一種用pld原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，屬于鋰離子電池技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：1）基片的預(yù)處理：將二氧化硅基片清洗干凈，并干燥待用；2）電池的制備：用PLD在步驟1）中清洗干凈的二氧化硅基片上依次沉積金屬鉑作為集流體、鈷酸鋰作為正極、鋰磷氧氮作為電解質(zhì)、石墨烯作為電子穿透過渡層、及石墨作為負(fù)極薄膜。本發(fā)明的微型全固態(tài)薄膜鋰電結(jié)構(gòu)均采用PLD原位沉積，同時(shí)將石墨烯引入至負(fù)極石墨和固體電解質(zhì)之間作為電子傳輸過渡層，可有效提高電池性能和循環(huán)次數(shù)，同時(shí)保證微型鋰電的熱穩(wěn)定性以及焊接耐溫要求。
【專利說明】
一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種鋰離子電池的制備方法，具體涉及一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，屬于鋰離子電池技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著微電子、通信、醫(yī)療植入、軍事以及無線射頻識(shí)別等技術(shù)領(lǐng)域的不斷發(fā)展，其對(duì)應(yīng)的電子產(chǎn)品小型化、微型化、集成化已經(jīng)成為全球技術(shù)發(fā)展的趨勢(shì)所在。這對(duì)于電池來說是一次創(chuàng)新和挑戰(zhàn)，意味著對(duì)微型電池的需求將日漸增長(zhǎng)。目前，國(guó)內(nèi)外積極開展研究的微型電池種類有鋰離子電池、鋅鎳電池、太陽能電池、燃料電池等。其中，微型鋰離子電池因高能量密度、高電壓、長(zhǎng)循環(huán)壽命、高安全性能等優(yōu)勢(shì)，受到研究者的廣泛關(guān)注。但是目前鋰離子電池大多采用液態(tài)電解質(zhì)，其存在易泄漏、易腐蝕、安全可靠性較低的問題。相比之下，微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池因其采用固態(tài)電解質(zhì)，具有好的熱穩(wěn)定性、不存在漏液以及電解液損耗問題，具有更高的安全系數(shù)，因此在眾多鋰離子電池研究中脫穎而出。除此之外，微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的電極和電解質(zhì)均為固態(tài)，省略了隔膜、電解液、電解質(zhì)鹽以及粘結(jié)劑等材料的使用，簡(jiǎn)化了鋰離子電池的制備過程。因此，微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池，有望在未來便攜式電子設(shè)備、國(guó)防裝備及微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)等方面有著廣泛的應(yīng)用前景
[0003]脈沖激光沉積技術(shù)(PulsedLaser Deposit1n,PLD)作為一種真空鍍膜技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于薄膜制備。其工作原理就是激光照射在靶材上，靶材中的粒子經(jīng)過燒蝕后變成等離子體從靶材向襯底傳輸，在襯底上凝聚成核成膜。PLD與其他的鍍膜技術(shù)相比，具有操作簡(jiǎn)單、參數(shù)易調(diào)控等優(yōu)勢(shì);此外，通過選擇不同靶材，調(diào)控儀器的濺射參數(shù)可以原位制備不同的形貌以及不同厚度的多層結(jié)構(gòu)薄膜;與此同時(shí)，靶材和薄膜組分能夠保證相同化學(xué)計(jì)量比。目前，PLD技術(shù)已經(jīng)成功的被用來制備LiCo02/Li3.4VQ.6SiQ.404/Sn0固態(tài)薄膜鋰電池結(jié)構(gòu)或正極薄膜材料LixMmCU或富鋰相Li2MnC>3薄膜(Electrochemistry Communicat1ns,6(2004)417-421!Applied Surface Science ,197-198(2002)516-521；Journal ofMaterials Chemistry A, 2014，2(7): 2283-2289)。通過PLD制備的電解質(zhì)薄膜平滑而且致密，研究者也分析得出薄膜組分能夠保持和靶材組分近乎一致。通過充放電循環(huán)后，電解質(zhì)薄膜依然保持均一性，電池界面結(jié)構(gòu)(電解質(zhì)/正極、電解質(zhì)/負(fù)極)依然平滑無缺陷出現(xiàn)。