本發(fā)明涉及真空蒸鍍裝置和真空蒸鍍裝置的坩鍋更換方法，能夠在真空容器內(nèi)長時(shí)間且連續(xù)地將蒸鍍材料蒸鍍到蒸鍍對象上。

背景技術(shù)：
如果真空蒸鍍裝置中收容蒸鍍材料的坩鍋長時(shí)間被用于對蒸鍍材料進(jìn)行加熱，則會(huì)發(fā)生劣化。因此，對應(yīng)于蒸鍍(加熱)時(shí)間來確定容量，為了長時(shí)間進(jìn)行連續(xù)蒸鍍，需要將蒸鍍材料變少的使用后的坩鍋與收容有新蒸鍍材料的新坩鍋進(jìn)行更換。蒸鍍裝置在真空容器內(nèi)配置有基板等蒸鍍對象和坩鍋，在上述蒸鍍裝置中，當(dāng)更換坩鍋時(shí)，需要在使真空容器內(nèi)暫時(shí)恢復(fù)為大氣壓之后，在更換后重新使真空容器內(nèi)成為真空狀態(tài)，蒸鍍工序在上述期間停止而產(chǎn)生時(shí)間損失。作為消除上述時(shí)間損失的方法，本申請人提出了一種在日本專利公報(bào)第4570403號中記載的技術(shù)。上述日本專利公報(bào)中公開了一種真空蒸鍍裝置，該真空蒸鍍裝置具有：真空蒸鍍?nèi)萜?，在?guī)定的真空條件下從蒸鍍噴嘴排出蒸鍍材料并將其蒸鍍在蒸鍍對象上；兩個(gè)蒸發(fā)裝置，對配置在上述真空蒸鍍?nèi)萜魍獠康嫩徨佭M(jìn)行加熱，產(chǎn)生蒸鍍材料；以及合流輸送管，連接上述兩個(gè)蒸發(fā)裝置和蒸鍍噴嘴。并且，在兩個(gè)蒸發(fā)裝置中，坩鍋可以相對于能夠抽真空的真空容器進(jìn)出，并且能夠在真空容器內(nèi)利用升降用氣缸裝置使坩鍋升降來與排出管連接。并且，上述蒸發(fā)裝置中，將利用加熱裝置對坩鍋進(jìn)行加熱而產(chǎn)生的蒸鍍材料，通過能夠關(guān)閉和調(diào)整流量的針閥從排出管向合流輸送管送出，再從蒸鍍噴嘴排出。但是，在兩個(gè)蒸發(fā)裝置中分別需要更換用的真空容器和坩鍋升降用氣缸裝置，從而導(dǎo)致裝置整體大型化。此外，由于在真空容器內(nèi)進(jìn)行坩鍋的更換，所以更換作業(yè)和抽真空作業(yè)花費(fèi)時(shí)間。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于提供真空蒸鍍裝置和真空蒸鍍裝置的坩鍋更換方法，可以不停止蒸鍍，順暢地更換坩鍋來進(jìn)行連續(xù)蒸鍍，并且能夠使蒸發(fā)裝置小型化。本發(fā)明方式1提供一種真空蒸鍍裝置，其包括：真空蒸鍍?nèi)萜?，用于在?guī)定的真空條件下從蒸鍍噴嘴排出蒸鍍材料，并將蒸鍍材料蒸鍍在對象物上；至少兩個(gè)蒸發(fā)裝置，分別具有收容了蒸鍍材料的坩鍋和對所述坩鍋進(jìn)行加熱的蒸發(fā)用加熱裝置；至少兩個(gè)輸送管，分別與各所述蒸發(fā)裝置連接；合流管，使從各所述輸送管排出的蒸鍍材料合流并向蒸鍍噴嘴送出；以及至少兩個(gè)連續(xù)蒸鍍操作部，設(shè)置于各所述輸送管；各連續(xù)蒸鍍操作部分別從蒸發(fā)裝置一側(cè)開始依次具有：除氣管，與所述輸送管連接，并且在中途安裝有除氣閥；閘閥，能夠關(guān)閉和打開輸送管；以及流量調(diào)整閥，能夠調(diào)整蒸鍍材料的流量，所述輸送管、合流管、除氣管、閘閥和流量調(diào)整閥分別具備加熱裝置，所述真空蒸鍍裝置還具有