定位裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于承載并定位玻璃基板的定位裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，隨著高分辨率智能手機(jī)的盛行以及智能手機(jī)屏幕平均尺寸的持續(xù)增大，基于低溫多晶娃(Low Temperature Po Iy-Si I icon，LTPS)技術(shù)的面板需求將持續(xù)走高。在上述面板制造過程中，當(dāng)需要在硬化退回爐設(shè)備內(nèi)對玻璃基板進(jìn)行快速熱退火(RapidThermal Annealing，RTA)工藝時(shí)，該工藝的主要作用為使玻璃基本的內(nèi)部組織達(dá)到或接近平衡狀態(tài)，進(jìn)而獲得良好的工藝性能和使用性能。在進(jìn)行RTA工藝過程中，現(xiàn)有技術(shù)的一種實(shí)現(xiàn)方式為將玻璃基板放置于由石英材料制成的基板載臺上，基板載臺則放置于一個(gè)傳送裝置上，玻璃基板在傳送裝置的帶動下經(jīng)過硬化退火爐內(nèi)各個(gè)處理區(qū)來進(jìn)行RTA工藝。
[0003]然而，在玻璃基板的傳送過程中，承接玻璃基板的基板載臺可能有加速和減速的過程，同時(shí)由于玻璃基板與基板載臺之間的相對摩擦力小于玻璃基板自身慣性力的可能，這就導(dǎo)致玻璃基板會在基板載臺上發(fā)生漂移，造成玻璃基板碎片等異常情況。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了解決上述問題，提供一種能夠保證玻璃基板在傳送過程中能夠被良好定位的定位裝置。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種定位裝置，用于承載并定位玻璃基板，所述定位裝置包括用于承接玻璃基板的基板載臺及安裝于基板載臺上的靜電吸盤，所述靜電吸盤被施加直流電壓后，所述玻璃基板定位于基板載臺。
[0006]進(jìn)一步的，所述靜電吸盤為雙極型靜電吸盤。
[0007]進(jìn)一步的，所述靜電吸盤為兩個(gè)，每個(gè)所述靜電吸盤內(nèi)設(shè)有第一電極與第二電極。
[0008]進(jìn)一步的，所述直流電壓包括正直流電壓和負(fù)直流電壓，所述正直流電壓施加于一個(gè)靜電吸盤內(nèi)的第一電極，所述負(fù)直流電壓施加于另一靜電吸盤的第二電極。
[0009]進(jìn)一步的，所述兩個(gè)靜電吸盤分別連接供電部。
[0010]進(jìn)一步的，所述基板載臺的下表面設(shè)有兩個(gè)收容槽，所述兩個(gè)靜電吸盤分別位于所述兩個(gè)收容槽內(nèi)。
[0011 ]進(jìn)一步的，所述定位裝置放置于硬化退火爐的傳送裝置上。
[0012]進(jìn)一步的，所述傳送裝置的一部分收容于所述收容槽內(nèi)。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的定位裝置內(nèi)具有安裝于基板載臺上的靜電吸盤，通過靜電吸盤使得玻璃基板與基板載臺之間產(chǎn)生吸引力而將玻璃基板牢固定位于基板載臺上，避免玻璃基板在基板載臺的移動過程中發(fā)生偏移而造成玻璃基板碎片。
【附圖說明】
[0014]此處所說明的附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0015]圖1為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例提供的定位裝置的截面視圖；
[0016]圖2為圖1所示的定位裝置與玻璃基板及傳送裝置配合示意圖；
