述四烷基氫氧化 銨水溶液為四甲基氫氧化銨水溶液。
[0056] 作為優(yōu)選，所述三烷基叔胺為三乙胺；所述氯代烷為氯乙烷；所述四烷基氫氧化 銨水溶液為四乙基氫氧化銨水溶液。
[0057] 本發(fā)明另一目的是提供一種由高純四烷基氯化銨水溶液制備電子級(jí)四烷基氫氧 化銨水溶液的應(yīng)用，電解本發(fā)明所述高純四烷基氯化銨水溶液。
[0058] 所述電解可以采用現(xiàn)有技術(shù)中任何用于電解制備電子級(jí)四烷基氫氧化銨水溶液 的方法。
[0059] 發(fā)明效果
[0060] 本發(fā)明制備的高純四烷基氯化銨水溶液中有機(jī)物雜質(zhì)的濃度低于20ppm，特別是 控制有機(jī)物雜質(zhì)中三烷基叔胺以及三烷基叔胺的氯化鹽的濃度低于lOppm，且整個(gè)制作過(guò) 程簡(jiǎn)單易操作、不需要增加額外設(shè)備和操作工藝，適用范圍廣，成本低，非常適合大工業(yè)化 生產(chǎn)需求，擴(kuò)大了四烷基氯化銨水溶液的應(yīng)用范圍。
【具體實(shí)施方式】
[0061] 本發(fā)明采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測(cè)定本發(fā)明實(shí)施例及對(duì)比例中所采用的制 備原料中各金屬離子雜質(zhì)濃度；采用氣相色譜分析實(shí)施例以及對(duì)比實(shí)施例制備的水溶液 樣品經(jīng)過(guò)預(yù)處理后三烷基叔胺的殘留量，具體測(cè)試結(jié)果見(jiàn)表3所示，例如所述預(yù)處理是使 TMA?HC1 轉(zhuǎn)變成TMA。
[0062] 對(duì)比實(shí)施例1和對(duì)比實(shí)施例2的制備過(guò)程與本發(fā)明實(shí)施例制備過(guò)程基本相同，不 同的是，對(duì)比實(shí)施例1和對(duì)比實(shí)施例2均沒(méi)有在減壓濃縮過(guò)程中加入四烷基氫氧化銨水溶 液。此外，為了證明TMA與MC的摩爾比以及溶劑超純水的用量對(duì)四烷基氯化銨水溶液中 TMA的殘留量的影響，本發(fā)明設(shè)計(jì)對(duì)比實(shí)施例時(shí)還考慮以下因素：
[0063] 1、TMA與MC的摩爾比：一般情況下，反應(yīng)物的摩爾比會(huì)對(duì)TMAC水溶液的純度（TMA 或者TMA*HC1殘留量）造成影響。MC在水中的溶解度比TMA小，因此，選擇MC過(guò)量可以減 少反應(yīng)完全后TMA在廣品中的殘留量，過(guò)量的MC可以在"蒸發(fā)"f呆作（濃縮TMAC水溶液） 時(shí)被輕易除去；但考慮到MC的水解反應(yīng)，也有可能通過(guò)TMA過(guò)量的方法抑制MC與水的反 應(yīng)，減少TMA*HC1的生成。因此本發(fā)明從上述兩種因?yàn)榭紤]，設(shè)計(jì)對(duì)比實(shí)施例1在制備TMAC 水溶液中TMA:MC=1 : 1.04，MC過(guò)量，對(duì)比實(shí)施例2在制備TMAC水溶液中TMA:MC= 1. 1 : 1，TMA過(guò)量。其中為了與本發(fā)明實(shí)施例相對(duì)比，對(duì)比實(shí)施例1中TMA與MC的摩爾比 與本發(fā)明實(shí)施例1中相同。
[0064] 2、溶劑超純水的用量：理論上，超純水越多，在濃縮TMAC水溶液時(shí)，需要蒸發(fā)除 去更多的水，更多的TMA也可以被隨之除去。因此設(shè)計(jì)對(duì)比實(shí)施例2中所用超純水的量 (1960g)多于對(duì)比實(shí)施例l(1645g)。其中為了與本發(fā)明實(shí)施例相對(duì)比，對(duì)比實(shí)施例1中超 純水的使用量與本發(fā)明實(shí)施例1中相同。
[0065] 實(shí)施例1