連續(xù)蒸鍍控制器，當(dāng)更換坩鍋時(shí)，所述連續(xù)蒸鍍控制器進(jìn)行控制，以便通過關(guān)閉與更換的坩鍋對應(yīng)的連續(xù)蒸鍍操作部的所述閘閥，使與輸送管連接的蒸發(fā)裝置的坩鍋向大氣敞開而能夠更換新的坩鍋，并且在更換為新的坩鍋后，在打開所述除氣閥并從所述除氣管對輸送管內(nèi)的空氣進(jìn)行除氣而成為規(guī)定的真空條件的基礎(chǔ)上，打開所述閘閥，當(dāng)更換坩鍋時(shí)，在更換坩堝一側(cè)，所述連續(xù)蒸鍍控制器在使流量調(diào)整閥和合流管的加熱裝置繼續(xù)進(jìn)行加熱的狀態(tài)下，斷開蒸發(fā)用加熱裝置，并且斷開輸送管、除氣管和閘閥所使用的加熱裝置，在關(guān)閉所述閘閥并更換了蒸發(fā)裝置的坩鍋之后，將除氣閥打開并從除氣管對輸送管內(nèi)的空氣進(jìn)行除氣從而成為規(guī)定的真空條件，使蒸發(fā)用加熱裝置導(dǎo)通而成為蒸鍍材料不蒸發(fā)的預(yù)備加熱狀態(tài)，使各加熱裝置導(dǎo)通并再次開始輸送管、除氣管和閘閥的加熱。本發(fā)明方式2提供一種真空蒸鍍裝置的坩鍋更換方法，所述真空蒸鍍裝置包括：真空蒸鍍?nèi)萜鳎糜谠谝?guī)定的真空條件下從蒸鍍噴嘴排出蒸鍍材料，并將蒸鍍材料蒸鍍在對象物上；至少兩個(gè)蒸發(fā)裝置，分別具有收容了蒸鍍材料的坩鍋和對所述坩鍋進(jìn)行加熱的蒸發(fā)用加熱裝置；至少兩個(gè)加熱式輸送管，分別與各所述蒸發(fā)裝置連接；加熱式合流管，使從各所述輸送管排出的蒸鍍材料合流并向蒸鍍噴嘴送出；以及至少兩個(gè)連續(xù)蒸鍍操作部，設(shè)置于各所述輸送管；所述連續(xù)蒸鍍操作部從所述蒸發(fā)裝置到所述合流管之間依次設(shè)置有：加熱式除氣管，與所述輸送管連接，并且在中途安裝有除氣閥；加熱式閘閥，能夠關(guān)閉和打開輸送管；以及加熱式流量調(diào)整閥，能夠調(diào)整蒸鍍材料的流量，當(dāng)更換所述蒸發(fā)裝置的坩鍋時(shí)，進(jìn)行如下步驟：材料更換步驟，關(guān)閉與提供蒸鍍材料的一方的蒸發(fā)裝置對應(yīng)的連續(xù)蒸鍍操作部的閘閥和流量調(diào)整閥，并且打開與另一方的蒸發(fā)裝置對應(yīng)的連續(xù)蒸鍍操作部的閘閥和流量調(diào)整閥；坩鍋更換步驟，使所述一方的蒸發(fā)裝置向大氣敞開，并且更換所述一方的蒸發(fā)裝置的坩鍋；以及抽真空步驟，打開與更換坩鍋后的一方的蒸發(fā)裝置對應(yīng)的連續(xù)蒸鍍操作部的除氣閥，并且對與所述一方的蒸發(fā)裝置對應(yīng)的連續(xù)蒸鍍操作部的輸送管內(nèi)和蒸發(fā)裝置內(nèi)進(jìn)行抽真空，在材料更換步驟和坩鍋更換步驟中，停止更換坩堝一側(cè)的蒸發(fā)裝置、輸送管、閘閥和除氣管的加熱，并且保持流量調(diào)整閥和合流管的加熱，將更換了坩堝的蒸發(fā)裝置加熱到蒸鍍材料不蒸發(fā)的預(yù)備加熱狀態(tài)，并且再次開始所述輸送管、閘閥和除氣管的加熱。按照本發(fā)明方式1的真空蒸鍍裝置，可以在利用閘閥關(guān)閉輸送管的基礎(chǔ)上使蒸發(fā)裝置向大氣敞開，并將使用后的坩鍋更換為新的坩鍋。