專利名稱：吸附分離提純方式制備高純乙硼烷方法的工藝技術的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種烷類化工產(chǎn)品-高純乙硼烷制備方法的工藝技術，特別是一種吸附分離提純方式制備高純乙硼烷方法的工藝技術，適合于化工合成乙硼烷。
背景技術：
目前，目前，微電子技術是現(xiàn)代信息技術和軍事技術的主要基石，是推動科技進 步、產(chǎn)業(yè)發(fā)展、經(jīng)濟騰飛和社會前進的關鍵因素之一。集成電路是微電子技術的核心，其發(fā) 展水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個國家經(jīng)濟實力的重要標志。電子特種氣體(如乙硼烷)， 尤其是高純電子氣體作為電子化工材料這一新門類，是制約集成電路可靠性和成品率的重 要因素。隨著電子信息技術的飛速發(fā)展，集成度越來越高，對基礎原材料(如乙硼烷)的純 度要求已經(jīng)提高到了 5N級(99. 999%),甚至7N以上，因此制備高純電子特種氣體技術更 顯得迫在眉睫。乙硼烷的制備技術尚未完善，制作方法工藝復雜，較難掌握，生產(chǎn)的產(chǎn)品尚 不能全面滿足相關電子產(chǎn)品的需要，質量差，問題多，只能用于制造低規(guī)格的產(chǎn)品，因此，給 用戶帶來了較大的麻煩，這種狀況嚴重地制約了電子技術的發(fā)展。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的問題在于，克服現(xiàn)有技術的不足，提供了一種吸附分離提純方 式制備高純乙硼烷方法的工藝技術。該技術不僅工藝合理，制備簡單，而且產(chǎn)品質量好，生 產(chǎn)的乙硼烷純度高達5N(99. 999% )以上，并解決了環(huán)境污染問題。本發(fā)明采用的技術方案是粗B2H6(乙硼烷)氣瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾氣吸 收器、產(chǎn)品收集器按其系統(tǒng)功能通過連接管線組裝一體而構成。本發(fā)明采用吸附分離提純方式制取高純乙硼烷的工藝方法。主要是由發(fā)生乙硼烷的本發(fā)明裝置連續(xù)供給粗乙硼烷，根據(jù)粗制乙硼烷的雜質含 量，采用低溫吸附、升溫脫附的辦法將B2H6中的CH4、CO2等除去，制備高純乙硼烷，經(jīng)液化、 汽化系統(tǒng)形成成品。其優(yōu)點是產(chǎn)品收率高，純度高(99.0% -99.9% )，雜質少且容易分離，除產(chǎn)品本身 夕卜，不帶有其他有害、有毒的副產(chǎn)物，操作也較方便，是高純乙硼烷制備的理想技術。本發(fā)明的有益效果是，設計合理，使用方便，是理想的乙硼烷制備工藝技術。


下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。圖1為本發(fā)明的結構示意圖。附圖編號為1、粗B2H6 (乙硼烷)氣瓶，2、干燥器，3、吸附器，4、真空泵，5、尾氣吸收 器，6、產(chǎn)品收集器，7、連接管線。
具體實施例方式參照圖1，粗B2H6(乙硼烷)氣瓶(1)、干燥器(2)、吸附器(3)、真空泵(4)、尾氣吸 收器(5)、產(chǎn)品收集器(6)按其系統(tǒng)功能通過連接管線(7)組裝一體而構成。
本發(fā)明采用吸附分離提純方式制取高純乙硼烷的工藝方法。主要是由發(fā)生乙硼烷的本發(fā)明裝置連續(xù)供給粗乙硼烷，根據(jù)粗制乙硼烷的雜質含 量，采用低溫吸附、升溫脫附的辦法將B2H6中的CH4、CO2等除去，制備高純乙硼烷，經(jīng)液化、 汽化系統(tǒng)形成成品。其優(yōu)點是產(chǎn)品收率高，純度高(99.0% -99.9% )，雜質少且容易分離，除產(chǎn)品本身 夕卜，不帶有其他有害、有毒的副產(chǎn)物，操作也較方便，是高純乙硼烷制備的理想技術。
權利要求
一種吸附分離提純方式制備高純乙硼烷方法的工藝技術，其特征在于粗B2H6(乙硼烷)氣瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾氣吸收器、產(chǎn)品收集器按其系統(tǒng)功能通過連接管線組裝一體而構成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種吸附分離提純方式制備高純乙硼烷方法的工藝技術，主要由粗B2H6(乙硼烷)氣瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾氣吸收器、產(chǎn)品收集器按其系統(tǒng)功能通過連接管線組裝一體而構成。設計合理，使用方便，是理想的高純乙硼烷制備工藝技術。
文檔編號C01B6/10GK101955156SQ201010192538
公開日2011年1月26日 申請日期2010年6月7日 優(yōu)先權日2010年6月7日
發(fā)明者李中元 申請人:天津市泰源工業(yè)氣體有限公司