本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)技術領域，具體涉及一種硅片烘烤支架。

背景技術：

硅片在清洗完后需要對其表面進行烘干作業(yè)，由于硅片厚度較薄，而且切割尺寸大小不一，現(xiàn)有烤箱或者各種烘烤裝置沒有專門針對硅片進行設計的支架，使得硅片難以固定在烤箱或者烘烤裝置中。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型所要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有的技術缺陷，提供一種硅片烘烤支架。

本實用新型所要解決的技術問題采用以下的技術方案來實現(xiàn)：

一種硅片烘烤支架，包括側板，支撐桿，定位桿；所述兩側板相向布置，在側板靠近底端對稱設置一對支撐孔，一對支撐桿兩端分別插入兩側板的支撐孔中，在支撐桿上設置卡口，卡口向內(nèi)凹陷并等距離間隔分布，待烤硅片側邊直立置于該卡口上，在支撐桿上設置10-25個卡口，支撐孔上方偏離側板中心位置兩邊分別設置定位孔，可以設置3-5行，4-6列定位孔，一對定位桿兩端分別插入兩邊的對稱定位孔中，從而通過定位桿將硅片位置固定，防止硅片尺寸過大從支撐桿上滑離，在定位桿上設置與支撐桿上的卡口對應的凹槽，通過所述凹槽從兩邊將硅片卡住。

進一步在支撐孔正上方設置把手，通過該把手方便的提攜該烘烤支架。

本實用新型的有益效果為：通過在側板上分別設置支撐孔、定位孔，支撐桿、定位桿穿過該支撐孔、定位孔，從而將待烤硅片固定在該支架上，可以依據(jù)硅片大小靈活調(diào)整定位桿的位置，以適應不同尺寸硅片。

附圖說明

圖1為本實用新型俯視圖；

圖2為本實用新型主視圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

如圖1、2所示，一種硅片烘烤支架，包括側板1，支撐桿2，定位桿4；兩側板1相向布置，在側板1靠近底端對稱設置一對支撐孔7，一對支撐桿2兩端分別插入兩側板1的支撐孔7中，在支撐桿2上設置卡口3，卡口3向內(nèi)凹陷并等距離間隔分布，待烤硅片側邊直立置于該卡口3上，在支撐桿2上設置10-25個卡口3，支撐孔7上方偏離側板1中心位置兩邊分別設置定位孔8，可以設置3-5行，4-6列定位孔8，一對定位桿4兩端分別插入兩邊的對稱定位孔8中，從而通過定位桿4將硅片位置固定，防止硅片尺寸過大從支撐桿2上滑離，在定位桿4上設置與支撐桿2上的卡口3對應的凹槽5，通過凹槽5從兩邊將硅片卡住。

進一步在支撐孔7正上方設置把手7，通過把手6方便的提攜該烘烤支架。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。