專(zhuān)利名稱(chēng)：基板加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種以附在基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)而利用加工用工具進(jìn)行基板加工的方法。本發(fā)明是一種尤其對(duì)如低溫煅燒陶瓷(LTCC, Low Temperature Co-fired Ceramic)基板這樣容易產(chǎn)生應(yīng)變的基板有用的基板加工方法。
背景技術(shù)：
例如在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中公開(kāi)了一種加工方法，為了分?jǐn)嗖ＡЩ澹沟遁?也稱(chēng)為劃線(xiàn)輪)一邊壓接基板表面一邊轉(zhuǎn)動(dòng)，借此形成劃線(xiàn)槽。
圖5是表示以往的劃線(xiàn)裝置的一例的透視圖。劃線(xiàn)裝置31包含載置基板W的工作臺(tái)32。該工作臺(tái)32能夠沿著水平的軌道33向Y方向移動(dòng)，并通過(guò)利用電動(dòng)機(jī)34而旋轉(zhuǎn)的滾珠螺桿35被驅(qū)動(dòng)。此外工作臺(tái)32可以通過(guò)內(nèi)置電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)部36而在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
由夾著工作臺(tái)32而豎立設(shè)置在兩側(cè)的支撐柱37支撐的架橋39對(duì)在X方向上延伸的導(dǎo)向桿38進(jìn)行支撐。劃線(xiàn)頭41是由電動(dòng)機(jī)42驅(qū)動(dòng)，且以能夠沿著形成在導(dǎo)向桿38 上的導(dǎo)向槽40而向X方向移動(dòng)的方式安裝。在劃線(xiàn)頭41上設(shè)置著固定器42a，利用該固定器42a來(lái)保持加工用工具43 (刀輪)。加工用工具43可以調(diào)整刀尖方向。接著，在使加工用工具43下降而將刀尖按壓在基板W上的狀態(tài)下使工作臺(tái)32向Y方向移動(dòng)，或者使劃線(xiàn)頭41沿著導(dǎo)向槽40向X方向移動(dòng)，借此如圖6所示，在基板W上呈格子狀地形成X方向的劃線(xiàn)槽S1以及Y方向的劃線(xiàn)槽S2。
此外，在架橋39的上部設(shè)置著相機(jī)44，通過(guò)手動(dòng)操作使其上下移動(dòng)而可調(diào)整焦點(diǎn)。由相機(jī)44拍攝的圖像是顯示在監(jiān)視器45上。
在載置于工作臺(tái)32上的基板W的角部形成著用于確定位置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(十字標(biāo)記)，通過(guò)利用相機(jī)44拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記附近的基板而檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置。具體來(lái)說(shuō)，在劃線(xiàn)裝置中預(yù)先存儲(chǔ)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀數(shù)據(jù)(十字形狀的數(shù)據(jù))，通過(guò)比較由相機(jī)44拍攝的基板的圖像和存儲(chǔ)的形狀數(shù)據(jù)，利用圖案識(shí)別來(lái)判定對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記像是否反映在所述圖像內(nèi)。當(dāng)判定反映了對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記像時(shí)，則判斷基板是載置于正確的位置，將劃線(xiàn)頭41移動(dòng)到預(yù)先規(guī)定的加工起始位置來(lái)開(kāi)始劃線(xiàn)作業(yè)。
如果在圖像內(nèi)無(wú)法檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記像的情況下，則判斷基板偏離正確的位置，發(fā)出提醒修正基板位置的錯(cuò)誤信息。由此，操作人員一邊通過(guò)監(jiān)視器45確認(rèn)由相機(jī)44拍攝的圖像，一邊以手動(dòng)調(diào)整基板位置來(lái)修正位置偏離。
此外，圖5的劃線(xiàn)裝置31中，用于引導(dǎo)基板的定位用基準(zhǔn)銷(xiāo)46是以突出于工作臺(tái)面的方式而設(shè)置。通過(guò)將基板W的端面抵接于該基準(zhǔn)銷(xiāo)46而載置，則不會(huì)出現(xiàn)基板W的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記從由相機(jī)44能夠反映出的拍攝視野范圍大幅偏離的情況。
[先行技術(shù)文獻(xiàn)]
專(zhuān)利文獻(xiàn)
專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本專(zhuān)利第3078668號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
