用于基板的載具及組裝該載具的方法發(fā)明所屬的技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明關(guān)于薄膜的真空沉積領(lǐng)域中用于基板的載具及組裝該載具的方法。具體而言，本發(fā)明針對(duì)用于基板的載具，其中該載具包括兩個(gè)框架。發(fā)明背景薄膜沉積技術(shù)對(duì)于眾多設(shè)備的生產(chǎn)發(fā)揮著關(guān)鍵作用。在復(fù)合沉積生產(chǎn)線中，實(shí)現(xiàn)操作時(shí)間最大化（亦即，將維護(hù)及裝載時(shí)間縮至最短）是十分理想的。以此方式，增加沉積生產(chǎn)線的效率，這對(duì)于這種系統(tǒng)的工業(yè)成功而言十分重要。DE102005045718B1揭示用于基板的載具，其中該載具的至少一部分由具有一定熱膨脹系數(shù)的材料組成，該材料的熱膨脹系數(shù)大于基板的熱膨脹系數(shù)，該載具的特征在于該載具的預(yù)定區(qū)域具有橋狀物，該橋狀物經(jīng)中心附接，該橋狀物具有的熱膨脹系數(shù)小于與該橋狀物附接的區(qū)域的熱膨脹系數(shù)。DE102005045717B3揭示用于基板的載具，該載具具有兩個(gè)水平的及兩個(gè)垂直的平板。EP1840242A1顯示經(jīng)由真空室輸送基板的裝置，具體而言，顯示具有基板載具的涂布設(shè)施，基板可附接于該基板載具上或附接于該基板載具處，其中該基板載具包括至少一個(gè)護(hù)軌，該護(hù)軌沿著該基板載具的至少一側(cè)延伸，且其中該護(hù)軌為孔，該孔通過(guò)一個(gè)或若干間隔開(kāi)的軸承而與該基板載具間隔開(kāi)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明針對(duì)如權(quán)利要求1中所揭示的一種用于基板的載具及如權(quán)利要求10中所提供的一種用于組裝載具的方法，該載具包括兩個(gè)框架。較佳實(shí)施例描述于從屬權(quán)利要求中。在本發(fā)明的一個(gè)總體方面中，用于要在真空室中涂布的基板的載具包含：第一框架，該第一框架包含兩個(gè)垂直部分及兩個(gè)水平部分，該兩個(gè)垂直部分及兩個(gè)水平部分經(jīng)尺寸調(diào)整以圍繞該基板；第二框架，該第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以界定要涂布的基板的區(qū)域，且該第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以覆蓋該第一框架的至少第一部分，從而在該第二框架安裝至該第一框架時(shí)，防止該第一框架的該第一部分被涂布；以及其中該第二框架以可拆卸的方式安裝至該第一框架。在沉積制程中，尤其在包括使基板移動(dòng)的沉積制程中，任何框架或其他固持器構(gòu)件可曝露于沉積源，且任何框架或其他固持器構(gòu)件可通過(guò)沉積材料來(lái)涂布，該沉積材料在該框架或其他固持器構(gòu)件上形成涂布材料的層。在執(zhí)行預(yù)定次數(shù)的沉積之后，該框架或固持器上的該涂布材料可拆卸，從而形成粒子，這些粒子以未經(jīng)控制的方式轉(zhuǎn)移（例如）至該基板或該沉積設(shè)施的其他部分上。這些粒子可對(duì)經(jīng)處理的基板造成有害影響，在某些情況下這些粒子甚至可毀壞這些經(jīng)處理的基板。因此，需要對(duì)該框架或固持器進(jìn)行定期清潔，以在到達(dá)可能造成脫離的臨界條件（例如，經(jīng)沉積材料的層的厚度）之前移除經(jīng)沉積的材料。該框架的拆卸及清潔自然會(huì)導(dǎo)致該沉積設(shè)備停工。本發(fā)明的載具包含兩個(gè)框架，該載具可確保該第二框架可較容易地拆卸且清潔，而該第一框架通過(guò)該第二框架而被部分或全部保護(hù)以免受涂布。因此，相比于該第二框架，該第一框架可能需要清潔的頻率更低。在一些情況下，該第一框架可能并沒(méi)有被實(shí)質(zhì)上涂布，因此在任何時(shí)候皆沒(méi)有經(jīng)沉積的材料必須被移除。這種框架可連續(xù)地用于沉積設(shè)備，而無(wú)間歇的清潔周期。替代或另外地，此舉可促進(jìn)：該第一框架可永久地安裝于沉積設(shè)備內(nèi)部，因?yàn)樵摰谝豢蚣芸刹槐囟ㄆ诓鹦肚仪鍧?。此舉可進(jìn)一步降低該沉積設(shè)備的復(fù)雜性。“真空室”的上下文中的術(shù)語(yǔ)“真空”涉及以下情況：其中外殼（例如，腔室）內(nèi)部的壓力經(jīng)調(diào)整以具有任何低于大氣壓力的預(yù)定壓力，在較佳方面中，該壓力可低于300毫巴，低于10-3毫巴（高真空）或低于10-7毫巴（超高真空）。在其他方面中，該第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以防止該基板的邊緣區(qū)域被涂布。在其他方面中，該第二框架包含兩個(gè)垂直部分及兩個(gè)水平部分。在較佳方面中，可由四個(gè)部分組裝該第二框架，該四個(gè)部分包括這些垂直及水平部分。此舉可能有利，因?yàn)檎J(rèn)為由不同部分組裝的框架比整體框架更具生產(chǎn)的成本效率。這些框架可具有任何預(yù)定尺寸?；蛘撸捎蓡螇K材料整體地形成這些框架，尤其是在這些框架的尺寸小于預(yù)定尺寸的情況下。一旦該框架的尺寸超過(guò)預(yù)定限制，則由兩個(gè)垂直部分及兩個(gè)水平部分組裝該第二框架可更高效。此舉可具有以下優(yōu)點(diǎn)：在這些部分上存在缺陷的情況下，單個(gè)部分可經(jīng)迅速交換。在該載具的其他方面中，該第一框架的這些垂直部分的材料與該第一框架的這些水平部分的材料不同；及/或該第二框架的這些垂直部分的材料與該第二框架的這些水平部分的材料不同?？