[0066] 于5L壓力反應(yīng)釜（內(nèi)表面"襯"PTFE板）中，用泵進(jìn)料超純水1645g，然后用 真空泵抽走釜內(nèi)空氣；打開(kāi)三甲胺進(jìn)料閥門(mén)，利用三甲胺儲(chǔ)罐與反應(yīng)釜內(nèi)的壓力差進(jìn)料 TMA900g(氣態(tài)進(jìn)料）。TMA進(jìn)料過(guò)程中控制反應(yīng)釜內(nèi)溫度在20~40°C之間，高于40°C時(shí) 采用冰水浴降溫。TMA進(jìn)料結(jié)束后，氣態(tài)進(jìn)料MC，當(dāng)MC累計(jì)進(jìn)料800g時(shí)，進(jìn)料結(jié)束，摩爾比 TMA:MC=1 : 1.04。進(jìn)料過(guò)程中，當(dāng)釜內(nèi)壓力高于0. 4Mpa時(shí)，調(diào)節(jié)氣體供應(yīng)速度。進(jìn)料 結(jié)束，提高反應(yīng)溫度至50~60°C并保持5小時(shí)，以促使反應(yīng)進(jìn)行完全。"老化"完成后，卸 壓并啟動(dòng)真空泵開(kāi)始減壓濃縮操作。2小時(shí)后，加入34. 3g、2. 38wt%的TMAH水溶液，然后 繼續(xù)減壓濃縮直至TMAC水溶液的濃度達(dá)到60.Owt%。減壓濃縮過(guò)程中，反應(yīng)釜內(nèi)溫度保 持60~70°C，整個(gè)過(guò)程耗時(shí)約12小時(shí)。最終得到TMAC水溶液約2726g，收率約為98%。 TMAC水溶液中金屬離子雜質(zhì)濃度以及甲醇（MeOH)、TMA(包括TMA?HC1，采用氣相色譜分析 前對(duì)TMAC水溶液樣品進(jìn)行預(yù)處理使TMA?HC1轉(zhuǎn)變成TMA)濃度如表3所示，TMA的殘留量 降至lOppm以下。
[0067] 實(shí)施例2
[0068] 于5L壓力反應(yīng)釜（內(nèi)表面"襯"PTFE板）中，用泵進(jìn)料超純水1960g，然后用 真空泵抽走釜內(nèi)空氣；打開(kāi)三甲胺進(jìn)料閥門(mén)，利用三甲胺儲(chǔ)罐與反應(yīng)釜內(nèi)的壓力差進(jìn)料 TMA900g(氣態(tài)進(jìn)料）。TMA進(jìn)料過(guò)程中控制反應(yīng)釜內(nèi)溫度在20~40°C之間，高于40°C時(shí) 采用冰水浴降溫。TMA進(jìn)料結(jié)束后，氣態(tài)進(jìn)料MC，當(dāng)MC累計(jì)進(jìn)料700g時(shí)，進(jìn)料結(jié)束，摩爾比 TMA:MC=1. 1 : 1。進(jìn)料過(guò)程中，當(dāng)釜內(nèi)壓力高于0. 4Mpa時(shí)，調(diào)節(jié)氣體供應(yīng)速度。進(jìn)料 結(jié)束，提高反應(yīng)溫度至50~60°C并保持5小時(shí)，以促使反應(yīng)進(jìn)行完全。"老化"完成后，卸 壓，然后加入21. 5g、2. 38wt%的TMAH水溶液。啟動(dòng)真空泵開(kāi)始減壓濃縮操作，直至TMAC水 溶液的濃度達(dá)到60. 3wt%。減壓濃縮過(guò)程中，反應(yīng)釜內(nèi)溫度保持60~70°C，整個(gè)過(guò)程耗時(shí) 約15小時(shí)。最終得到TMAC水溶液約2504g，收率約為99%。TMAC水溶液中金屬離子雜質(zhì) 濃度以及甲醇（MeOH)、TMA(包括TMA?HC1，采用氣相色譜分析前對(duì)TMAC水溶液樣品進(jìn)行 預(yù)處理使TMA?HC1轉(zhuǎn)變成TMA)濃度如表3所示，TMA殘留量降至lOppm以下。
[0069] 實(shí)施例3