然而，在加工對(duì)象的基板為L(zhǎng)TCC基板的情況下，存在如下問(wèn)題。LTCC基板是如下基板在將氧化鋁的骨材和玻璃化合物混合而成的片材上對(duì)導(dǎo)體進(jìn)行布線(xiàn)而設(shè)為多層膜， 通常以1000°C以下、例如800°C左右的溫度對(duì)該多層膜進(jìn)行煅燒。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是在煅燒前形成，但煅燒時(shí)如圖4(a)及圖4(b)的虛線(xiàn)所示存在變形、收縮的趨勢(shì)。如果基板產(chǎn)生變形， 則會(huì)導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A在基板上的位置從當(dāng)初設(shè)計(jì)的位置(設(shè)計(jì)值)偏離。因此，如果在相機(jī)的拍攝視野范圍內(nèi)應(yīng)該反映出對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的工作臺(tái)上的位置處正確地載置基板W，那么由于基板變形的影響反而導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A從相機(jī)的拍攝視野范圍偏離，變得無(wú)法檢測(cè)而成為錯(cuò)誤顯示。
在此情況下，手動(dòng)將基板移動(dòng)到能夠檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的圖像的位置，但必需暫時(shí)中斷自動(dòng)操作來(lái)修正位置，作業(yè)變得繁雜，并且時(shí)間上的損失較大。
另一方面，只要通過(guò)在工作臺(tái)面設(shè)置定位用的基準(zhǔn)銷(xiāo)46來(lái)引導(dǎo)基板W的載置位置，便可減少錯(cuò)誤顯示的發(fā)生次數(shù)，但在此情況下，還存在如下缺點(diǎn)由于基準(zhǔn)銷(xiāo)46的存在而限制劃線(xiàn)所使用的加工用工具43的移動(dòng)范圍，使得可加工的區(qū)域受到限制。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種在由于基板變形而無(wú)法檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的情況下，可以不中斷裝置的操作而搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，檢測(cè)包含對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的圖像而繼續(xù)進(jìn)行加工動(dòng)作的基板加工方法。
此外，雖然在工作臺(tái)上未設(shè)置定位用基準(zhǔn)銷(xiāo)時(shí)會(huì)頻繁發(fā)生基板載置位置的偏離， 但本發(fā)明的目的在于提供一種即便基板的載置位置或多或少偏離情況下，也能容易地進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的檢測(cè)的基板加工方法。
為了解決所述問(wèn)題而完成的本發(fā)明的劃線(xiàn)方法是一種基板加工方法，將附有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的基板載置到工作臺(tái)上，從在為了拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記而設(shè)定的拍攝基準(zhǔn)位置處通過(guò)相機(jī)而拍攝的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像(包含對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記像的圖像)取得基板的位置信息，根據(jù)該位置信息來(lái)規(guī)定利用加工用工具對(duì)基板的加工位置之后，對(duì)基板進(jìn)行加工；利用拍攝基準(zhǔn)位置處的拍攝未檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)，通過(guò)移動(dòng)相機(jī)或者工作臺(tái)而使拍攝位置在拍攝基準(zhǔn)位置的周邊依序移動(dòng)以搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，算出檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)的拍攝位置和拍攝基準(zhǔn)位置的位置偏離量，而修正加工用工具的加工位置。
[發(fā)明的效果]