由于在更換坩鍋之后，打開除氣閥從除氣管對輸送管內(nèi)和蒸發(fā)裝置內(nèi)的坩鍋進(jìn)行除氣，所以當(dāng)打開閘閥開始進(jìn)行蒸鍍時(shí)，不會(huì)使大氣進(jìn)入真空蒸鍍?nèi)萜鲀?nèi)，從而不需要重新對真空蒸鍍?nèi)萜鲀?nèi)進(jìn)行除氣。此外，由于可以利用坩鍋和蒸鍍加熱裝置使蒸發(fā)裝置結(jié)構(gòu)簡單，并且可以在大氣中裝拆坩鍋，所以可以使蒸發(fā)裝置小型化，并且可以使更換作業(yè)簡化。此外，當(dāng)更換坩鍋時(shí)，由于通過關(guān)閉閘閥使流量調(diào)整閥不會(huì)在高溫狀態(tài)下暴露于大氣中，所以可以防止流量調(diào)整閥劣化。此外，當(dāng)更換坩鍋時(shí)，通過使坩鍋、輸送管、閘閥的溫度下降，可以順暢地更換坩鍋，此外，閘閥不會(huì)在高溫狀態(tài)下暴露在大氣中，可以大幅度減輕閘閥的腐蝕和劣化。此外，通過能夠?qū)⒑狭鞴芎土髁空{(diào)整閥保持在蒸鍍材料的凝結(jié)溫度以上，可以預(yù)防蒸鍍材料凝結(jié)附著而沉積于流量調(diào)整閥。按照本發(fā)明方式2的真空蒸鍍裝置的坩鍋更換方法，在材料更換步驟中，通過切換閘閥和流量調(diào)整閥的開關(guān)，從另外的蒸發(fā)裝置的坩鍋提供新的蒸鍍材料，在坩鍋更換步驟中，將蒸鍍材料用完的使用后的坩鍋更換為收容有蒸鍍材料的新的坩鍋，在抽真空步驟中，經(jīng)由除氣管，對更換坩鍋后的連續(xù)蒸發(fā)操作部的輸送管和蒸發(fā)裝置的內(nèi)部進(jìn)行抽真空，使它們成為規(guī)定的真空條件，并且在預(yù)熱步驟中，通過將更換后的坩鍋加熱到預(yù)熱溫度，即使使用中的坩鍋的蒸鍍材料用完，也可以在不會(huì)混入大氣的狀態(tài)下迅速地更換新的坩鍋。此外，當(dāng)更換坩鍋時(shí)，通過保持流量調(diào)整閥的加熱，可以預(yù)防蒸鍍材料凝結(jié)并附著于上述流量調(diào)整閥，并且通過停止閘閥的加熱而使溫度下降，可以防止高溫狀態(tài)的閘閥暴露在大氣中，從而可以減少閘閥的腐蝕和劣化。附圖說明圖1是表示本發(fā)明真空蒸鍍裝置的實(shí)施例的簡要結(jié)構(gòu)圖。圖2是上述真空蒸鍍裝置的框圖。圖3是表示坩鍋更換步驟的流程圖。圖4是坩鍋更換動(dòng)作1的說明圖。圖5是坩鍋更換動(dòng)作2的說明圖。圖6是坩鍋更換動(dòng)作3的說明圖。圖7是坩鍋更換動(dòng)作4的說明圖。圖8是坩鍋更換動(dòng)作5的說明圖。具體實(shí)施方式下面基于圖1～圖8，對本發(fā)明的真空蒸鍍裝置和真空蒸鍍裝置的坩鍋更換方法的實(shí)施例進(jìn)行說明。(真空蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu))如圖1所示，上述真空蒸鍍裝置包括：真空蒸鍍?nèi)萜?0，形成蒸鍍室11；第一、第二蒸發(fā)裝置13A、13B，具有第一、第二坩鍋12A、12B；第一、第二輸送管14A、14B，分別以能夠分離的方式與上述第一、第二蒸發(fā)裝置13A、13B連接；合流管(歧管)16，將來自第一、第二輸送管14A、14B的蒸鍍材料向蒸鍍噴嘴15送出；以及第一、第二連續(xù)蒸鍍操作部17A、17B，設(shè)置于第一、第二輸送管14A、14B。