施例,可通過使第二導(dǎo)線140b、第一接觸件150a和150b以及第二接觸件160a電連接來形成單個節(jié)點。因此,在基于在圖1中示出的布局制造的IC 100A中,第二導(dǎo)線140b可被跳過或屏蔽。因此,根據(jù)一些示例實施例的Η形跨接線可被稱為跳躍裝置。
[0053]根據(jù)一些示例實施例,可通過使第二導(dǎo)線140b、第一接觸件150a和150b以及第二接觸件160a電連接來設(shè)計第二導(dǎo)線140b被跳過的單元。因此,第一接觸件150a和150b以及第二接觸件160a可與第二導(dǎo)線140b分離開以減小(或,可選地,消除)當(dāng)形成跨接線時發(fā)生電短路的可能性。
[0054]與標(biāo)準(zhǔn)單元的上述布局有關(guān)的信息可存儲在標(biāo)準(zhǔn)單元庫中。具體地,標(biāo)準(zhǔn)單元庫可包括與多個標(biāo)準(zhǔn)單元有關(guān)的信息,并且存儲在計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)(例如,非暫時性計算機(jī)可讀存儲介質(zhì))中。與包括在標(biāo)準(zhǔn)單元庫中的信息對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)單元是指具有滿足標(biāo)準(zhǔn)的尺寸的1C的單元。例如,標(biāo)準(zhǔn)單元的布局的高度(例如,沿圖1的Y方向的長度)可以是固定的,而標(biāo)準(zhǔn)單元的寬度(例如,沿圖1的X方向的長度)可根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)單元來改變。標(biāo)準(zhǔn)單元可包括用于處理輸入信號的輸入鰭(input fin)和用于輸出輸出信號的輸出鰭(output fin)ο
[0055]IC可為多個標(biāo)準(zhǔn)單元。IC設(shè)計工具可對IC進(jìn)行設(shè)計,S卩,通過使用包括與多個標(biāo)準(zhǔn)單元有關(guān)的信息的標(biāo)準(zhǔn)單元庫來完成1C的布局。1C設(shè)計工具可在包括在標(biāo)準(zhǔn)單元中的引腳(pin)(即,輸入引腳和輸出引腳)上設(shè)置通路,從而引腳與位于在半導(dǎo)體制造工藝中形成標(biāo)準(zhǔn)單元的引腳之后所形成的層上的圖案連接。即,通過在標(biāo)準(zhǔn)單元的引腳中設(shè)置通路,可傳輸標(biāo)準(zhǔn)單元的輸入信號和輸出信號。
[0056]圖2是示出根據(jù)其他示例實施例的IC 100B的一部分的布局。
[0057]參照圖2,IC 100B可包括第一導(dǎo)線140a至第三導(dǎo)線140c、第一左接觸件150a、第一右接觸件150b’以及第二接觸件160a。IC 100B是在圖1中示出的IC 100A的修改的示例實施例。因此,圖1的描述中的至少一些描述也可應(yīng)用于IC 100B,因此,將不再重復(fù)已經(jīng)參照圖1描述的特征和元件。
[0058]根據(jù)一些示例實施例,第一左接觸件150a的沿第一方向的長度(S卩,高度Hla)可與第一右接觸件150b’的長度(即,高度Hlb’)不同。因此,第一左接觸件150a、第一右接觸件150b’和第二接觸件160a可形成L形跨接線。
[0059]根據(jù)一些示例實施例,第一右接觸件150b’的高度Hlb’可大于第一左接觸件150a的高度Hla。根據(jù)其他示例實施例,第一左接觸件150a的高度Hla可大于第一右接觸件150b’的高度Hlb’。第一左接觸件150a的高度Hla和第一右接觸件150b’的高度Hlb’可在各種示例實施例中變化。
[0060]圖3是示出沿圖1的線ΙΙΙ-ΙΙΓ切割的具有圖1的布局的半導(dǎo)體裝置100a的示例的剖視圖。
[0061]參照圖3,半導(dǎo)體裝置100a可包括基板110、第二導(dǎo)線140b、第一接觸件150a和150b以及第二接觸件160a。雖然未示出,但是提供例如電源電壓或地電壓的電壓端子可另外地設(shè)置在第二接觸件160a上。
[0062]基板110可以是包括從例如硅、絕緣體上硅(SOI)、藍(lán)寶石上硅、鍺、硅鍺、砷化鎵中選擇的任何一種的半導(dǎo)體基板。例如,基板110可以是P型基板。另外,雖然未示出,但是基板110可具有用雜質(zhì)摻雜的有源區(qū)。
[0063]第二導(dǎo)線140b可設(shè)置在基板110上。根據(jù)一些示例實施例,第二導(dǎo)線140b可用作柵電極。在這種情況下,柵極絕緣層可另外地設(shè)置在第一導(dǎo)線140b與基板110的有源區(qū)之間。
[0064]第一接觸件150a和150b可設(shè)置在基板110上。因此,第一接觸件150a和150b可在基板110的有源區(qū)中提供例如電源電壓或地電壓。根據(jù)一些示例實施例,第一接觸件150a和150b可分別設(shè)置在第二導(dǎo)線140b的兩側(cè)處。根據(jù)一些不例實施例,第一接觸件150a和150b的上部可與第二導(dǎo)線140b的上部處在同一水平面上。