本發(fā)明方法中，在由于基板變形而無(wú)法在拍攝基準(zhǔn)位置處檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的情況下，通過(guò)移動(dòng)相機(jī)或者工作臺(tái)而使拍攝位置在拍攝基準(zhǔn)位置的周邊依序移動(dòng)來(lái)搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像。由此，即便在最初的拍攝基準(zhǔn)位置處的拍攝視野范圍內(nèi)未檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像的情況下，使相機(jī)或工作臺(tái)在其周邊的拍攝位置依序移動(dòng)而在相同的拍攝視野范圍內(nèi)搜索， 因此最終可檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，算出可以檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)的拍攝位置和拍攝基準(zhǔn)位置的位置偏離量，根據(jù)該位置偏離量來(lái)修正加工用工具的加工位置，從而可以繼續(xù)進(jìn)行基板加工的動(dòng)作。由此，可以消除基板的位置修正等的手動(dòng)作業(yè)的繁雜性，并且可以減少作業(yè)時(shí)間的損失。
此外，即便對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記從拍攝基準(zhǔn)位置或多或少位置偏離，也可以檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，算出可檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像的拍攝位置和基準(zhǔn)設(shè)定位置的偏離量而規(guī)定加工位置，因CN 102531367 A此無(wú)需設(shè)置如以往那樣的工作臺(tái)上的定位用基準(zhǔn)銷(xiāo)，基準(zhǔn)銷(xiāo)和加工用工具不會(huì)相互干擾， 因此具有能夠使加工用工具自由移動(dòng)到基板周緣為止的效果。
(其他解決問(wèn)題的技術(shù)手段及效果)
所述發(fā)明中，優(yōu)選在搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)，使拍攝位置以拍攝基準(zhǔn)位置為中心在其周邊呈螺旋狀依序移動(dòng)。
由此，即便對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記在工作臺(tái)上向任意方向移動(dòng)，均能夠搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
所述發(fā)明中，還可以將相機(jī)的各拍攝位置處的拍攝視野范圍設(shè)為圓形或方形，以鄰接的拍攝位置的拍攝視野范圍在視野的周緣部分相互重疊的方式移動(dòng)拍攝位置。
由此，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像能夠切實(shí)地進(jìn)入鄰接的任意拍攝位置處的拍攝視野范圍，所以可以消除檢測(cè)不良。
所述發(fā)明中，優(yōu)選為由相機(jī)的拍攝位置的移動(dòng)范圍和拍攝視野范圍規(guī)定的對(duì)準(zhǔn)圖像的可檢測(cè)區(qū)域是以拍攝基準(zhǔn)位置為中心至少包含縱橫5_。
在5_左右的位置精度下可以容易地將基板載置到工作臺(tái)上，因此通過(guò)以拍攝基準(zhǔn)位置為中心至少將縱橫5_設(shè)為可檢測(cè)區(qū)域，可以切實(shí)地檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。因此，即便不存在設(shè)置在通常裝置中的用于定位的基準(zhǔn)銷(xiāo)也能夠容易地進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。此外，由于不需要基準(zhǔn)銷(xiāo)，而可防止基準(zhǔn)銷(xiāo)所造成的不良狀況(與劃線(xiàn)機(jī)構(gòu)的干擾等)。
所述發(fā)明中，基板也可以是LTCC基板。
LTCC基板在煅燒時(shí)產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的變形，但即便在此情況下也可以容易地檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。


圖I是表示用于實(shí)施本發(fā)明的基板加工方法的一實(shí)施例的劃線(xiàn)裝置的一例的透視圖。
圖2(a)、(b)是表示搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)的以拍攝基準(zhǔn)位置為中心的拍攝位置的移動(dòng)順序的一例的圖。
圖3是表示所述劃線(xiàn)裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
圖4 (a)、(b)是表示LTCC基板的變形狀態(tài)的俯視圖。
圖5是表示以往的劃線(xiàn)裝置的一例的透視圖。
圖6是表示呈格子狀劃線(xiàn)的基板的俯視圖。
[符號(hào)的說(shuō)明]
A對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記
W 基板
I劃線(xiàn)裝置
2工作臺(tái)
13 相機(jī)
20控制系統(tǒng)
22控制部具體實(shí)施方式
下面，根據(jù)將LTCC基板劃線(xiàn)的實(shí)施例來(lái)對(duì)本發(fā)明的基板加工方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