上述構(gòu)件中從第一、第二蒸發(fā)裝置13A、13B到合流管16的構(gòu)件設(shè)置在真空蒸鍍?nèi)萜?0的外部，蒸鍍噴嘴15設(shè)置在真空蒸鍍?nèi)萜?0的內(nèi)部。蒸鍍室11配置有：通過保持件保持的基板21；上述蒸鍍噴嘴15，向上述基板21排出蒸鍍材料，使蒸鍍材料蒸鍍在上述基板21上；速率檢測器23，檢測蒸鍍材料的蒸鍍速率；以及閘門裝置24，配置在蒸鍍噴嘴15和基板21之間，切換蒸鍍材料的供給和停止。合流管16具有：兩個(gè)導(dǎo)入口16i、16i，配置在真空蒸鍍?nèi)萜?0的外側(cè)下部，并且在兩端下部開口；以及導(dǎo)出口16o，在中央上部開口。蒸鍍噴嘴15設(shè)置成貫通真空蒸鍍?nèi)萜?0的底壁，并與導(dǎo)出口16o連接。由于圖示的一對第一、第二蒸發(fā)裝置13A、13B、第一、第二輸送管14A、14B、合流管16和第一、第二連續(xù)蒸鍍操作部17A、17B分別為相同的結(jié)構(gòu)，所以以下有時(shí)僅對一個(gè)進(jìn)行說明。第一、第二蒸發(fā)裝置13A、13B分別在有底筒狀的坩鍋收容件31A、31B內(nèi)收容有第一、第二坩鍋12A、12B，上述第一、第二坩鍋12A、12B收容有蒸鍍材料。坩鍋收容件31A、31B可以利用由螺釘機(jī)構(gòu)或夾持機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的連接機(jī)構(gòu)32、32，分別與輸送管14A、14B的入口連接，并且可以從上述入口分離。上述坩鍋收容件31A、31B設(shè)置有第一、第二蒸發(fā)用加熱裝置30A、30B，上述第一、第二蒸發(fā)用加熱裝置30A、30B通過第一、第二坩鍋12A、12B對蒸鍍材料進(jìn)行加熱而使其蒸發(fā)。第一、第二連續(xù)蒸鍍操作部17A、17B從第一、第二坩鍋12A、12B一側(cè)開始依次包括：第一、第二除氣管34A、34B，從第一、第二輸送管14A、14B分路并與除氣用真空泵37連接，并且在中途安裝有第一、第二除氣閥33A、33B；第一、第二閘閥(例如閘門閥)35A、35B，分別能夠關(guān)閉第一、第二輸送管14A、14B；以及第一、第二流量調(diào)整閥(例如針閥)36A、36B，能夠調(diào)整從第一、第二輸送管14A、14B向合流管16送出的蒸鍍材料的流量。此外，為了防止蒸鍍材料凝結(jié)附著而沉積，在輸送蒸鍍材料時(shí)與蒸鍍材料接觸的上述通道、閥和真空蒸鍍?nèi)萜?0分別設(shè)置有電加熱器等加熱裝置，用于將上述裝置加熱到蒸鍍材料的凝結(jié)溫度以上。具體地說，上述加熱裝置分別相當(dāng)于：第一、第二輸送管加熱裝置41A、41B，分別對第一、第二輸送管14A、14B(包含第一、第二除氣管34A、34B的一部分和第一、第二除氣閥33A、33B)進(jìn)行加熱；第一、第二閘閥加熱裝置42A、42B，分別對第一、第二閘閥35A、35B進(jìn)行加熱；第一、第二流量調(diào)整閥加熱裝置43A、43B，分別對第一、第二流量調(diào)整閥36A、36B進(jìn)行加熱；合流管加熱裝置44，對合流管16進(jìn)行加熱；以及噴嘴加熱裝置45，對蒸鍍噴嘴15進(jìn)行加熱。