此夕卜，通過PLD薄膜沉積技術(shù)制備的薄膜電池可以明顯改善界面阻抗(固態(tài)電解質(zhì)中的鋰離子電導(dǎo)率與液相電解質(zhì)中相比還是略低，從而造成電池歐姆阻抗增大)。但是，通過該P(yáng)LD技術(shù)制備的薄膜鋰■離子電池(Electrochemistry Communicat1ns ,6(2004)417-421)在經(jīng)過第一次充放電循環(huán)后，容量逐漸衰減，經(jīng)過100次循環(huán)后放電容量只有第一次循環(huán)容量的45%，主要是由于SnO與嵌入的Li+反應(yīng)生成Sn-Li合金和Li2O所導(dǎo)致。此外，有研究者將PLD與不同濺射技術(shù)聯(lián)用實(shí)現(xiàn)連續(xù)鍍膜:即PLD沉積正極LiCo02、射頻和直流磁控沉積LiPON、熱蒸發(fā)金屬鋰負(fù)極(Solid State 1nics，285(2016) 118-121)。雖然這種聯(lián)用沉積技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)全程真空制備，界面接觸良好，且電池制備過程不接觸空氣，但這種方法過于繁瑣，不利于工業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。此外目前研究者在制備全固態(tài)薄膜鋰離子電池時(shí)大都采用金屬鋰作為負(fù)極，但是鋰熔點(diǎn)較低(180°C)，與微電池與集成電路中焊接回流技術(shù)的耐溫(250°C)要求不兼容，容易在循環(huán)充放電中形成死鋰。此外金屬鋰對(duì)氧氣和水汽敏感，需要苛刻的封裝技術(shù)保持穩(wěn)定，嚴(yán)重制約了全固態(tài)薄膜鋰電的大規(guī)模推廣應(yīng)用。因此，發(fā)展一種制備技術(shù)簡(jiǎn)單、實(shí)現(xiàn)多次循環(huán)容量保持，同時(shí)滿足熱穩(wěn)定性耐高溫要求的微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池，具有重要意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，可提高電池性能和循環(huán)次數(shù)，同時(shí)保證微型鋰電的熱穩(wěn)定性以及焊接耐溫要求。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，包括以下步驟:
[0006]I)基片的預(yù)處理:將二氧化硅基片清洗干凈，并干燥待用；
[0007]2)電池的制備:用PLD在步驟I)中清洗干凈的二氧化硅基片上依次沉積金屬鉑作為集流體、鈷酸鋰作為正極、鋰磷氧氮作為電解質(zhì)、石墨烯作為電子穿透過渡層、及石墨作為負(fù)極薄膜。
[0008]作為改進(jìn)，所述步驟I)中，具體清洗步驟為:
[0009](i)將二氧化娃基片在丙酮中超聲清洗20min;
[0010](ii)然后在乙醇中超聲清洗20min;
[0011](iii)用去離子水清洗若干次。
[0012]作為改進(jìn)，所述步驟2)電池的制備，具體包括a)靶材的制備和b)原位生產(chǎn)微型電池各層薄膜；
[0013]所述a)靶材的制備:
[0014]采用PLD制備電解質(zhì)鋰磷氧氮時(shí)，使用的靶材由Li3PO4粉體壓片燒結(jié)而成；
[0015]沉積鈷酸鋰作為正極時(shí)，使用的靶材通過LiCoO2壓片燒結(jié)制成；
[0016]沉積石墨烯作為電子穿透過渡層時(shí)，使用的靶材通過石墨烯壓片燒結(jié)制成；
[0017]沉積石墨作為負(fù)極薄膜時(shí)，使用的靶材通過石墨粉體壓片燒結(jié)制成。
[0018]作為改進(jìn)，所述b)原位生產(chǎn)微型電池各層薄膜，具體包括以下步驟:
[0019](i)在清洗干燥后的硅片上利用PLD鍍一層金屬鉑作為正極集流體；
[°02°] (ii)在同一臺(tái)PLD儀器上，利用LiCo02革El材原位沉積正極LiCo02薄膜；
[0021](i i i)在同一臺(tái)PLD儀器上，利用PLD沉積固體電解質(zhì)L i PON;
[0022](i V)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積電子穿透?jìng)鬏攲邮”∧ぃ?br>[0023](V)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積石墨作為負(fù)極薄膜。
[0024]作為改進(jìn)，所述步驟(ii)具體步驟為:
[°°25] LiCo02革E材通過干壓粉體在900 °C燒結(jié)5h制成，沉積過程通入一定氧氣，氣壓控制在0.13Pa，襯底溫度400°C ;激光頻率為3Hz，激光能量密度為1.0Jcnf2。
[0026]作為改進(jìn)，所述步驟(iii)具體步驟為:
[0027]采用PLD技術(shù)制備固態(tài)電解質(zhì)LiPON薄膜時(shí)，Li3PO4靶材在600°C燒結(jié)5h制成，沉積時(shí)通入N2，氣壓在0.5Pa，激光頻率為6Hz，激光能量密度為2.5 Jcnf2，室溫沉積。
[0028]作為改進(jìn)，所述步驟(iV)具體步驟為:首先充入保護(hù)氣氛Ar，氣壓在0.5Pa，激光頻率為3Hz，激光能量密度為1.0Jcrn"2，室溫沉積石墨烯薄膜。
[0029]作為改進(jìn)，所述步驟(V)具體步驟為:沉積石墨作為負(fù)極薄膜時(shí)，采用的氣氛為Ar，氣壓在0.1Pa,激光頻率為6Hz，激光能量密度為2.0Jcm—2，室溫沉積。
[0030]另外，本發(fā)明還提供了一種上述任一項(xiàng)所述方法制得的微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池。
[0031]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下有益效果:
[0032]I)該微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池采用石墨替代傳統(tǒng)的金屬鋰作為負(fù)極薄膜，避免了金屬鋰與其它金屬之間的反應(yīng)，同時(shí)也避免了死鋰負(fù)極的行程，大大提高了薄膜全固態(tài)鋰離子電池的穩(wěn)定性。
[0033]2)采用具有高導(dǎo)電率、導(dǎo)熱性好、對(duì)環(huán)境不敏感的石墨烯，通過PLD引入該薄膜電池材料體系中，置于電解質(zhì)與石墨負(fù)極之間作為電子穿透?jìng)鬏攲樱蓪?shí)現(xiàn)電子的快速穿透，這種石墨烯/石墨負(fù)極復(fù)合結(jié)構(gòu)不僅可以提高全固態(tài)薄膜電池的電化學(xué)性能，而且還保證了薄膜電池的熱穩(wěn)定。
[0034]3)該制備方法快速簡(jiǎn)單，不僅避免與空氣和水汽接觸，而且也優(yōu)化固態(tài)薄膜電池制備流程和增強(qiáng)電池循環(huán)周期。
[0035]4)通過PLD技術(shù)制備的微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池有望在未來便攜式電子設(shè)備、國(guó)防裝備及微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)等方面有著廣泛的應(yīng)用前景。
【附圖說明】
[0036]圖1為本發(fā)明采用脈沖激光沉積的原理示意圖；
[0037]圖2為本發(fā)明制得微型全固態(tài)薄膜電池結(jié)構(gòu)斷面示意圖；
[0038]圖中:1、激光器，2、透鏡，3、光束掃描器，4、電源，5、基片加熱器，6、基片，7、羽輝，
8、真空室，9、靶材，10、石墨，11、鋰磷氧氮，12、金屬鉑，13、二氧化硅基片，14、鈷酸鋰，15、石墨稀。
【具體實(shí)施方式】
[0039]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明了，下面通過附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。但是應(yīng)該理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明的范圍。
[0040]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)術(shù)語和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同，本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。
[0041]本發(fā)明方法中采用的脈沖激光沉積原理，如圖1所示，通過激光器I穿過透鏡2，再通過光束掃描器3將激光轟擊在靶材9上，被激光轟擊掉的物質(zhì)沉積在基片6上，并且基片6采用羽輝7、電源4和基片加熱器5進(jìn)行加熱，確保沉積效果，其中轟擊、沉積過程全部在真空室8進(jìn)行。
[0042]實(shí)施例一
[0043]—種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，具體包括以下步驟:
[0044]I)基片的預(yù)處理:
[0045]a)首先，將二氧化娃基片13超聲清洗，清洗的步驟為:(i )在丙酮中超聲清洗20min;(ii)在乙醇中超聲清洗20min，然后再用去離子水清洗若干次；
[0046]2)靶材的制備:
[0047]采用PLD制備電解質(zhì)Li3P04—XNX(LiPON)薄膜時(shí)，使用的靶材是由Li3Ρ04粉體壓片燒結(jié)而成，對(duì)于正極LiCoO2薄膜、電子傳輸層石墨烯以及負(fù)極石墨層，其所用的靶材均通過LiCo02、石墨烯以及石墨粉體壓片燒結(jié)制成；
[0048]3)原位生長(zhǎng)微型電池各層薄膜:
[0049]微型全固態(tài)薄膜電池結(jié)構(gòu)斷面示意圖如圖2所示:
[OOM] (i)在清洗干燥后的硅片上利用PLD鍍一層金屬鉑12(沉積厚度為10nm)作為正極集流體金屬薄膜；
[005? ] ( i i )在同一臺(tái)PLD儀器上，利用LiCo02革El材原位沉積正極鈷酸鋰14薄膜(厚度200nm)；
[0052]其中，LiCoO2靶材通過干壓粉體燒結(jié)(900°C燒結(jié)5h)制成，沉積過程通入一定氧氣，氣壓控制在0.13Pa，襯底溫度400 V ;激光頻率為3Hz，激光能量密度為1.0Jcnf2;
[0053](iii)在同一臺(tái)PLD儀器上，利用PLD沉積固體電解質(zhì)Li3P04—xNx(鋰磷氧氮11薄膜，該薄膜沉積厚度為Ιμπι);
[0054]在采用PLD技術(shù)制備固態(tài)電解質(zhì)LiPON薄膜時(shí)，革巴材為L(zhǎng)i3P04(600°C燒結(jié)5h)，沉積時(shí)通入N2，氣壓在0.5Pa，激光頻率為6Hz，激光能量密度為2.5 Jcnf2，室溫沉積；
[0055 ] (i V)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積電子穿透?jìng)鬏攲邮?5薄膜，厚度為I OOnm;
[0056]首先充入保護(hù)氣氛Ar，氣壓在0.5Pa，激光頻率為3Hz，激光能量密度為1.0Jcnf2，室溫沉積；
[0057](V)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積石墨10作為負(fù)極(石墨層厚度為500nm)，采用的氣氛為Ar，氣壓在0.1Pa,激光頻率為6Hz，激光能量密度為2.0Jcm—2，室溫沉積。
[0058]整個(gè)制備過程中，將每種靶材旋入靶材扣中，基片襯底也旋入襯底扣中，關(guān)閉腔門，對(duì)腔體用機(jī)械栗和分子栗抽真空。當(dāng)腔內(nèi)真空抽至10—4Pa,通入對(duì)應(yīng)的反應(yīng)氣體，并調(diào)整至一定的氣壓;打開革E材和襯底轉(zhuǎn)動(dòng)開關(guān)，調(diào)節(jié)革E材轉(zhuǎn)速在120rpm旋轉(zhuǎn)，襯底轉(zhuǎn)速在60rpm。在控制板上輸入激光能量密度和頻率數(shù)值，開啟激光器開始沉積過程;到達(dá)沉積時(shí)間后，關(guān)閉激光器和轉(zhuǎn)動(dòng)開關(guān)，待襯底溫度降至室溫后取出樣品，放置干燥封閉器中，以備進(jìn)行結(jié)構(gòu)形貌表征或者電化學(xué)性能測(cè)試。如若沒有要測(cè)試項(xiàng)目，則不取出樣品，只需關(guān)閉激光器，調(diào)整下一靶材位置和沉積參數(shù)，開始沉積過程，直至最后負(fù)極薄膜制備結(jié)束。
[0059]實(shí)施例二
[0060]對(duì)比試驗(yàn)。將實(shí)施例一中的第(iv)步略去，第(V)步作如下調(diào)整，其余步驟一致:
[0061](V)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積負(fù)極石墨層(600nm)，采用氣氛為Ar，氣壓在0.1Pa,激光頻率為6Hz，激光能量密度為2.0Jcrn"2，室溫沉積。
[0062]實(shí)施例三
[0063]對(duì)比試驗(yàn)。將實(shí)施例一中的第(V)步略去，第(iv)步作如下調(diào)整，其余步驟一致:
[0064]( iv)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積負(fù)極金屬鋰層薄膜(600nm)。氣氛為Ar，氣壓在0.1Pa，激光頻率為6Hz，激光能量密度為2.0Jcm—2，室溫沉積。
[0065]實(shí)施例四
[0066]采用本發(fā)明方法制得的微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的結(jié)構(gòu)形貌以及電化學(xué)性能表征:
[0067]采用交流阻抗譜和充放電柜測(cè)試固態(tài)薄膜鋰電池的阻抗譜圖、循環(huán)伏安特性曲線以及充放電曲線，通過掃描電鏡探測(cè)電池結(jié)構(gòu)以及表面形貌，利用X射線衍射儀分析PLD沉積的薄膜相結(jié)構(gòu)，通過X射線能量分散譜測(cè)試界面化學(xué)價(jià)態(tài)從而分析電池結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性。