赏ㄟ^(guò)在這些不同部分中具有不同材料，而在這些框架的不同的性能參數(shù)之間實(shí)現(xiàn)折衷。例如，使用具有高度結(jié)構(gòu)完整性的載具且另一方面采用便宜的材料可能是理想的。在此情況下，不同的部分可包括具有預(yù)定性質(zhì)的不同材料（例如，由具有預(yù)定性質(zhì)的不同材料制成）。以此方式，可對(duì)于預(yù)定參數(shù)滿足不同設(shè)計(jì)目標(biāo)。例如，該第一框架的這些垂直部分可包含便宜且柔軟的材料，其中該第二框架可包含垂直部分，這些垂直部分包括穩(wěn)定且昂貴的材料。此組合可確保該載具的價(jià)格及機(jī)械性質(zhì)滿足預(yù)定要求。在本發(fā)明的替代性方面中，該第一及/或該第二框架的所有部分可包含不同的材料。在該載具的其他方面中，該第一框架包含鋁，及/或該第一框架的這些垂直部分包含鈦。在該載具的其他方面中，該第二框架包含鈦，及/或該第二框架的這些垂直部分包含鋁。鈦及鋁的組合可能較佳，因?yàn)殇X為較輕、相對(duì)便宜的金屬，其中鈦可具有良好的熱膨脹性質(zhì)（鋁的熱膨脹系數(shù)比鈦的熱膨脹系數(shù)大略高三倍）。該兩個(gè)因素可能對(duì)于較大框架皆具有增加的重要性，這些較大框架支撐較大基板（例如，大于2x1m2），在此情況下，可能更難找到機(jī)械完整性與價(jià)格之間令人滿意的折衷。在較佳實(shí)施例中，該第一框架的這些垂直部分包括鈦，且該第一框架的這些水平部分包括鋁，且該第二框架的這些垂直部分包括鋁，且該第二框架的這些水平部分包括鈦。所有部分亦可分別由鋁及鈦制得。此組合可提供載具，其中兩個(gè)框架皆包含關(guān)于所選擇材料的互補(bǔ)設(shè)置。因此，當(dāng)接合該兩個(gè)框架時(shí)，通過(guò)鈦部分對(duì)基板進(jìn)行無(wú)間隙地封閉。鑒于鋁及鈦的不同的熱膨脹系數(shù)，此舉可能有利。明顯地，此互補(bǔ)設(shè)置對(duì)其他材料的配對(duì)亦可具有這些有利的影響。在其他方面中，該第二框架包含停止器部分，以在水平方向上限制該基板。此舉可防止該基板在水平方向上移動(dòng)，在水平方向上的該移動(dòng)可引起該基板的位移乃至損壞。因?yàn)樵谝恍┓矫嬷?，該第二框架的這些水平部分包含鈦或由鈦組成，鈦可具有類似于典型的基板材料（例如，玻璃）的較低的熱膨脹系數(shù)，所以該停止器部分可附接至該第二框架。當(dāng)對(duì)該第二框架及該基板加熱時(shí)，該基板將通過(guò)這些停止器仍然保持水平固定。在這些水平部分包含其他材料的載具中，可能需要采用額外的措施。因此，本發(fā)明的這些載具允許關(guān)于這些停止器的簡(jiǎn)單且高效的設(shè)計(jì)。在其他方面中，這些停止器部分布置在該第二框架的適合的位置處，以使得該基板可在高溫下限制于水平位置，尤其在接近于該真空室的處理溫度的溫度下，從而確保該基板的垂直邊緣由該第二框架來(lái)覆蓋。因?yàn)橹瞥痰臏囟瓤奢^高，且該框架所包含的材料的幾何結(jié)構(gòu)在加熱時(shí)可經(jīng)歷實(shí)質(zhì)改變，所以引入這些停止器部分以便將該基板的預(yù)定設(shè)置維持在該載具內(nèi)部是有利的。在其他方面中，該第二框架的這些水平部分在該第一框架的這些水平部分的水平范圍的中部處或接近于該第一框架的這些水平部分的水平范圍的中部處固定至該第一框架，以使得在加熱時(shí)，該第二框架的熱膨脹相對(duì)于該第一框架在水平方向上大體上對(duì)稱。以此方式，可保證該兩個(gè)框架的明確定義的膨脹。具體而言，若該第一框架包括水平部分及垂直部分，這些水平部分包含鋁且這些垂直部分包含鈦，且對(duì)于第二框架而言，第二框架包括水平部分及垂直部分，這些水平部分包含鈦且這些垂直部分包含鋁，則兩個(gè)框架在水平方向上可存在熱膨脹的實(shí)質(zhì)差異。通過(guò)將這些水平部分固定于中心位置中，此差異可在這些水平部分的兩側(cè)皆對(duì)稱發(fā)展。因此，不可能存在任何膨脹的非期望的不對(duì)稱，這些不對(duì)稱導(dǎo)致該基板及該框架的不對(duì)稱或未經(jīng)控制的曝露。因?yàn)樵谝恍?shí)施例中，該第二框架包含停止器，以便在水平方向上限制該基板，所以在最差情況下，該框架的熱膨脹可導(dǎo)致膨脹，該膨脹有損該載具固定該基板的能力。另一方面，在具有明確定義的膨脹性質(zhì)的系統(tǒng)中，制造制程的精密度及重復(fù)性可能較高，并且可用較少材料設(shè)計(jì)該載具，因?yàn)槔缫源_保該基板邊緣的覆蓋的設(shè)計(jì)余量(designmargin)可減小。在其他方面中，該第二框架的這些垂直部分在該第一框架的這些垂直部分的垂直范圍的中部處或接近于該第一框架的這些垂直部分的垂直范圍的中部處固定至該第一框架，以使得在加熱時(shí)，該第二框架的熱膨脹相對(duì)于該第一框架在垂直方向上大體上對(duì)稱。如在本發(fā)明的較佳方面中，該第一框架包括水平部分及垂直部分，這些水平部分包含鋁且這些垂直部分包含鈦，且對(duì)于該第二框架而言，該第二框架包括水平部分及垂直部分，這些水平部分包含鈦且這些垂直部分包含鋁，兩個(gè)框架在垂直方向上可存在熱膨脹的實(shí)質(zhì)差異。因此，接近于這些垂直部分的該中部處的固定具有與上文結(jié)合這些水平部分的固定所說(shuō)明的相同的優(yōu)點(diǎn)。在其他方面中，使用鎖孔螺栓接合部將該第二框架以可拆卸的方式安裝至該第一框架。此特征結(jié)構(gòu)可允許該第二框架迅速安裝至該第一框架上。在其他方面中，該第二框架在朝向該第一框架的一側(cè)包含螺栓，將這些螺栓設(shè)計(jì)成與該第一框架中相應(yīng)的鎖孔開(kāi)口嚙合。