專利名稱：光掩膜盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是一種光掩膜盒。
背景技術(shù)：
空氣塵粒是光掩膜制造工藝中的一種非常敏感的因素。即便非常小的塵粒也可以使光掩膜報(bào)廢。空氣塵粒會(huì)降低光掩膜的良率，增加生產(chǎn)和制造成本，避免塵粒污染是制造光掩膜過程中的每一個(gè)步驟制都需要注意的。
在制作光掩膜的過程中，當(dāng)從曝光機(jī)臺(tái)載出光掩膜時(shí)，數(shù)片掩膜放入同一個(gè)光罩盒。但是光掩膜的顯影和蝕刻過程是一片一片進(jìn)行的，因此每打開一次盒蓋里面的光掩膜，該光掩膜盒里的所有光掩膜就會(huì)同時(shí)暴露在空氣中一次。這意味著，當(dāng)制作第二片光掩膜時(shí)，盒蓋已經(jīng)被打開過兩次，以此類推，當(dāng)制作第五片光掩膜時(shí)，盒子蓋則已經(jīng)被打開過五次。所以在第一片光掩膜之后，其余四片被環(huán)境中的塵粒污染的幾率會(huì)大大提高。
已有的光掩膜盒只有一個(gè)整體的蓋子，在制作光掩膜過程中光掩膜被污染的可能性很大，大大的增加了制造光掩膜的成本，降低了光掩膜生產(chǎn)的效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種光掩膜盒，能夠減少光掩膜制作過程中光掩膜被空氣中的塵粒污染的幾率，并且可以減少成本，提高生產(chǎn)效率。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明一種光掩膜盒的技術(shù)方案是，包括將該光掩膜盒等分隔開的掩膜隔板，數(shù)個(gè)沿著掩膜排列方向依次連續(xù)排列的寬度等于兩個(gè)掩膜隔板之間距離的相互獨(dú)立的蓋子。
本發(fā)明通過掩膜隔板將光掩膜盒分成幾個(gè)大小相等的可以分別放置光掩膜的部分，在兩塊隔板之間設(shè)有可以單獨(dú)取下和蓋上的小蓋子，這樣在進(jìn)行光掩膜制作過程中，因此不管哪一片光掩膜進(jìn)行顯影和蝕刻的制程，只要拿掉它上面的蓋子就可以拿出光掩膜，不會(huì)使其他的光掩膜也同時(shí)暴露在空氣中，這樣就減少了光掩膜制作過程中受塵粒的影響的幾率。可以增加產(chǎn)品的良率，提高生產(chǎn)效率。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示，本發(fā)明一種光掩膜盒，包括將該光掩膜盒等分隔開的掩膜隔板，數(shù)個(gè)沿著掩膜排列方向依次連續(xù)排列的寬度等于兩個(gè)掩膜隔板之間距離的相互獨(dú)立的蓋子。其中掩膜隔板的個(gè)數(shù)以及獨(dú)立的蓋子的個(gè)數(shù)由一個(gè)光掩膜盒內(nèi)放置的光掩膜的數(shù)量決定。一般來說，光掩膜盒掩膜隔板個(gè)數(shù)為大于一的自然數(shù)，而所述的光掩膜盒的蓋子的個(gè)數(shù)比掩膜隔板個(gè)數(shù)多一。在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述的光掩膜盒掩膜隔板為四個(gè)，所述的光掩膜盒的蓋子為五個(gè)，其中每個(gè)掩膜隔板之間距離相等，掩膜盒蓋子的寬度和長度都一致。
通過本發(fā)明的光掩膜盒，在進(jìn)行光掩膜制作過程中，只需拿掉正在制作的光掩膜上面的蓋子，不會(huì)使其他的光掩膜也同時(shí)暴露在空氣中，減少了光掩膜制作過程中受塵粒的影響的可能性?？梢栽黾赢a(chǎn)品的良率，提高生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求
1.一種光掩膜盒，其特征在于，包括將該光掩膜盒等分隔開的掩膜隔板，沿著掩膜排列方向依次連續(xù)排列的寬度等于兩個(gè)掩膜隔板之間距離的相互獨(dú)立的蓋子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜盒，其特征在于，所述的光掩膜盒掩膜隔板個(gè)數(shù)為大于一的自然數(shù)，所述的光掩膜盒的蓋子的個(gè)數(shù)比掩膜隔板個(gè)數(shù)多一個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜盒，其特征在于，所述的光掩膜盒掩膜隔板為四個(gè)，所述的光掩膜盒的蓋子為五個(gè)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光掩膜盒，包括將該光掩膜盒等分隔開的掩膜隔板，數(shù)個(gè)沿著掩膜排列方向依次連續(xù)排列的寬度等于兩個(gè)掩膜隔板之間距離的相互獨(dú)立的蓋子。通過本發(fā)明的光掩膜盒，在進(jìn)行光掩膜制作過程中，只需拿掉正在制作的光掩膜上面的蓋子，不會(huì)使其他的光掩膜也同時(shí)暴露在空氣中，減少了光掩膜制作過程中受塵粒的影響的可能性?？梢栽黾赢a(chǎn)品的良率，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)B65D85/00GK101063805SQ200610026248
公開日2007年10月31日 申請(qǐng)日期2006年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月29日
發(fā)明者周正, 丁漢有 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司