點(diǎn)的位置確定基板的實(shí)際位置與系統(tǒng)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)位置之間的偏移。
[0026]S12、采用所述坐標(biāo)偏差值對(duì)所述檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的基板檢測(cè)的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)進(jìn)行校準(zhǔn)，確定所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的實(shí)際位置；
[0027]S13、從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始對(duì)所述基板進(jìn)行三維掃描，并采用所述坐標(biāo)偏差值將所述三維掃描所得的圖像的位置校準(zhǔn)到標(biāo)準(zhǔn)位置；
[0028]其中，從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始對(duì)所述基板進(jìn)行三維掃描的過(guò)程包括:從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始，將所述基板分割為多個(gè)相互平行的區(qū)域；從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始，采用S型掃描方式逐個(gè)對(duì)所述多個(gè)相互平行的區(qū)域進(jìn)行三維掃描(參照?qǐng)D2，圖2中所示路徑為掃描路徑，箭頭方向?yàn)轫槾螔呙璧姆较?，而對(duì)所述多個(gè)相互平行的區(qū)域進(jìn)行三維掃描的過(guò)程具體包括:采用三維掃描傳感器對(duì)所述多個(gè)相互平行的區(qū)域進(jìn)行三維掃描。采用三維掃描傳感器對(duì)基板按照S型的路線分區(qū)域進(jìn)行掃描后，需要對(duì)掃描后的圖像按照掃描方向進(jìn)行重新排列，排列為方向一致的圖像，之后按照?qǐng)D像所處的具體位置對(duì)分塊的圖形進(jìn)行拼接，從而得到整個(gè)基板的完整三維圖像。得到整個(gè)基板的完整三維圖像之后，再采用坐標(biāo)偏差值對(duì)其進(jìn)行位置校準(zhǔn)，將其位置坐標(biāo)校準(zhǔn)為標(biāo)準(zhǔn)的位置坐標(biāo)。
[0029]S14、將校準(zhǔn)后的圖像的位置坐標(biāo)與所述檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)位置坐標(biāo)進(jìn)行匹配，根據(jù)匹配的結(jié)果確定所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息；
[0030]其中，根據(jù)匹配的結(jié)果確定所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息的過(guò)程包括:將校準(zhǔn)后位置坐標(biāo)與所述檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的目標(biāo)檢測(cè)位置的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)一致的圖像的三維信息確定為所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息。
[0031]S15、根據(jù)所述三維信息確定所述基板的所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良。
[0032]其中，根據(jù)所述三維信息確定所述基板的所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良的過(guò)程包括:對(duì)所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維圖像進(jìn)行預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)；將所述預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)值與相應(yīng)的參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比對(duì)從而確定所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良。此過(guò)程中，預(yù)設(shè)參數(shù)包括:高度、面積和體積，同時(shí)，在此過(guò)程中，還會(huì)比對(duì)目標(biāo)檢測(cè)位置的三維圖像的形狀。而確定所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良的過(guò)程具體包括:若所述預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)值未超出所述參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)值的閾值范圍，則所述目標(biāo)檢測(cè)位置不存在不良；或，若所述預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)值超出所述參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)值的閾值范圍，則所述目標(biāo)檢測(cè)位置存在不良。
[0033]在一些可選的實(shí)施例中，該方法中，在根據(jù)所述三維信息確定所述基板的所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良的過(guò)程之后，還包括:輸出存在不良的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息。
[0034]該方法中通過(guò)對(duì)基板進(jìn)行三維掃描，可以準(zhǔn)確獲取到整個(gè)基板上每個(gè)位置的三維數(shù)據(jù)，從而可以針對(duì)每個(gè)目標(biāo)檢測(cè)位置進(jìn)行三維特性的分析，并通過(guò)與標(biāo)準(zhǔn)三維特性的比對(duì)，準(zhǔn)確的判斷出目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良，使得對(duì)基板不良的檢測(cè)更加準(zhǔn)確，更加精確。
[0035]總之，以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，僅用于說(shuō)明本發(fā)明的原理，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板檢測(cè)方法，其特征在于，包括: 確定待檢測(cè)的基板的實(shí)際位置與檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)偏差值； 采用所述坐標(biāo)偏差值對(duì)所述檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的基板檢測(cè)的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)進(jìn)行校準(zhǔn)，確定所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的實(shí)際位置； 從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始對(duì)所述基板進(jìn)行三維掃描，并采用所述坐標(biāo)偏差值將所述三維掃描所得的圖像的位置校準(zhǔn)到標(biāo)準(zhǔn)位置； 