在其他方面中，將這些鎖孔設(shè)計(jì)成允許處于嚙合位置的這些相應(yīng)的螺栓的移動(dòng)。此特征結(jié)構(gòu)尤其在以下系統(tǒng)中有利：這些框架或這些框架的部分在沉積制程期間的溫度范圍內(nèi)經(jīng)歷實(shí)質(zhì)的熱膨脹。在其他方面中，將這些鎖孔設(shè)計(jì)成使得處于該嚙合位置的這些相應(yīng)的螺栓的移動(dòng)相比于限制在第二空間方向，尤其是該水平方向上，而更加限制在第一空間方向上，尤其是該垂直方向上，該第一及第二空間方向兩者皆在大體上平行于該第一框架的平面內(nèi)。在其他方面中，將這些鎖孔設(shè)計(jì)成考慮到該第一框架相對(duì)于該第二框架的相對(duì)移動(dòng)，該相對(duì)移動(dòng)由在自第一溫度加熱至第二溫度時(shí)發(fā)生的熱膨脹引起，較佳的該第二溫度為該真空室的處理溫度。在其他方面中，（較佳地，通過(guò)鎖孔，這些鎖孔形成有斜面）將這些鎖孔螺栓接合部設(shè)計(jì)成在將該第二框架安裝至該第一框架時(shí)，將該第二框架拉向該第一框架。在此設(shè)置中，該第二框架可經(jīng)由適當(dāng)定位的鎖孔及螺栓而僅懸吊至該第一框架。因?yàn)檫@些制程可僅通過(guò)移動(dòng)該第一框架來(lái)執(zhí)行，而不需要其他工具，所以此舉允許對(duì)該第一框架進(jìn)行極有效地安裝及拆卸。此舉進(jìn)一步減少該沉積生產(chǎn)線的停工時(shí)間。在本發(fā)明的其他方面中，該第一框架可通過(guò)懸吊而安裝至該第二框架。該第一及第二框架可包含相應(yīng)的構(gòu)件，這些構(gòu)件促進(jìn)該懸吊。若這些框架包含包括不同材料的部分，則尤其在這些鎖孔經(jīng)額外設(shè)置以允許該第一框架相對(duì)于該第二框架在第一方向上相對(duì)移動(dòng)且在第二方向上限制該相對(duì)移動(dòng)時(shí)，這些鎖孔可特別有用。在本發(fā)明的較佳方面中，在該第一及/或該第二框架的這些垂直及水平部分中可采用不同材料（例如，鈦及鋁），這些不同材料具有不同的熱膨脹系數(shù)。隨后，設(shè)置使鎖孔各自允許該第一框架相對(duì)于該第二框架在第一方向上相對(duì)移動(dòng)且在第二方向上限制該相對(duì)移動(dòng)，該設(shè)置可尤其對(duì)確保該載具的明確定義的膨脹行為具有有利的影響。在其他方面中，該載具進(jìn)一步包含夾持構(gòu)件，該夾持構(gòu)件通過(guò)該第一框架來(lái)支撐，且該夾持構(gòu)件適合于通過(guò)抵靠該第二框架夾持而固定該基板。在本發(fā)明的較佳方面中，這些夾持構(gòu)件布置在該第一框架的背向該沉積源的表面處，且這些夾持構(gòu)件與該基板的背向該沉積源的表面嚙合。因此，可通過(guò)該沉積設(shè)施將涂層涂敷于該基板的該區(qū)域上，可避免該基板的該區(qū)域的任何減少。因?yàn)楸苊饬嘶鍏^(qū)域的浪費(fèi)(該基板區(qū)域潛在地可供在該基板區(qū)域上沉積膜)，所以此舉增強(qiáng)該沉積設(shè)施的產(chǎn)量。在其他方面中，該第一框架的這些水平部分包含水平狹槽，以減少這些水平部分的外部部分的熱變形。在一些沉積設(shè)備中，加熱元件可經(jīng)布置與該第一及第二框架的這些垂直部分共線，且該加熱元件可經(jīng)布置大體上平行于基板的垂直延伸部分而延伸。此舉可導(dǎo)致這些水平部分的內(nèi)部部分加熱較劇烈，且外部部分加熱較微弱。這些垂直部分相比于這些水平部分可更均勻地受熱，尤其若該基板在水平方向上移動(dòng)，則相比于該水平部分，該垂直部分可更均勻地受熱。因此，減少這些水平部分的這些內(nèi)部與外部部分之間的熱耦合可能有利。此外，該基板可在該沉積制程期間經(jīng)實(shí)質(zhì)加熱。因此，歸因于與該熱基板的該熱接觸，與該基板直接接觸的該第一框架的任何部分自身可呈現(xiàn)更多熱。因?yàn)樵摰谝豢蚣艿倪@些水平部分可進(jìn)行熱傳導(dǎo)，所以減少與該基板進(jìn)行熱接觸的這些部分與這些水平部分的這些外部部分之間的熱耦合可能是有利的。在其他方面中，該第二框架在真空室中曝露以待涂布的表面包含表面圖案化部分，尤其是蜂巢紋圖案化部分，尤其其中僅該第二框架的這些垂直部分包含這些表面圖案化部分。圖案化表面可增加這些部分的該表面，且圖案化表面亦可增加可在產(chǎn)生有害的脫離影響之前而沉積至該部分上的涂布材料的量。因此，在不進(jìn)行清潔的情況下可增加該第一框架的沉積執(zhí)行次數(shù)。本發(fā)明的其他方面包括一種組裝載具（較佳的為以上所述載具中的任一個(gè)）的方法，該載具用于要在真空室中涂布的基板，該方法包含以下步驟：提供第一框架；提供第二框架；在將基板安裝至載具之前，以可移除的方式將該第二框架安裝至該第一框架；其中該第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以界定要涂布的該基板的區(qū)域，且該第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以覆蓋該第一框架的至少第一部分，從而在該第二框架安裝至該第一框架時(shí)，防止該第一框架的該第一部分被涂布。本發(fā)明的方法的其他方面包括：該第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以防止該基板的邊緣區(qū)域被涂布。本發(fā)明的方法的其他方面包括：將該第二框架安裝至該第一框架包括使用鎖孔螺栓接合部。本發(fā)明的方法的其他方面包括：其中（較佳地，使用鎖孔，這些鎖孔形成有斜面）將這些鎖孔螺栓接合部設(shè)計(jì)成在將該第二框架安裝至該第一框架時(shí)，將該第二框架拉向該第一框架。