[0017]圖3為圖1內(nèi)所示定位裝置內(nèi)的靜電吸盤的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型具體實(shí)施例及相應(yīng)的附圖對本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0019]如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例提供了一種應(yīng)用于硬化退火爐(未圖示)內(nèi)的定位裝置100，該定位裝置100用于定位需要進(jìn)行快速熱退火工藝的玻璃基板3。需要說明的，硬化退火爐內(nèi)具有可以傳送定位裝置100的循環(huán)式傳送裝置200，傳送裝置200可以對定位裝置100及玻璃基板3進(jìn)行連續(xù)傳送處理，即在線式(in-line)處理。具體的，該傳送裝置200可以為一導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)。
[0020]當(dāng)玻璃基板3需要進(jìn)行快速熱退火工藝時(shí)，玻璃基板3可以放置于定位裝置100的基板載臺I上，在傳送裝置200的帶動下，玻璃基板3隨定位裝置100—同進(jìn)入硬化退火爐內(nèi)進(jìn)行傳送且同時(shí)加熱，當(dāng)完成快速熱退火后，玻璃基板3連同定位裝置100被傳送出硬化退火爐。
[0021]具體地，定位裝置100包括:基板載臺I及安裝于基板載臺I下方的兩個(gè)靜電吸盤(Electrostatic Chuck，ESC)2。以下針對本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例提供的定位裝置100內(nèi)的元件作具體說明。
[0022]如圖1及圖2所示，基板載臺I呈平板狀，其由石英材料制成。基板載臺I包括一個(gè)可以承載玻璃基板3的上表面11及可以安裝靜電吸盤2的下表面12?；遢d臺I可以放置于傳送裝置200上，在傳送裝置200的帶動下，基板載臺I進(jìn)出硬化退火爐?；遢d臺I的下表面12設(shè)有可以收容兩個(gè)靜電吸盤2的兩個(gè)收容槽13，傳送裝置200的一份部延伸入上述收容槽13內(nèi)。具體的，兩個(gè)靜電吸盤2分別置于兩個(gè)收容槽13的內(nèi)側(cè)壁面上。兩個(gè)靜電吸盤2與基板載臺I在傳送裝置200的帶動下一同移動。
[0023]如圖3所示，優(yōu)選地，兩個(gè)靜電吸盤2均可以為雙極型靜電吸盤。每個(gè)靜電吸盤2內(nèi)部設(shè)有第一電極21及第二電極22。第一電極21及第二電極22可以由薄的導(dǎo)體材料制成，如銅箔制成。第一電極21及第二電極22連通電源。具體的，第一電極21與供電部20a連接，第二電極22與供電部20b連接。通過供電部20a可以向第一電極21施加正直流電壓，通過供電部20b可以向第二電極22施加負(fù)直流電壓。兩個(gè)靜電吸盤2結(jié)構(gòu)相同，其中的一個(gè)可以稱為第一靜電吸盤，另一個(gè)可以稱為第二靜電吸盤。
[0024]對位于基板載臺I下方的第一靜電吸盤2內(nèi)的第一電極21施加正直流電壓后，第一靜電吸盤2內(nèi)的第一電極21上會產(chǎn)生極化電荷，第一電極21上會產(chǎn)生正電荷。與此同時(shí)，基板載臺I與該第一靜電吸盤2相對應(yīng)的位置上也同時(shí)產(chǎn)生正電荷。上述相對應(yīng)的位置指基板載臺I上與第一靜電吸盤2在上下方向上相對應(yīng)的位置，或者指基板載臺I上與第一靜電吸盤2位于同側(cè)的位置。該相對應(yīng)的位置可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)定。如圖2所示，基板載臺I與該第一靜電吸盤2相對應(yīng)的位置為基板載臺I的左側(cè)。由于上述正電荷會產(chǎn)生電場，使得置于基板載臺I之上的玻璃基板3左側(cè)下表面對應(yīng)基板載臺I上正電荷的位置的產(chǎn)生極化電荷，該極化電荷與分布在第一靜電吸盤2上的電荷極性相反，即玻璃基板3左側(cè)下面產(chǎn)生負(fù)電荷。由于電荷異性相吸的原理，玻璃基板3的左側(cè)與基板載臺I的左側(cè)相互定位。
