沉積蒸發(fā)系統(tǒng)及沉積蒸發(fā)傳動裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種沉積蒸發(fā)系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種傾斜角沉積蒸發(fā)系統(tǒng)及傾斜角沉積蒸發(fā)傳動裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]傾斜角沉積技術(shù)是一種將傳統(tǒng)的薄膜真空沉積與可控的襯底轉(zhuǎn)動結(jié)合起來的新穎、有效的薄膜制備方法。在傳統(tǒng)的薄膜沉積技術(shù)中，粒子束沿著基片的法線方向入射到基片表面上(即正入射沉積)。而傾斜角沉積技術(shù)是將基片傾斜(或改變粒子束的入射方向)，使粒子束的入射方向與基片表面的法線成一定的夾角(即沉積角)，該方法生長出的薄膜具有傾斜的柱狀結(jié)構(gòu)。通過改變基片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn)速度可制備出各種形狀的納米結(jié)構(gòu)薄膜，如螺旋狀、傾斜柱狀、之字形、C形和豎直的柱狀結(jié)構(gòu)等，這些薄膜因具有孔隙率高、比表面積大和各向異性等優(yōu)越的性質(zhì)，使其在漸變折射率減反膜、傳感器、太陽能電池、光子晶體器件、光催化等方面得到廣泛應(yīng)用。
[0003]目前，應(yīng)用的傾斜角沉積蒸發(fā)系統(tǒng)需要采用兩個電機來控制基片的公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)以及傾斜角度，如圖6所示，該結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)系統(tǒng)采用兩個在腔體001內(nèi)部的馬達002、003，分別用于控制基片004的傾斜角度和旋轉(zhuǎn)速度，基片位于蒸發(fā)源005的正上方，受到三維運動的限制，基片必需固定，并且采用電機來控制傾斜角度只能放置一個基片沉積，由于一個電機只能對一個基片進行傾斜角度或轉(zhuǎn)動的控制，如需多片同時沉積，則需要增加電機的個數(shù)分別對基片加以控制，這就增加了蒸發(fā)設(shè)備的成本及其維護。此外，電機的使用溫度一般低于135°C，這也限制了高溫條件下的蒸發(fā)。其產(chǎn)能比較低，成本也較高，不適于大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種沉積蒸發(fā)系統(tǒng)及沉積蒸發(fā)傳動裝置，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，產(chǎn)能高。
[0005]根據(jù)本實用新型的第一方面，提供一種沉積蒸發(fā)系統(tǒng)，用于對基片進行傾斜蒸發(fā)沉積，包括動力機構(gòu)、沉積蒸發(fā)傳動裝置和真空蒸發(fā)器，
[0006]所述動力機構(gòu)與所述沉積蒸發(fā)傳動裝置相連接，用于驅(qū)動所述沉積蒸發(fā)傳動裝置轉(zhuǎn)動；
[0007]所述真空蒸發(fā)器位于所述沉積蒸發(fā)傳動裝置的下方；所述真空蒸發(fā)器的蒸發(fā)源面向所述沉積蒸發(fā)傳動裝置放置，所述蒸發(fā)源的縱向中心線與基片所在平面平行。
[0008]優(yōu)選地，所述沉積蒸發(fā)傳動裝置包括旋轉(zhuǎn)架、基片載具和軌道，
[0009]所述旋轉(zhuǎn)架的一端與所述動力機構(gòu)相連接，所述基片載具連接在所述旋轉(zhuǎn)架的另外一端，所述基片載具可隨所述旋轉(zhuǎn)架的轉(zhuǎn)動實現(xiàn)沿所述軌道的公轉(zhuǎn)以及繞自身縱向軸線的自轉(zhuǎn)，基片位于基片載具上。
[0010]優(yōu)選地，所述動力機構(gòu)包括電機和傳動部，所述沉積蒸發(fā)傳動裝置通過所述傳動部與所述電機相連接。
[0011]優(yōu)選地，所述傳動部包括多組齒輪副，所述齒輪副包括由主動錐齒輪、從動錐齒輪構(gòu)成的齒輪副、由主動小齒輪和從動大齒輪構(gòu)成的齒輪副；所述主動錐齒輪和電機的輸出軸相連接，所述從動錐齒輪和主動錐齒輪相嚙合，所述從動錐齒輪和所述小齒輪同軸，所述大齒輪與所述小齒輪嚙合，所述旋轉(zhuǎn)架的一端與所述大齒輪相連接。
[0012]優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)架包括動力連接部和支臂，所述動力連接部的上端與所述動力機構(gòu)相連接，所述支臂的一端連接在所述動力連接部的徑向外緣上。
[0013]優(yōu)選地，所述支臂設(shè)置有多個，為桿狀，其一端連接在所述動力連接部的外緣上，另外一端位于靠近所述軌道的位置，在所述支臂靠近所述軌道的一端設(shè)置有基片載具安裝部。
[0014]優(yōu)選地，在所述基片載具安裝部上設(shè)置有通孔，用于安裝所述基片載具。
[0015]優(yōu)選地，所述基片載具包括滾輪、支撐桿和支撐基座，所述滾輪和支撐基座分別連接在所述支撐桿的兩端，所述支撐基座用于放置基片。