本發(fā)明的方法的其他方面進(jìn)一步包含：在該第二框架安裝至該第一框架之前，預(yù)組裝該第二框架，其中預(yù)組裝該第二框架包含將該第二框架的垂直部分與水平部分接合。在其他情況下，尤其若這些框架超過(guò)預(yù)定尺寸，則可將該第二框架的這些水平部分及垂直部分獨(dú)立安裝至該第一框架。本發(fā)明的方法的其他方面進(jìn)一步包含：尤其通過(guò)使用一或更多螺絲將該第二框架固定至該第一框架。本發(fā)明的方法的其他方面包括：將該第二框架固定至該第一框架，以使得該第一框架相對(duì)于該第二框架相對(duì)移動(dòng)，該相對(duì)移動(dòng)由在自第一溫度加熱至第二溫度時(shí)發(fā)生的熱膨脹引起。較佳的該第二溫度為該真空室的處理溫度，通過(guò)將該第二框架固定至該第一框架來(lái)控制該相對(duì)移動(dòng)。附圖說(shuō)明圖1圖示本發(fā)明的實(shí)施例的示意圖。圖2圖示處于前視圖及兩個(gè)側(cè)視圖的本發(fā)明的實(shí)施例的示意圖。圖3圖示將該兩個(gè)框架拆卸開(kāi)的本發(fā)明的實(shí)施例的示意圖。圖4圖示載具的熱膨脹。圖5圖示根據(jù)本發(fā)明的鎖孔的示意圖。圖6圖示本發(fā)明的實(shí)施例的示意性剖面詳圖。圖7為本發(fā)明的方法的實(shí)施例的流程圖。具體實(shí)施方式在圖1中圖示根據(jù)本發(fā)明的載具1。用于要在真空室中涂布的基板的載具1包含：第一框架3，第一框架3包含兩個(gè)垂直部分32及兩個(gè)水平部分31，兩個(gè)垂直部分32及兩個(gè)水平部分31經(jīng)尺寸調(diào)整以圍繞基板；第二框架2，第二框架2經(jīng)尺寸調(diào)整以界定要涂布的基板的區(qū)域，且第二框架2經(jīng)尺寸調(diào)整以覆蓋第一框架3的至少第一部分33，從而在第二框架2安裝至第一框架3時(shí)，防止第一框架3的第一部分33遭受涂布；以及其中第二框架2以可拆卸的方式安裝至第一框架3。術(shù)語(yǔ)水平及垂直部分涉及垂直沉積設(shè)備中的設(shè)置。在此設(shè)置中，沉積設(shè)備可經(jīng)設(shè)置以容納且處理大體上處于垂直位置的基板。此舉意謂基板的延伸表面與重力的方向大體上共平面。在此設(shè)備中，載具及載具所具有的第一及第二框架將具有與基板大體上相同的取向。因此，形成每一框架的狹長(zhǎng)部分可分為垂直及水平部分，其中“垂直”涉及位于大體上平行于重力的方向延伸的框架的部分上的部分，且“水平”涉及位于大體上正交于重力的方向延伸的框架的部分上的部分。然而，所有載具及用于組裝載具的方法可同等地應(yīng)用于以大體上水平的方式容納且處理基板的沉積設(shè)備中，且所有載具及用于組裝載具的方法亦可同等地應(yīng)用于介于水平與垂直沉積設(shè)備之間的所有中間設(shè)置中。在水平沉積設(shè)備中，框架的所有部分大體上在水平面上延伸，在該水平沉積設(shè)備中，可將框架的兩側(cè)標(biāo)記為“水平的”，且可將框架的另兩側(cè)標(biāo)記為“垂直的”。術(shù)語(yǔ)“以可拆卸的方式安裝”包括通過(guò)任何可釋放的構(gòu)件將第一框架附接至第二框架的所有情況。在一些實(shí)施例中，此舉可包括附接設(shè)備，附接設(shè)備促進(jìn)將第一框架自第二框架以手動(dòng)或工具輔助（例如，借助于螺絲、夾持器或夾子）的方式安裝及釋放。然而，術(shù)語(yǔ)“以可拆卸的方式安裝”不限于這些實(shí)施例。在較佳實(shí)施例中，第一框架3及第二框架2具有大體上為矩形的外部形狀。此外，第二框架2及/或第一框架3可界定開(kāi)放內(nèi)部區(qū)域。第一框架3亦可包括封閉的內(nèi)部區(qū)域，因此沒(méi)有形成開(kāi)口。矩形的框架通常由四個(gè)延伸部分形成。這些部分可具有預(yù)定的剖面，且這些部分可沿預(yù)定方向延伸。在垂直沉積設(shè)備中（例如，以大體上垂直的方式容納且處理基板的設(shè)備），這些部分中的兩個(gè)部分的延伸方向?yàn)榇篌w上垂直的方向，且剩余的兩個(gè)部分的延伸方向?yàn)樗椒较?。在圖1中，部分21、22、31、32具有矩形的剖面，但是這些部分可具有任何其他的預(yù)定剖面。部分21、22、31、32的寬度及高度可經(jīng)選擇，以符合關(guān)于機(jī)械性質(zhì)或熱性質(zhì)的預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)或其他設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。即使在圖1中，部分21、22、31、32圖示為組裝部分，框架亦可以整體方式形成。在這種情況下，部分21、22、31、32可單純理解為幾何結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明的其他方面中，部分21、22、31、32涉及以可釋放方式或永久性組裝的獨(dú)立部分。載具1可用于任何沉積制程中的任何基板。然而，在本發(fā)明的較佳方面中，沉積制程為濺射制程或物理氣相沉積制程。在這種沉積制程中，基板的溫度及基板載具的溫度可高于100℃或更高，因此本申請(qǐng)中所提供的框架幾何結(jié)構(gòu)及安裝構(gòu)件可能十分有利。在較佳方面中，基板為（例如）用于生產(chǎn)顯示器或太陽(yáng)能電池的較大基板（例如，第8代，即，1870×2200mm，或更大）。在圖2中，圖示了根據(jù)本發(fā)明的另一載具1。在圖2中，第一框架3及第二框架2兩者都具有兩個(gè)垂直部分22、32及兩個(gè)水平部分21、31，這些部分形成各自的框架2、3。在圖2中，第二框架2完全覆蓋第一框架3的上表面33。