[0065]第二接觸件160a可設(shè)置在第二導(dǎo)線140b以及第一接觸件150a和150b上,并通過電連接到第二導(dǎo)線140b以及第一接觸件150a和150b而形成單個節(jié)點。
[0066]圖4是不出與圖1的不例實施例基本上相同的IC 100A’的一部分的布局。
[0067]參照圖4,IC 100A’可包括第一導(dǎo)線140a和第三導(dǎo)線140c以及第一接觸件150a和150b。第一接觸件150a和150b可連接到設(shè)置在上部處的單條金屬線。根據(jù)其他示例實施例,IC 100A’可僅包括第一接觸件150a和150b中的一個。
[0068]在圖1中示出的布局中的第一接觸件150a和150b以及第二接觸件160a形成Η形跨接線。因此,當(dāng)實際上制造IC 100Α時,IC 100Α可與對應(yīng)于在圖4中示出的布局的1C100Α’基本上相同。換句話說,由于在圖1中示出的布局中的Η形跨接線,因此可跳過第二導(dǎo)線140b。
[0069]同樣,在圖2中示出的布局中的第一接觸件150a和150b’以及第二接觸件160a可形成L形跨接線。因此,當(dāng)實際上制造IC 100B時,IC 100B可與對應(yīng)于在圖4中示出的布局的IC 100A’基本上相同。換句話說,由于在圖2中示出的布局中的L形跨接線,因此可跳過第二導(dǎo)線140b。
[0070]圖5是示出根據(jù)其他示例實施例的IC 100C的一部分的布局。
[0071]參照圖5,IC 100C可包括通過用粗線指示的單元邊界限定的至少一個單元。所述單元可包括第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h、第一接觸件150c和150d以及第二接觸件
160bo
[0072]第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h可沿第一方向(例如,Y方向)延伸。另外,第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h可沿與第一方向基本上垂直的第二方向(例如,X方向)彼此平行地設(shè)置。第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h可由具有導(dǎo)電性的材料例如多晶硅、金屬和/或金屬合金形成。
[0073]根據(jù)一些示例實施例,第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h可與柵電極對應(yīng)。然而,示例實施例不限于此。例如,第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h可為導(dǎo)電軌跡。另外,雖然圖5示出了的是IC 100C包括第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h,但是示例實施例不限于此,例如,IC 100C可包括沿第一方向延伸并且沿第二方向彼此平行的五條或更多條導(dǎo)線。
[0074]第一接觸件150c和150d可沿第一方向延伸。另外,第一接觸件150c和150d可沿與第一方向基本上垂直的第二方向彼此平行地設(shè)置。第一接觸件150c和150d可由具有導(dǎo)電性的材料例如多晶娃、金屬和/或金屬合金形成。因此,第一接觸件150c和150d可將電源電壓或地電壓提供到第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h之間的下區(qū)域。
[0075]根據(jù)一些示例實施例,第一接觸件150c和150d可包括設(shè)置在第二導(dǎo)線140f的左側(cè)處的第一左接觸件150c和設(shè)置在第三導(dǎo)線140g的右側(cè)處的第一右接觸件150d。換句話說,第一左接觸件150c可設(shè)置在第一導(dǎo)線140e與第二導(dǎo)線140f之間,第一右接觸件150d可設(shè)置在第三導(dǎo)線140g與第四導(dǎo)線140h之間。
[0076]根據(jù)一些示例實施例,第一左接觸件150c的沿第二方向的長度(S卩,寬度W2a)可小于第一導(dǎo)線140e與第二導(dǎo)線140f之間的間隔S2。同樣,第一右接觸件150d的沿第二方向的長度(即,寬度W2b)可小于第三導(dǎo)線140g與第四導(dǎo)線140h之間的間隔S2。根據(jù)一些示例實施例,第一左接觸件150c的寬度W2a可與第一右接觸件150d的寬度W2b基本上相同。然而,示例實施例不限于此。例如,根據(jù)其他示例實施例,第一左接觸件150c的寬度W2a可與第一右接觸件150d的寬度W2b不同。
[0077]第二接觸件160b可設(shè)置在第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g以及第一接觸件150c和150d上,并且通過電連接到第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g以及第一接觸件150c和150d而形成單個節(jié)點。另外,第二接觸件160b可沿第二方向延伸,因此,第二接觸件160b可沿與第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g以及第一接觸件150c和150d水平地交叉的方向設(shè)置。第二接觸件160b可由具有導(dǎo)電性的材料例如多晶硅、金屬和/或金屬合金形成。因此,第二接觸件160b可將例如相同的電源電壓或相同的地電壓提供到第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g以及第一接觸件150c和150d。