圖I是表示用于將LTCC基板劃線(xiàn)的劃線(xiàn)裝置的一例的透視圖。該劃線(xiàn)裝置I包含能夠由吸附機(jī)構(gòu)(未圖示)固定保持LTCC基板W的工作臺(tái)2。工作臺(tái)2通過(guò)由電動(dòng)機(jī)M1 驅(qū)動(dòng)滾珠螺桿4而可以沿著軌道3、3向Y方向移動(dòng)。此外，工作臺(tái)2通過(guò)電動(dòng)機(jī)內(nèi)置的驅(qū)動(dòng)部5而可以在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
由夾著工作臺(tái)2而在兩側(cè)豎立設(shè)置的支撐柱6、6所支撐的架橋8對(duì)在X方向延伸的導(dǎo)向桿7進(jìn)行支撐。劃線(xiàn)頭10由電動(dòng)機(jī)M2驅(qū)動(dòng)，能夠沿著形成于導(dǎo)向桿7的導(dǎo)向槽9向 X方向移動(dòng)。
在劃線(xiàn)頭10設(shè)置著固定器11。在該固定器11上保持著將基板W劃線(xiàn)的專(zhuān)用刀輪 (加工用工具)12。刀輪12的刀尖的方向(相對(duì)于基板的相對(duì)前進(jìn)方向)可以在X方向、 Y方向調(diào)整角度。而且，使刀輪12下降而使刀尖按壓在基板W上的狀態(tài)下使基板W向Y方向移送，或使劃線(xiàn)頭10沿著導(dǎo)向桿7向X方向移動(dòng)，由此可以形成X方向以及Y方向的劃線(xiàn)槽。
此外，在劃線(xiàn)頭10上設(shè)置著和刀輪12 —體地移動(dòng)的相機(jī)13。通過(guò)使該相機(jī)13上下移動(dòng)而可以調(diào)整焦點(diǎn)。相機(jī)13和刀輪12的距離是預(yù)先測(cè)量的，由相機(jī)13反映的圖像中的位置和刀輪12的位置一一對(duì)應(yīng)地建立關(guān)聯(lián)。由相機(jī)拍攝的圖像數(shù)據(jù)被顯示在監(jiān)視器14 上，并且輸出到后述圖像處理部21 (參照?qǐng)D3)。
在載置于工作臺(tái)2上的基板W的角部設(shè)置著用于確定基板W的位置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記 A (參照?qǐng)D4)，通過(guò)利用相機(jī)13拍攝基板W (附有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的附近)而檢測(cè)包含對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記像的圖像(稱(chēng)為對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像)，由此檢測(cè)基板W的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的位置。具體來(lái)說(shuō)，進(jìn)行通過(guò)后述控制系統(tǒng)20的圖像處理部21從所拍攝的圖像中抽選對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的圖案的處理，并且和預(yù)先存儲(chǔ)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀數(shù)據(jù)(十字標(biāo)記)進(jìn)行對(duì)照，由此檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的位置。
另外，相機(jī)13 (及劃線(xiàn)頭10)規(guī)定了設(shè)為基準(zhǔn)的原點(diǎn)位置，當(dāng)進(jìn)行載置于工作臺(tái)2 上的基板W的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的位置檢測(cè)時(shí)，通過(guò)電動(dòng)機(jī)Mp M2的驅(qū)動(dòng)恢復(fù)到原點(diǎn)位置，并在原點(diǎn)位置進(jìn)行拍攝。恢復(fù)原點(diǎn)的狀態(tài)下的相機(jī)13的位置成為搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的動(dòng)作時(shí)的最初的拍攝位置，因此將其設(shè)為“拍攝基準(zhǔn)位置”。
圖3是表示劃線(xiàn)裝置I的控制系統(tǒng)20的框圖。從相機(jī)13輸出的圖像數(shù)據(jù)信號(hào)經(jīng)過(guò)圖像處理部21而作為對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)照用的圖像數(shù)據(jù)提供給控制部22。輸入部23是可以輸入基板W的劃線(xiàn)動(dòng)作等各種處理程序的輸入裝置，其中也輸入有用于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置檢測(cè)的搜索用程序。在控制部22上連接著X方向電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部24、Y方向電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部25、工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)用電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部26及劃線(xiàn)頭驅(qū)動(dòng)部27、以及數(shù)據(jù)保持區(qū)域28 (存儲(chǔ)器)。在該數(shù)據(jù)保持區(qū)域28中，將和位置檢測(cè)關(guān)聯(lián)且與圖案識(shí)別的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)照時(shí)所需的形狀數(shù)據(jù)(十字?jǐn)?shù)據(jù))和各種處理程序一起存儲(chǔ)。
