專利名稱：正型感光性樹(shù)脂組合物、由該組合物形成的固化膜及具有固化膜的元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于形成液晶顯示元件、有機(jī)EL顯示元件等的薄膜晶體管(TFT)基板用平坦化膜、觸摸面板傳感器元件等的保護(hù)具膜、絕緣膜、半導(dǎo)體元件的層間絕緣膜、固體攝像元件用平坦化膜、微透鏡陣列圖案、或光半導(dǎo)體元件等的光波導(dǎo)的芯材、包層材的感光性組合物，由該組合物形成的固化膜，以及具有該固化膜的元件。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，在液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等中，作為實(shí)現(xiàn)更加高精細(xì)、高分辨率的方法，已知提高顯示裝置的開(kāi)ロ率的方法(參照專利文獻(xiàn)I)。這是能夠通過(guò)在TFT基板的上
部設(shè)置透明的平坦化膜作為保護(hù)膜而使數(shù)據(jù)線與像素電極重疊，與現(xiàn)有技術(shù)相比提高開(kāi)ロ率的方法。作為這樣的TFT基板用平坦化膜的材料，為了具有高耐熱性、高透明性的特性并且確保TFT基板電極與ITO電極導(dǎo)通而需要形成50 μ m 數(shù)μ m左右的孔圖案(holepattern)，一般可使用正型感光性材料。作為代表性材料，已知在丙烯酸系樹(shù)脂中組合了重氮醌化合物的材料(參照專利文獻(xiàn)2、3、4)。此外，最近，在液晶顯示器等中，采用了觸摸面板，但為了提高該觸摸面板的透明性、功能性，嘗試以作為透明電極部件的ITO的高透明性和高導(dǎo)電性為目的，進(jìn)行更高溫度下的熱處理、制膜。與此相伴，對(duì)透明電極部件的保護(hù)膜、絕緣膜也要求對(duì)高溫處理的耐熱性。然而，丙烯酸系樹(shù)脂的耐熱性、耐化學(xué)性不充分，存在由于基板的高溫處理、透明電極等的高溫制膜、各種蝕刻藥液處理而使固化膜著色而透明性降低，或者由于高溫制膜中的脫氣而使電極的電導(dǎo)率降低這樣的問(wèn)題。此外，這些丙烯酸系材料一般由于靈敏度低因而生產(chǎn)性低，要求更高靈敏度的材料。此外，伴隨顯示器的進(jìn)步，孔圖案等的開(kāi)ロ尺寸也逐年微細(xì)化，也有時(shí)要求形成3 μ m以下的微細(xì)圖案，但上述丙烯酸系材料的分辨率不充分。另ー方面，作為具有高耐熱性、高透明性等特長(zhǎng)的其它材料，已知聚硅氧烷，為了賦予正型的感光性而在其中組合了重氮醌化合物的材料(參照專利文獻(xiàn)5、6)是公知的。該材料的透明性高，即使通過(guò)基板的高溫處理，透明性也不會(huì)降低，可以獲得高透明的固化膜。然而，關(guān)于該材料，靈敏度、分辨率、耐化學(xué)性不能說(shuō)是充分的，因此強(qiáng)烈要求更高靈敏度、高分辨率、高耐化學(xué)性的正型感光性材料。此外，使用了具有重氮醌結(jié)構(gòu)的聚硅氧烷的正型硅氧烷材料(專利文獻(xiàn)7)是公知的。對(duì)于該材料，増加了用于將重氮醌并入聚合物結(jié)構(gòu)中的エ序，較復(fù)雜，而且具有透明性低這樣的課題。此外，組合了聚合物中具有酚式羥基的聚硅氧烷和重氮萘醌化合物的正型硅氧烷材料(專利文獻(xiàn)8)是公知的。對(duì)于該材料，增加了用于將酚并入聚合物結(jié)構(gòu)中的エ序，較復(fù)雜，而且具有透明性低這樣的課題。此外，為2層抗蝕劑用途，在元件中不殘存該硅氧烷固化膜。因此，強(qiáng)烈要求使更高的透明性、靈敏度、分辨率、耐化學(xué)性全部得到滿足的可以簡(jiǎn)便地制造的正型感光性材料?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I:日本特開(kāi)平9 一 152625號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求I)專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2001 — 281853號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求I)專利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)平5 — 165214號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求I)專利文獻(xiàn)4:日本特開(kāi)2002 — 341521號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求I)專利文獻(xiàn)5:日本特開(kāi)2006 — 178436號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求I)專利文獻(xiàn)6:日本特開(kāi)2009 — 211033號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求I)專利文獻(xiàn)7:日本特開(kāi)2007 — 233125號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)8:美國(guó)專利申請(qǐng)公開(kāi)第2003/0211407號(hào)說(shuō)明書(shū)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題本發(fā)明是基于上述那樣的情況而作出的，提供具有高耐熱性、高透明性的特長(zhǎng)，并且能夠以高靈敏度形成高分辨率的圖案，而且耐化學(xué)性優(yōu)異的正型感光性組合物。