1.一種用于在CVD或者PVD裝置中產(chǎn)生蒸氣的方法，其中，在固體的或者液體的顆粒上通過與單級(jí)或者多級(jí)蒸發(fā)裝置(1、2)的、升至蒸發(fā)溫度的第一熱傳導(dǎo)面的接觸而傳遞蒸發(fā)熱，并且通過顆粒的蒸發(fā)所產(chǎn)生的蒸氣由載體氣沿載體氣的流動(dòng)方向從蒸發(fā)裝置(1、2)輸送出，其特征在于，蒸氣由載體氣運(yùn)輸穿過沿流動(dòng)方向布置在蒸發(fā)裝置(1、2)之后的單級(jí)或者多級(jí)的調(diào)制裝置(3、4)，調(diào)制裝置(3、4)具有第二熱傳導(dǎo)面，所述第二熱傳導(dǎo)面至少在蒸氣供應(yīng)階段中被溫度控制為第一調(diào)制溫度，在第一調(diào)制溫度下蒸氣穿過調(diào)制裝置(3、4)而不材料富集地冷凝在第二熱傳導(dǎo)面上，并且所述第二熱傳導(dǎo)面至少在中斷階段中被溫度控制到第二調(diào)制溫度，在第二調(diào)制溫度下蒸氣的至少一部分材料富集地冷凝在第二熱傳導(dǎo)面上。
2.按照權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，調(diào)制裝置(3、4)主動(dòng)地、尤其通過導(dǎo)入冷卻氣冷卻到第二調(diào)制溫度，其中尤其規(guī)定，冷卻氣被導(dǎo)引至或者在蒸發(fā)裝置(1、2)之間的，或者在調(diào)制裝置(3、4)之間，或者在調(diào)制裝置(3、4)的兩個(gè)元件之間的間隙(12)。
3.按照上述權(quán)利要求之一所述的方法，其特征在于，蒸氣的在第二調(diào)制溫度下沉積在調(diào)制裝置(3、4)的熱傳導(dǎo)面上的冷凝物在相當(dāng)于蒸發(fā)溫度的調(diào)制溫度下使材料富集減少地蒸發(fā)。
4.按照上述權(quán)利要求之一所述的方法，其特征在于，蒸氣的質(zhì)量流動(dòng)速率通過調(diào)制裝置(3、4)的由調(diào)節(jié)器(31)調(diào)節(jié)的溫度、尤其借助調(diào)制裝置(3、4)的加熱裝置的加熱功率的影響和/或通過冷卻氣在調(diào)制裝置(3、4)中的質(zhì)量流量被調(diào)整。
5.一種用于為CVD或者PVD裝置產(chǎn)生蒸氣的設(shè)備，所述設(shè)備尤其用于實(shí)施權(quán)利要求1至4中所述方法，該設(shè)備具有單級(jí)或者多級(jí)的蒸發(fā)裝置(1、2)，所述蒸發(fā)裝置(1、2)具有能加熱至蒸發(fā)溫度的第一熱傳導(dǎo)面，第一熱傳導(dǎo)面用于向置入蒸發(fā)裝置(1、2)中的固體的或者液體的顆粒傳導(dǎo)蒸發(fā)熱，其中，通過顆粒的蒸發(fā)所產(chǎn)生的蒸氣由載體氣沿載體氣的流動(dòng)方向從蒸發(fā)裝置(1、2)輸送出，其特征在于，沿流動(dòng)方向在蒸發(fā)裝置(1、2)之后布置調(diào)制裝置(3、4)，所述調(diào)制裝置(3、4)具有第二熱傳導(dǎo)面，其中，第二熱傳導(dǎo)面可以至少區(qū)域式地被溫度控制為調(diào)制溫度，其中，該調(diào)制溫度至少可以具有冷凝溫度的值和蒸發(fā)溫度的值，蒸氣在所述冷凝溫度下在第二熱傳導(dǎo)面上冷凝成積蓄材料，在所述蒸發(fā)溫度下不在第二熱傳導(dǎo)面上形成積蓄材料。
6.按照權(quán)利要求5所述的設(shè)備或者按照權(quán)利要求1至4之一所述的方法，其特征在于，熱傳導(dǎo)面由發(fā)泡體的開放式孔隙的腔室的壁的表面構(gòu)成，其中尤其規(guī)定，發(fā)泡體由導(dǎo)電材料組成并且可以通過接通電流被加熱，發(fā)泡體具有500至200、優(yōu)選100孔隙每吋的孔隙度和/或所有開放表面占發(fā)泡體的表面積90％以上的份額。
7.按照上述權(quán)利要求之一所述的設(shè)備或者方法，其特征在于，利用供應(yīng)管(14)向調(diào)制裝置(3、4)輸入冷卻氣，以降低調(diào)制溫度。
8.按照上述權(quán)利要求之一所述的設(shè)備或者方法，其特征在于，蒸發(fā)裝置(1、2)和/或調(diào)制裝置(3、4)分別具有兩個(gè)沿流動(dòng)方向相繼地布置的開放式孔隙的發(fā)泡體，其中尤其規(guī)定，對(duì)于蒸發(fā)裝置(1)來說，上游的發(fā)泡體是用于載體氣的預(yù)加熱裝置并且通過間隙(10)與蒸發(fā)裝置(2)的第二發(fā)泡體相間隔，在間隙(10)中通入氣溶膠供應(yīng)管(9)，用于輸入具有顆粒的氣溶膠，和/或其中尤其規(guī)定，調(diào)制裝置(3、4)的沿流動(dòng)方向相繼布置的發(fā)泡體通過間隙(12)相互分開，在間隙(12)中通入冷卻氣體導(dǎo)入管(14)，用于導(dǎo)入冷卻氣。
9.按照上述權(quán)利要求之一所述的設(shè)備或者方法，其特征在于，四個(gè)基本相同構(gòu)造的發(fā)泡體(1、2、3、4)沿流動(dòng)方向相繼地布置在蒸發(fā)器殼體中，蒸發(fā)器殼體的布置在調(diào)制裝置(3、4)下游的殼體壁(7、8)被加熱至高于蒸發(fā)溫度的溫度。
10.按照上述權(quán)利要求之一所述的設(shè)備或者方法，其特征在于，在調(diào)制裝置(3、4)下游布置傳感器(29)，所述傳感器用于測量蒸氣在載體氣中的分壓力或者濃度。
11.按照上述權(quán)利要求之一所述的設(shè)備或者方法，其特征在于，所述設(shè)備是具有進(jìn)氣機(jī)構(gòu)(24)和基座(25)的CVD或者PVD反應(yīng)器，其中，由載體氣運(yùn)輸?shù)恼魵馔ㄟ^進(jìn)氣機(jī)構(gòu)(24)向放置于基座(25)上的基材(26)的方向運(yùn)輸，蒸氣在基材上由于化學(xué)反應(yīng)或者溫度降低而冷凝，其中尤其設(shè)置真空泵(28)，用于將CVD或者PVD反應(yīng)器的內(nèi)部抽真空。
12.一種設(shè)備或者方法，其特征在于上述權(quán)利要求的一個(gè)或者多個(gè)特征。