控制部22根據(jù)預(yù)先從輸入部23輸入的處理程序及劃線(xiàn)動(dòng)作所需的設(shè)定參數(shù)數(shù)據(jù)，來(lái)控制工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)軸方向的位置，并且控制劃線(xiàn)頭10向X方向的移動(dòng)、工作臺(tái)2向 Y方向的移動(dòng)。此外，利用刀輪12劃線(xiàn)時(shí)，以刀輪12利用適當(dāng)?shù)呢?fù)重壓接基板W表面的方式進(jìn)行控制。
進(jìn)而，對(duì)基板W進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的搜索時(shí)，進(jìn)行將存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)保持區(qū)域28中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀數(shù)據(jù)和由圖像處理部21抽選的圖像進(jìn)行對(duì)照的演算。
接下來(lái)，對(duì)控制部22所進(jìn)行的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的搜索動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。位置檢測(cè)的容許誤差作為裝置的控制程序的參數(shù)可以任意變更，但本實(shí)施例中，將位置檢測(cè)的容許誤差設(shè)為 1mm，相機(jī)13的拍攝視野范圍由于和相機(jī)的倍率(70倍)有關(guān)，而設(shè)定為一邊2mm的方形區(qū)域。也就是說(shuō)，在某個(gè)拍攝位置反映基板時(shí)，只要在拍攝視野范圍內(nèi)反映出對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心位置(十字標(biāo)記的中心)，則判定在該拍攝位置處能夠檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A。
首先，利用恢復(fù)到原點(diǎn)位置的相機(jī)13拍攝基板W。此時(shí)，相機(jī)13在拍攝基準(zhǔn)位置處對(duì)拍攝視野范圍為直徑2mm的方形區(qū)域進(jìn)行拍攝。對(duì)由相機(jī)13拍攝的圖像和存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)保持區(qū)域28中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)照，只要在圖像內(nèi)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的像被圖案識(shí)別并且標(biāo)記的中心處于拍攝視野范圍內(nèi)，則判定可檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A，且判定基板W的位置在拍攝基準(zhǔn)位置是處于容許誤差內(nèi)。然后，將刀輪12(加工用工具)移動(dòng)到預(yù)先設(shè)定的所需加工起始位置，并開(kāi)始劃線(xiàn)作業(yè)。
如果在拍攝基準(zhǔn)位置處的拍攝視野范圍內(nèi)未反映出對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的像，或者標(biāo)記的中心處在拍攝視野范圍外的情況下，判定從基準(zhǔn)設(shè)定位置偏離。在此情況下，透過(guò)X方向電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部24以及Y方向電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)部25，而使相機(jī)13或者工作臺(tái)2從拍攝基準(zhǔn)位置向其周邊每次以I間距(作為驅(qū)動(dòng)部的控制程序的參數(shù)可以任意設(shè)定，但通常是考慮對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的尺寸和相機(jī)的拍攝視野范圍的關(guān)系而任意設(shè)定，本實(shí)施例中，例如為約1.8mm)移動(dòng)。 使移動(dòng)的間距比拍攝視野范圍的直徑(2mm)短，是為了一邊使拍攝視野范圍的周邊部分和上一次的拍攝位置處的視野范圍重復(fù)一邊搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像。
