本實(shí)用新型涉及硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種硅片吸取裝置。

背景技術(shù)：

由于太陽光照射到太陽能電池的硅片上，其中一部分太陽光會(huì)被反射，即使對(duì)將硅表面設(shè)計(jì)成絨面，雖然入射光會(huì)產(chǎn)生多次反射可以增加光的吸收率，但是，還是會(huì)有一部分的太陽光會(huì)被反射，為了減少太陽光的反射損失，通常所采取的辦法是在太陽能電池的硅片表面覆蓋一層減反射膜，這層薄膜可以減少太陽光的反射率，增加光電轉(zhuǎn)換效率，在晶體硅表面淀積減反射膜技術(shù)中，氮化硅膜具有高絕緣性、化學(xué)穩(wěn)定性好、致密性好、硬度高等特點(diǎn)，同時(shí)具有良好的掩蔽金屬和水離子沉積的能力，從而被廣泛采用。

在晶體硅太陽能電池制造過程中，制備氮化硅膜通常采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法，簡稱為PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，PECVD是利用強(qiáng)電場使所需的氣體源分子電離產(chǎn)生等離子體，等離子體中含有很多活性很高的化學(xué)基團(tuán)，這些基團(tuán)經(jīng)過經(jīng)一系列化學(xué)和等離子體反應(yīng)，在硅片表面形成固態(tài)薄膜。

目前，在晶體硅太陽能電池制造過程中，用于制備氮化硅膜的裝置主要包括設(shè)置有爐門的真空沉積室，真空沉積室內(nèi)設(shè)有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉積室上設(shè)有進(jìn)氣口與排氣口，所述進(jìn)氣口上連接有用于通入制程氣體的進(jìn)氣管，所述排氣口上連接有排放管，排放管末端連接有真空泵，真空泵的進(jìn)口與排放管的出口相連，真空泵的出口連接有尾排管，其中，在將硅片放置于石墨舟上或?qū)⒐杵瑥氖蹆?nèi)取出時(shí)通過人工實(shí)現(xiàn)硅片的取放，這是一種單調(diào)、重復(fù)的體力勞動(dòng)，效率非常低，且硅片與人的手接觸會(huì)對(duì)硅片造成污染。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種工作效率較高且能夠減少硅片受污染幾率的硅片吸取裝置。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：該硅片吸取裝置，包括底座，所述底座的一側(cè)表面固定有多個(gè)卡板，多個(gè)卡板依次平行設(shè)置，每個(gè)卡板上設(shè)置有多個(gè)通孔，每個(gè)通孔的邊緣設(shè)置有多個(gè)固定孔，每個(gè)固定孔內(nèi)設(shè)置有一個(gè)固定板，所述固定板的厚度小于卡板的厚度，每個(gè)通孔中心設(shè)置有吸盤，吸盤上連接有多個(gè)彈簧，多個(gè)彈簧與多個(gè)固定孔一一對(duì)應(yīng)，彈簧的一端固定在吸盤上，另一端固定在固定板上，所述卡板的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)線槽，導(dǎo)線槽的數(shù)量與通孔的數(shù)量相同，每個(gè)導(dǎo)線槽與一個(gè)通孔連通，導(dǎo)線槽內(nèi)設(shè)置有壓縮空氣管，壓縮空氣管的一端與空氣壓縮機(jī)相連，另一端與吸盤相連，所述吸盤、多個(gè)彈簧、每個(gè)固定孔內(nèi)的固定板、每個(gè)導(dǎo)線槽內(nèi)的壓縮空氣管均位于卡板的兩個(gè)表面組成的間隙空間內(nèi)。

進(jìn)一步的是，每個(gè)卡板上通孔的數(shù)量為三個(gè)，且三個(gè)通孔的中心組成一個(gè)等腰三角形。

進(jìn)一步的是，所述底座上設(shè)置有把手。

進(jìn)一步的是，所述壓縮空氣管上設(shè)置有電磁閥，所述把手上設(shè)置有用于控制電磁閥開閉的開關(guān)，所述開關(guān)與電磁閥相連接。