以此方式，沒(méi)有材料可沉積至第一框架3上，該材料自位于載具1上方的沉積源發(fā)射。此外，第一框架3及第二框架2的垂直部分22、32及水平部分21、31可具有任何適合的形式。在圖2中，第二框架2的水平部分21及垂直部分22大體上為條形，且垂直部分22大體上沿垂直方向自第二框架2的一個(gè)末端延伸至另一末端。雖然第一框架3亦具有條形部分31、32，但此處水平部分31沿水平方向自第一框架3的一個(gè)末端延伸至另一末端。在圖2中，水平部分21、31與垂直部分22、32大體上對(duì)接接合。在其他方面中，部分21、22、31、32亦可斜面接合。圖3亦圖示在經(jīng)安裝設(shè)置中的兩個(gè)框架2、3的側(cè)視圖。即使將框架圖示為直接接觸，亦可以沿正交于平面的方向上的預(yù)定距離來(lái)布置框架2、3，這些平面包括第一框架3或第二框架2。在圖3中，圖示根據(jù)本發(fā)明的處于拆卸狀態(tài)的另一載具。盡管安裝構(gòu)件未圖示于圖3中，但可采用任何適合的連接器。圖3圖示以下情況：通過(guò)第二框架2來(lái)部分覆蓋第一框架3，且由此防止第一框架3的經(jīng)覆蓋部分33（劃線區(qū)域）被沉積材料覆蓋。然而，在其他載具中，第二框架2可完全覆蓋第一框架3的表面。如圖3中所示，第二框架2可覆蓋第一框架3的一部分，第一框架3的該部分沿水平方向自第一框架3的垂直部分32的內(nèi)部邊緣延伸至第一框架3的垂直部分32的外部邊緣，且第一框架3的該部分沿垂直方向自第一框架3的水平部分31的內(nèi)部邊緣延伸預(yù)定長(zhǎng)度，該預(yù)定長(zhǎng)度小于第一框架3的水平部分31沿垂直方向的延伸長(zhǎng)度?？赏ㄟ^(guò)一或更多額外的固定擋板來(lái)覆蓋第一框架3未為第二框架2所覆蓋的諸部分。明顯地，第一框架3的哪些部分可用第二框架2來(lái)覆蓋的選擇視沉積設(shè)備的細(xì)節(jié)而定，且具體而言，視沉積源而定。在一些情況下，第一框架3的部分（例如，外部部分）在任何情況下可不曝露于沉積源。在這種情況下，用第二框架2覆蓋第一框架3的內(nèi)部部分可能已足夠。在其他方面中，可能存在關(guān)于第一框架3的水平部分31及垂直部分32的曝露的不對(duì)稱，例如，在水平或垂直方向上更向外延伸的曝露需要在該方向上第二框架2的較寬的部分。在具有移動(dòng)基板的沉積設(shè)備中，沉積源可大體上在垂直于基板的傳送方向的方向上沿著基板的完全延伸部而延伸。隨后，第一框架3的一部分沿傳送方向自第一框架3的水平或垂直部分的內(nèi)部邊緣延伸至外部邊緣，且第一框架3的一部分沿垂直于傳送方向的方向與基板的長(zhǎng)度共延伸，第一框架3的該部分可暫時(shí)曝露于沉積源。然而，沉積設(shè)備的沉積分布通常是已知的，因此規(guī)劃框架2、3不存在困難。因此，本申請(qǐng)中所揭示的其他特征結(jié)構(gòu)，具體而言，用于基板及框架2、3的固定構(gòu)件，可用于框架2、3的不同的幾何結(jié)構(gòu)。對(duì)于每一特定的基板尺寸及沉積類型而言，框架的材料的選擇亦為必須解決的設(shè)計(jì)問(wèn)題。然而，存在較佳的設(shè)置及材料選擇。通常，第一框架3及第二框架2將包含金屬或由金屬組成。較佳的金屬為包含鐵及鐵合金(諸如，不銹鋼)、鋁或鋁合金，或鈦或鈦合金的金屬。第一框架3的垂直部分32及水平部分31的材料可包括不同的材料或由不同的材料組成。歸因于價(jià)格、重量或其他限制，可能不允許用第一材料制造整個(gè)第一框架。在這種情況下，垂直部分32可包括第一材料或由第一材料組成，其中水平部分31包括第二材料或由第二材料組成。在本發(fā)明的較佳的框架中，第一材料為鈦，及/或第二材料為鋁。在圖4中圖示本發(fā)明的載具的較佳方面。由適當(dāng)?shù)墓潭?gòu)件6將第一框架3的水平部分31及第二框架2的水平部分21固定在沿水平方向的每一部分的約中部的位置。在第一安裝溫度下，第一框架3的水平部分31可具有第一長(zhǎng)度L1，且第二框架2的水平部分21可具有第二長(zhǎng)度L2。若載具隨后（例如）自第一安裝溫度加熱至第二處理溫度，則認(rèn)為第一及第二框架的水平部分分別膨脹至L1+△L1及L2+△L2的長(zhǎng)度。因?yàn)橐苿?dòng)僅由固定構(gòu)件6限制，所以認(rèn)為膨脹在該固定構(gòu)件的左側(cè)及右側(cè)以對(duì)稱方式發(fā)展。若第一框架的水平部分31與第二框架的水平部分21的熱膨脹系數(shù)不同，則此固定設(shè)置仍然允許這些框架以受控方式膨脹。水平部分21、31可包含不同的材料，例如，具有不同熱膨脹系數(shù)的金屬，如鋁及鈦。若對(duì)載具（例如）自第一安裝溫度加熱至第二處理溫度，則垂直部分22、32亦可呈現(xiàn)預(yù)定膨脹（未圖示于圖4中）。另外或替代地，可沿著第一框架3的垂直部分32及第二框架2的垂直部分22的垂直方向采用固定構(gòu)件。較佳地，將此固定構(gòu)件置放于垂直部分22、32的上三分之一處。該固定構(gòu)件亦可與用于將第二框架安裝至第一框架上的其他設(shè)備組合，具體而言，該固定構(gòu)件亦可與以下更詳細(xì)描述的鎖孔接合部組合。第一框架3及第二框架2可通過(guò)使用不同的安裝方案來(lái)組裝。在一些情況下，第二框架2可在預(yù)定位置處通過(guò)連接器（諸如，螺絲或螺栓）而牢固安裝于第一框架3上，或第二框架2可通過(guò)適合的構(gòu)件夾箍或夾持至第一框架3。例如，預(yù)定數(shù)目的螺絲可定位于圍繞第一框架3及第二框架2的周圍，以將第二框架2牢固安裝至第一框架3上。然而，具體而言，在以下情況下其他安裝方案可能有利：在變化的處理溫度（例如，組裝載具時(shí)的第一溫度及沉積期間的第二溫度）下使用載具。