板式pecvd鍍膜載板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種板式PECVD鍍膜載板，屬于太陽能光伏電池制造領(lǐng)域。主要特點(diǎn)是載板基體與掛鉤間固定過渡平臺，本實(shí)用新型通過在掛鉤處的硅片與載板基體之間設(shè)置了一個平臺，使硅片邊緣的等離子在鍍膜過程中的流體特性不受載板基體的阻擋而改變，從而大大改變硅片邊緣的色差問題，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，技術(shù)效果明顯，有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量和經(jīng)濟(jì)效益。
【專利說明】板式PECVD鍍膜載板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種板式PECVD鍍膜載板，屬于太陽能光伏電池制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽電池經(jīng)過制絨、擴(kuò)散及PECVD等工序后，已經(jīng)制成PN結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，需要在電池表面上制作正、負(fù)兩個電極。PECVD工序是在硅片表面鍍SiNx (或AlOx/a-Si，等)，而硅片需要特制的載板將硅片放置在載板上再送入PECVD機(jī)臺鍍膜，這樣由于硅片與載板材質(zhì)和表面形貌都有明顯的差異，硅片與載板交接處的鍍膜條件與硅片中間的鍍膜條件差異較大，導(dǎo)致邊緣色差片的出現(xiàn)，降低了電池片良率和轉(zhuǎn)換效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種板式PECVD鍍膜載板，通過本實(shí)用新型改善上述因硅片與載板材質(zhì)和表面形貌有明顯的差異，邊界條件急劇變化導(dǎo)致的邊緣色差。
[0004]本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，一種板式PECVD鍍膜載板，包含載板基體和掛鉤，其特征是，所述載板基體與掛鉤間固定過渡平臺。
[0005]所述過渡平臺固 定在 靠近載板基體的下部。
[0006]所述過渡平臺的寬度為ImnTlOmm,高度為0.01~0.5mm。
[0007]本實(shí)用新型通過在掛鉤處的硅片與載板基體之間設(shè)置了一個平臺，該平臺主要起
到弱化硅片邊緣邊界條件劇烈變化導(dǎo)致鍍膜不均的作用，所以該平臺可與載板一體成型，
也可后期拼接成型，主要目的是減輕硅片邊緣邊界條件突然改變導(dǎo)致鍍膜條件的變化，使
硅片邊緣的等離子在鍍膜過程中的流體特性不受載板基體的阻擋而改變，從而大大改變硅
片邊緣的色差問題，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，技術(shù)效果明顯，有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量和經(jīng)濟(jì)效益。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型在放置硅片后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為現(xiàn)有載板在放置硅片后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖中，I載板基體，2掛鉤，3過渡平臺，4硅片。
【具體實(shí)施方式】
[0011]結(jié)合附圖和實(shí)施例進(jìn)一步說明本實(shí)用新型，如圖1所示，本實(shí)用新型包含載板基體1，掛鉤2和過渡平臺3 ;掛鉤2主要起到支撐硅片4，防止硅片4位移的作用。過渡平臺3設(shè)置在載板基體I和掛鉤2之間，過渡平臺3主要起到弱化硅片4邊緣邊界條件劇烈變化導(dǎo)致鍍膜不均的作用，所以該過渡平臺3可與載板基體I 一體成型，也可后期拼接成型，主要目的是減輕硅片邊緣邊界條件突然改變導(dǎo)致鍍膜條件的變化。過渡平臺3的寬度為lmnTlOmm，平臺高度0.01~0.5mm,過渡平臺3作為掛鉤2處的硅片4到載板基體I的一個過渡區(qū)域，相對于掛鉤2處硅片4邊緣如果直接與載板相鄰，等離子體流動特性由于載板基體I的阻擋與硅片4中間的特性發(fā)生改變，導(dǎo)致邊緣鍍膜條件發(fā)生變化，從而產(chǎn)生色差片，通過在掛鉤處2的硅片4與載板基體I之間的平臺，使硅片4邊緣的等離子在鍍膜過程中的流體特性不受載板基體I的阻擋而改變，從而大大改變硅片邊緣的色差問題。
圖2為現(xiàn)有載板在放直娃 片后的結(jié)構(gòu)不意圖。
【權(quán)利要求】
1.一種板式PECVD鍍膜載板，包含載板基體和掛鉤，其特征是，所述載板基體與掛鉤間固定過渡平臺。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板式PECVD鍍膜載板，其特征是，所述過渡平臺固定在靠近載板基體的下部，過渡平臺的上表面與硅片在同一平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板式PECVD鍍膜載板，其特征是，所述過渡平臺的寬度為1_?1 Omm,高度為 0.01 ?0.5mm。
【文檔編號】C23C16/458GK203683660SQ201320755982
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2013年11月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月27日
【發(fā)明者】葉權(quán)華, 鄭飛 申請人:中電電氣（揚(yáng)州）光伏有限公司