Pecvd鍍膜用防繞鍍臺(tái)階框的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的配套工裝，尤其是一種平板PECVD鍍膜用的邊框。
【背景技術(shù)】
[0002]目前太陽(yáng)能電池鍛膜設(shè)備中平板PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporD印osit1n等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)鍍膜時(shí)，如圖1所示，在電池背面鍍膜過(guò)程中，由于等離子體3在硅片I下方，因此需要采用掛鉤4將硅片I吊掛在等離子體源上方，而此種懸掛方式，硅片I與載板邊框2之間存在縫隙，導(dǎo)致等離子通過(guò)縫隙繞鍍到電池片上表面，引起硅片上表面邊緣鍍上一層薄薄的膜，從而導(dǎo)致生產(chǎn)過(guò)程中的一些不良問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實(shí)用新型提供一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺(tái)階框，能夠有效阻止等離子體繞鍍至硅片正面邊緣，使得太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中硅片鍍膜不存在饒鍍現(xiàn)象，提高了產(chǎn)品的良率。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0004]一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺(tái)階框，包括用于承載硅片的載板邊框，所述載板邊框面向硅片的側(cè)壁上設(shè)有臺(tái)階，硅片放置于載板邊框的臺(tái)階上，臺(tái)階的內(nèi)側(cè)延伸部托住硅片，使得載板邊框與硅片邊緣間沒(méi)有連通硅片上方和下方的縫隙。
[0005]進(jìn)一步地，載板邊框可采用碳纖維材料。
[0006]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0007]I)作為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的配套工裝之一，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單實(shí)用，解決了生產(chǎn)中面臨的技術(shù)問(wèn)題。
[0008]2)使得PECVD鍍膜的良品率大大提高。
[0009]3)相較于原先的掛鉤，不容易對(duì)硅片背面造成損壞，更加安全可靠。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的框架示意圖。
[0011]圖2為本實(shí)用新型的臺(tái)階框俯視示意圖。
[0012]圖3為圖2的A-A局部側(cè)面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0014]如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型采用臺(tái)階框來(lái)取代掛鉤，具體結(jié)構(gòu)為:
[0015]一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺(tái)階框，包括用于承載硅片I的載板邊框2，載板邊框2面向硅片I的側(cè)壁上設(shè)有臺(tái)階201，硅片I放置于載板邊框2的臺(tái)階201上，臺(tái)階201的內(nèi)側(cè)延伸部托住硅片1，使得載板邊框2與硅片I邊緣間沒(méi)有連通硅片上方和下方的縫隙。因此在對(duì)硅片I背面進(jìn)行PECVD鍍膜時(shí)，能夠阻止等離子體3繞鍍至硅片I上方。硅片I的正面邊緣就不會(huì)存在繞鍍現(xiàn)象。
[0016]圖2所示是該臺(tái)階框的整體俯視結(jié)構(gòu)。載板邊框2的材料為碳纖維。近似正方形的開(kāi)口用于放置硅片I。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺(tái)階框，包括用于承載硅片(I)的載板邊框(2)，其特征在于: 所述載板邊框(2)面向硅片(I)的側(cè)壁上設(shè)有臺(tái)階(201)，硅片(I)放置于載板邊框(2)的臺(tái)階(201)上，臺(tái)階(201)的內(nèi)側(cè)延伸部托住硅片(I)，使得載板邊框(2)與硅片(I)邊緣間沒(méi)有連通硅片上方和下方的縫隙。
2.如權(quán)利要求1所述的PECVD鍍膜用防繞鍍臺(tái)階框，其特征在于: 載板邊框(2)采用碳纖維材料。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺(tái)階框，包括用于承載硅片的載板邊框，所述載板邊框面向硅片的側(cè)壁上設(shè)有臺(tái)階，硅片放置于載板邊框的臺(tái)階上，臺(tái)階的內(nèi)側(cè)延伸部托住硅片，使得載板邊框與硅片邊緣間沒(méi)有連通硅片上方和下方的縫隙。進(jìn)一步地，載板邊框可采用碳纖維材料。本實(shí)用新型能夠有效阻止等離子體繞鍍至硅片正面邊緣，使得太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中硅片鍍膜不存在饒鍍現(xiàn)象，提高了產(chǎn)品的良率。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：1）作為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的配套工裝之一，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單實(shí)用，解決了生產(chǎn)中面臨的技術(shù)問(wèn)題。2）使得PECVD鍍膜的良品率大大提高。3）相較于原先的掛鉤，不容易對(duì)硅片背面造成損壞，更加安全可靠。
【IPC分類】C23C16-458
【公開(kāi)號(hào)】CN204417589
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420788733
【發(fā)明人】魯科, 喬琦, 陸紅艷, 黃海濤, 陳如龍
【申請(qǐng)人】無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司
【公開(kāi)日】2015年6月24日
【申請(qǐng)日】2014年12月12日