在本發(fā)明的較佳的載具在第一及第二框架的不同部分中采用具有不同熱膨脹系數(shù)的不同材料（例如，鋁及鈦)時(shí)，就更是如此。在這種載具中，當(dāng)對(duì)經(jīng)組裝載具加熱時(shí)，位于第一框架上的第一點(diǎn)與位于第二框架上的第二點(diǎn)的相對(duì)位置可改變。在示例性載具中，第一框架的水平部分可包含鋁或由鋁組成，且第二框架的水平部分可包含鈦或由鈦組成。因此，第一框架的水平部分可具有較大的熱膨脹。因此，本發(fā)明的第一及第二框架較佳地裝備有適合的座架，座架可在多方向上活動(dòng)，使得可以容許第一框架與第二框架的熱膨脹的差異。根據(jù)本發(fā)明的一些載具可具有固定構(gòu)件，固定構(gòu)件位于水平部分的水平范圍的中心區(qū)域內(nèi)，及/或這些固定構(gòu)件位于接近垂直部分的垂直范圍的中心處。此設(shè)置可確保在加熱時(shí)第二框架相對(duì)于第一框架的相對(duì)熱移動(dòng)在水平及/或垂直方向上大體上對(duì)稱。通常，框架可在加熱期間膨脹，由此增加曝露于沉積源的基板的區(qū)域。通過(guò)使得第二框架相對(duì)于第一框架對(duì)稱移動(dòng)，使得基板上的曝露區(qū)域亦可在水平方向及/或垂直方向上對(duì)稱。圖5a圖示示例性凹部61，凹部61經(jīng)設(shè)置以與相應(yīng)的螺絲或螺栓（未圖示）組合而將第二框架安裝至第一框架。例如，凹部61可定位于圍繞第一框架的周圍位置處，且第二框架可包含位于相應(yīng)位置處的螺栓或螺絲孔。如圖5a所示，凹部61具有狹長(zhǎng)孔隙611。此舉允許第一及第二框架在第一方向上移動(dòng)，其中此舉限制在第二方向上的移動(dòng)。通常，第一方向可為以下方向：歸因于第一及第二框架的不同部分的熱膨脹，可發(fā)生特定較大的相對(duì)移動(dòng)的方向。因此，可根據(jù)預(yù)期相對(duì)移動(dòng)來(lái)選擇狹長(zhǎng)孔隙611的長(zhǎng)度，預(yù)期相對(duì)移動(dòng)因預(yù)定處理溫度的熱膨脹而造成。圖5b圖示根據(jù)本發(fā)明的方面的替代性的安裝凹部的詳圖，替代性的安裝凹部的形式為鎖孔62，用于將第二框架安裝至第一框架。在這種情況下，載具亦可裝備有相應(yīng)的安裝螺栓或螺絲。例如，螺栓可布置于圍繞第二框架的周圍，且鎖孔可布置于第一框架的相應(yīng)位置處。鎖孔亦具有狹長(zhǎng)部分623，狹長(zhǎng)部分623允許第二框架相對(duì)于第一框架在第一方向上移動(dòng)，且狹長(zhǎng)部分623限制在正交的第二方向上的移動(dòng)。兩個(gè)方向可經(jīng)對(duì)準(zhǔn)以平行于水平及垂直部分，或反之亦然。亦可能有利的是，允許大體上處于第一及第二平面的平面中沿一方向的移動(dòng)，以相對(duì)于水平或垂直方向形成角度。此外，圖5b的鎖孔62包含插入部分621，相應(yīng)的螺栓可在螺栓與鎖孔62嚙合期間插入插入部分621中。隨后，經(jīng)嚙合的螺栓可移動(dòng)進(jìn)入鎖孔62的狹長(zhǎng)部分623中。在較佳實(shí)施例中，鎖孔62另外包含斜面622，以在螺栓插入鎖孔中時(shí)，將第二框架自動(dòng)拉向第一框架。以此方式，可簡(jiǎn)單且迅速地組裝第一及第二框架。在圖5c中，圖5b的鎖孔圖示于剖視圖中（剖視平面的位置圖示于圖5b中，如虛線cs所示）。圖5c圖示斜面622經(jīng)斜裁，使得壁的厚度自鄰近于插入部分621的第一預(yù)定厚度增加至鄰近于狹長(zhǎng)部分623的第二預(yù)定厚度。此舉可促進(jìn)：插入該插入部分中的螺栓可沿著斜面622拉動(dòng)，以便與狹長(zhǎng)部分623嚙合。因此，可將第二框架拉向第一框架。為了確保這些框架不下降，可在圍繞第一及第二框架的周圍的額外位置處提供其他固定構(gòu)件，例如，螺絲。具體而言，這些固定構(gòu)件可與鎖孔及螺栓組合，這些固定構(gòu)件接近于第一框架的水平部分的水平范圍的中部及/或接近于第一框架的垂直部分的垂直范圍的中部。在其他載具中，鎖孔及螺栓定位于接近于第一框架的水平部分的水平范圍的中部及/或接近于第一框架的垂直部分的垂直范圍的中部。該基板通過(guò)采用夾持系統(tǒng)而固定至載具。在圖6中，夾持系統(tǒng)8安裝至第一框架3上，且?jiàn)A持系統(tǒng)8將基板7固定抵靠于第二框架2的靜止部分202?；?亦可位于第一框架3上。在此載具中，可移除第二框架2，而基板7仍通過(guò)夾持系統(tǒng)8及第一框架3而固持在適當(dāng)位置。在圖4的載具中，經(jīng)組合的第一框架3及第二框架2及夾持系統(tǒng)8確保基板的固定。夾持系統(tǒng)8可通過(guò)推動(dòng)手柄82而釋放，且?jiàn)A持系統(tǒng)8可具有保持機(jī)構(gòu)，保持機(jī)構(gòu)將該夾持系統(tǒng)的遠(yuǎn)端部分壓緊抵靠于要固定的基板7。夾持系統(tǒng)亦可通過(guò)鎖定機(jī)構(gòu)而緊固于預(yù)定位置中。該遠(yuǎn)端部分可包含適合的接觸部分81，接觸部分81可將壓緊力分到基板7上，而不會(huì)（例如）由于刮擦而損壞基板7。此外，因?yàn)閹缀谓Y(jié)構(gòu)可因第一框架3及第二框架2的熱膨脹而發(fā)生改變，所以接觸部分81可經(jīng)設(shè)置以具有適合的摩擦系數(shù)，以允許接觸面相對(duì)于基板7的移動(dòng)。此外，夾持系統(tǒng)8可移動(dòng)或可移除，以促進(jìn)輕松移除基板7。使夾持系統(tǒng)8作用于背向沉積源的基板的表面700上可具有以下優(yōu)點(diǎn)：基板7的任何區(qū)域不為夾持系統(tǒng)8所遮蔽，且基板7的區(qū)域因此可用于涂布。