圖2是表示相機(jī)13對(duì)基板W進(jìn)行拍攝的拍攝位置的移動(dòng)順序(搜索順序)的圖， 圖2(a)上附加的編號(hào)(I) (25)表示搜索順序。相機(jī)13的拍攝視野范圍設(shè)為一邊2mm 的方形區(qū)域，將處于中心的編號(hào)(I)規(guī)定為作為最初的拍攝位置的“拍攝基準(zhǔn)位置”。該拍攝基準(zhǔn)位置如上述般是相機(jī)13的原點(diǎn)位置。
在拍攝基準(zhǔn)位置(編號(hào)(I))處拍攝基板W時(shí)，在準(zhǔn)標(biāo)記像不處于拍攝視野范圍內(nèi)而未檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像的情況下，通過(guò)相機(jī)13或工作臺(tái)2而使拍攝位置向左方向移動(dòng)I間距(I. 8_)，移動(dòng)到編號(hào)(2)。之后，直到檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像為止，如圖2(b)的箭頭所示，以拍攝基準(zhǔn)位置(編號(hào)(I))為中心在其周邊呈螺旋狀地移動(dòng)，以(I)— (2) — (3)... (25)的順序移動(dòng)拍攝位置。
接下來(lái)，例如若在編號(hào)(20)的拍攝位置處檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，則通過(guò)控制部22 算出從拍攝基準(zhǔn)位置(編號(hào)(I))起直到編號(hào)(20)為止的位置偏離量的總和。將算出結(jié)果用于刀輪12的加工起始位置的自動(dòng)修正，使刀輪12移動(dòng)到修正后的加工起始位置處而開(kāi)始劃線(xiàn)動(dòng)作。
如此，雖然本來(lái)通過(guò)拍攝基準(zhǔn)位置處的拍攝應(yīng)當(dāng)能夠檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，但即便在由于基板W變形等而無(wú)法檢測(cè)的情況下，也可以不使裝置的操作中斷而自動(dòng)地搜索檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像以繼續(xù)進(jìn)行劃線(xiàn)動(dòng)作，由此，能夠消除基板W的位置修正等作業(yè)的繁雜性， 并且消除作業(yè)時(shí)間的損失。
此外，即便在拍攝基準(zhǔn)位置處無(wú)法檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像的情況下，使拍攝位置以特定間距、且以特定的移動(dòng)順序依序移動(dòng)而進(jìn)行搜索，也能夠檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，因此無(wú)需如以往般設(shè)置工作臺(tái)上的定位用基準(zhǔn)銷(xiāo)以準(zhǔn)確地載置基板。因此，不存在定位用基準(zhǔn)銷(xiāo)和劃線(xiàn)頭10碰撞的擔(dān)憂(yōu)，能夠使劃線(xiàn)頭10自由地移動(dòng)到基板W的周緣為止。7
本實(shí)施例中，將移動(dòng)并搜索拍攝位置的范圍限制為縱橫5mm，在該范圍內(nèi)若存在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記則可切實(shí)地發(fā)現(xiàn)，但在搜索時(shí)間可以延長(zhǎng)的情況下，也可以擴(kuò)大該搜索區(qū)域的范圍。 此外，通過(guò)控制程序的控制參數(shù)而將搜索時(shí)的一次移動(dòng)間距設(shè)為約I. 8_，但也可以根據(jù)容許誤差調(diào)整間距。此時(shí)，優(yōu)選和上一次的拍攝視野范圍的一部分重疊，消除無(wú)法檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的死角區(qū)域。此外，本實(shí)施例中，將拍攝視野范圍設(shè)為方形區(qū)域，但也可以設(shè)為圓形。在方形的情況下容易消除死角區(qū)域。
另外，相機(jī)13的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像的搜索包含縱橫5_的區(qū)域，只要為該范圍，便可充分地覆蓋LTCC基板的變形所導(dǎo)致的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的偏離。
此外，所述實(shí)施例中，將相機(jī)13 —體地安裝在劃線(xiàn)頭10，但也可以安裝在架橋8 上。相機(jī)13和加工用工具12的位置關(guān)系只要一一對(duì)應(yīng)建立關(guān)聯(lián)便可。
上面已對(duì)本發(fā)明的代表性的實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明未必僅由所述實(shí)施例來(lái)特定。例如作為加工對(duì)象基板，除了容易應(yīng)變的LTCC基板以外，還可以應(yīng)用玻璃基板、半導(dǎo)體基板、薄膜太陽(yáng)電池基板等所有脆性材料基板。此外，安裝在劃線(xiàn)頭11上的加工用工具 12除了刀輪以外，還可以是刀尖具有方向性的固定刀等，而在進(jìn)行激光劃線(xiàn)的情況下，還可以是包含用于將激光光束聚光而成為聚束點(diǎn)并對(duì)基板進(jìn)行照射的光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)工具。