[0068]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換或改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，包括以下步驟: 1)基片的預(yù)處理:將二氧化硅基片(13)清洗干凈，并干燥待用； 2)電池的制備:用PLD在步驟I)中清洗干凈的二氧化硅基片(13)上依次沉積金屬鉑(12)作為集流體、鈷酸鋰(14)作為正極、鋰磷氧氮(11)作為電解質(zhì)、石墨烯(15)作為電子穿透過渡層、及石墨(10)作為負(fù)極薄膜。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，所述步驟I)中，具體清洗步驟為: (i)將二氧化娃基片(13)在丙酮中超聲清洗20min; (ii)然后在乙醇中超聲清洗20min; (iii)用去離子水清洗若干次。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，所述步驟2)電池的制備，具體包括a)靶材的制備和b)原位生產(chǎn)微型電池各層薄膜； 所述a)革E材的制備: 采用PLD制備電解質(zhì)鋰磷氧氮(11)時(shí)，使用的靶材由Li3PO4粉體壓片燒結(jié)而成； 沉積鈷酸鋰(14)作為正極時(shí)，使用的靶材通過LiCoO2壓片燒結(jié)制成； 沉積石墨烯(15)作為電子穿透過渡層時(shí)，使用的靶材通過石墨烯壓片燒結(jié)制成； 沉積石墨(10)作為負(fù)極薄膜時(shí)，使用的靶材通過石墨粉體壓片燒結(jié)制成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，所述b)原位生產(chǎn)微型電池各層薄膜，具體包括以下步驟: (i)在清洗干燥后的硅片上利用PLD鍍一層金屬鉑(12)作為正極集流體； (ii)在同一臺(tái)PLD儀器上，利用LiCo02革El材原位沉積正極LiCo02薄膜； (i i i)在同一臺(tái)PLD儀器上，利用PLD沉積固體電解質(zhì)L i PON; (iv)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積電子穿透?jìng)鬏攲邮┍∧ぃ? (V)在同一臺(tái)PLD儀器上，沉積石墨(1 )作為負(fù)極薄膜。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，所述步驟(i i)具體步驟為: LiCo02革E材通過干壓粉體在900 °C燒結(jié)5h制成，沉積過程通入一定氧氣，氣壓控制在0.13 Pa，襯底溫度400°C;激光頻率為3 Hz，激光能量密度為1.0 Jem—2。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，所述步驟(iii)具體步驟為: 采用PLD技術(shù)制備固態(tài)電解質(zhì)LiPON薄膜時(shí)，Li3PO4靶材在600°C燒結(jié)5h制成，沉積時(shí)通入N2,氣壓在0.5 Pa，激光頻率為6 Hz，激光能量密度為2.5 Jcnf2，室溫沉積。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，所述步驟(iV)具體步驟為:首先充入保護(hù)氣氛Ar，氣壓在0.5Pa，激光頻率為3 Hz，激光能量密度為1.0 Jcnf2，室溫沉積石墨烯薄膜。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用PLD原位制備微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池的方法，其特征在于，所述步驟(V)具體步驟為:沉積石墨(10)作為負(fù)極薄膜時(shí)，采用的氣氛為Ar，氣壓在0.1 Pa，激光頻率為6 Hz，激光能量密度為2.0 Jem—2，室溫沉積。9.一種采用權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述方法制得的微型全固態(tài)薄膜鋰離子電池。
【文檔編號(hào)】C23C14/18GK106058305SQ201610664363
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年8月12日 公開號(hào)201610664363.4, CN 106058305 A, CN 106058305A, CN 201610664363, CN-A-106058305, CN106058305 A, CN106058305A, CN201610664363, CN201610664363.4
【發(fā)明人】錢婧, 王亞平, 包吳奇
【申請(qǐng)人】合肥國(guó)軒高科動(dòng)力能源有限公司