[0078]根據(jù)一些示例實施例,第二接觸件160b的沿第二方向的長度(S卩,寬度W2c)可大于第一左接觸件150c與第一右接觸件150d之間的距離D2a并且小于第一導(dǎo)線140e與第四導(dǎo)線140h之間的距離D2b。因此,第二接觸件160b可電連接到第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g、第一左接觸件150c以及第一右接觸件150d,而不連接到第一導(dǎo)線140e和第四導(dǎo)線 140ho
[0079]根據(jù)一些示例實施例,第一左接觸件150c的沿第一方向的長度(S卩,高度H2a)可與第一右接觸件150c的沿第一方向的長度(S卩,高度H2b)基本上相同。因此,第一左接觸件150c、第一右接觸件150d以及第二接觸件160b可形成Η形跨接線??缃泳€是用于連接IC 100C中的兩點或兩個端子的具有相對短的長度的導(dǎo)線。
[0080]雖然未示出,但根據(jù)其他示例實施例,第一左接觸件150c的沿第一方向的長度(即,高度H2a)可與第一右接觸件150d的沿第一方向的長度(S卩,高度H2b)不同。因此,第一左接觸件150c、第一右接觸件150d和第二接觸件160b可形成L形跨接線。
[0081]如上所述,根據(jù)一些示例實施例,可通過使第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g、第一接觸件150c和150d以及第二接觸件160b電短路來形成單個節(jié)點。因此,在基于圖5中示出的布局而制造的IC 100C中,可跳過第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g。因此,根據(jù)一些示例實施例的Η形跨接線可稱為跳過裝置。
[0082]圖6是示出具有圖5的布局的半導(dǎo)體裝置100c的示例的剖視圖。
[0083]參照圖6,半導(dǎo)體裝置100c可包括基板110、第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g、第一接觸件150c和150d以及第二接觸件160b。雖然未示出,但提供例如電源電壓或地電壓的電壓端子可另外地設(shè)置在第二接觸件160b上。
[0084]基板110可以是包括從例如硅、S01、藍(lán)寶石上硅、鍺、硅鍺以及砷化鎵中選擇的任何一種的半導(dǎo)體基板。例如,基板110可以是P型基板。另外,雖然未示出,但基板110可具有用雜質(zhì)摻雜的有源區(qū)。
[0085]第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g可設(shè)置在基板110上。根據(jù)一些示例實施例,第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g可用作柵電極。在這種情況下,柵極絕緣層可另外地設(shè)置在第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g與基板110的有源區(qū)之間。
[0086]第一接觸件150c和150d可設(shè)置在基板110上。因此,第一接觸件150c和150d可在基板110的有源區(qū)中提供例如電源電壓或地電壓。根據(jù)一些示例實施例,第一接觸件150c和150d可分別設(shè)置在第二導(dǎo)線140f的左側(cè)和第三導(dǎo)線140g的右側(cè)處。根據(jù)一些不例實施例,第一接觸件150c和150d的上部可與第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g的上部處在同一水平面上。
[0087]第二接觸件160b可設(shè)置在第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g以及第一接觸件150c和150d上,并且電連接到第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g以及第一接觸件150c和150d。因此,第二導(dǎo)線140f和第三導(dǎo)線140g、第一接觸件150c和150d以及第二接觸件160b可形成單個節(jié)點。
[0088]圖7是示出根據(jù)其他示例實施例的IC 100D的一部分的布局。
[0089]參照圖7,IC 100D可包括通過用粗線指示的單元邊界限定的至少一個單元。所述單元可包括第一導(dǎo)線140e至第四導(dǎo)線140h、第一左接觸件150c、第一右接觸件150d、第一中心接觸件150e以及第二接觸件160c。IC 100D是在圖5中示出的IC 100C的修改的示例實施例,因此,圖5的描述中的至少一些描述也可應(yīng)用于IC lOODo因此,將不再重復(fù)已經(jīng)參照圖5描述的特征和元件。
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