專利名稱：半導(dǎo)體設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及能夠穩(wěn)定提供冷卻水的半導(dǎo)體設(shè)備。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備在進(jìn)行半導(dǎo)體工藝時，通常需要對其中的部件(比如工藝時的工藝腔室、加熱單元等)進(jìn)行冷卻，以保證工藝的順利進(jìn)行。所述冷卻可以利用氣體(比如氮?dú)饣蚨栊詺怏w)或冷卻水進(jìn)行。所述冷卻水通常為純水，所述冷卻水通常由放置半導(dǎo)體設(shè)備的廠務(wù)(facility)端統(tǒng)一提供。請結(jié)合圖1，圖I為現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。所述半導(dǎo)體設(shè)備包括冷卻水提供單元(Process cooling water, PCff單元)100,用于提供冷卻水,深冷單元200,用于對所述冷卻水提供單元100提供的冷卻水進(jìn)行進(jìn)一步冷卻，經(jīng)過管路300將進(jìn)一步冷卻后的冷卻水提供至被冷卻單元300，對所述被冷卻單元300進(jìn)行冷卻。 在實際中，發(fā)現(xiàn)所述管路300的水壓不穩(wěn)定，需要相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行維護(hù)處理，不僅耗費(fèi)人力，而且還影響了半導(dǎo)體設(shè)備的使用率(uptime)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備，減少了因為冷卻水的水壓不穩(wěn)定引起的維護(hù)處理，節(jié)約了人力，也提高了半導(dǎo)體設(shè)備的利用率。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括冷卻水提供單元，用于提供冷卻水；泵單元，用于將所述冷卻水提供單元的冷卻水抽取，并且提供至被冷卻單元，所述泵單元與被冷卻單元之間的管路上設(shè)置有水壓監(jiān)控單元，用于對所述泵單元與被冷卻單元之間的管路的水壓進(jìn)行檢測，當(dāng)所述水壓超過額定水壓的時間超過預(yù)定時間時，發(fā)出報警信號。可選地，所述預(yù)定時間范圍為2 10秒可選地，所述預(yù)定時間范圍為2 4秒?？蛇x地，所述水壓監(jiān)控單元包括水壓感應(yīng)器，用于測試所述泵單元與被冷卻單元之間的管路的水壓；延時控制單元，用于基于所述水壓感應(yīng)器測試的水壓，當(dāng)所述水壓超過所述額定水壓時，且持續(xù)時間超過預(yù)定時間時，產(chǎn)生報警信號；報警單元，用于顯示所述報警信號。可選地，所述半導(dǎo)體設(shè)備為Axcelis GPS設(shè)備?？蛇x地，所述泵單元抽取冷卻水的速度為可調(diào)節(jié)，以調(diào)節(jié)所述管路的水壓。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點本發(fā)明提供的半導(dǎo)體設(shè)備在冷卻水提供單元與被冷卻單元提供泵單元，所述泵單元從冷卻水提供單元抽取冷卻水，并且將冷卻水提供至被冷卻單元，從而保證了冷卻水的壓力穩(wěn)定，減少了因為冷卻水的水壓不穩(wěn)定引起的維護(hù)處理，節(jié)約了人力，也提高了半導(dǎo)體設(shè)備的利用率；進(jìn)一步優(yōu)化地，在所述冷卻水提供單元與被冷去單元之間的管道300上的壓力超過額定水壓的持續(xù)時間在2 4秒時，報警單元能夠及時發(fā)出報警信號，提醒相關(guān)操作人員能夠?qū)Π雽?dǎo)體設(shè)備進(jìn)行檢查、維護(hù)和保養(yǎng)，另一方面，也防止所述管道上的水壓瞬時波動引起報警單元誤操作。


圖I是現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明一個實施例的半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備由于冷卻水不穩(wěn)定，頻繁報警，不僅需要耗費(fèi)人力對設(shè)備進(jìn)行檢查、維護(hù)和保養(yǎng)工作，而且降低了設(shè)備的利用率。為了解決上述問題，本發(fā)明的發(fā)明人提出一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括冷卻水提供單元，用于提供冷卻水；泵單元，用于將所述冷卻水提供單元的冷卻水抽取，并且提供至被冷卻單元，所述泵單元與被冷卻單元之間的管路上設(shè)置有水壓監(jiān)控單元，用于對所述泵單元與被冷卻單元之間的管路的水壓進(jìn)行檢測，當(dāng)所述水壓超過額定水壓的時間超過預(yù)定時間時，發(fā)出報警信號。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體設(shè)備在冷卻水提供單元與被冷卻單元提供泵單元，所述泵單元從冷卻水提供單元抽取冷卻水，并且將冷卻水提供至被冷卻單元，從而保證了冷卻水的壓力穩(wěn)定，減少了因為冷卻水的水壓不穩(wěn)定引起的維護(hù)處理，節(jié)約了人力，也提高了半導(dǎo)體設(shè)備的利用率。作為一個實施例，本發(fā)明所述半導(dǎo)體設(shè)備可以為各種需要提供冷卻水的設(shè)備。