[0070] 于5L壓力反應(yīng)釜（內(nèi)表面"襯"PTFE板）中，用泵進(jìn)料超純水1960g，然后用 真空泵抽走釜內(nèi)空氣；打開(kāi)三甲胺進(jìn)料閥門(mén)，利用三甲胺儲(chǔ)罐與反應(yīng)釜內(nèi)的壓力差進(jìn)料 TMA900g(氣態(tài)進(jìn)料）。TMA進(jìn)料過(guò)程中控制反應(yīng)釜內(nèi)溫度在20~40°C之間，高于40°C時(shí) 采用冰水浴降溫。TMA進(jìn)料結(jié)束后，氣態(tài)進(jìn)料MC，當(dāng)MC累計(jì)進(jìn)料700g時(shí)，進(jìn)料結(jié)束，摩爾比 TMA:MC=1. 1 : 1。進(jìn)料過(guò)程中，當(dāng)釜內(nèi)壓力高于0. 4Mpa時(shí)，調(diào)節(jié)氣體供應(yīng)速度。進(jìn)料 結(jié)束，提高反應(yīng)溫度至50~60°C并保持5小時(shí)，以促使反應(yīng)進(jìn)行完全。"老化"完成后，卸 壓并啟動(dòng)真空泵開(kāi)始減壓濃縮操作。2小時(shí)后，把2. 2g、25wt%的TMAH水溶液稀釋于20mL超純水后加入到反應(yīng)釜內(nèi)，然后繼續(xù)減壓濃縮直至TMAC水溶液的濃度達(dá)到60.Owt%。減壓 濃縮過(guò)程中，反應(yīng)釜內(nèi)溫度保持60~70°C，整個(gè)過(guò)程耗時(shí)約15小時(shí)。最終得到TMAC水溶 液約2506g，收率約為99%。TMAC水溶液中金屬離子雜質(zhì)濃度以及甲醇（MeOH)、TMA(包括 TMA?HC1，采用氣相色譜分析前對(duì)TMAC水溶液樣品進(jìn)行預(yù)處理使TMA?HC1轉(zhuǎn)變成TMA)濃 度如表3所示，在樣品中幾乎檢測(cè)不到TMA。
[0071] 實(shí)施例4
[0072] 于5L壓力反應(yīng)釜（內(nèi)表面"襯"PTFE板）中，用泵進(jìn)料45wt%四乙基氯化銨（TEAC) 水溶液2500g(經(jīng)GC分析，三乙胺殘留量為56ppm)。用300g超純水稀釋1. 12g，25wt%四 乙基氫氧化銨水溶液，然后加入到反應(yīng)釜內(nèi)。開(kāi)始減壓濃縮操作直至TEAC水溶液的濃度重 新達(dá)到45wt%左右。減壓濃縮過(guò)程中，反應(yīng)釜內(nèi)溫度保持60~80°C，整個(gè)過(guò)程耗時(shí)約6小 時(shí)。
[0073] 對(duì)比實(shí)施例1
[0074] 于5L壓力反應(yīng)釜（內(nèi)表面"襯"PTFE板）中，用泵進(jìn)料超純水1645g，然后用 真空泵抽走釜內(nèi)空氣；打開(kāi)三甲胺進(jìn)料閥門(mén)，利用三甲胺儲(chǔ)罐與反應(yīng)釜內(nèi)的壓力差進(jìn)料 TMA900g(氣態(tài)進(jìn)料）。TMA進(jìn)料過(guò)程中控制反應(yīng)釜內(nèi)溫度在20~40°C之間，高于40°C時(shí) 采用冰水浴降溫。TMA進(jìn)料結(jié)束后，氣態(tài)進(jìn)料MC，當(dāng)MC累計(jì)進(jìn)料800g時(shí)，進(jìn)料結(jié)束，摩爾比 TMA:MC=1 : 1.04。進(jìn)料過(guò)程中，當(dāng)釜內(nèi)壓力高于0. 4Mpa時(shí)，調(diào)節(jié)氣體供應(yīng)速度。進(jìn)料 結(jié)束，提高反應(yīng)溫度至50~60°C并保持5小時(shí)，以促使反應(yīng)進(jìn)行完全。"老化"完成后，卸 壓并啟動(dòng)真空泵開(kāi)始減壓濃縮操作，直至TMAC水溶液的濃度達(dá)到59. 7wt%。減壓濃縮過(guò)程 中，反應(yīng)釜內(nèi)溫度保持60~70°C，整個(gè)過(guò)程耗時(shí)約11小時(shí)。最終得到TMAC水溶液約2725g， 收率約為98%。TMAC水溶液中金屬離子雜質(zhì)濃度以及甲醇（MeOH)、TMA(包括TMA?HC1， 采用氣相色譜分析前對(duì)TMAC水溶液樣品進(jìn)行預(yù)處理，使TMA?HC1轉(zhuǎn)變成TMA)濃度如表3 所示，TMA的殘留量為154ppm。
[0075] 對(duì)比實(shí)施例2
[0076]于5L壓力反應(yīng)釜（內(nèi)表面"襯"PTFE板）中，用泵進(jìn)料超純水1960g，然后用 真空泵抽走釜內(nèi)空氣；打開(kāi)三甲胺進(jìn)料閥門(mén)，利用三甲胺