在圖1中，省略了真空蒸鍍?nèi)萜?0的加熱裝置的圖示。此外，如圖2所示，利用連續(xù)蒸鍍控制器40、基于速率檢測器23的檢測值，并通過加熱裝置30A、30B、41A、41B、42A、42B、43A、43B、44、45各自的操作器，來控制加熱裝置30A、30B、41A、41B、42A、42B、43A、43B、44、45。即，例如進(jìn)行導(dǎo)通/斷開控制。此外，利用連續(xù)蒸鍍控制器40并通過第一、第二除氣閥33A、33B、第一、第二閘閥35A、35B和第一、第二流量調(diào)整閥36A、36B各自的操作器，來操作第一、第二除氣閥33A、33B、第一、第二閘閥35A、35B和第一、第二流量調(diào)整閥36A、36B。(坩鍋更換步驟)參照圖3～圖8，對用于連續(xù)蒸鍍的坩鍋的更換步驟進(jìn)行說明。[步驟1-3]“蒸鍍步驟”-圖4利用第二坩鍋12B的蒸鍍材料，在規(guī)定的真空條件下在基板21上蒸鍍薄膜。此時(shí)，各加熱裝置41A～43A、41B～43B、44、45處于導(dǎo)通狀態(tài)，第一連續(xù)蒸鍍操作部17A的第一閘閥35A、第一流量調(diào)整閥36A處于關(guān)閉狀態(tài)，第一、第二除氣閥33A、33B處于關(guān)閉狀態(tài)。第二蒸發(fā)用加熱裝置30B導(dǎo)通，蒸鍍材料被蒸發(fā)。相對于此，雖然第一蒸發(fā)用加熱裝置30A處于導(dǎo)通狀態(tài)，但是蒸鍍材料處于不蒸發(fā)的預(yù)備加熱狀態(tài)。第二閘閥35B打開。第二流量調(diào)整閥36B打開并利用連續(xù)蒸鍍控制器40來控制開度，如果由速率檢測器23檢測出的蒸鍍速率低于閾值，則控制成使第二流量調(diào)整閥36B的開度變大而成為適當(dāng)?shù)恼翦兯俾?。[步驟3-5]“材料更換步驟”-圖5如果由速率檢測器23檢測出的蒸鍍速率低于閾值，并且第二流量調(diào)整閥36B已經(jīng)打開到最大，則連續(xù)蒸鍍控制器40判斷第二坩鍋12B的蒸鍍材料已用完。并且，連續(xù)蒸鍍控制器40使第一蒸發(fā)用加熱裝置30A從預(yù)備加熱狀態(tài)成為蒸發(fā)加熱狀態(tài)，并在使第一坩鍋12A的蒸發(fā)材料蒸發(fā)之后，在關(guān)閉第二流量調(diào)整閥36B和第二閘閥35B的同時(shí)，打開第一流量調(diào)整閥36A和第一閘閥35A，從而經(jīng)由合流管16將第一坩鍋12A的蒸發(fā)材料提供給蒸鍍噴嘴15。由此，蒸發(fā)材料的蒸發(fā)源從第二坩鍋12B切換為第一坩鍋12A。[步驟6]“更換步驟”-圖5斷開第二蒸發(fā)用加熱裝置30B并停止第二坩鍋12B的加熱，并且斷開第二輸送管加熱裝置41B、第二閘閥加熱裝置42B來停止加熱，從而使它們的溫度下降。這是因?yàn)楫?dāng)將第二蒸發(fā)裝置13B的坩鍋收容件31B從第二輸送管14B取下時(shí)，第二閘閥加熱裝置42B暴露在流入的低溫大氣中，通過上述操作可以盡量減少腐蝕或劣化等不良影響。[步驟7]“更換步驟”-圖6將坩鍋收容件31B從第二輸送管14B取下，將具有幾乎沒有蒸鍍材料的使用后的第二坩鍋12B的坩鍋收容件31B更換為具有收容了蒸鍍材料的新的第二坩鍋12B的坩鍋收容件31B。