[0016]優(yōu)選地，所述支撐基座位于所述軌道的徑向內(nèi)側(cè)，所有基片載具的支撐桿在同一個平面上，該平面與所述軌道所在的平面共面或平行。
[0017]優(yōu)選地，所述支撐桿與所述支撐基座上放置的基片所在平面垂直。
[0018]優(yōu)選地，所述滾輪、支撐基座和支撐桿之間均為固定連接。
[0019]優(yōu)選地，所述滾輪和/或所述支撐基座設(shè)置成包括大小不同的可替換的一系列。
[0020]優(yōu)選地，所述支撐桿的長度可以調(diào)節(jié)。
[0021]優(yōu)選地，所述支撐基座包括圓環(huán)和支架，所述支架包括多個分支，多個分支的一端相交，其交點位于所述圓環(huán)的縱向中心線上，并與所述圓環(huán)的圓心相距一定距離，該相交的端部與所述支撐桿的端部進行連接，多個分支的另外一端固定到所述圓環(huán)上。
[0022]優(yōu)選地，所述支架的多個分支在圓環(huán)的周向上呈不均勻分布，在其中的兩個分支之間形成有較大的開口。
[0023]優(yōu)選地，在所述圓環(huán)上設(shè)置有固定部，該固定部在所述圓環(huán)的內(nèi)緣沿所述圓環(huán)的徑向向內(nèi)延伸形成。
[0024]優(yōu)選地，還包括外殼，所述電機位于所述外殼的外部。
[0025]優(yōu)選地，所述基片載具為多個。
[0026]根據(jù)本實用新型的第二方面，提供一種沉積蒸發(fā)系統(tǒng)的傳動裝置，所述傳動裝置包括旋轉(zhuǎn)架、基片載具和軌道，所述基片載具連接在所述旋轉(zhuǎn)架的一端，所述基片載具可隨所述旋轉(zhuǎn)架的轉(zhuǎn)動實現(xiàn)沿所述軌道的公轉(zhuǎn)以及繞自身縱向軸線的自轉(zhuǎn)，基片位于所述基片載具上。
[0027]優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)架包括動力連接部和支臂，所述動力連接部的上端與動力機構(gòu)相連接，所述支臂的一端連接在所述動力連接部的徑向外緣上。
[0028]優(yōu)選地，所述支臂設(shè)置有多個，為桿狀，其一端連接在所述動力連接部的外緣上，另外一端位于靠近所述軌道的位置，在所述支臂靠近所述軌道的一端設(shè)置有基片載具安裝部。
[0029]優(yōu)選地，在所述基片載具安裝部上設(shè)置有通孔，用于安裝所述基片載具。
[0030]優(yōu)選地，所述基片載具包括滾輪、支撐桿和支撐基座，所述滾輪和支撐基座分別連接在所述支撐桿的兩端，所述支撐基座用于放置基片。
[0031]優(yōu)選地，所述支撐基座位于所述軌道的徑向內(nèi)側(cè)，所有基片載具的支撐桿在同一個平面上，該平面與所述軌道所在的平面共面或平行。
[0032]優(yōu)選地，所述支撐桿與所述支撐基座上放置的基片所在平面垂直。
[0033]優(yōu)選地，所述滾輪、支撐基座和支撐桿之間均為固定連接。
[0034]優(yōu)選地，所述滾輪和/或所述支撐基座設(shè)置成包括大小不同的可替換的一系列。
[0035]優(yōu)選地，所述支撐桿的長度可以調(diào)節(jié)。
[0036]優(yōu)選地，所述支撐基座包括圓環(huán)和支架，所述支架包括多個分支，多個分支的一端相交，其交點位于所述圓環(huán)的縱向中心線上，并與所述圓環(huán)的圓心相距一定距離，該相交的端部與所述支撐桿的端部進行連接，多個分支的另外一端固定到所述圓環(huán)上。
[0037]優(yōu)選地，所述支架的多個分支在圓環(huán)的周向上呈不均勻分布，在其中的兩個分支之間形成有較大的開口。
[0038]優(yōu)選地，在所述圓環(huán)上設(shè)置有固定部，該固定部在所述圓環(huán)的內(nèi)緣沿所述圓環(huán)的徑向向內(nèi)延伸形成。
[0039]優(yōu)選地，所述基片載具有多個。
[0040]本實用新型提供的傾斜角沉積蒸發(fā)系統(tǒng)利用一個在腔體外部的電機，即可實現(xiàn)傾斜角蒸發(fā)時基片的公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，進而提高所蒸發(fā)納米結(jié)構(gòu)薄膜的均勻性。并且，本實用新型的傾斜角沉積蒸發(fā)系統(tǒng)中的旋轉(zhuǎn)架上可連接多個基片載具，可以在一次抽真空過程中同時對多個基片蒸發(fā)沉積，且每個基片可以調(diào)節(jié)為相同或不同的傾斜角度。因此，本實用新型所述的傾斜角沉積蒸發(fā)系統(tǒng)具有多片蒸發(fā)、基片旋轉(zhuǎn)和每個基片的傾斜角度可調(diào)等優(yōu)點，這不僅有利于高溫蒸發(fā)和初期實驗工藝條件的摸索，而且還有利于產(chǎn)能提升和生產(chǎn)成本的降低，更適用于傾斜角蒸發(fā)納米結(jié)構(gòu)薄膜的批量生產(chǎn)。
【附圖說明】
[0041]通過以下參照附圖對本實用新型實施例的描述，本實用新型的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點將更為清楚，在附圖中:
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