專利名稱：一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于傳遞和檢查夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢 查夾具。
背景技術(shù)：
掩膜版是掩膜行業(yè)內(nèi)的一種光罩，它可以將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓上，由于這種 工藝對(duì)掩膜版的表面潔凈度和缺陷要求很高，這就給掩膜版的清洗和檢查造成 了很大的難度。在一般掩膜版的生產(chǎn)過程中，人手必須接觸到掩膜版才可進(jìn)行
傳遞，傳遞時(shí)手就會(huì)污染掩膜版；同時(shí)，掩膜版表面會(huì)貼一層保護(hù)膜，當(dāng)掩膜 版在儀器上檢查時(shí)容易把此保護(hù)膜弄破。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，旨在解決現(xiàn)有技 術(shù)中的掩膜版在傳遞時(shí)易受到手的污染和在4企查時(shí)易損壞其表面的保護(hù)膜的問 題。
本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的， 一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，其包括一框架、 若干位于所述框架上的用來支撐掩膜版的支撐件和定位掩膜版的定位件，且所 述支撐件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一對(duì)邊中部分別向外設(shè)有 一把手，所述把手和框架之間通過連接件連接。
在傳遞時(shí)手握住把手，不會(huì)接觸到掩膜版，避免了手對(duì)掩膜版的污染；掩 膜版在儀器上檢查時(shí)，在大小塑料銷釘?shù)淖饔孟拢梢员ＷC掩膜版上的保護(hù)膜 不被損壞。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具的方形框架的
示意圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具的支撐件的示 意圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具的定位件的示 意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖 及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體 實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
參閱圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，包 括一方形框架1、若干個(gè)支撐件6和定位件7，所述支撐件6可選用小塑料銷4丁， 定位件7可選用大塑料銷釘。所述方形框架1由硬鋁制成，其一對(duì)邊中部各向 外設(shè)有一把手5，所述把手5與方形框架1之間通過連接件連接，比如螺釘； 所述方形框架1的四邊中部及四角分別開設(shè)有一小孔3和兩相同的大孔2，所 述兩大孔2對(duì)稱設(shè)于小孔3的兩側(cè)，所述小孔3和支撐件6配合，所述大孔2 和定位件7配合，可使支撐件6和定位件7固定在方形框架1上，其中所述支 撐件6的高度小于定位件7的高度；所述支撐件6的用來支撐掩膜版，所述定 位件7用來限定掩膜版的位置和外形尺寸。
在傳遞時(shí)，手握住把手5，不會(huì)接觸到掩膜版，避免了手對(duì)掩膜版的污染； 掩膜版在儀器上檢查時(shí)，由于掩膜版放置在支撐件6上，而定位件7高于支撐 件6,這樣可以保證掩膜版上的保護(hù)膜在檢查時(shí)不祐:損壞。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型， 凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng) 包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，包括一框架，其特征在于還包括若干位于所述框架上的用來支撐掩膜版的支撐件和定位掩膜版的定位件，且所述支撐件的高度小于所述定位件的高度。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種掩膜版?zhèn)鬟f和^r查夾具，其特征在于所述支 撐件由開設(shè)于框架周邊中部及四角的小孔分別固定，所述定位件由分別設(shè)置于 所述小孔兩側(cè)的大孔固定。
3、 如權(quán)利要求2所述的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，其特征在于所述框 架的 一對(duì)邊中部各向外設(shè)有一把手，所述把手和框架之間通過連接件連接。
4、 如權(quán)利要求3所述的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，其特征在于所述框 架為方形，由硬鋁制成。
5、 如權(quán)利要求1或2所述的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，其特征在于所述支撐件為小塑料銷釘。
6、 如權(quán)利要求1或2所述的一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，其特征在于所述定位件為大塑料銷釘。
專利摘要本實(shí)用新型適用于傳遞和檢查夾具技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種掩膜版?zhèn)鬟f和檢查夾具，其包括一框架、若干位于所述框架上的用來支撐掩膜版的支撐件和定位掩膜版的定位件，且所述支撐件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一對(duì)邊中部分別向外設(shè)有一把手，所述把手和框架之間通過連接件連接。在傳遞時(shí)手握住把手，不會(huì)接觸到掩膜版，避免了手對(duì)掩膜版的污染；掩膜版在儀器上檢查時(shí)，在大小塑料銷釘?shù)淖饔孟?，可以保證掩膜版上的保護(hù)膜不被損壞。
文檔編號(hào)G03F7/20GK201273985SQ20082014715
公開日2009年7月15日 申請(qǐng)日期2008年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月10日
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