明顯地，此舉可擴(kuò)大基板7的可用于設(shè)備制造的區(qū)域。此外，在如圖6所示的設(shè)置中，夾持系統(tǒng)8在沉積期間由第二框架2及基板7覆蓋，因此夾持系統(tǒng)8可不受涂布。因?yàn)榇藠A持系統(tǒng)8可不需要頻繁的清潔，所以此舉亦十分有利。在其他情況下，亦可能需要將夾持系統(tǒng)8附接于第二框架2處及/或附接于朝向沉積源的表面200上。即使圖6的示例性載具圖示用于基板的固定系統(tǒng)，該固定系統(tǒng)采用夾持系統(tǒng)8，用于固定基板7的任何其他適合的構(gòu)件亦可用于本發(fā)明的載具中。在其他方面中，基板可夾在兩個(gè)框架2、3之間，且基板可通過(guò)摩擦固持在適當(dāng)位置，而不需要另一固定系統(tǒng)。第二框架2可在第二框架2的內(nèi)部區(qū)域處被斜切，第二框架2的該內(nèi)部區(qū)域緊臨著基板7。在圖6中，斜角201將第二框架2的厚度自第二框架2的外部區(qū)域中的第一厚度減少至第二框架2的內(nèi)部邊緣處的第二區(qū)域。然而，鑒于第一框架3的其他幾何參數(shù)，可選擇第一厚度以提供具有預(yù)定機(jī)械性質(zhì)的框架，鑒于沉積源的幾何結(jié)構(gòu)及方向特征，可選擇第二厚度及斜角201的角度?？烧J(rèn)為，尤其當(dāng)在沉積設(shè)施中采用移動(dòng)基板，沉積設(shè)施具有多個(gè)沉積源，沉積源接近于基板表面安裝時(shí)，此斜角可通過(guò)減少或消除遮蔽效應(yīng)，來(lái)減少或消除基板7的外部區(qū)域中的基板上涂布的任何不均勻性，遮蔽效應(yīng)可在當(dāng)?shù)谝豢蚣?的邊緣部分具有過(guò)大的第二厚度時(shí)發(fā)生。在圖6中，第二框架2包含凹部，以容納第一框架3。此幾何結(jié)構(gòu)可有利于降低經(jīng)組合的第一框架3及第二框架2的厚度。此外，因?yàn)樵诖嗽O(shè)置中兩個(gè)框架皆不可沿各個(gè)方向自由移動(dòng)，所以此幾何結(jié)構(gòu)可進(jìn)一步簡(jiǎn)化安裝制程。因?yàn)閮蓚€(gè)框架的熱膨脹可不同，所以可提供適當(dāng)?shù)拈g隙10，以允許這些框架以明確定義的方式膨脹。此外，第二框架2的曝露于該沉積源的表面200可包括圖案化部分（未圖示于圖6中）。這些圖案化部分可增加第二框架2的表面面積，增加的表面面積可增大在達(dá)到粒子的任何脫離的臨界厚度之前可沉積至這些部分上的材料量。此外，通常認(rèn)為涂布可較好地黏著至圖案化表面。結(jié)構(gòu)化部分可具有任何適合的形狀，尤其是蜂巢紋圖案。圖7示意性地圖示組裝根據(jù)本發(fā)明的載具的方法，該方法包含以下步驟：提供第一框架1001；提供第二框架1002；在將基板安裝至載具之前，將第二框架安裝至第一框架1003，其中第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以界定要涂布的基板的區(qū)域，且第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以覆蓋第一框架的至少第一部分，從而在第二框架安裝至第一框架時(shí)，防止第一框架的第一部分被涂布。在用于組裝載具的較佳方法中，通過(guò)使用如上所述的鎖孔螺栓接合部而將第二框架安裝至第一框架。在這種情況下，尤其在鎖孔包含斜面時(shí)，通過(guò)使螺栓與鎖孔嚙合，第二框架可剛好懸吊至第一框架。借助于斜面，可隨后將第二框架拉向第一框架。第二框架的垂直及水平部分可在將第二框架安裝至第一框架之前接合，或者第二框架的垂直及水平部分可在第二框架的垂直及水平部分已安裝至第一框架之后接合。作為權(quán)利要求的替代物，本發(fā)明可由以下實(shí)施例中任一個(gè)來(lái)界定：實(shí)施例1針對(duì)一種用于在真空室中要涂布的基板的載具(1)，該載具包含：第一框架(3)，第一框架(3)包含兩個(gè)垂直部分(32)及兩個(gè)水平部分(31)，這些部分經(jīng)尺寸調(diào)整以圍繞基板；第二框架(2)，第二框架(2)經(jīng)尺寸調(diào)整以界定要涂布的基板的區(qū)域，且第二框架(2)經(jīng)尺寸調(diào)整以覆蓋第一框架(3)的至少第一部分(33)，從而在第二框架(2)安裝至第一框架(3)時(shí)，防止第一框架(3)的第一部分(33)被涂布；以及其中第二框架(2)以可拆卸的方式安裝至第一框架(3)。實(shí)施例2針對(duì)實(shí)施例1所述的載具，其中第二框架(2)經(jīng)尺寸調(diào)整以防止基板的邊緣區(qū)域被涂布。實(shí)施例3針對(duì)實(shí)施例1或2所述的載具，其中第二框架(2)包含兩個(gè)垂直部分(22)及兩個(gè)水平部分(21)。實(shí)施例4針對(duì)實(shí)施例1至3中任一個(gè)所述的載具，其中第一框架(3)的垂直部分(32)的材料與第一框架(3)的水平部分(31)的材料不同；及/或其中第二框架(2)的垂直部分(22)的材料與第二框架(2)的水平部分(21)的材料不同。實(shí)施例5針對(duì)實(shí)施例4所述的載具，其中第一框架(3)的水平部分(31)包含鋁及/或第一框架(3)的垂直部分(32)包含鈦。實(shí)施例6針對(duì)實(shí)施例4或5所述的載具，其中第二框架(2)的水平部分(21)包含鈦及/或第二框架(2)的垂直部分(22)包含鋁。實(shí)施例7針對(duì)實(shí)施例1至6中任一個(gè)所述的載具，其中第二框架(2)包含停止器部分(9)，以將基板限制在水平方向上。實(shí)施例8針對(duì)實(shí)施例7所述的載具，其中停止器部分(9)布置在第二框架(2)的適合的位置處，以使得基板可在高溫下限制于水平位置，尤其在接近于真空室的處理溫度的溫度下，從而確?