焊球的粒子直徑的縮小，產(chǎn)生粒子間的密合現(xiàn)象，在掩模的孔徑不到粒子直徑的1.3倍的情況下，粒子間的密合力大于粒子的自重，不能填充到開(kāi)口部中。同樣，在利用刮刀或刷子的并進(jìn)運(yùn)動(dòng)等進(jìn)行的填充中也存在同樣的問(wèn)題。本發(fā)明開(kāi)發(fā)了焊球填充用印刷裝置，以印刷法使用的低價(jià)格、高精度的絲網(wǎng)印刷技術(shù)為基礎(chǔ)，可高速/高精度地填充/印刷凸起高度穩(wěn)定的焊球微粒。并且，實(shí)現(xiàn)了為了高效率地使用焊球微粒而一面在密閉狀態(tài)下保持焊球一面進(jìn)行填充/印刷。
文檔編號(hào)H01L21/60GK101207052SQ20071019946
公開(kāi)日2008年6月25日 申請(qǐng)日期2007年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月15日
發(fā)明者向井范昭, 本間真, 阿部豬佐雄 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)