將校準(zhǔn)后的圖像的位置坐標(biāo)與所述檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)位置坐標(biāo)進(jìn)行匹配，根據(jù)匹配的結(jié)果確定所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息； 根據(jù)所述三維信息確定所述基板的所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述確定待檢測(cè)的基板的實(shí)際位置與檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)偏差值的過(guò)程包括: 根據(jù)待檢測(cè)的基板的類(lèi)型確定所述基板的Mark點(diǎn)的位置； 對(duì)待檢測(cè)的基板的對(duì)角線上的兩個(gè)Mark點(diǎn)進(jìn)行三維掃描，根據(jù)掃描得到的所述兩個(gè)Mark點(diǎn)的實(shí)際位置坐標(biāo)和檢測(cè)系統(tǒng)中預(yù)設(shè)的所述兩個(gè)Mark點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)位置坐標(biāo)計(jì)算出基板的實(shí)際位置與標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)偏差值。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述坐標(biāo)偏差值包括:基板位置發(fā)生偏移的偏差值和基板位置發(fā)生旋轉(zhuǎn)的偏差值。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始對(duì)所述基板進(jìn)行三維掃描的過(guò)程包括: 從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始，將所述基板分割為多個(gè)相互平行的區(qū)域； 從所述基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始，采用S型掃描方式逐個(gè)對(duì)所述多個(gè)相互平行的區(qū)域進(jìn)行三維掃描。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述對(duì)所述多個(gè)相互平行的區(qū)域進(jìn)行三維掃描的過(guò)程包括:采用三維掃描傳感器對(duì)所述多個(gè)相互平行的區(qū)域進(jìn)行三維掃描。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述根據(jù)匹配的結(jié)果確定所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息的過(guò)程包括:將校準(zhǔn)后位置坐標(biāo)與所述檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的目標(biāo)檢測(cè)位置的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)一致的圖像的三維信息確定為所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的二維f目息ο7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述根據(jù)所述三維信息確定所述基板的所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良的過(guò)程包括: 對(duì)所述基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維圖像進(jìn)行預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)； 將所述預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)值與相應(yīng)的參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比對(duì)從而確定所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述確定所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良的過(guò)程包括: 若所述預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)值未超出所述參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)值的閾值范圍，則所述目標(biāo)檢測(cè)位置不存在不良；或， 若所述預(yù)設(shè)參數(shù)的檢測(cè)值超出所述參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)值的閾值范圍，則所述目標(biāo)檢測(cè)位置存在不良。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)參數(shù)包括:高度、面積和體積。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，根據(jù)所述三維信息確定所述基板的所述目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良的過(guò)程之后，還包括:輸出存在不良的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息。
【專(zhuān)利摘要】一種基板檢測(cè)方法，該方法包括：確定待檢測(cè)的基板的實(shí)際位置與檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)偏差值；采用該坐標(biāo)偏差值對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的基板檢測(cè)的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)位置的坐標(biāo)進(jìn)行校準(zhǔn)，確定基板檢測(cè)的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的實(shí)際位置；從基板檢測(cè)的起始點(diǎn)的實(shí)際位置開(kāi)始對(duì)該基板進(jìn)行三維掃描，并采用坐標(biāo)偏差值將三維掃描所得的圖像的位置校準(zhǔn)到標(biāo)準(zhǔn)位置；將校準(zhǔn)后的圖像的位置坐標(biāo)與檢測(cè)系統(tǒng)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)位置坐標(biāo)進(jìn)行匹配，根據(jù)匹配的結(jié)果確定該基板的目標(biāo)檢測(cè)位置的三維信息；根據(jù)三維信息確定該基板的目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良。該方法針對(duì)基板的每個(gè)目標(biāo)檢測(cè)位置進(jìn)行三維特性的分析，準(zhǔn)確的判斷出目標(biāo)檢測(cè)位置是否存在不良，使得檢測(cè)更加精確。
【IPC分類(lèi)】H05K13/08
【公開(kāi)號(hào)】CN105431032
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510856436
【發(fā)明人】鄭偉, 李路, 劉健讓
【申請(qǐng)人】天津津亞新科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月23日
【申請(qǐng)日】2015年11月30日