本實(shí)用新型的有益效果是：該硅片吸取裝置在工作時(shí)，操作人員握住底座，然后將卡板插入放置硅片的花籃內(nèi)，使每個(gè)卡板均插入花籃內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，接著將卡板從花籃內(nèi)取出并插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開，硅片落入石墨舟內(nèi)，重復(fù)上述過程便可以將硅片依次放入石墨舟內(nèi)，在需要將硅片從石墨舟取出時(shí)，首先將卡板插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，然后將卡板從石墨舟內(nèi)取出并插入花籃內(nèi)，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開，硅片落入花籃內(nèi)，重復(fù)上述過程便可以將硅片依次取出石墨舟并放入花籃內(nèi)，整個(gè)過程操作方便，而且每次取出和放入的硅片數(shù)量較多，大大提高了工作效率，同時(shí)，整個(gè)過程中，減少了硅片與人的接觸，降低了硅片被污染的幾率。

附圖說明

圖1本實(shí)用新型所述硅片吸取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型所述卡板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)記說明：底座 1、卡板 2、固定孔 3、固定板 4、吸盤 5、彈簧 6、導(dǎo)線槽 7、壓縮空氣管 8、把手 9、電磁閥 10、開關(guān) 11。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

如圖1至2所示，該硅片吸取裝置，包括底座1，所述底座1的一側(cè)表面固定有多個(gè)卡板2，多個(gè)卡板2依次平行設(shè)置，每個(gè)卡板2上設(shè)置有多個(gè)通孔，每個(gè)通孔的邊緣設(shè)置有多個(gè)固定孔3，每個(gè)固定孔3內(nèi)設(shè)置有一個(gè)固定板4，所述固定板4的厚度小于卡板2的厚度，每個(gè)通孔中心設(shè)置有吸盤5，吸盤5上連接有多個(gè)彈簧6，多個(gè)彈簧6與多個(gè)固定孔3一一對(duì)應(yīng)，彈簧6的一端固定在吸盤5上，另一端固定在固定板4上，所述卡板2的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)線槽7，導(dǎo)線槽7的數(shù)量與通孔的數(shù)量相同，每個(gè)導(dǎo)線槽7與一個(gè)通孔連通，導(dǎo)線槽7內(nèi)設(shè)置有壓縮空氣管8，壓縮空氣管8的一端與空氣壓縮機(jī)相連，另一端與吸盤5相連，所述吸盤5、多個(gè)彈簧6、每個(gè)固定孔3內(nèi)的固定板4、每個(gè)導(dǎo)線槽7內(nèi)的壓縮空氣管8均位于卡板2的兩個(gè)表面組成的間隙空間內(nèi)。該硅片吸取裝置在工作時(shí)，操作人員握住底座1，然后將卡板2插入放置硅片的花籃內(nèi)，使每個(gè)卡板2均插入花籃內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤5將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，接著將卡板2從花籃內(nèi)取出并插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤5將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開，硅片落入石墨舟內(nèi)，重復(fù)上述過程便可以將硅片依次放入石墨舟內(nèi)，在需要將硅片從石墨舟取出時(shí)，首先將卡板2插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，然后將卡板2從石墨舟內(nèi)取出并插入花籃內(nèi)，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤5將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開，硅片落入花籃內(nèi)，重復(fù)上述過程便可以將硅片依次取出石墨舟并放入花籃內(nèi)，整個(gè)過程操作方便，而且每次取出和放入的硅片數(shù)量較多，大大提高了工作效率，同時(shí)，整個(gè)過程中，減少了硅片與人的接觸，降低了硅片被污染的幾率。

為了使硅片吸取裝置在移動(dòng)過程中避免發(fā)生硅片掉落，每個(gè)卡板2上通孔的數(shù)量為三個(gè)，且三個(gè)通孔的中心組成一個(gè)等腰三角形，這樣每個(gè)硅片用三個(gè)吸盤5將其吸住，且吸盤5組成一個(gè)等腰三角形，其吸力均勻可以牢牢將硅片吸住，避免發(fā)生硅片掉落。

為了方便抓取底座1，所述底座1上設(shè)置有把手9。

另外，為了方便操作，所述壓縮空氣管8上設(shè)置有電磁閥10，所述把手9上設(shè)置有用于控制電磁閥10開閉的開關(guān)11，所述開關(guān)11與電磁閥10相連接。這樣便可以使空氣壓縮機(jī)一直開啟，只需通過開關(guān)11打開關(guān)閉電磁閥10即可，操作更加方便。