[0025]在對位于基板載臺I下方的第一靜電吸盤2內(nèi)的第一電極21施加正直流電壓的同時(shí)，對位于基板載臺I下方的第二靜電吸盤2內(nèi)的第二電極22施加負(fù)直流電壓后，第二靜電吸盤2內(nèi)的第二電極22上會產(chǎn)生極化電荷，第二電極22上會產(chǎn)生負(fù)電荷。與此同時(shí)，基板載臺I與該第二靜電吸盤2相對應(yīng)的位置上也同時(shí)產(chǎn)生負(fù)電荷。如圖2所示，基板載臺I與該第二靜電吸盤2相對應(yīng)的位置為基板載臺I的右側(cè)。由于上述負(fù)電荷會產(chǎn)生電場，使得置于基板載臺I之上的玻璃基板3右側(cè)下表面對應(yīng)基板載臺I上負(fù)電荷的位置的產(chǎn)生極化電荷，該極化電荷與分布在第二靜電吸盤2上的電荷極性相反，即玻璃基板3右側(cè)下面產(chǎn)生正電荷。由于電荷異性相吸的原理，玻璃基板3的右側(cè)與基板載臺I的右側(cè)相互定位。
[0026]由于兩個(gè)靜電吸盤2的存在，玻璃基板3的左右兩側(cè)均與基板載臺I的兩側(cè)相互定位使得玻璃基板3牢固定位于基板載臺I。另外，當(dāng)玻璃基板3需要從基板載臺I上取下時(shí)，可以分別在第一靜電吸盤2的第二電極22及第二靜電吸盤2的第一電極21上分別施加負(fù)直流電壓及正直流電壓，來消除產(chǎn)生于基板載臺I左右兩側(cè)的正負(fù)電荷，從而消除吸引力。這樣，玻璃基板3就可以從基板載臺I上取下。
[0027]綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的定位裝置100內(nèi)具有安裝于基板載臺I上的靜電吸盤2，通過靜電吸盤2使得玻璃基板3與基板載臺I之間產(chǎn)生吸引力而將玻璃基板3牢固定位于基板載臺I上，避免玻璃基板3在基板載臺I的移動過程中發(fā)生偏移而造成玻璃基板碎片。
[0028]以上所述的具體實(shí)例，對本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種定位裝置，用于承載并定位玻璃基板，其特征在于:所述定位裝置包括用于承接玻璃基板的基板載臺及安裝于基板載臺上的靜電吸盤，所述靜電吸盤被施加直流電壓后，所述玻璃基板定位于基板載臺。2.如權(quán)利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述靜電吸盤為雙極型靜電吸盤。3.如權(quán)利要求2所述的定位裝置，其特征在于，所述靜電吸盤為兩個(gè)，每個(gè)所述靜電吸盤內(nèi)設(shè)有第一電極與第二電極。4.如權(quán)利要求3所述的定位裝置，其特征在于，所述直流電壓包括正直流電壓和負(fù)直流電壓，所述正直流電壓施加于一個(gè)靜電吸盤內(nèi)的第一電極，所述負(fù)直流電壓施加于另一靜電吸盤的第二電極。5.如權(quán)利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述兩個(gè)靜電吸盤分別連接供電部。6.如權(quán)利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述基板載臺的下表面設(shè)有兩個(gè)收容槽，所述兩個(gè)靜電吸盤分別位于所述兩個(gè)收容槽內(nèi)。7.如權(quán)利要求6所述的定位裝置，其特征在于，所述定位裝置放置于硬化退火爐的傳送裝置上。8.如權(quán)利要求7所述的定位裝置，其特征在于，所述傳送裝置的一部分收容于所述收容槽內(nèi)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種定位裝置，其用于承載并定位玻璃基板，其包括用于承接玻璃基板的基板載臺及安裝于基板載臺上的兩個(gè)靜電吸盤，所述兩個(gè)靜電吸盤分別被施加正直流電壓及負(fù)直流電壓后，所述玻璃基板定位于基板載臺。由于定位裝置內(nèi)具有安裝于基板載臺上的靜電吸盤，通過靜電吸盤使得玻璃基板與基板載臺之間產(chǎn)生吸引力而將玻璃基板牢固定位于基板載臺上，避免玻璃基板在基板載臺的移動過程中發(fā)生偏移而造成玻璃基板碎片。
【IPC分類】H01L21/68
【公開號】CN205231032
【申請?zhí)枴緾N201521070919
【發(fā)明人】王濤
【申請人】昆山國顯光電有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月21日