渣漿回收裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種渣漿回收裝置，尤其是涉及一種多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的渣漿回收
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中產(chǎn)生的渣漿廢料，一般不允許直接排放，以免在流動(dòng)中發(fā)生沉淀，堵塞排放管道。而且，渣漿中有氯化氫、氯硅烷等成分，直接排放容易造成污染，也會(huì)造成物料的浪費(fèi)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型旨在提供一種成本更低的渣漿回收裝置。
[0004]本實(shí)用新型包括如下內(nèi)容:
[0005]一種渣漿回收裝置，用于回收多晶硅生產(chǎn)過程中的渣漿，包括加熱渣漿的加熱器、與該加熱器連通以中和渣漿的中和釜、壓濾中和后渣漿的板框壓濾機(jī)及與加熱器相連、用以回收氯硅烷的回收罐。
[0006]本實(shí)用新型的渣漿回收裝置，首先進(jìn)行了加熱回收，回收了其中的氯硅烷作為其他工序的原料備用，進(jìn)一步降低了成本。其次，對渣漿進(jìn)行了中和后壓濾，實(shí)現(xiàn)固液分離，由于事先中和，分離后的廢液和固體廢渣都可以直接排放或者掩埋，符合排放標(biāo)準(zhǔn)，不污染環(huán)境，而且處理成本更低。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型所述的渣漿回收裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]為更好理解本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案，現(xiàn)結(jié)合附圖進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0009]本實(shí)用新型的渣漿回收裝置用于回收多晶硅生產(chǎn)過程中的渣漿，渣漿包含硅粉、二氧化硅和氯硅烷等。渣漿回收裝置包括加熱器20、中和釜22、渣漿泵24、回收罐25、堿液塔26和板框壓濾機(jī)28。其中，加熱器20與中和釜22通過渣漿泵24相連，同時(shí)通過管道與回收罐25相連。加熱器20用于加熱渣漿，加熱后的渣漿從渣漿中揮發(fā)出的氯硅烷經(jīng)過管道被收集到回收罐25中儲(chǔ)存，可以作為原料在多晶硅生產(chǎn)中循環(huán)利用。加熱器20外部具有加熱層201，加熱層內(nèi)通有高溫蒸汽，作為加熱器20的加熱熱源。加熱器20內(nèi)還設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)(圖未示)，不斷地?cái)嚢柙鼭{，防止沉淀并提高加熱揮發(fā)效果。堿液塔26與中和釜22相連，堿液塔26具有石灰口和加水口，通過石灰口加入石灰與加水口的水混合配比成為堿液，堿液塔26內(nèi)也設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)，使石灰與水混合均勻成為堿液，并通往中和Il 22內(nèi)中和渣漿中殘余的氯硅烷。
[0010]板框壓濾機(jī)28與中和釜22通過管道相連，用于壓濾處理中和后的渣漿。
[0011]工作時(shí)，渣漿先通入加熱器20，經(jīng)過加熱攪拌后，渣漿中的氯硅烷成為氣體，進(jìn)入回收罐25內(nèi)收集存儲(chǔ)，作為其他工序原料備用。之后渣漿被渣漿泵24抽取送入中和釜22內(nèi)，與來自于堿液塔26內(nèi)的配比后的堿液混合，以中和渣漿內(nèi)的殘存的氯硅烷，使之成為中性。中和后的渣漿送入板框壓濾機(jī)28進(jìn)行固液分離，分離后的液體直接排入廢水管道，固體廢渣運(yùn)出可以直接進(jìn)行掩埋處理。
[0012]本實(shí)用新型的渣漿回收裝置，首先進(jìn)行了加熱回收，回收了其中的氯硅烷作為其他工序的原料備用，進(jìn)一步降低了成本。其次，對渣漿進(jìn)行了中和后壓濾，實(shí)現(xiàn)固液分離，由于事先中和，分離后的廢液和固體廢渣都可以直接排放或者掩埋，符合排放標(biāo)準(zhǔn)，不污染環(huán)境，而且處理成本更低。
[0013]綜上所述，以上僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，不應(yīng)以此限制本實(shí)用新型的范圍。即凡是依本實(shí)用新型權(quán)利要求書及說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實(shí)用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種渣漿回收裝置，用于回收多晶硅生產(chǎn)過程中的渣漿，包括加熱渣漿的加熱器、與該加熱器連通以中和渣漿的中和釜、壓濾中和后渣漿的板框壓濾機(jī)及與加熱器相連、用以回收氯硅烷的回收罐。
2.如權(quán)利要求1所述的渣漿回收裝置，其特征在于，加熱器外部設(shè)置通有高溫蒸汽的加熱層。
3.如權(quán)利要求2所述的渣漿回收裝置，其特征在于，加熱器內(nèi)設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的渣漿回收裝置，其特征在于，還包括與中和釜相連的堿液塔，堿液塔具有石灰口和加水口。
5.如權(quán)利要求4所述的渣漿回收裝置，其特征在于，該堿液塔內(nèi)設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1所述的渣漿回收裝置，其特征在于，還包括同時(shí)連接加熱器和中和釜以將加熱器內(nèi)的渣漿抽取送入中和釜內(nèi)的渣漿泵。
【專利摘要】一種渣漿回收裝置，用于回收多晶硅生產(chǎn)過程中的渣漿，包括加熱渣漿的加熱器、與該加熱器連通以中和渣漿的中和釜、壓濾中和后渣漿的板框壓濾機(jī)及與加熱器相連、用以回收氯硅烷的回收罐。本實(shí)用新型的渣漿回收裝置，首先進(jìn)行了加熱回收，回收了其中的氯硅烷作為其他工序的原料備用，進(jìn)一步降低了成本。其次，對渣漿進(jìn)行了中和后壓濾，實(shí)現(xiàn)固液分離，由于事先中和，分離后的廢液和固體廢渣都可以直接排放或者掩埋，符合排放標(biāo)準(zhǔn)，不污染環(huán)境，而且處理成本更低。
【IPC分類】C01B33-107
【公開號】CN204417141
【申請?zhí)枴緾N201520105466
【發(fā)明人】齊林喜, 吉佳佳
【申請人】內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2015年2月13日