此外，本發(fā)明的其它目的是提供由上述的正型感光性組合物形成的TFT基板用平坦化膜、層間絕緣膜、觸摸面板用保護(hù)膜、絕緣膜、芯材、包層材等的固化膜，以及提供具有該固化膜的顯示元件、半導(dǎo)體元件、固體攝像元件、光波導(dǎo)等的元件。用于解決課題的方法為了解決上述課題，本發(fā)明具有以下的構(gòu)成。即，一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、和(C)溶劑的正型感光性組合物，(a)聚硅氧烷中的來(lái)源于通式(I)所示的有機(jī)硅烷的結(jié)構(gòu)的含有比率，以相對(duì)于聚硅氧烷全體的Si原子摩爾數(shù)的Si原子摩爾比計(jì)，為20% 80%，并且(a)聚硅氧烷中包含來(lái)源于通式
(2)所示的有機(jī)娃燒的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、和(C)溶劑的正型感光性組合物， (a)聚硅氧烷中的來(lái)源于通式(I)所示的有機(jī)硅烷的結(jié)構(gòu)的含有比率，以相對(duì)于聚硅氧烷全體的Si原子摩爾數(shù)的Si原子摩爾比計(jì)，為20% 80%，并且(a)聚硅氧烷中包含來(lái)源于通式(2)所示的有機(jī)硅烷的結(jié)構(gòu)，
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，還含有來(lái)源于通式(3)所示的有機(jī)硅烷的結(jié)構(gòu)，
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，以相對(duì)于聚硅氧烷全體的Si原子摩爾數(shù)的Si原子摩爾比計(jì)，包含12% 60%的范圍的來(lái)源于通式(2)所示的有機(jī)硅烷的結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3的任一項(xiàng)所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，通式⑴的R1為苯基、甲苯基、萘基、蒽基、菲基、芴基、芴酮基、芘基、茚基、苊基中的任ー種基團(tuán)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4的任一項(xiàng)所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，通式⑵的m為2 11的整數(shù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5的任一項(xiàng)所述的正型感光性組合物，其特征在干，(b)重氮萘醌化合物相對(duì)于(a)聚娃氧燒100重量份為3 15重量份。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6的任一項(xiàng)所述的正型感光性組合物，其特征在干，(b)重氮萘醌化合物為下述通式(4)所示的重氮萘醌化合物，
8.ー種固化膜，其是由權(quán)利要求I 7的任一項(xiàng)所述的正型感光性組合物形成的固化膜，波長(zhǎng)400nm時(shí)的每3 μ m膜厚的光透射率為90%以上。
9.ー種元件，其具備權(quán)利要求8所述的固化膜。
10.ー種元件,權(quán)利要求9所述的元件為液晶顯示元件、有機(jī)EL顯示元件、觸摸面板用傳感器元件、半導(dǎo)體元件、固體攝像元件或光半導(dǎo)體元件中的任ー種。
全文摘要
本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、(c)溶劑的正型感光性組合物，(a)聚硅氧烷中的來(lái)源于通式(1)所示的有機(jī)硅烷的結(jié)構(gòu)的含有比率，以相對(duì)于聚硅氧烷全體的Si原子摩爾數(shù)的Si原子摩爾比計(jì)，為20%～80%，并且包含來(lái)源于通式(2)所示的有機(jī)硅烷的結(jié)構(gòu)。通過(guò)本發(fā)明的正型感光性組合物，可以提供具有高耐熱性、高透明性的特性，并且能夠以高靈敏度形成高分辨率的圖案的正型感光性組合物。此外，可以用于由本發(fā)明的正型感光性組合物形成的TFT基板用平坦化膜、層間絕緣膜、芯材、包層材等的固化膜、以及具有該固化膜的顯示元件、半導(dǎo)體元件、固體攝像元件、光波導(dǎo)等的元件。
文檔編號(hào)G03F7/022GK102667625SQ20108005851
公開(kāi)日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2010年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月22日
發(fā)明者內(nèi)田圭一, 藤原健典, 諏訪充史, 谷垣勇剛 申請(qǐng)人:東麗株式會(huì)社