；宓拇怪边吘売傻诙蚣?2)來(lái)覆蓋。實(shí)施例9針對(duì)實(shí)施例1至8中任一個(gè)所述的載具，其中第二框架(2)的水平部分(21)在第一框架(3)的水平部分(31)的水平范圍的中部處或接近于第一框架(3)的水平部分(31)的水平范圍的中部處固定至第一框架(3)，以使得在加熱時(shí)，第二框架(2)的熱膨脹相對(duì)于第一框架(3)在水平方向上大體上對(duì)稱。實(shí)施例10針對(duì)實(shí)施例1至9中任一個(gè)所述的載具，其中第二框架(2)的垂直部分(22)在第一框架(3)的垂直部分(32)的垂直范圍的中部處或接近于第一框架(3)的垂直部分(32)的垂直范圍的中部處固定至第一框架，以使得在加熱時(shí)，第二框架(2)的熱膨脹相對(duì)于第一框架(3)在垂直方向上大體上對(duì)稱。實(shí)施例11針對(duì)實(shí)施例1至10中任一個(gè)所述的載具，其中使用鎖孔螺栓接合部將第二框架(2)以可拆卸的方式安裝至第一框架。實(shí)施例12針對(duì)實(shí)施例11所述的載具，其中第二框架(2)在朝向第一框架(3)的一側(cè)包含螺栓，將螺栓設(shè)計(jì)成與第一框架(3)中相應(yīng)的鎖孔(62)開(kāi)口嚙合。實(shí)施例13針對(duì)實(shí)施例11或12所述的載具，其中將鎖孔(62)設(shè)計(jì)成允許處于嚙合位置的相應(yīng)螺栓的移動(dòng)。實(shí)施例14針對(duì)實(shí)施例13所述的載具，其中將鎖孔(62)設(shè)計(jì)成使得處于嚙合位置的相應(yīng)螺栓的移動(dòng)相比于限制在第二空間方向，尤其是水平方向上，而更加限制在第一空間方向上，尤其是垂直方向上，該第一及第二空間方向兩者皆在大體上平行于第一框架的平面內(nèi)。實(shí)施例15針對(duì)實(shí)施例14所述的載具，其中將鎖孔設(shè)計(jì)成考慮到第一框架(3)相對(duì)于第二框架(2)相對(duì)移動(dòng)，該相對(duì)移動(dòng)由在自第一溫度加熱至第二溫度時(shí)發(fā)生的熱膨脹引起，較佳的第二溫度為真空室的處理溫度。實(shí)施例16針對(duì)實(shí)施例11至15中任一個(gè)所述的載具，其中（較佳地，通過(guò)鎖孔(62)，鎖孔形成有斜面(622)）將鎖孔螺栓接合部設(shè)計(jì)成在將第二框架(2)安裝至第一框架(3)時(shí)，將第二框架(2)拉向第一框架(3)。實(shí)施例17針對(duì)實(shí)施例1至16中任一個(gè)所述的載具，載具進(jìn)一步包含夾持構(gòu)件(8)，夾持構(gòu)件(8)通過(guò)第一框架(3)來(lái)支撐，且?jiàn)A持構(gòu)件(8)適合于通過(guò)夾持抵靠第二框架(2)而固定基板。實(shí)施例18針對(duì)實(shí)施例1至17中任一個(gè)所述的載具，其中第一框架(3)的水平部分(31)包含水平狹槽，以減少水平部分(31)的外部部分的熱變形。實(shí)施例19針對(duì)實(shí)施例1至18中任一個(gè)所述的載具，其中第二框架(2)在真空室中曝露以待涂布的表面(200)包含表面圖案化部分，尤其是蜂巢紋圖案化部分，尤其其中僅第二框架(2)的垂直部分(22)包含表面圖案化部分。實(shí)施例20針對(duì)一種組裝載具（較佳的為根據(jù)實(shí)施例1至19中任一個(gè)所述的載具）的方法，載具用于要在真空室中涂布的基板，該方法包含以下步驟：提供第一框架(1001)；提供第二框架(1002)；在將基板安裝至載具之前，以可移除的方式將第二框架安裝至第一框架(1003)；其中第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以界定要涂布的基板的區(qū)域，且第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以覆蓋第一框架的至少第一部分，從而在第二框架安裝至第一框架時(shí)，防止第一框架的第一部分被涂布。實(shí)施例21針對(duì)實(shí)施例20所述的方法，其中第二框架經(jīng)尺寸調(diào)整以防止基板的邊緣區(qū)域被涂布。實(shí)施例22針對(duì)實(shí)施例20或21所述的方法，其中將第二框架安裝至第一框架包括使用鎖孔螺栓接合部。實(shí)施例23針對(duì)實(shí)施例22所述的方法，其中（較佳地，使用鎖孔，鎖孔形成有斜面）將鎖孔螺栓接合部設(shè)計(jì)成在將第二框架安裝至第一框架時(shí)，將第二框架拉向第一框架。實(shí)施例24針對(duì)實(shí)施例20至23中任一個(gè)所述的方法，該方法進(jìn)一步包含：在第二框架安裝至第一框架之前，預(yù)組裝第二框架，其中預(yù)組裝第二框架包含：將第二框架的垂直部分與水平部分接合。實(shí)施例25針對(duì)實(shí)施例20至23中任一個(gè)所述的方法，其中以可移除的方式將第二框架安裝至第一框架進(jìn)一步包含：將第二框架的預(yù)定部分獨(dú)立安裝至第一框架，較佳地，將第二框架的垂直部分及水平部分獨(dú)立安裝至第一框架。實(shí)施例26針對(duì)實(shí)施例20至25任一個(gè)所述的方法，該方法進(jìn)一步包含：尤其通過(guò)使用一或更多螺絲將第二框架固定至第一框架。實(shí)施例27針對(duì)實(shí)施例26所述的方法，其中將第二框架固定至第一框架，以使得通過(guò)將第二框架固定至第一框架來(lái)控制第一框架相對(duì)于第二框架相對(duì)移動(dòng)，該相對(duì)移動(dòng)由在自第一溫度加熱至第二溫度時(shí)發(fā)生的熱膨脹引起，較佳的第二溫度為真空室的處理溫度。