并且，將更換后的坩鍋收容件31B與第二輸送管14B連接。當(dāng)然，也可以不更換坩鍋收容件31B，而僅更換第二坩鍋12B。[步驟8]“抽真空步驟”-圖7經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后，打開第二除氣閥33B，經(jīng)由第二除氣管34B對坩鍋收容件31B、第二坩鍋12B和第二輸送管14B內(nèi)進(jìn)行抽真空而成為規(guī)定的真空條件。[步驟9]“預(yù)熱步驟”-圖8使第二蒸發(fā)用加熱裝置30B成為導(dǎo)通狀態(tài)，蒸鍍材料成為不蒸發(fā)的預(yù)備加熱狀態(tài)，并且使第二輸送管加熱裝置41B和第二閘閥加熱裝置42B導(dǎo)通，再次進(jìn)行加熱。如果第一蒸發(fā)裝置13A的第一坩鍋12A的蒸發(fā)材料用完，則只要以與上述同樣的步驟，從第一坩鍋12A切換為第二坩鍋12B即可。(實(shí)施例的效果)在上述實(shí)施例中，當(dāng)更換第二(第一)坩鍋12B(12A)時(shí)，通過第二(第一)閘閥35B(35A)來關(guān)閉第二(第一)輸送管14B(14A)，從第二(第一)輸送管14B(14A)的入口上取下第二(第一)蒸發(fā)裝置13B(13A)的坩鍋收容件31B(31A)并向大氣敞開，將使用后的第二(第一)坩鍋12B(12A)更換為新的第二(第一)坩鍋12B(12A)，并將新的坩鍋收容件31B(31A)與第二(第一)輸送管14B(14A)的入口連接。此外，打開第二(第一)除氣閥33B(33A)并通過第二(第一)除氣管34B(34A)，對第二(第一)輸送管14B(14A)內(nèi)和第二(第一)蒸發(fā)裝置13B(13A)內(nèi)進(jìn)行除氣。因此，當(dāng)打開第二(第一)閘閥35B(35A)開始進(jìn)行蒸鍍時(shí)，大氣不會(huì)進(jìn)入真空蒸鍍?nèi)萜?0內(nèi)，因此，不需要再次對真空蒸鍍?nèi)萜?0內(nèi)進(jìn)行除氣。此外，可以使第一、第二蒸發(fā)裝置13A、13B為由第一、第二坩鍋收容件31A、31B、第一、第二坩鍋12A、12B、第一、第二蒸發(fā)用加熱裝置30A、30B構(gòu)成的簡單結(jié)構(gòu)。此外，由于可以在大氣中相對于第一、第二輸送管14A、14B裝拆第一、第二坩鍋收容件31A、31B和第一、第二坩鍋12A、12B，所以與在真空室內(nèi)等進(jìn)行更換作業(yè)相比，可以提高第二(第一)坩鍋12B(12A)更換作業(yè)的作業(yè)性。此外，當(dāng)更換第二(第一)坩鍋12B(12A)時(shí)，不會(huì)使高溫狀態(tài)的第二(第一)流量調(diào)整閥36B(36A)暴露在大氣中，可以大幅度減輕第二(第一)流量調(diào)整閥36B(36A)的腐蝕和劣化。此外，通過將合流管16和第二(第一)流量調(diào)整閥36B(36A)保持在凝結(jié)溫度以上，可以預(yù)防蒸鍍材料凝結(jié)附著并沉積于第二(第一)流量調(diào)整閥36B(36A)。另外，在所述實(shí)施例中，相對于真空蒸鍍?nèi)萜?0連接有兩個(gè)坩鍋12A、12B，但是也可以連接三個(gè)以上的坩鍋。