[工業(yè)利用可能性]
本發(fā)明能夠應(yīng)用于在LTCC基板等基板上形成劃線(xiàn)槽的劃線(xiàn)裝置這樣的基板加工 裝直。
權(quán)利要求
1.一種基板加工方法，將附有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的基板載置到工作臺(tái)上，從在為了拍攝所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記而設(shè)定的拍攝基準(zhǔn)位置處通過(guò)相機(jī)拍攝的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像取得所述基板的位置信息， 根據(jù)該位置信息來(lái)規(guī)定利用加工用工具對(duì)所述基板的加工位置之后，對(duì)所述基板進(jìn)行加工；其特征在于利用所述拍攝基準(zhǔn)位置處的拍攝未檢測(cè)到所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)，通過(guò)移動(dòng)所述相機(jī)或者所述工作臺(tái)，而使拍攝位置在所述拍攝基準(zhǔn)位置的周邊依序移動(dòng)來(lái)搜索所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，算出檢測(cè)到所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)的拍攝位置和拍攝基準(zhǔn)位置的位置偏離量，而修正所述加工用工具的加工位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板加工方法，其特征在于搜索所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)，使所述拍攝位置以所述拍攝基準(zhǔn)位置為中心而在其周邊呈螺旋狀依序移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板加工方法，其特征在于所述相機(jī)的各拍攝位置處的拍攝視野范圍設(shè)為圓形或方形，以鄰接的拍攝位置的拍攝視野范圍在視野的周緣部分相互重疊的方式移動(dòng)拍攝位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板加工方法，其特征在于所述相機(jī)的各拍攝位置處的拍攝視野范圍設(shè)為圓形或方形，以鄰接的拍攝位置的拍攝視野范圍在視野的周緣部分相互重疊的方式移動(dòng)拍攝位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一權(quán)利要求所述的基板加工方法，其特征在于由所述相機(jī)的拍攝位置的移動(dòng)范圍和拍攝視野范圍規(guī)定的對(duì)準(zhǔn)圖像的可檢測(cè)區(qū)域是以所述拍攝基準(zhǔn)位置為中心至少包含縱橫5_。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一權(quán)利要求所述的基板加工方法，其特征在于所述基板為L(zhǎng)TCC基板。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板加工方法，其特征在于所述基板為L(zhǎng)TCC基板。
全文摘要
本發(fā)明是一種基板加工方法，提供一種在由于基板變形而無(wú)法檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的情況下，搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記而可以繼續(xù)進(jìn)行加工動(dòng)作的基板加工方法。從在為了拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記而設(shè)定的拍攝基準(zhǔn)位置處利用相機(jī)拍攝到的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像取得基板的位置信息時(shí)，當(dāng)拍攝基準(zhǔn)位置處的拍攝并未檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)，通過(guò)移動(dòng)相機(jī)或者工作臺(tái)而使拍攝位置在拍攝基準(zhǔn)位置的周邊依序移動(dòng)來(lái)搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像，算出檢測(cè)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖像時(shí)的拍攝位置和拍攝基準(zhǔn)位置的位置偏離量，而修正加工用工具的加工位置。
文檔編號(hào)B28D1/22GK102531367SQ20111033033
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月28日
發(fā)明者岡島康智, 吉田圭吾, 青木仁宏 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司