本發(fā)明以所述半導(dǎo)體設(shè)備為Axcelis GPS設(shè)備為例，對所述半導(dǎo)體設(shè)備的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。具體地，請結(jié)合圖2，圖2是本發(fā)明一個實施例的半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。冷卻水提供單元100通常為半導(dǎo)體設(shè)備所在的工廠的冷卻水集中供應(yīng)端，用于向半導(dǎo)體設(shè)備提供冷卻水。冷卻水提供單元100通過管路與泵單元200相連接。所述泵單元200用于從冷卻水提供單元100中抽取冷卻水，并且通過管路300向被冷卻單元400提供冷卻水。所述泵單元200抽取冷卻水的速度為可調(diào)節(jié)，以調(diào)節(jié)所述管路300上的水壓的大小。在所述泵單元200與被冷卻單元400之間的管路300上設(shè)置有水壓監(jiān)控單元，所述水壓監(jiān)控單元包括水壓感應(yīng)器500，用于測試所述泵單元300與被冷卻單元400之間的管路300上的水壓；延時控制單元600，用于基于所述水壓感應(yīng)器500測試的水壓，當(dāng)所述水壓超過所述額定水壓時，且持續(xù)時間超過預(yù)定時間時，產(chǎn)生報警信號；報警單元700，用于顯示所述報警信號。本發(fā)明所述的預(yù)定時間范圍為2 10秒，作為優(yōu)選的實施例，所述預(yù)定時間范圍為2 4秒，這樣，一方面，在所述管道300上的壓力超過額定水壓的持續(xù)時間不會過長，保證報警單元700能夠及時發(fā)出報警信號，提醒相關(guān)操作人員能夠?qū)Π雽?dǎo)體設(shè)備進(jìn)行檢查、維護(hù)和保養(yǎng)，另一方面，也防止管道300上的水壓瞬時波動引起報警單元700誤操作。綜上，本發(fā)明提供的半導(dǎo)體設(shè)備在冷卻水提供單元與被冷卻單元提供泵單元，所述泵單元從冷卻水提供單元抽取冷卻水，并且將冷卻水提供至被冷卻單元，從而保證了冷卻水的壓力穩(wěn)定，減少了因為冷卻水的水壓不穩(wěn)定引起的維護(hù)處理，節(jié)約了人力，也提高了半導(dǎo)體設(shè)備的利用率；進(jìn)一步優(yōu)化地，在所述冷卻水提供單元與被冷去單元之間的管道300上的壓力超過額定水壓的持續(xù)時間在2 4秒時，報警單元能夠及時發(fā)出報警信號，提醒相關(guān)操作人員能夠?qū)Π雽?dǎo)體設(shè)備進(jìn)行檢查、維護(hù)和保養(yǎng)，另一方面，也防止所述管道上的水壓瞬時波動引起報警單元誤操作。
因此，上述較佳實施例僅為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，包括 冷卻水提供単元，用于提供冷卻水； 泵單元，用于將所述冷卻水提供単元的冷卻水抽取，并且提供至被冷卻単元，所述泵單元與被冷卻単元之間的管路上設(shè)置有水壓監(jiān)控単元，用于對所述泵單元與被冷卻単元之間的管路的水壓進(jìn)行檢測，當(dāng)所述水壓超過額定水壓的時間超過預(yù)定時間時，發(fā)出報警信號。
2.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述預(yù)定時間范圍為2 10秒
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述預(yù)定時間范圍為2 4秒。
4.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述水壓監(jiān)控單元包括水壓感應(yīng)器，用于測試所述泵單元與被冷卻単元之間的管路的水壓； 延時控制単元，用于基于所述水壓感應(yīng)器測試的水壓，當(dāng)所述水壓超過所述額定水壓時，且持續(xù)時間超過預(yù)定時間時，產(chǎn)生報警信號； 報警單元，用于顯示所述報警信號。
5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述延時控制單元為2秒時間繼電器，其預(yù)定時間為2秒。
6.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備為AxcelisGPS設(shè)備。
7.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述泵單元抽取冷卻水的速度為可調(diào)節(jié)，以調(diào)節(jié)所述管路的水壓。
全文摘要
本發(fā)明解決的問題是提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括冷卻水提供單元，用于提供冷卻水；泵單元，用于將所述冷卻水提供單元的冷卻水抽取，并且提供至被冷卻單元，所述泵單元與被冷卻單元之間的管路上設(shè)置有水壓監(jiān)控單元，用于對所述泵單元與被冷卻單元之間的管路的水壓進(jìn)行檢測，當(dāng)所述水壓超過額定水壓的時間超過預(yù)定時間時，發(fā)出報警信號。本發(fā)明減少了因為冷卻水的水壓不穩(wěn)定引起的維護(hù)處理，節(jié)約了人力，也提高了半導(dǎo)體設(shè)備的利用率。
文檔編號H01L21/67GK102856235SQ20121031309
公開日2013年1月2日 申請日期2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月29日
發(fā)明者巴文林 申請人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司